JP2017073229A - 磁気リードスイッチ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板102と、前記基板102の表面に固定され、基部110−1、梁部110−2、および可動部110−3を有する第1構造体110と、前記基板102の表面に固定されて前記可動部110−3に対向するよう配置された第2構造体120とから構成され、前記第1構造体110の少なくとも前記可動部110−3および前記第2構造体120には、それぞれ、第1磁性層116および第2磁性層126が前記基板102の表面と平行に形成され、前記第1磁性層116と前記第2磁性層126が対向して配置されて動作時十分な接触面を構成可能な厚さで形成した。
【選択図】図1
Description
Claims (21)
- 第1表面を有する基板と、
前記基板の前記第1表面に固定された基部、一端が前記基部に接続された梁部、および、前記梁部の他端に接続され、前記基板に対し可動な可動部、を有する第1構造体と、
前記基板の前記第1表面に固定され、前記第1構造体の前記可動部に対向するよう配置された第2構造体と、
前記第1構造体の少なくとも前記可動部に形成された第1下地層および第1磁性層と、
前記第2構造体に形成された第2下地層および第2磁性層と、を有し、
前記第1構造体が、前記第1表面と平行な第1面、および、少なくとも前記可動部において前記第2構造体と対向する第2面、を有し、
前記第2構造体が、前記第1表面と平行な第3面、および、前記第1構造体の少なくとも前記可動部と対向する第4面、を有し、
前記第1下地層が、前記第1面の外周領域を除く内側領域に形成され、
前記第1磁性層が、前記第1面および前記第2面に形成されている
磁気リードスイッチ。 - 前記第2下地層が、前記第3面の外周領域を除く内側領域に形成され、
前記第2磁性層が、前記第3面および前記第4面に形成されている
請求項1に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第1構造体と前記第1下地層との間に形成された第1絶縁層をさらに有し、
前記第1絶縁層が、前記第1面と重複して、または前記第1面の外周を超えて形成されている
請求項1または請求項2に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第2構造体と前記第2下地層との間に形成された第2絶縁層をさらに有し、
前記第2絶縁層が、前記第3面と重複して、または前記第3面の外周を超えて形成されている
請求項1から請求項3の何れか一項に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第1磁性層と前記第2磁性層とが接した状態で、前記第2面と前記第4面とが平行な位置関係になる
請求項1から請求項4の何れか一項に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第2面に形成された前記第1磁性層に第1突起部を有する
請求項5に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第1構造体の前記第2面に突起が形成され、当該突起により前記第1磁性層の前記第1突起部が形成される第1の構成、または、
前記第1面の前記内側領域に形成された前記第1下地層に、前記第2面方向の突パターンが形成され、前記突パターンにより前記第1磁性層の前記第1突起部が形成される第2の構成、の何れかの構成を有する
請求項6に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第4面に形成された前記第2磁性層に第2突起部を有する
請求項5から請求項7の何れか一項に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第2構造体の前記第4面に突起が形成され、当該突起により前記第2磁性層の前記第2突起部が形成される第3の構成、または、
前記第3面の前記内側領域に形成された前記第2下地層に、前記第4面方向の突パターンが形成され、前記突パターンにより前記第2磁性層の前記第2突起部が形成される第4の構成、の何れかの構成を有する
請求項8に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記基板の前記第1表面に固定され、前記第2構造体に対し直線状に配置され、且つ、前記第1構造体の前記可動部に対向するよう配置された第3構造体と、
前記第3構造体に形成された第3下地層および第3磁性層と、をさらに有し、
前記第3構造体が、前記第1表面と平行な第5面、および、前記第1構造体の少なくとも前記可動部と対向する第6面、を有し、
前記第3下地層が、前記第5面の外周領域を除く内側領域に形成され、
前記第3磁性層が、前記第5面および前記第6面に形成されている
請求項1から請求項9の何れか一項に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第3構造体と前記第3下地層との間に形成された第3絶縁層をさらに有し、
前記第3絶縁層が、前記第5面と重複して、または前記第5面の外周を超えて形成されている
請求項10に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第1磁性層、前記第2磁性層および前記第3磁性層が接した状態で、前記第2面、前記第4面および前記第6面が平行な位置関係になる
請求項10または請求項11に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第6面に形成された前記第3磁性層に第3突起部を有する
請求項12に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第3構造体の前記第6面に突起が形成され、当該突起により前記第3磁性層の前記第3突起部が形成される第5の構成、または、
前記第5面の前記内側領域に形成された前記第3下地層に、前記第6面方向の突パターンが形成され、前記突パターンにより前記第3磁性層の前記第3突起部が形成される第6の構成、の何れかの構成を有する
請求項13に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第1構造体と前記第3構造体とが一体に形成されている
請求項10から請求項14の何れか一項に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第1下地層および前記第1磁性層が、前記第1構造体の全体に形成されている
請求項1から請求項15の何れか一項に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記基板を平面視した場合に前記梁部および前記可動部が位置する前記基板の領域に、溝を有する
請求項1から請求項16の何れか一項に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記溝の側壁および底面に絶縁層を有する
請求項17に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記基板の前記第1表面に固定され、前記第1構造体、前記第2構造体その他の構造体を囲む第4構造体をさらに有し、
前記第4構造体が、前記第1構造体の少なくとも前記可動部と対向する第7面、を有し、
前記第4構造体の前記第7面に突起が形成されている
請求項1から請求項18の何れか一項に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第1構造体が、少なくとも前記可動部において前記第4構造体と対向する第8面を有し、
前記第1磁性層が、前記第8面にも形成され、
前記第8面に形成された前記第1磁性層に第4突起部を有する
請求項19に記載の磁気リードスイッチ。 - 前記第1構造体の前記第8面に突起が形成され、当該突起により前記第1磁性層の前記第4突起部が形成される第7の構成、または、
前記第1面の前記内側領域に形成された前記第1下地層に、前記第8面方向の突パターンが形成され、前記突パターンにより前記第1磁性層の前記第4突起部が形成される第8の構成、の何れかの構成を有する
請求項20に記載の磁気リードスイッチ。
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JP2001076599A (ja) * | 1999-09-02 | 2001-03-23 | Tokai Rika Co Ltd | マイクロリードスイッチ、マイクロリードスイッチ体及びマイクロリードスイッチ部材の製造方法 |
JP2006526267A (ja) * | 2003-04-29 | 2006-11-16 | メドトロニック・インコーポレーテッド | マルチステブルマイクロ電子機械スイッチスイッチ及びその製造方法 |
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