JP2017076690A - 放熱シート、放熱シートの製造方法、及び電子装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態では、カーボンナノチューブを用いた放熱シートの熱伝導性を以下のようにして改善する。
まず、カーボンナノチューブ22の外観の調査結果について、図6を参照しながら説明する。
次に、カーボンナノチューブ22の結晶性の調査結果について説明する。
第1実施形態では、図3(a)のようにカーボンナノチューブ22に樹脂シート30を載せた後、その樹脂シート30に対して電子線EBを照射した。
第1実施形態や第2実施形態では、放熱シート35、60を単層で使用した。放熱シート35、60の使用方法はこれに限定されない。
第1〜第3実施形態では、ヒートスプレッダ26と電子部品37との間に放熱シート35、36を配した。放熱シート35、60を配する部位はこれに限定されない。
本実施形態では、第1実施形態や第2実施形態に従って改質されたカーボンナノチューブを、以下のように半導体素子と回路基板とを接続するための端子として利用する。
第5実施形態では、図17(a)のように端子74の上に樹脂シート30を載せた後、その樹脂シート30に対して電子線EBを照射した。
前記カーボンナノチューブの先端に電子線又はレーザを照射することにより、前記先端を改質する工程と、
を有することを特徴とする放熱シートの製造方法。
前記先端を改質する工程において、前記樹脂に前記電子線又は前記レーザを照射することを特徴とする付記1に記載の放熱シートの製造方法。
前記放熱シートを介して互いに接続された第1の部品及び第2の部品と、
を有することを特徴とする電子装置。
前記第2の部品は電子部品であることを特徴とする付記5に記載の電子装置。
前記第2の部品はフィンであることを特徴とする付記5に記載の電子装置。
前記回路基板の法線方向に沿って延び、かつ先端がグラファイト化された複数のカーボンナノチューブを有すると共に、前記回路基板に電気的に接続された端子と、
前記端子と電気的に接続された半導体素子と、
を有することを特徴とする電子装置。
前記半導体素子に形成された電極とを有し、
前記電極と前記金属層とが溶着したことを特徴とする付記9に記載の電子装置。
Claims (5)
- 基板の上に複数のカーボンナノチューブを成長させる工程と、
前記カーボンナノチューブの先端に電子線又はレーザを照射することにより、前記先端を改質する工程と、
を有することを特徴とする放熱シートの製造方法。 - 前記カーボンナノチューブの前記先端に樹脂を載せる工程を更に有し、
前記先端を改質する工程において、前記樹脂に前記電子線又は前記レーザを照射することを特徴とする請求項1に記載の放熱シートの製造方法。 - 前記先端を改質する工程は、酸素が排除された雰囲気内で行われることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の放熱シートの製造方法。
- 先端がグラファイト化された複数のカーボンナノチューブを有することを特徴とする放熱シート。
- 先端がグラファイト化された複数のカーボンナノチューブを有する放熱シートと、
前記放熱シートを介して互いに接続された第1の部品及び第2の部品と、
を有することを特徴とする電子装置。
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