JP2017062201A - 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 - Google Patents
膜厚測定装置及び膜厚測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017062201A JP2017062201A JP2015188381A JP2015188381A JP2017062201A JP 2017062201 A JP2017062201 A JP 2017062201A JP 2015188381 A JP2015188381 A JP 2015188381A JP 2015188381 A JP2015188381 A JP 2015188381A JP 2017062201 A JP2017062201 A JP 2017062201A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film thickness
- sample
- wave
- active material
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
Description
負極:xLi++xe−6C ⇔ LixC6
<膜厚測定装置の構成>
図1は、第1実施形態に係る膜厚測定装置1を示す概略構成図である。図1に示すように、膜厚測定装置1は、テラヘルツ波照射部10、試料ステージ20、透過波検出部30、反射波検出部30A、遅延部40,40A、および、制御部50を備えている。透過波検出部30および遅延部40は、活物質材料を含む膜(以下、「活物質膜」という。)の屈折率を取得するために設けられた屈折率取得システムを構成している。また、反射波検出部30Aおよび遅延部40Aは、活物質膜の膜厚を測定するために設けられた膜厚測定システムを構成している。
テラヘルツ波照射部10は、試料ステージ20に支持された試料9に対して、テラヘルツ波LT1を照射するように構成されている。
透過波検出部30は、試料9を透過したテラヘルツ波LT1である透過波LT2の電界強度を検出する。透過波検出部30は、後述するように、活物質材料で構成される活物質膜の屈折率を取得するために行われるものである。屈折率を取得する場合、試料9として、テラヘルツ波の透過性が高い材料(例えば、PET)で構成された透過基材と、当該透過基材の表面に活物質膜が形成されたものとされる。透過基材に薄膜を形成する場合、例えば、活物質材料のスラリーを板状の透過基材の一主面(最も広い面)に均一に塗布し、これを乾燥させたものが好適である。
遅延部40は、ポンプ光LP1がテラヘルツ波発振器である光伝導スイッチ14に入射する時間に対して、プローブ光LP2が透過波検出器である光伝導スイッチ34に入射する時間を相対的に遅延させる。
反射波検出部30Aは、試料9で反射したテラヘルツ波LT1である反射波LT3の電界強度を検出するように構成されている。反射波LT3の検出は、後述するように、アルミニウム箔などの集電体に形成された活物質膜の膜厚を計測するために行われるものである。このため、反射波LT3を計測するための試料9は、膜厚測定を行う活物質膜が形成された集電体とされる。
遅延部40Aは、平面鏡41A,42A、遅延ステージ43Aおよび遅延ステージ移動機構44Aを備えており、遅延部40と略同様の構成を備えている。遅延ステージ43Aは、遅延ステージ移動機構44Aによって、プローブ光LP3が入射する方向と平行に移動する。遅延ステージ43をプローブ光LP3と平行に直線移動させることによって、フェムト秒パルスレーザ11から光伝導スイッチ34Aに至るまでのプローブ光LP3の光路長を変更する。これによって、光伝導スイッチ34Aに入射するプローブ光LP3のタイミングを変更される。すなわち、遅延部40Aは、光伝導スイッチ34Aが反射波LT3の電界強度を検出するタイミング(位相)を変更する。
図6は、第1実施形態に係る制御部50の構成を示すブロック図である。制御部50は、図示を省略するが、CPU、ROM、RAMなどを備えた一般的なコンピュータとして構成されている。
図7は、第1実施形態に係る屈折率取得処理を示す流れ図である。集電体に形成された活物質膜の膜厚を算出する際には、活物質膜の屈折率が必要となるため、屈折率取得処理が実行される。なお、活物質膜の屈折率が既知である場合には、この屈折率取得処理は、省略することが可能である。また、屈折率を取得するための構成(透過波検出部30、遅延部40など)についても、膜厚測定装置1から省略してもよい。
図18は、第2実施形態に係る膜厚測定装置1Aが組み込まれた活物質膜形成システム100を示す概略側面図である。活物質膜形成システム100は、ロールtoロール方式で搬送されるシート状の集電体93の片面に、活物質膜91を形成するシステムである。この活物質膜形成システム100は、集電体93の搬送経路途中に、活物質膜の膜厚測定をする膜厚測定装置1Aを備えている。
10 テラヘルツ波照射部
20 試料ステージ
20A 支持台
30 透過波検出部
30A 反射波検出部
34 光伝導スイッチ(透過波検出器)
34A 光伝導スイッチ(反射波検出器)
40,40A 遅延部
50 制御部
501 試料ステージ制御モジュール
505 透過波強度取得モジュール
505A 反射波強度取得モジュール
507 屈折率取得モジュール
509 時間差取得モジュール
511 膜厚算出モジュール
513 画像生成モジュール
60 記憶部
9 試料
91 活物質膜
93 集電体
100 活物質膜形成システム
C1 屈折率情報
Im1 膜厚分布画像
LP1 ポンプ光
LT1 テラヘルツ波
LT2 透過波
LT3 反射波
LT31 表面反射波
LT32 界面反射波
T1,T2 ピーク時間
Δt ピーク時間差
d 膜厚
nS 活物質膜の屈折率
Claims (9)
- 集電体に形成された活物質膜の膜厚を測定する膜厚測定装置であって、
0.01THzから10THzに含まれる周波数帯のテラヘルツ波を試料に照射するテラヘルツ波照射部と、
前記試料で反射した前記テラヘルツ波の反射波を検出する検出器を備えた反射波検出部と、
前記反射波検出部によって検出された前記反射波のうち、前記試料における前記活物質膜の表面で反射した表面反射波と、前記試料における前記活物質膜と前記集電体との界面で反射した界面反射波との、前記検出器に到達する時間差を取得する時間差取得部と、
前記時間差および前記活物質膜の屈折率に基づいて、前記活物質膜の膜厚を算出する膜厚算出部と、
を備える、膜厚測定装置。 - 請求項1に記載の膜厚測定装置であって、
前記時間差取得部は、前記反射波の時間波形におけるピーク時間に基づいて、前記時間差を取得する、膜厚測定装置。 - 請求項2に記載の膜厚測定装置であって、
前記時間差取得部は、前記試料で得た前記反射波の時間波形から表面反射サンプルで得た前記反射波の時間波形を差し引くことによって、前記界面反射波のピーク時間を特定し、
前記表面反射サンプルは、テラヘルツ波が照射された際に、前記界面反射波を全吸収する厚みの前記活物質膜を、前記集電体の表面に形成したものである、膜厚測定装置。 - 請求項3に記載の膜厚測定装置であって、
前記時間差取得部は、前記試料で得た前記反射波の時間波形、及び、前記表面反射サンプルで得た前記反射波の時間波形について、各反射波のピーク時間を合わせてから、差し引きする、膜厚測定装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の膜厚測定装置であって、
前記試料において、前記テラヘルツ波が照射される位置を、前記試料の表面に平行な2軸方向に変位させる照射位置変位部と、
前記膜厚算出部が算出した、試料上の複数地点の膜厚分布を示す膜厚分布画像を生成する画像生成部と、
をさらに備える、膜厚測定装置。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の膜厚測定装置であって、
前記テラヘルツ波照射部は、前記0.01THzから1THzの周波数帯のテラヘルツ波を前記試料に照射する、膜厚測定装置。 - 請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の膜厚測定装置であって、
前記反射波のローパスフィルタ処理するフィルタ処理部、をさらに備える、膜厚測定装置。 - 請求項7に記載の膜厚測定装置であって、
前記ローパスフィルタ処理が1THz以下のテラヘルツ波を透過させる処理である、膜厚測定装置。 - 集電体に形成された活物質膜の膜厚を測定する膜厚測定方法であって、
(a)0.01THzから10THzに含まれる周波数帯のテラヘルツ波を試料に照射し、前記試料で反射した前記テラヘルツ波の反射波を検出器で検出する検出工程と、
(b)前記検出器で検出された前記反射波のうち、前記試料における前記活物質膜の表面で反射した表面反射波と、前記試料における前記活物質膜と前記集電体との界面で反射した界面反射波との、前記検出器に到達する時間差を取得する時間差取得工程と、
(c)前記時間差および前記活物質膜の屈折率に基づいて、前記活物質膜の膜厚を算出する膜厚算出工程と、
を含む、膜厚測定方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015188381A JP6589239B2 (ja) | 2015-09-25 | 2015-09-25 | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
CN201680054552.8A CN108027236B (zh) | 2015-09-25 | 2016-06-24 | 膜厚测量装置及膜厚测量方法 |
PCT/JP2016/068845 WO2017051579A1 (ja) | 2015-09-25 | 2016-06-24 | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
KR1020187007073A KR102052288B1 (ko) | 2015-09-25 | 2016-06-24 | 막두께 측정 장치 및 막두께 측정 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015188381A JP6589239B2 (ja) | 2015-09-25 | 2015-09-25 | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017062201A true JP2017062201A (ja) | 2017-03-30 |
JP6589239B2 JP6589239B2 (ja) | 2019-10-16 |
Family
ID=58385905
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015188381A Active JP6589239B2 (ja) | 2015-09-25 | 2015-09-25 | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6589239B2 (ja) |
KR (1) | KR102052288B1 (ja) |
CN (1) | CN108027236B (ja) |
WO (1) | WO2017051579A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108020165A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-05-11 | 中国特种设备检测研究院 | 利用太赫兹波对非金属材料的厚度进行测量的方法和*** |
CN108398096A (zh) * | 2018-04-11 | 2018-08-14 | 青岛万龙智控科技有限公司 | 钢丝帘布厚度的太赫兹波反射式在线测量方法 |
US10872792B2 (en) | 2017-09-12 | 2020-12-22 | Samsung Electronics., Ltd. | Measurement device and semiconductor manufacturing system including the same |
US11846584B2 (en) | 2019-12-10 | 2023-12-19 | Hyundai Motor Company | Apparatus for detecting slurry spread volume using terahertz wave, spread system and detecting method using the same |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6575824B2 (ja) * | 2017-03-22 | 2019-09-18 | トヨタ自動車株式会社 | 膜厚測定方法および膜厚測定装置 |
KR102075356B1 (ko) * | 2018-08-27 | 2020-02-10 | 한양대학교 산학협력단 | 시편 두께 측정 장치 및 시편 두께 측정 방법 |
KR102180113B1 (ko) * | 2019-04-30 | 2020-11-18 | 한양대학교 산학협력단 | 두께 측정 장치 |
CN110243296A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-09-17 | 上海理工大学 | 珍珠珠层厚度的无损测量装置及方法 |
GB2587014B (en) * | 2019-09-13 | 2022-02-23 | Cambridge Battery Res Limited | Sensing apparatus and method of operation thereof |
WO2021069997A1 (en) * | 2019-10-10 | 2021-04-15 | 3M Innovative Properties Company | Methods and systems for blown film thickness measurement |
CN110542387A (zh) * | 2019-10-15 | 2019-12-06 | 云南电网有限责任公司电力科学研究院 | 基于太赫兹传播特性的绝缘材料厚度检测方法及*** |
CN111076668B (zh) * | 2019-12-24 | 2021-03-23 | 天津大学 | 用于纳米厚度SiO2厚度的差分反射光谱测量方法 |
CN111964596B (zh) * | 2020-08-19 | 2021-10-19 | 长春理工大学 | 一种基于太赫兹脉冲的卡规式厚度测量装置及方法 |
CN113776468A (zh) * | 2021-09-16 | 2021-12-10 | 深圳市电科智能科技有限公司 | 太赫兹膜厚测试仪 |
WO2023146262A1 (ko) * | 2022-01-27 | 2023-08-03 | 주식회사 액트로 | 두께 측정 장치 및 방법 |
GB2617330A (en) | 2022-03-31 | 2023-10-11 | Teraview Ltd | Method, system and sensor for analysing a sample, and process for manufacturing an electrode |
CN114636393B (zh) * | 2022-05-23 | 2022-08-16 | 季华实验室 | 芯片介电层厚度检测方法、装置、电子设备及存储介质 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012237657A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Advantest Corp | 電磁波測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体 |
JP2014081285A (ja) * | 2012-10-17 | 2014-05-08 | Aisin Seiki Co Ltd | 多層セラミックの膜厚測定方法 |
EP2899498A1 (en) * | 2014-01-28 | 2015-07-29 | ABB Technology AG | Sensor system and method for characterizing a coated body |
JP2015155843A (ja) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | パイオニア株式会社 | テラヘルツ波計測装置及びテラヘルツ波計測方法、並びにコンピュータプログラム及び記録媒体 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3953911B2 (ja) | 2002-08-08 | 2007-08-08 | 松下電器産業株式会社 | 塗膜シートの製造方法 |
GB2402471B (en) | 2003-06-02 | 2006-01-18 | Teraview Ltd | An analysis method and apparatus |
JP2006038744A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 厚み計測器及び研削装置 |
JP4481967B2 (ja) * | 2005-09-05 | 2010-06-16 | キヤノン株式会社 | センサ装置 |
JP4921090B2 (ja) * | 2006-09-25 | 2012-04-18 | 株式会社モリテックス | 光学異方性パラメータ測定方法及び測定装置 |
JPWO2011024789A1 (ja) | 2009-08-24 | 2013-01-31 | Jsr株式会社 | 電極形成用組成物、電極形成用スラリー、電極および電気化学デバイス |
JP5477275B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2014-04-23 | アイシン精機株式会社 | 塗装膜の検査装置および検査方法 |
US9140542B2 (en) * | 2012-02-08 | 2015-09-22 | Honeywell Asca Inc. | Caliper coating measurement on continuous non-uniform web using THz sensor |
EP2892103B1 (en) | 2012-08-29 | 2018-02-14 | Showa Denko K.K. | Electricity storage device and method for producing same |
WO2014063044A2 (en) * | 2012-10-19 | 2014-04-24 | Picometrix, Llc | System for calculation of material properties using reflection terahertz radiation and an external reference structure |
JP2014096386A (ja) | 2014-01-24 | 2014-05-22 | Toyota Motor Corp | リチウムイオン二次電池 |
KR101788450B1 (ko) * | 2016-03-17 | 2017-10-19 | 연세대학교 산학협력단 | 테라헤르츠파를 이용한 투명 박막의 두께를 측정하는 장치 및 그 측정 방법 |
-
2015
- 2015-09-25 JP JP2015188381A patent/JP6589239B2/ja active Active
-
2016
- 2016-06-24 CN CN201680054552.8A patent/CN108027236B/zh active Active
- 2016-06-24 WO PCT/JP2016/068845 patent/WO2017051579A1/ja active Application Filing
- 2016-06-24 KR KR1020187007073A patent/KR102052288B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012237657A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Advantest Corp | 電磁波測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体 |
JP2014081285A (ja) * | 2012-10-17 | 2014-05-08 | Aisin Seiki Co Ltd | 多層セラミックの膜厚測定方法 |
EP2899498A1 (en) * | 2014-01-28 | 2015-07-29 | ABB Technology AG | Sensor system and method for characterizing a coated body |
JP2015155843A (ja) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | パイオニア株式会社 | テラヘルツ波計測装置及びテラヘルツ波計測方法、並びにコンピュータプログラム及び記録媒体 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
永妻忠夫: "テラヘルツ波を用いたイメージング技術の最近の進展", 映像情報メディア学会誌, vol. 67, no. 3, JPN6016032539, 1 March 2013 (2013-03-01), JP, pages 211 - 215, ISSN: 0003984317 * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10872792B2 (en) | 2017-09-12 | 2020-12-22 | Samsung Electronics., Ltd. | Measurement device and semiconductor manufacturing system including the same |
CN108020165A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-05-11 | 中国特种设备检测研究院 | 利用太赫兹波对非金属材料的厚度进行测量的方法和*** |
CN108020165B (zh) * | 2017-11-30 | 2020-03-24 | 中国特种设备检测研究院 | 利用太赫兹波对非金属材料的厚度进行测量的方法和*** |
CN108398096A (zh) * | 2018-04-11 | 2018-08-14 | 青岛万龙智控科技有限公司 | 钢丝帘布厚度的太赫兹波反射式在线测量方法 |
US11846584B2 (en) | 2019-12-10 | 2023-12-19 | Hyundai Motor Company | Apparatus for detecting slurry spread volume using terahertz wave, spread system and detecting method using the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102052288B1 (ko) | 2019-12-04 |
CN108027236A (zh) | 2018-05-11 |
JP6589239B2 (ja) | 2019-10-16 |
CN108027236B (zh) | 2019-12-17 |
WO2017051579A1 (ja) | 2017-03-30 |
KR20180040636A (ko) | 2018-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6589239B2 (ja) | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 | |
JP6502698B2 (ja) | 測定装置および測定方法 | |
JP5477275B2 (ja) | 塗装膜の検査装置および検査方法 | |
JP5615941B2 (ja) | 異物検出装置及び異物検出方法 | |
US9071776B2 (en) | Reflective imaging device and image acquisition method | |
JP2014081285A (ja) | 多層セラミックの膜厚測定方法 | |
CN105890878B (zh) | 利用飞秒激光实时测量反射镜损伤阈值的测量装置及方法 | |
JP6245600B2 (ja) | 偏光感受性テラヘルツ波検出器 | |
US20150076354A1 (en) | Information acquiring apparatus and information acquiring method for acquiring information on specimen by using terahertz wave | |
WO2013133294A1 (en) | Measurement apparatus and method, tomography apparatus and method | |
CN101813619A (zh) | 利用偏振可控的太赫兹波测量双折射晶体光轴方向的方法 | |
JP2018159606A (ja) | 膜厚測定方法および膜厚測定装置 | |
CN113777049A (zh) | 一种角分辨快照椭偏仪及其测量***与方法 | |
US20130077084A1 (en) | Object characteristic measuring system | |
JP2014194344A (ja) | テラヘルツ波を用いた測定方法 | |
KR20130099600A (ko) | 그래핀 시트 품질 검사 장치 및 방법 | |
JP2013007740A (ja) | 波面測定装置及び波面測定方法、物体測定装置 | |
CN108088815A (zh) | 基于石墨烯表面波的高灵敏多光束折射率探测装置和方法 | |
JP2017211293A (ja) | 画像取得装置及び膜厚測定方法 | |
CN105466887B (zh) | 薄壁封闭玻璃腔室光学参数的检测***及方法 | |
CN104730001A (zh) | 一种高时间分辨率高精度的椭偏测量装置及其方法 | |
JP2006275867A (ja) | テラヘルツ光検査装置 | |
JP2012208098A (ja) | 物性測定装置及び物性測定方法 | |
CN106546324A (zh) | 测量任意偏振态小光束内部三维光强分布的方法 | |
KR20150030523A (ko) | 반도체 검사 장치 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151005 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180713 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20180713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190423 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190820 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190830 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6589239 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |