JP2017087512A - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液体吐出部材の吐出面における残液の払拭、除去を容易に行うことができ、吐出安定性及び耐久性を向上させることができる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体が吐出される液体吐出部を有する液体吐出部材と、該液体吐出部と連通し、液体が充填される個別液室と、該個別液室に圧力を伝える振動部材と、該振動部材を変位させる圧力発生手段と、を有する液体吐出ヘッドであって、前記液体吐出部材の前記液体が吐出する吐出面における前記液体吐出部近傍の領域を液体吐出領域とし、前記吐出面における前記液体吐出領域を除いた領域を非液体吐出領域とし、前記吐出面には、Ｓｉと金属Ａを含む金属酸化膜、及び、撥液膜が形成され、前記非液体吐出領域に形成された金属酸化膜の金属Ａの比率は、前記液体吐出領域に形成された金属酸化膜の金属Ａの比率よりも高いことを特徴とする。【選択図】図６

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関する。

従来、コンピュータやワークステーションから画像を出力する装置として液体を記録媒体に吐出して画像の形成を行うインクジェット方式の画像記録装置が知られている。

この画像記録装置は、液体（液滴、インク滴などとも称されることがある）を吐出する複数の液体吐出部を有する液体吐出部材と、各液体吐出部が連通する液流路（加圧室、加圧液室、圧力室、液室、インク室、吐出室等とも称される）を形成する液流路形成部材と、液流路の少なくとも一つの壁面を形成する変形可能な振動部材と、各流路内のインクを加圧して液体吐出部からインク滴を吐出させるためのエネルギーを発生させる圧力発生素子などの電気機械変換素子、あるいはヒータなどの電気熱変換素子、もしくは電極などの静電気力発生手段などからなるエネルギー発生手段（アクチュエータ素子）とを備えた液体吐出ヘッドを搭載することが知られている。
この液体吐出ヘッドのアクチュエータ素子を画像情報に応じて駆動することで液体吐出部材から液体を吐出させて画像を記録する。

液体吐出部材は、液体を吐出するために複数の液体吐出部を有している。また、液体吐出部材の吐出面には、液を弾くための撥液膜や、液体吐出部材の吐出面と撥液膜との密着性を強めるための密着膜、もしくは、液に対する耐久性を向上させるための合金膜が形成されることがある。

しかし、液体吐出部材の吐出面、主に液体吐出部周辺には、液体を吐出する際に残った液（残液とも称される）が付着する。そのため、この残液による他の液体吐出部の汚染や、残液が固着することによる吐出不安定化といった問題が生じてしまう。
従来技術では、ワイパーにより払拭することで残液を除去し、液体吐出部材の吐出面を清潔に保っているが、ワイパーのみでの除去では十分ではなく、ワイピングの回数を重ねるごとに撥液膜が劣化するため、ワイピング性能の低下という問題も生じる。
液体吐出部材の吐出面を清潔に保つことについて、さらなる改善が求められていた。

特許文献１では、液体吐出部材の吐出面に表面粗さの異なる平滑面部と粗面部を設け、平滑面部を撥液化、粗面部を親液化し、粗面部を平滑面部よりも低くすること（溝を形成すること）で、液体吐出部付近に付着したインクを粗面部に溜める方法が提案されている。しかしながら、特許文献１で提案されている方法では、粗面部の溝は重力に逆らう方向であるため、粗面部に溜まったインクが漏れ、液体吐出部材の吐出面を汚染する可能性がある。

特許文献２では、液体吐出部材の吐出面に撥液領域と非撥液領域を形成し、撥液領域と非撥液領域が電位差を持つように電圧を印加することで、インクミストを非撥液領域に誘導し、液体吐出部へのインクの流入を防いでいる。しかしながら、特許文献２で提案されている方法では、インクが液体吐出部材の非撥液領域に溜まるため、溜まったインクによる液体吐出部材やヘッドの汚染が考えられ、汚染による吐出不良が発生する可能性がある。

特許文献３では、液体吐出部材に液体吐出部周辺に傾斜を形成し、傾斜表面の撥液性を液体吐出部近傍の撥液性よりも低くすることで、液体吐出部付近に付着したインクの移動をスムーズにし、ワイピングによるインクの払拭を効果的にする方法が提案されている。しかしながら、特許文献３で提案されている方法は、液体吐出部材の構造が複雑であり、液体吐出部周辺への傾斜面の形成や、傾斜表面と液体吐出部近傍における異なる撥液性を有する撥液膜の形成といった液体吐出部材の吐出面を加工するための処理工数がかかってしまう。

以上、液体吐出部材の吐出面の残液をワイパーによる払拭、除去を容易にすることで、液体吐出ヘッドの吐出安定性及び耐久性を向上させるとともに、処理工数の少ない液体吐出ヘッドが求められていた。

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、液体吐出部材の吐出面における残液の払拭、除去を容易に行うことができ、吐出安定性及び耐久性を向上させることができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は、液体が吐出される液体吐出部を有する液体吐出部材と、該液体吐出部と連通し、液体が充填される個別液室と、該個別液室に圧力を伝える振動部材と、該振動部材を変位させる圧力発生手段と、を有する液体吐出ヘッドであって、前記液体吐出部材の前記液体が吐出する吐出面における前記液体吐出部近傍の領域を液体吐出領域とし、前記吐出面における前記液体吐出領域を除いた領域を非液体吐出領域とし、前記吐出面には、Ｓｉと金属Ａを含む金属酸化膜、及び、撥液膜が形成され、前記非液体吐出領域に形成された金属酸化膜の金属Ａの比率は、前記液体吐出領域に形成された金属酸化膜の金属Ａの比率よりも高いことを特徴とする。

本発明によれば、液体吐出部材の吐出面における残液の払拭、除去を容易に行うことができ、吐出安定性及び耐久性を向上させることができる液体吐出ヘッドを提供することができる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の断面模式図である。 従来例に係る液体吐出ヘッドにおける要部断面模式図（ａ）及び本発明に係る液体吐出ヘッドの一例における要部断面模式図（ｂ）である。 本発明に係る液体吐出ヘッドの一例における液体吐出部材の上面模式図（ａ）及び断面模式図（ｂ）である。 従来例に係る液体吐出ヘッドにおける液体吐出部材の断面模式図（ａ）及び（ｂ）である。 本発明に係る液体吐出ヘッドの一例における液体吐出部材の断面模式図（ａ）及び（ｂ）である。 本発明に係る液体吐出ヘッドの他の例における液体吐出部材の断面模式図である。 本発明に係る液体吐出ヘッドの他の例における液体吐出部材の断面模式図（ａ）及び（ｂ）である。 本発明に係る液体吐出ヘッドの他の例における液体吐出部材の断面模式図（ａ）及び（ｂ）である。 本発明に係る液体吐出ヘッドの一例における膜形成の方法を説明するための上面模式図（ａ）及び（ｂ）並びに断面模式図（ｃ）及び（ｄ）である。 本発明に係る液体吐出ヘッドの他の例における膜形成の方法を説明するための断面模式図（ａ）及び（ｂ）である。 本発明に係る液体吐出ヘッドの他の例における膜形成の方法を説明するための断面模式図（ａ）〜（ｃ）である。 本発明に係る液体吐出ヘッドの他の例における膜形成の方法を説明するための断面模式図（ａ）〜（ｃ）である。 本発明に係る液体吐出ユニットの一例を示す模式図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例を示す模式図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例を示す模式図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の構成を模式的に示す斜視図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の構成を模式的に示す側面図である。

以下、本発明に係る液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及び液体吐出ヘッドの製造方法について図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。

本発明は、液体が吐出される液体吐出部を有する液体吐出部材と、該液体吐出部と連通し、液体が充填される個別液室と、該個別液室に圧力を伝える振動部材と、該振動部材を変位させる圧力発生手段と、を有する液体吐出ヘッドであって、前記液体吐出部材の前記液体が吐出する吐出面における前記液体吐出部近傍の領域を液体吐出領域とし、前記吐出面における前記液体吐出領域を除いた領域を非液体吐出領域とし、前記吐出面には、Ｓｉと金属Ａを含む金属酸化膜、及び、撥液膜が形成され、前記非液体吐出領域に形成された金属酸化膜の金属Ａの比率は、前記液体吐出領域に形成された金属酸化膜の金属Ａの比率よりも高いことを特徴とする。

（液体吐出ヘッドの基本構成）
まず、本発明に係る液体吐出ヘッドの基本となる構成について説明する。構成については必要に応じて適宜変更が可能であるが、以下、一実施形態について説明する。

本実施形態に係る液体吐出ヘッドの主要構成を図１に基づいて説明する。図１は本実施形態における断面模式図である。
図１では流路ユニット３１とアクチュエータユニット３２とがフレーム３３を介して一体に固定して構成されている。流路ユニット３１は、液体吐出部材２２、チャンバープレート３５、及び振動部材３６を積層し、アクチュエータユニット３２の圧力発生手段である個々の圧力発生素子３７（圧力発生手段）の伸縮により圧力室３８（個別液室）を縮小、膨張させて液体を吐出するように構成されている。
液体吐出部材２２には圧力室３８に連通する液体吐出部２が穿設されており、またチャンバープレート３５には圧力室３８、流体抵抗３４が形成されている。液体吐出部材２２は、例えば、Ｎｉプレート、ＳＵＳプレート等を用いることができる。

振動部材３６は、圧力発生素子３７の先端に当接する凸部４２と、弾性変形可能なダイヤフラム部４３と各圧力室３８に対向するように設けられている。またフレーム３３に設けられた共通液室１１からの液供給口４５が形成されている。また共通液室１１に面する領域にも上述のダイヤフラム部４３と同様のダイヤフラム部４４が構成されている。

流路ユニット３１は、ステンレス（ＳＵＳ）で形成したチャンバープレート３５と、前に説明した液体吐出部材２２と、振動部材３６とを接合したものである。振動部材３６は、圧延製金属板４８に、圧力発生素子３７の変位により弾性変形が可能で、インクに対する耐蝕性を備えた例えばポリイミド（ＰＩ）やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂等の高分子フィルム４９を積層して構成されている。要所に貫通孔からなる位置決め孔が穿設されており、ダイヤフラム部４３、４４を形成すべき領域をエッチングして圧延製金属板４８により凸部４２が形成されている。

液体吐出部２は圧力室３８に対応して例えば直径１０〜３０μｍの大きさで形成する。また、液体吐出部材面（吐出方向の表面すなわち吐出面）には、液体との撥液性を確保するため、撥液膜４を形成している（撥液膜４の詳細は後述する）。

そして、振動部材３６の面外側（圧力室３８と反対面側）に各圧力室３８に対応して圧力発生手段としての圧力発生素子３７を接合している。これらの振動部材３６と圧力発生素子３７によって振動部材３６の可動部分であるダイヤフラム部４３を変形させる圧電型アクチュエータを構成している。

液体吐出ヘッドでは、圧力発生素子３７を溝加工（スリット加工）によって分断することなく形成する。また、圧力発生素子３７の一端面には各圧力発生素子３７ａに駆動波形を与えるためのＦＰＣ（Flexible printed circuits）ケーブル５０を接続している。

なお、圧力発生素子３７の圧電方向としてｄ３３方向の変位を用いて圧力室３８内の液体を加圧する構成とすることも、圧力発生素子３７の圧電方向としてｄ３１方向の変位を用いて圧力室内の液体を加圧する構成とすることもできる。本実施形態ではｄ３３方向の変位を用いた構成をとっている。

ベース部材５１は金属材料で形成することが好ましい。ベース部材５１の材質（材料）が金属であれば、圧力発生素子３７の自己発熱による蓄熱を防止することができる。圧力発生素子３７とベース部材５１は接着剤により接着接合しているが、チャンネル数が増えると、圧力発生素子３７の自己発熱により１００℃近くまで温度が上昇し、接合強度が著しく低下することになる。

また、自己発熱によりヘッド内部の温度上昇が発生し、液体温度が上昇するが、液体の温度が上昇すると、液体粘度が低下し、噴射特性に大きな影響を与える。従って、ベース部材５１を金属材料で形成して圧力発生素子３７の自己発熱による蓄熱を防止することで、これらの接合強度の低下、液体粘度の低下による噴射特性の劣化を防止することができる。

また、ＦＰＣケーブル５０には各チャンネル（各圧力室３８に対応する）を駆動する駆動波形（電気信号）を印加するためのドライバＩＣ５２を複数搭載している。

さらに、振動部材３６の周囲にはフレーム３３を接着剤で接合している。そして、このフレーム３３には、ドライバＩＣ５２と少なくともベース部材５１を挟んで反対側に配置されるように、圧力室３８に外部から液体を供給するための共通液室１１を形成している。

共通液室１１は、振動部材３６の液体供給口４５を介して流体抵抗部３４及び圧力室３８に連通している。共通液室１１には、ダイヤフラム部４４によってダンパー室５３が形成され、液体吐出によって共通液室１１内に発生する圧力波を減衰させ、液体吐出を安定させる。

圧力発生素子３７は、圧電層（圧電材料層）５４と内部電極５５Ａ及び内部電極５５Ｂとを交互に積層し、両端面に共通側外部電極５６と個別側外部電極５７とを設けた状態で、スリット加工（溝加工）を施して溝を入れることにより、複数の圧力発生素子を形成している。

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、圧力発生素子３７の駆動部に対して選択的に例えば２０〜５５０Ｖの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された駆動部が積層方向に伸びてダイヤフラム部を液体吐出部材方向に変形させ、圧力室３８の容積／体積変化によって圧力室３８内の液体が加圧され、液体吐出部２から液体が吐出（噴射）される。

次に、液体吐出部材２２の要部拡大模式図を図２に示す。図２は液体吐出部材２２における１つの液体吐出部２を拡大して説明するための断面模式図である。図２（ａ）は従来例であり、図２（ｂ）は本発明に含まれる一実施形態の例である。なお、図２（ａ）は図４（ａ）と、図２（ｂ）は図３（ｂ）と同じ構成である。

図２に示される液体吐出ヘッドの例では、複数の液体吐出部２が形成された液体吐出部材２２と、各液体吐出部２が連通する圧力室３８を有するチャンバープレート３５及び振動部材３６とが接合されている。なお、接着剤等、一部図示を省略している。また図２では圧力室３８（個別液室）が図示されているが、あくまでも説明のための模式図であり、形状、大きさは必ずしも現実のものと一致しているわけではない。
また撥水膜４は、詳細は後述するが、例えばパーフルオロポリエーテルからなる。

図２（ａ）は、液体吐出部材２２の吐出面５に密着膜３及び撥液膜４が形成されており、液体吐出部材２２の密着膜３上に形成された撥液膜４は、吐出面５の位置によって撥液性に差がないため、撥液性が均一となっている。
一方、図２（ｂ）は、液体吐出部材２２の吐出面５において、液体吐出部２の近傍領域（液体吐出領域）５ａに形成された金属酸化膜６ａと、非液体吐出領域５ｂに形成された金属酸化膜６ｂとが形成されている。金属酸化膜６ａ、金属酸化膜６ｂ上に、それぞれ撥液膜４ａ、撥液膜４ｂが形成されている。詳細は各実施形態にて説明するが、撥液膜４ａの撥液性は撥液膜４ｂの撥液性よりも高くなっている。

（液体吐出ヘッドの各実施形態）
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの各実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、各実施形態における金属酸化膜、撥液膜の形成方法についてはまとめて後述する。

＜第１の実施形態＞
図３は、本実施形態に係る液体吐出ヘッドに用いられる液体吐出部材を説明する模式図であり、図３（ａ）は液体吐出部材の上面図、図３（ｂ）は液体吐出部材の断面図を模式的に示す図である。

図３（ａ）に示すように、液体吐出部２は４列形成されており、２列がそれぞれ近傍に形成されている。液体吐出部材２２の液体が吐出する吐出面５における液体吐出部２近傍の領域を液体吐出領域５ａとし、吐出面５における液体吐出領域５ａを除いた領域を非液体吐出領域５ｂとしている。図示されるように、上から見たときの液体吐出部材２２の両端が液体吐出領域５ａとなっており、それらが挟むように非吐出領域５ｂとなっている。他の形態も後述するが、本発明ではこの構成に制限されるものではない。

図３（ｂ）に示すように、液体吐出部材２２の吐出面５において、液体吐出部２の近傍領域（液体吐出領域）５ａに形成された金属酸化膜６ａと、非液体吐出領域５ｂに形成された金属酸化膜６ｂとが形成されている。なお、図３（ｂ）では説明のために、吐出領域５ａと非吐出領域５ｂを液体吐出部材２２の下側に図示しているが、両者は液体吐出部材２２の吐出面５に形成されるものである（以下のその他の実施形態においても同様である）。

また図３（ｂ）では、金属酸化膜６ａ、金属酸化膜６ｂ上に、それぞれ撥液膜４ａ、撥液膜４ｂが形成されている。本発明では、金属酸化膜６ａ及び金属酸化膜６ｂは、Ｓｉと金属Ａを含む金属酸化膜であり、金属酸化膜６ｂにおける金属Ａの比率は、金属酸化膜６ａにおける金属Ａの比率よりも高い。すなわち、非液体吐出領域５ｂに形成された金属酸化膜６ｂの金属Ａの比率は、液体吐出領域５ａに形成された金属酸化膜６ｂの金属Ａの比率よりも高くなっている。

次に、図４、図５に基づいて、液体吐出部材２２の吐出面５における残液移動を模式的に説明する。図４は本発明に含まれない従来例を説明するものであり、図５は本実施形態を説明するものである。

図４は、液体吐出部材２２の吐出面５に密着膜３及び撥液膜４が形成された構成である。図４（ａ）の状態では、液体吐出部材２２の密着膜３上に形成された撥液膜４は、吐出面５の位置によって撥液性に差がなく、撥液性が均一となっている。そのため、図４（ｂ）に示すように、液体の吐出によって吐出面に付着した残液９の移動が起こらない。従って、残液９の除去はワイピングでのみ行われるため、ワイピング回数を重ねることにより撥液膜４の撥液性が劣化し、ワイピング性能の低下に伴って、吐出面５は残液９により汚染されてしまう。

一方、図５は本実施形態に係るものである。図５（ａ）では、液体吐出部材２２の吐出面５において、液体吐出領域５ａに金属酸化膜６ａが形成され、非液体吐出領域５ｂに金属酸化膜６ｂが形成されている。また、金属酸化膜６ａ及び金属酸化膜６ｂ上には、それぞれ撥液膜４ａ及び撥液膜４ｂが形成されており、本実施形態では撥液膜４ａと撥液膜４ｂは同じ撥液膜材料である。

図５（ａ）において、金属酸化膜６ａ及び金属酸化膜６ｂはＳｉと金属Ａとからなり、金属酸化膜６ｂの金属Ａの比率は、金属酸化膜６ａの金属Ａの比率よりも高い。その結果、金属酸化膜６ａの方が金属酸化膜６ｂよりも、撥液膜と結合するための官能基密度が多くなり、金属酸化膜６ａ上及び金属酸化膜６ｂ上では、金属酸化膜と結合する撥液膜の密度が異なる。これにより、金属酸化膜６ａ上の撥液膜４ａは、金属酸化膜６ｂ上の撥液膜４ｂよりも撥液膜の密度が高く、撥液性が高くなる。従って、撥液膜４ａと撥液膜４ｂの撥液性の差により、図５（ｂ）に示されるように、残液９は非液体吐出領域５ｂに移動する。このため、液体吐出領域５ａのワイピングによる残液９の除去性が向上し、吐出面５が清潔に保たれることで、液体の吐出が安定する。

また、ワイピング機能が向上することで、ワイピング回数を減らすことができる。これにより、ワイピングに伴う撥液膜４ａ及び撥液膜４ｂの劣化も抑えることができる。さらに、撥液膜４ａ及び撥液膜４ｂにおいて、同じ撥液膜材料を用いて撥液性の差を形成することで、液体吐出部材２２の処理工数の低減が可能となる。加えて、金属酸化膜６ｂの方が金属酸化膜６ａよりも金属Ａの比率が高いことで、非液体吐出領域５ｂは接液性が高くなる。そのため、非液体吐出領域５ｂでは、液体吐出領域５ａから移動してきた残液９に対する耐久性が向上する。

また、非液体吐出領域５ｂに形成された金属酸化膜６ｂにおける金属Ａの比率は、液体吐出領域５ａに形成された金属酸化膜６ａにおける金属Ａの比率よりも２０％以上高いことが好ましい。これにより、より撥液性の差が生じることとなり、上記効果がより発揮される。

金属Ａとしては、適宜変更することが可能であるが、例えば、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｔａ等が挙げられる。
金属Ａの比率を測定する方法としては、特に制限されるものではないが、例えばＸＰＳ（X-ray Photoelectron Spectroscopy）の元素分析により測定することが可能である。

また、液体吐出領域５ａ、非液体吐出領域５ｂは、適宜変更が可能であるが、例えば液体吐出領域５ａは、液体吐出部２の端部から１５０〜２５０μｍの領域とすることができる。なお、液体吐出領域５ａと非液体吐出領域５ｂに形成される金属酸化膜６ａと金属酸化膜６ｂにおける金属Ａの比率は、離散的に異なっていてもよいし、金属Ａの比率が連続的に変化する箇所があってもよい。

＜第２の実施形態＞
次に、本実施形態について、図６を用いて説明する。図６では、液体吐出部材２２の吐出面５において、液体吐出領域５ａに合金膜７ａが形成されており、非液体吐出領域５ｂに合金膜７ｂが形成されている。また、合金膜７ａ及び合金膜７ｂ上には、それぞれ撥液膜４ａ及び撥液膜４ｂが形成されている。本実施形態における金属酸化膜は、Ｓｉと、酸素を介してＳｉと結合して不動態膜を形成する遷移金属との合金膜である。そのため、液体による腐食が防止され、耐液性が向上する。
詳細は後述するが、遷移金属は、Ｚｒ、Ｔｉ及びＴａから選ばれる少なくとも一種であることが好ましい。

＜第３の実施形態＞
次に、本実施形態について、図７を用いて説明する。図７（ａ）では、液体吐出部材２２の液体吐出領域５ａの表面平坦性が、非液体吐出領域５ｂの表面平坦性よりも高くなるように形成されている。また、図７（ｂ）に示されるように、液体吐出領域５ａに金属酸化膜６ａ、撥液膜１０ａが形成され、非液体吐出領域５ｂに金属酸化膜６ｂ、撥液膜１０ｂが形成されている。

このように液体吐出領域５ａと非液体吐出領域５ｂの表面平坦性の差が生じていることにより、液体吐出領域５ａの方が非液体吐出領域５ｂよりも、撥液膜と結合するための官能基が多くなり、液体吐出領域５ａ及び非液体吐出領域５ｂでは、結合する撥液膜の密度が異なる。そのため、本実施形態では撥液膜１０ａと撥液膜１０ｂは同じ撥液膜材料であるが、液体吐出領域５ａ上の撥液膜１０ａの撥液膜密度は、非液体吐出領域５ｂ上の撥液膜１０ｂの撥液膜密度よりも高くなり、撥液膜１０ａは撥液膜１０ｂよりも撥液性が高くなる。

金属酸化膜６ａ及び金属酸化膜６ｂにおける金属Ａの比率の差による撥液膜密度の差に、液体吐出領域５ａと非液体吐出領域５ｂの表面平坦性に撥液膜密度の差が加わるため、撥液膜１０ａと撥液膜１０ｂの撥液性の差は、第１の実施形態における撥液膜４ａと撥液膜４ｂの撥液性の差よりも大きくなる。そのため、図７（ｂ）に示すように、撥液膜１０ａと撥液膜１０ｂの撥液性の差による残液９の液体吐出領域５ａから非液体吐出領域５ｂへの移動がより容易になり、ワイピング機能が向上し、吐出面５が清潔な状態となるため、液体の吐出がより安定する。

また、液体吐出領域５ａの表面平坦性を非液体吐出領域５ｂの表面平坦性よりも高くし、撥液膜１０ａの撥液膜密度を撥液膜１０ｂの撥液膜密度よりも高くすることで、ワイピングによる撥液膜１０ａの劣化速度が撥液膜１０ｂの劣化速度よりも遅くなる。これに加えて、ワイピング機能の向上により、ワイピング回数の低減が可能となるため、ワイピングによる撥液膜１０ａ及び撥液膜１０ｂの劣化が抑えられる。これらの効果により、液体吐出部近傍の撥液膜の劣化による吐出不良が低減される。

液体吐出領域５ａ、非液体吐出領域５ｂの表面平坦性は、特に制限されるものではないが、例えばＡＦＭ（原子間力顕微鏡）により表面粗さを測定し、求めることが可能である。この場合、液体吐出領域５ａの表面粗さは、非液体吐出領域５ｂの表面粗さよりも小さく、１μｍ以下であることが好ましい。

＜第４の実施形態＞
次に、本実施形態について、図８を用いて説明する。図８（ａ）に示されるように、液体吐出部材２２の液体吐出領域５ａに金属酸化膜６ａ、撥液膜１２が形成され、非液体吐出領域５ｂに金属酸化膜６ｂ、撥液膜１３が形成されている。本実施形態では撥液膜１２と撥液膜１３は異なる撥液膜材料であり、撥液膜１２の撥液性が撥液膜１３の撥液性よりも高くなるように材料が選択されている。

また、金属酸化膜６ｂの金属Ａの比率は、金属酸化膜６ａの金属Ａの比率よりも高いため、撥液膜１２は撥液膜１３よりも撥液膜密度が高くなる。これにより、撥液膜材料による撥液性の差と、撥液膜密度による撥液性の差により、撥液膜１２と撥液膜１３の撥液性の差が大きくなり、図８（ｂ）に示されるように、残液９の液体吐出領域５ａから非液体吐出領域５ｂへの移動が容易になる。そのため、ワイピング機能が上がる。さらに、ワイピング機能が上がることで、ワイピング回数を減らし、撥液膜１２及び撥液膜１３の劣化を防止できる。これにより、吐出安定性をより向上させることができる。

＜金属酸化膜及び撥液膜の形成方法＞
次に、金属酸化膜及び撥液膜の形成方法を説明する。
密着膜や合金膜といった薄膜の形成は、薄膜原子を被着体に勢いよく付着、堆積させる方法や、薄膜原子雰囲気下に被着体を設置し、付着、堆積させる方法などがある。前者は、例えば、スパッタリングによりエネルギーを持ったターゲット原子を被着体に当てることで、密着膜や合金膜を形成することができる。後者については、例えば、真空中でＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）やＡＬＤ（Atomic Layer Deposition）により気化もしくは昇華や、プラズマ化した薄膜材料を被着体に堆積させて密着膜や合金膜を形成することができる。

一方、撥液膜の形成は、真空下での蒸着させる方法や、適当な溶媒に溶解させ塗布させる方法がある。前者は、例えば真空排気ポンプにて真空槽内を所定の真空度まで排気した後、撥液材を気化して真空槽に導入し蒸着させることで撥液膜を形成することができる。また、後者については、例えば、撥液材を有機溶剤に溶解させ、ワイヤーバーやドクターブレードなどの冶具でコーティングすることができるし、スピンコーターによって回転塗布することもできる。また、スプレーによって塗布することや塗工液を満たした容器に浸漬塗工（ディッピング）することもできる。なお、上記実施形態における金属酸化膜の形成方法にはスパッタリングを、撥液膜の形成方法には浸漬塗工を用いている。

図９に、液体吐出部材２２への金属酸化膜６及び撥液膜４の形成方法を説明するための模式図を示す。図９（ａ）及び図９（ｂ）は液体吐出部材の上面図を模式的に示すものであり、図９（ａ）は図３（ａ）と同様の構成である。図９（ｂ）は図９（ａ）と異なり、液体吐出部２が２列近傍に形成されており、上から見たときの液体吐出部材２２の両端が非液体吐出領域５ｂとなっており、それらが挟むように液体吐出領域５ａとなっている。

図９（ａ）の液体吐出部材２２において、スパッタリングにより金属酸化膜６を形成する。スパッタリングは、液体吐出部材２２を吐出面５がスパッタ治具に接触しない向きでスパッタ治具に設置し、スパッタターゲットの成分を物理的に液体吐出部材２２の吐出面５に照射することで行う。

まず、液体吐出領域５ａをマスキングして非液体吐出領域５ｂにスパッタする。その後、液体吐出領域５ａのマスキングをとり、非液体吐出領域５ｂをマスキングして、非液体吐出領域５ｂへのスパッタ時に使用したスパッタターゲットの金属Ａの比率よりも、金属Ａの比率が低いスパッタターゲットでスパッタを行う。これにより、図９（ｃ）に示されるように、金属酸化膜６ａ及び金属酸化膜６ｂが形成される。

また、図９（ｂ）のような液体吐出部材２２においても、まず、液体吐出領域５ａをマスキングして非液体吐出領域５ｂにスパッタする。その後、液体吐出領域５ａのマスキングをとり、非液体吐出領域５ｂをマスキングして、非液体吐出領域５ｂへのスパッタ時に使用したスパッタターゲットの金属Ａの比率よりも、金属Ａの比率が低いスパッタターゲットでスパッタを行う。これにより、図９（ｃ）に示されるように、金属酸化膜６ａ及び金属酸化膜６ｂが形成される。

ここで、液体吐出領域５ａへのスパッタ時に使用するスパッタターゲットの金属Ａの比率を５〜１０％、非液体吐出領域５ｂへのスパッタ時に使用するスパッタターゲットの金属Ａの比率を２６〜３３％とすると、金属酸化膜６ａは金属Ａの比率が５〜１０％程度、金属酸化膜６ｂは金属Ａの比率が２６〜３３％程度となる。

次に、液体吐出部材２２に金属酸化膜６を形成後、液体吐出部材２２を撥液膜４の材料に浸漬することで、図９（ｄ）に示されるように、液体吐出領域５ａの金属酸化膜６ａ上に撥液膜４ａが、非液体吐出領域５ｂの金属酸化膜６ｂ上に撥液膜４ｂが形成される。金属酸化膜６ｂは金属酸化膜６ａよりも金属Ａの比率が高いことにより、撥液膜４ａは撥液膜４ｂよりも撥液膜密度が高くなる。そのため、撥液膜４ａは撥液膜４ｂよりも撥液性が高く、同じ撥液膜材料で撥液性の差が生まれる。これにより、上記第１の実施形態である液体吐出部材が得られる。このように本実施形態では、同じ撥液膜材料を用いた場合でも撥液性の差を持たせることができるため、処理工数の低減に対して優れた効果を有する。

次に、上記第２の実施形態について図１０を用いて説明する。第２の実施形態について、例えば、酸素を介してＳｉと結合して不動態膜を形成する遷移金属をＺｒとし、ＳｉとＺｒの合金膜をＳｉＺｒＯｘとする。その場合、スパッタリングの際のスパッタターゲットにＳｉＺｒＯｘを形成するターゲットを使用し、上記第１の実施形態と同様の方法を行う。これにより、図１０（ａ）に示されるように、液体吐出領域５ａに合金膜７ａが形成され、非液体吐出領域５ｂに合金膜７ｂが形成され、図１０（ｂ）に示した第２の実施形態である液体吐出部材が得られる。

酸素を介してＳｉと結合して不動態膜を形成する遷移金属としては、その他にもＴｉ、Ｔａ等が挙げられ、Ｚｒ、Ｔｉ及びＴａから選ばれる少なくとも一種であることが好ましい。ＴｉやＴａの場合、不動態膜はそれぞれＳｉＴｉＯｘ、ＳｉＴａＯｘとなる。ただし、酸素結合して不動態膜を形成する遷移金属及び合金膜は、それぞれＺｒ、Ｔｉ、Ｔａ及びＳｉＺｒＯｘ、ＳｉＴｉＯｘ、ＳｉＴａＯｘに限定されない。

続いて、上記第３の実施形態について図１１を用いて説明する。第３の実施形態に関しては、例えば図１１（ａ）に示されるように、液体吐出部材２２の液体吐出領域５ａを研磨し、液体吐出領域５ａの表面平坦性が非液体吐出領域５ｂの表面平坦性よりも高くなるように形成する。研磨方法は、例えば、テープ研磨、電解研磨が挙げられ、研磨は非液体吐出領域５ｂをマスキングした状態で行うことが好ましい。

その後、図１１（ｂ）及び図１１（ｃ）に示されるように、上記第１の実施形態と同様の方法で金属酸化膜６及び撥液膜１０を形成する。金属酸化膜６ａと金属酸化膜６ｂにおける金属Ａの比率の差、及び、液体吐出領域５ａと非液体吐出領域５ｂの表面平坦性の差により、同じ撥液膜材料下で撥液膜１０ａと撥液膜１０ｂに撥液性の差が生じるため、図１１（ｃ）に示されるように、第３の実施形態である液体吐出部材が得られる。

続いて、上記第４の実施形態について図１２を用いて説明する。第４の実施形態に関しては、図１２（ａ）に示されるように、金属酸化膜６の形成まで上記第１の実施形態と同様の方法で行う。次に、液体吐出部材２２の液体吐出領域５ａをマスキングし、液体吐出部材２２を撥液膜１３の材料に浸漬することで、図１２（ｂ）に示すように、非液体吐出領域５ｂに撥液膜１３を形成する。

その後、液体吐出領域５ａのマスキングをとり、非液体吐出領域５ｂをマスキングした状態で、液体吐出部材２２を撥液膜１２の材料に浸漬し、液体吐出領域５ａに撥液膜１２を形成する。最後に、非液体吐出領域５ｂのマスキングをとることで、図１２（ｃ）に示されるように、第４の実施形態である液体吐出部材が得られる。上述したように、本実施形態のように撥液膜の材料が異なる場合、撥液膜材料による撥液性の差と、撥液膜密度による撥液性の差により、撥液膜の材料が同種類の場合に比べて撥液性の差が大きくなるため、吐出安定性、耐久性がさらに向上する。

ここで、本実施形態において、撥液膜１２はパーフルオロポリエーテル系撥液膜、撥液膜１３はシリコーン系撥液膜からなる。ただし、撥液膜１２及び撥液膜１３は、これに限定されない。

本発明によれば、液体吐出部材の吐出面における残液の払拭、除去を容易に行うことができ、吐出安定性及び耐久性を向上させることができる液体吐出ヘッドの製造方法が提供される。本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、上記本発明の液体吐出ヘッドを製造する方法であり、前記液体吐出部材の前記液体が吐出する吐出面における前記液体吐出部近傍の領域を液体吐出領域とし、前記吐出面における前記液体吐出領域を除いた領域を非液体吐出領域とし、前記吐出面にＳｉと金属Ａを含む金属酸化膜を形成する際に、前記非液体吐出領域に形成される金属酸化膜の金属Ａの比率を、前記液体吐出領域に形成される金属酸化膜の金属Ａの比率よりも高くなるように前記金属酸化膜を形成し、続いて、前記液体吐出領域に形成される撥液膜の撥液性が、前記非液体吐出領域に形成される撥液膜の撥液性よりも高くなるように、前記金属酸化膜に撥液膜を形成する。

なお、本発明で「液体吐出ヘッド」とは、ノズルから液体を吐出・噴射する機能部品である。吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
また、本発明における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

（液体吐出ユニット）
「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。一例を図１３に示す。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。一例を図１４に示す。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。一例を図１５に示す。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

（液体を吐出する装置）
次に、本発明に係る液体を吐出する装置について説明する。本発明において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体」は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１６及び図１７を参照して説明する。図１６は同装置の斜視説明図、図１７は同装置の機構部の側面説明図である。なお、以下、インクジェット記録装置を例に挙げて説明するが、液体を吐出する装置としてはこれに限られるものではない。

本実施形態のインクジェット記録装置は、記録装置本体８１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ９３と、このキャリッジ９３に搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部８２等を収納している。

記録装置本体８１の下方部には前方側から多数枚の用紙８３を積載可能な給紙カセット（あるいは給紙トレイでもよい）８４を抜き差し自在に装着することができる。また、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができ、給紙カセット８４あるいは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部８２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。

印字機構部８２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向に摺動自在に保持している。
このキャリッジ９３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなる液体吐出ヘッド１の複数のインク吐出口（液体吐出部材２２）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ９３には液体吐出ヘッド１に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ９５を交換可能に装着している。

インクカートリッジ９５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有している。この多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色の液体吐出ヘッド１を用いているが、各色のインク滴を吐出する液体吐出部材２２を有する１個のヘッドでもよい。

ここで、キャリッジ９３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド９１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド９２に摺動自在に載置している。
そして、このキャリッジ９３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ９７で回転駆動される駆動プーリ９８と従動プーリ９９との間にタイミングベルト１００を張装し、このタイミングベルト１００をキャリッジ９３に固定しており、主走査モータ９７の正逆回転によりキャリッジ９３が往復駆動される。

一方、給紙カセット８４にセットした用紙８３を液体吐出ヘッド１の下方側に搬送するために、給紙カセット８４から用紙８３を分離給装する給紙ローラ１０１及びフリクションパッド１０２と、用紙８３を案内するガイド部材１０３と、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ１０４と、この搬送ローラ１０４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５及び搬送ローラ１０４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ１０６とを設けている。搬送ローラ１０４は副走査モータ１０７によってギヤ列を介して回転駆動される。

キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１０４から送り出された用紙８３を液体吐出ヘッド１の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１０９を設けている。

この印写受け部材１０９の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１１、拍車１１２を設け、さらに用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ１１３及び拍車１１４と、排紙経路を形成するガイド部材１１５、１１６とを配設している。

記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１を駆動することにより、停止している用紙８３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙８３を排紙する。
また、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、液体吐出ヘッド１の吐出不良を回復するための回復装置１１７を配置している。この回復装置１１７は図示しないキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。

キャリッジ９３は、印字待機中には、回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段で液体吐出ヘッド１をキャッピングされ、液体吐出部材を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての液体吐出部材のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。

吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で液体吐出ヘッド１の液体吐出部材を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、液体吐出部材面に付着したインクやゴミ等はワイピング手段により除去されて吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。

１ 液体吐出ヘッド
２ 液体吐出部
３ 密着膜
４、１０ 撥液膜
４ａ、１０ａ、１２ 撥液膜（液体吐出領域）
４ｂ、１０ｂ、１３ 撥液膜（非液体吐出領域）
５ 吐出面
５ａ 液体吐出領域
５ｂ 非液体吐出領域
６ 金属酸化膜
６ａ 金属酸化膜（液体吐出領域）
６ｂ 金属酸化膜（非液体吐出領域）
７ 合金膜
７ａ 合金膜（液体吐出領域）
７ｂ 合金膜（非液体吐出領域）
９ 残液
１１ 共通液室
２２ 液体吐出部材
２４ ＳｉＯ_２膜
２５ 流路部材
３１ 流路ユニット
３２ アクチュエータユニット
３３ フレーム
３４ 流体抵抗
３５ チャンバープレート
３６ 振動部材
３７ 圧力発生素子
３８ 圧力室
４２ 凸部
４３、４４ ダイヤフラム部
４５ 液供給口
４８ 圧延製金属板
４９ 高分子フィルム
５０ ＦＰＣケーブル
５１ ベース部材
５２ ドライバＩＣ
５４ 圧電層
５５Ａ、５５Ｂ 内部電極
５６ 共通側外部電極
５７ 個別側外部電極
８１ 記録装置本体
８２ 印字機構部
８３ 用紙
８４ 給紙カセット
８５ 手差しトレイ
８６ 排紙トレイ
９１ 主ガイドロッド
９２ 従ガイドロッド
９３ キャリッジ
９５ インクカートリッジ
９７ 主走査モータ
９８ 駆動プーリ
９９ 従動プーリ
１００ タイミングベルト
１０１ 給紙ローラ
１０２ フリクションパッド
１０３ ガイド部材
１０４ 搬送ローラ
１０５ 搬送コロ
１０６ 先端コロ
１０７ 副走査モータ
１０９ 印写受け部材
１１１ 搬送コロ
１１２、１１４ 拍車
１１３ 排紙ローラ
１１５、１１６ ガイド部材
１１７ 回復装置
４０１ ガイド部材
４０３ キャリッジ
４０４ 液体吐出ヘッド
４０５ 主走査モータ
４０６ 駆動プーリ
４０７ 従動プーリ
４０８ タイミングベルト
４１２ 搬送ベルト
４１３ 搬送ローラ
４１４ テンションローラ
４４０ 液体吐出ユニット
４４１ ヘッドタンク
４４２ カバー
４４３ コネクタ
４４４ 流路部品
４５６ チューブ
４９１Ａ、４９１Ｂ 側板
４９１Ｃ 背板
４９３ 主走査移動機構

特開２００５−２７１２９９号公報 特開２００７−３３１１２７号公報 特開２００８−８０７９７号公報

Claims (11)

1. 液体が吐出される液体吐出部を有する液体吐出部材と、該液体吐出部と連通し、液体が充填される個別液室と、該個別液室に圧力を伝える振動部材と、該振動部材を変位させる圧力発生手段と、を有する液体吐出ヘッドであって、
   前記液体吐出部材の前記液体が吐出する吐出面における前記液体吐出部近傍の領域を液体吐出領域とし、前記吐出面における前記液体吐出領域を除いた領域を非液体吐出領域とし、
   前記吐出面には、Ｓｉと金属Ａを含む金属酸化膜、及び、撥液膜が形成され、前記非液体吐出領域に形成された金属酸化膜の金属Ａの比率は、前記液体吐出領域に形成された金属酸化膜の金属Ａの比率よりも高いことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記非液体吐出領域に形成された金属酸化膜における金属Ａの比率は、前記液体吐出領域に形成された金属酸化膜における金属Ａの比率よりも２０％以上高いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記液体吐出領域は、前記液体吐出部の端部から１５０〜２５０μｍの領域であることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記金属酸化膜は、Ｓｉと、酸素を介してＳｉと結合して不動態膜を形成する遷移金属との合金膜であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記金属Ａは、Ｚｒ、Ｔｉ及びＴａから選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記液体吐出領域の表面平坦性が、前記非液体吐出領域の表面平坦性よりも高いことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記液体吐出領域に形成された撥液膜と、前記非液体吐出領域に形成された撥液膜は材料が異なり、
   前記液体吐出領域に形成された撥液膜の撥液性は、前記非液体吐出領域に形成された撥液膜の撥液性よりも高いことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記液体吐出領域に形成された撥液膜はパーフルオロポリエーテルからなり、前記非液体吐出領域に形成された撥液膜はシリコーンからなることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 請求項１〜８のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体吐出ユニット。
10. 請求項１〜８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド又は請求項９に記載の液体吐出ユニットを備えることを特徴とする液体を吐出する装置。
11. 液体が吐出される液体吐出部を有する液体吐出部材と、該液体吐出部と連通し、液体が充填される個別液室と、該個別液室に圧力を伝える振動部材と、該振動部材を変位させる圧力発生素子と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
    前記液体吐出部材の前記液体が吐出する吐出面における前記液体吐出部近傍の領域を液体吐出領域とし、前記吐出面における前記液体吐出領域を除いた領域を非液体吐出領域とし、
    前記吐出面にＳｉと金属Ａを含む金属酸化膜を形成する際に、前記非液体吐出領域に形成される金属酸化膜の金属Ａの比率を、前記液体吐出領域に形成される金属酸化膜の金属Ａの比率よりも高くなるように前記金属酸化膜を形成し、
    続いて、前記液体吐出領域に形成される撥液膜の撥液性が、前記非液体吐出領域に形成される撥液膜の撥液性よりも高くなるように、前記金属酸化膜に撥液膜を形成することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。