JP2017058539A - 顕微鏡対物レンズ及び顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】顕微鏡対物レンズOLは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3と、を有し、第1レンズ群G1は、最も物体側に、物体側のレンズ面の曲率半径が像面側のレンズ面よりも大きい第1レンズL11と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズL12とを接合した接合レンズCL11を有し、第3レンズ群G3は、物体側から順に、像面側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第1接合レンズCL31と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第2接合レンズCL32と、を有し、所定の条件を満足する。
【選択図】図1
Description
0.60 ≦ |(n21−n0)/r1|/(1/f) ≦ 0.85
0.66 ≦ n21−n0 ≦ 0.85
但し、
n21:第2接合レンズの最も物体側にあるレンズの屈折率
n0:第2接合レンズの最も物体側にあるレンズの物体側に接する媒質の屈折率
r1:第2接合レンズの最も物体側にあるレンズの物体側のレンズ面の曲率半径
f:全系の焦点距離
0.66 ≦ n21−n0 ≦ 0.85 (2)
但し、
n21:第3レンズ群G3の第2接合レンズCL32の最も物体側にあるレンズの屈折率
n0:第3レンズ群G3の第2接合レンズCL32の最も物体側にあるレンズの物体側に接する媒質の屈折率
r1:第3レンズ群G3の第2接合レンズCL32の最も物体側にあるレンズの物体側のレンズ面の曲率半径
f:全系の焦点距離
但し、
f12:第1レンズ群G1及び第2レンズ群G2の合成焦点距離
f:全系の焦点距離
但し、
r2:第1レンズ群G1の最も物体側に設けられた接合レンズCL11の最も像面側のレンズ面の曲率半径
d2:物体面から第1レンズ群G1の最も物体側に設けられた接合レンズCL11の最も像面側のレンズ面までの光軸上の距離
但し、
D3:第3レンズ群G3の第1接合レンズCL31及び第2接合レンズCL32のレンズ厚の総和
f:全系の焦点距離
但し、
NA:開口数
TL:全長
f:全系の焦点距離
但し、
NA:開口数
d0:物体から第1レンズ群G1の最も物体側のレンズ面までの光軸上の距離
TL:全長
1.69 ≦ (n12+n21)/2 ≦ 1.80 (9)
但し、
Φ0=(n0−n12)/r0
Φ1=(n21−n0)/r1
n0:第1接合レンズCL31と第2接合レンズCL32との間の媒質の屈折率
n12:第1接合レンズCL31の像面側にあるレンズの媒質の屈折率
n21:第2接合レンズCL32の物体側にあるレンズの媒質の屈折率
r0:第1接合レンズCL31の像面側にあるレンズの像面側のレンズ面の曲率半径
r1:第2接合レンズCL32の物体側にあるレンズの物体側のレンズ面の曲率半径
d:第1接合レンズCL31と第2接合レンズCL32との間の空気間隔
f:全系の焦点距離
m r d νd nd
1 128.670 5.0 82.56 1.49782
2 -65.000 3.0 57.03 1.62280
3 -154.409 0.5
4 84.000 3.0 44.27 1.61340
5 48.000 3.0 57.03 1.62280
6 70.000
上述の説明で用いた図1は、第1実施例に係る顕微鏡対物レンズOL1を示している。この顕微鏡対物レンズOL1は、カバーガラスCの下(正立顕微鏡の場合)または上(倒立顕微鏡の場合)に観察対象(物体)を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの観察対象を観察する顕微鏡に用いられる液浸系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とを有して構成されている。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズL11と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL12とを接合した接合レンズCL11、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL13、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL14と両凸レンズL15とを接合した接合レンズで構成されている。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸レンズL21、両凸レンズL22と両凹レンズL23と両凸レンズL24とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL25と両凸レンズL26とを接合した接合レンズで構成されている。また、第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL32とが接合され、全体として負の屈折力を有し、像面側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第1接合レンズCL31、及び、両凹レンズL33と両凸レンズL34とが接合され、全体として物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第2接合レンズCL32で構成されている。
[全体諸元]
f=10
NA=0.95
β=20x
d0=1.06
TL=63.98
f12=9.82
[レンズデータ]
m r d νd nd
1 0.000 1.0 67.85 1.45850
2 -1.901 6.8 40.76 1.88300
3 -7.750 0.2
4 -71.995 3.0 65.44 1.60300
5 -17.100 0.2
6 87.799 1.2 49.26 1.74320
7 26.174 4.9 95.25 1.43385
8 -23.927 0.2
9 48.219 4.4 82.57 1.49782
10 -37.807 0.3
11 49.228 3.2 82.57 1.49782
12 -43.153 1.2 53.21 1.69350
13 21.400 6.2 95.02 1.43425
14 -24.558 0.2
15 40.229 1.2 42.72 1.83481
16 12.549 6.5 95.02 1.43425
17 -39.060 1.8
18 10.751 4.9 82.57 1.49782
19 45.256 1.2 46.62 1.81600
20 9.791 6.9
21 -10.409 2.3 54.61 1.72916
22 92.148 5.0 39.59 1.80440
23 -14.530
[レンズ群焦点距離]
レンズ群 始面 焦点距離
第1レンズ群 1 16.958
第2レンズ群 9 31.613
第3レンズ群 18 -98.009
[条件式対応値]
(1)|(n21−n0)/r1|/(1/f)=0.701
(2)n21−n0=0.729
(3)f12/f=0.98
(4)|r2/d2|=0.875
(5)D3/f=1.340
(6)NA×f/TL=0.148
(7)NA×d0/TL=0.0157
(8)|(Φ1+Φ2−d×Φ1×Φ2)/(1/f)|=1.937
(9)(n12+n21)/2=1.773
図3は、第2実施例に係る顕微鏡対物レンズOL2を示している。この顕微鏡対物レンズOL2は、カバーガラスCの下(正立顕微鏡の場合)または上(倒立顕微鏡の場合)に観察対象(物体)を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの観察対象を観察する顕微鏡に用いられる液浸系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とを有して構成されている。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズL11と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL12とを接合した接合レンズCL11、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL13、及び、両凸レンズL14と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL15とを接合した接合レンズで構成されている。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸レンズL21、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL22と両凸レンズL23とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL24と両凸レンズL25とを接合した接合レンズで構成されている。また、第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL32とが接合され、全体として負の屈折力を有し、像面側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第1接合レンズCL31、及び、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL33と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL34とが接合され、全体として物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第2接合レンズCL32で構成されている。
[全体諸元]
f=10
NA=0.90
β=20x
d0=0.85
TL=63.67
f12=9.87
[レンズデータ]
m r d νd nd
1 0.000 0.9 67.85 1.45850
2 -1.801 7.3 46.62 1.81600
3 -8.054 0.2
4 -238.499 4.7 65.44 1.60300
5 -13.105 0.3
6 50.000 6.3 95.25 1.43385
7 -13.188 1.2 46.62 1.81600
8 -30.209 0.3
9 84.756 3.4 82.52 1.49782
10 -76.809 0.3
11 49.699 1.2 44.27 1.61340
12 18.516 6.5 95.25 1.43385
13 -24.272 0.3
14 73.134 1.1 46.62 1.81600
15 12.522 6.3 95.25 1.43385
16 -36.233 1.5
17 11.437 5.4 82.52 1.49782
18 74.720 1.7 55.52 1.69680
19 9.772 6.5
20 -9.601 2.2 53.21 1.69350
21 -150.000 5.2 39.61 1.80440
22 -14.108
[レンズ群焦点距離]
レンズ群 始面 焦点距離
第1レンズ群 1 12.960
第2レンズ群 9 41.299
第3レンズ群 17 -137.172
[条件式対応値]
(1)|(n21−n0)/r1|/(1/f)=0.722
(2)n21−n0=0.694
(3)f12/f=0.99
(4)|r2/d2|=0.890
(5)D3/f=1.450
(6)NA×f/TL=0.141
(7)NA×d0/TL=0.0120
(8)|(Φ1+Φ2−d×Φ1×Φ2)/(1/f)|=1.770
(9)(n12+n21)/2=1.695
図5は、第3実施例に係る顕微鏡対物レンズOL3を示している。この顕微鏡対物レンズOL3は、カバーガラスCの下(正立顕微鏡の場合)または上(倒立顕微鏡の場合)に観察対象(物体)を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの観察対象を観察する顕微鏡に用いられる液浸系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とを有して構成されている。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズL11と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL12とを接合した接合レンズCL11、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL13、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL14と両凸レンズL15とを接合した接合レンズで構成されている。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸レンズL21と両凹レンズL22と両凸レンズL23とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL24と両凸レンズL25とを接合した接合レンズで構成されている。また、第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL32とが接合され、全体として負の屈折力を有し、像面側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第1接合レンズCL31、及び、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL33と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL34とが接合され、全体として物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第2接合レンズCL32で構成されている。
[全体諸元]
f=10
NA=0.90
β=20x
d0=1.55
TL=63.47
f12=9.75
[レンズデータ]
m r d νd nd
1 0.000 1.0 67.85 1.45850
2 -2.380 7.8 40.76 1.88300
3 -8.999 0.2
4 -135.734 3.5 65.44 1.60300
5 -15.188 0.2
6 57.749 1.2 51.51 1.73400
7 22.750 5.5 95.02 1.43425
8 -22.318 0.3
9 22.930 6.5 82.57 1.49782
10 -19.900 1.2 53.21 1.69350
11 23.000 5.8 95.02 1.43425
12 -22.372 0.3
13 38.191 1.2 42.72 1.83481
14 11.489 5.8 95.02 1.43425
15 -56.791 1.8
16 10.573 4.9 82.52 1.49782
17 36.594 1.2 46.62 1.81600
18 9.578 6.8
19 -9.418 1.6 55.52 1.69680
20 -211.237 5.0 39.59 1.80440
21 -13.099
[レンズ群焦点距離]
レンズ群 始面 焦点距離
第1レンズ群 1 11.904
第2レンズ群 9 64.170
第3レンズ群 16 -128.912
[条件式対応値]
(1)|(n21−n0)/r1|/(1/f)=0.740
(2)n21−n0=0.697
(3)f12/f=0.98
(4)|r2/d2|=0.869
(5)D3/f=1.270
(6)NA×f/TL=0.142
(7)NA×d0/TL=0.0220
(8)|(Φ1+Φ2−d×Φ1×Φ2)/(1/f)|=2.020
(9)(n12+n21)/2=1.756
図7は、第4実施例に係る顕微鏡対物レンズOL4を示している。この顕微鏡対物レンズOL4は、カバーガラスCの下(正立顕微鏡の場合)または上(倒立顕微鏡の場合)に観察対象(物体)を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの観察対象を観察する顕微鏡に用いられる液浸系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とを有して構成されている。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズL11と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL12とを接合した接合レンズCL11、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL13、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL14と両凸レンズL15とを接合した接合レンズで構成されている。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸レンズL21と両凹レンズL22と両凸レンズL23とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL24と両凸レンズL25とを接合した接合レンズで構成されている。また、第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL32とが接合され、全体として負の屈折力を有し、像面側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第1接合レンズCL31、及び、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL33と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL34とが接合され、全体として物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第2接合レンズCL32で構成されている。
[全体諸元]
f=10
NA=0.95
β=20x
d0=1.55
TL=63.81
f12=9.93
[レンズデータ]
m r d νd nd
1 0.000 1.2 67.85 1.45850
2 -2.542 7.1 40.76 1.88300
3 -8.500 0.2
4 -76.420 2.9 65.44 1.60300
5 -15.218 0.2
6 104.191 1.2 51.51 1.73400
7 24.673 6.0 95.25 1.43385
8 -18.068 0.2
9 21.717 7.0 82.57 1.49782
10 -27.765 1.2 53.21 1.69350
11 29.153 5.4 95.02 1.43425
12 -26.824 0.2
13 41.785 1.2 42.72 1.83481
14 11.755 6.3 95.02 1.43425
15 -38.708 1.8
16 10.796 4.6 82.52 1.49782
17 58.125 1.6 46.62 1.81600
18 9.899 7.6
19 -9.305 1.2 57.35 1.67000
20 -79.115 5.0 39.59 1.80440
21 -12.956
[レンズ群焦点距離]
レンズ群 始面 焦点距離
第1レンズ群 1 12.516
第2レンズ群 9 49.712
第3レンズ群 16 -111.885
[条件式対応値]
(1)|(n21−n0)/r1|/(1/f)=0.720
(2)n21−n0=0.670
(3)f12/f=0.99
(4)|r2/d2|=0.863
(5)D3/f=1.240
(6)NA×f/TL=0.149
(7)NA×d0/TL=0.0231
(8)|(Φ1+Φ2−d×Φ1×Φ2)/(1/f)|=1.995
(9)(n12+n21)/2=1.743
図9は、第5実施例に係る顕微鏡対物レンズOL5を示している。この顕微鏡対物レンズOL5は、カバーガラスCの下(正立顕微鏡の場合)または上(倒立顕微鏡の場合)に観察対象(物体)を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの観察対象を観察する顕微鏡に用いられる液浸系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とを有して構成されている。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズL11と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL12とを接合した接合レンズCL11、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL13、両凹レンズL14と両凸レンズL15とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズL16で構成されている。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸レンズL21と両凹レンズL22と両凸レンズL23とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL24と両凸レンズL25とを接合した接合レンズで構成されている。また、第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL32とが接合され、全体として負の屈折力を有し、像面側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第1接合レンズCL31、及び、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL33と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL34とが接合され、全体として物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第2接合レンズCL32で構成されている。
[全体諸元]
f=10
NA=1.00
β=20x
d0=0.65
TL=63.83
f12=9.55
[レンズデータ]
m r d νd nd
1 0.000 1.0 67.85 1.45850
2 -1.901 6.8 40.76 1.88300
3 -7.371 0.2
4 -144.200 2.3 65.44 1.60300
5 -18.056 0.2
6 -462.353 1.2 49.26 1.74320
7 24.751 4.9 95.25 1.43385
8 -21.013 0.2
9 49.573 6.0 82.57 1.49782
10 -33.053 0.2
11 37.468 3.3 82.57 1.49782
12 -89.669 1.2 53.21 1.69350
13 24.530 6.2 95.25 1.43385
14 -24.594 0.2
15 51.232 1.2 42.72 1.83481
16 12.688 6.7 95.02 1.43425
17 -28.786 0.5
18 10.587 4.5 82.57 1.49782
19 37.397 1.2 46.62 1.81600
20 9.472 7.3
21 -9.604 2.7 54.61 1.72916
22 -387.144 5.3 39.59 1.80440
23 -14.091
[レンズ群焦点距離]
レンズ群 始面 焦点距離
第1レンズ群 1 10.526
第2レンズ群 11 56.212
第3レンズ群 18 -82.783
[条件式対応値]
(1)|(n21−n0)/r1|/(1/f)=0.759
(2)n21−n0=0.729
(3)f12/f=0.95
(4)|r2/d2|=0.872
(5)D3/f=1.370
(6)NA×f/TL=0.157
(7)NA×d0/TL=0.0102
(8)|(Φ1+Φ2−d×Φ1×Φ2)/(1/f)|=2.098
(9)(n12+n21)/2=1.773
図11は、第6実施例に係る顕微鏡対物レンズOL6を示している。この顕微鏡対物レンズOL6は、カバーガラスCの下(正立顕微鏡の場合)または上(倒立顕微鏡の場合)に観察対象(物体)を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの観察対象を観察する顕微鏡に用いられる液浸系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とを有して構成されている。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズL11と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL12とを接合した接合レンズCL11、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL13、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL14と両凸レンズL15とを接合した接合レンズで構成されている。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL21と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL22と両凸レンズL23とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL24と両凸レンズL25とを接合した接合レンズで構成されている。また、第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL32とが接合され、全体として負の屈折力を有し、像面側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第1接合レンズCL31、及び、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL33と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL34とが接合され、全体として物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第2接合レンズCL32で構成されている。
[全体諸元]
f=8
NA=1.10
β=25x
d0=0.75
TL=59.47
f12=8.68
[レンズデータ]
m r d νd nd
1 0.000 1.0 67.85 1.45850
2 -2.040 5.7 40.76 1.88300
3 -6.560 0.2
4 -35.789 3.2 71.31 1.56907
5 -11.483 0.2
6 71.352 2.0 44.27 1.61340
7 22.857 6.5 95.25 1.43385
8 -19.584 0.2
9 23.789 2.2 82.57 1.49782
10 43.143 1.2 44.27 1.61340
11 17.770 6.6 95.02 1.43425
12 -33.082 0.2
13 33.551 1.2 42.72 1.83481
14 11.479 7.2 95.02 1.43425
15 -25.452 0.2
16 8.789 4.5 82.52 1.49782
17 25.025 1.0 42.72 1.83481
18 7.191 7.8
19 -7.774 1.5 38.15 1.67300
20 -19.435 6.0 29.57 1.71736
21 -11.470
[レンズ群焦点距離]
レンズ群 始面 焦点距離
第1レンズ群 1 10.282
第2レンズ群 9 32.421
第3レンズ群 16 -50.610
[条件式対応値]
(1)|(n21−n0)/r1|/(1/f)=0.693
(2)n21−n0=0.673
(3)f12/f=1.09
(4)|r2/d2|=0.881
(5)D3/f=1.625
(6)NA×f/TL=0.148
(7)NA×d0/TL=0.0139
(8)|(Φ1+Φ2−d×Φ1×Φ2)/(1/f)|=2.248
(9)(n12+n21)/2=1.754
図13は、第7実施例に係る顕微鏡対物レンズOL7を示している。この顕微鏡対物レンズOL7は、カバーガラスCの下(正立顕微鏡の場合)または上(倒立顕微鏡の場合)に観察対象(物体)を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの観察対象を観察する顕微鏡に用いられる液浸系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とを有して構成されている。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズL11と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL12とを接合した接合レンズCL11、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL13、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL14と両凸レンズL15とを接合した接合レンズで構成されている。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸レンズL21と両凹レンズL22と両凸レンズL23とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL24と両凸レンズL25とを接合した接合レンズで構成されている。また、第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL32とが接合され、全体として負の屈折力を有し、像面側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第1接合レンズCL31、及び、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL33と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL34とが接合され、全体として物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第2接合レンズCL32で構成されている。
[全体諸元]
f=10
NA=0.90
β=20x
d0=1.55
TL=63.47
f12=9.80
[レンズデータ]
m r d νd nd
1 0.000 1.0 67.85 1.45850
2 -2.380 7.8 40.76 1.88300
3 -9.025 0.2
4 -112.132 3.5 65.44 1.60300
5 -15.052 0.2
6 57.749 1.2 51.51 1.73400
7 22.750 5.5 95.02 1.43425
8 -22.328 0.3
9 22.770 6.5 82.57 1.49782
10 -20.063 1.2 53.21 1.69350
11 23.000 5.8 95.25 1.43385
12 -21.929 0.3
13 38.375 1.2 42.72 1.83481
14 11.453 5.8 95.02 1.43425
15 -58.253 1.8
16 10.866 4.9 82.52 1.49782
17 24.185 1.2 46.62 1.81600
18 9.666 6.8
19 -9.415 1.6 49.62 1.77250
20 -50.262 5.0 37.16 1.83400
21 -12.800
[レンズ群焦点距離]
レンズ群 始面 焦点距離
第1レンズ群 1 12.064
第2レンズ群 9 63.419
第3レンズ群 16 -131.837
[条件式対応値]
(1)|(n21−n0)/r1|/(1/f)=0.820
(2)n21−n0=0.773
(3)f12/f=0.98
(4)|r2/d2|=0.872
(5)D3/f=1.270
(6)NA×f/TL=0.142
(7)NA×d0/TL=0.0220
(8)|(Φ1+Φ2−d×Φ1×Φ2)/(1/f)|=2.136
(9)(n12+n21)/2=1.794
図15は、第8実施例に係る顕微鏡対物レンズOL8を示している。この顕微鏡対物レンズOL8は、カバーガラスCの下(正立顕微鏡の場合)または上(倒立顕微鏡の場合)に観察対象(物体)を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの観察対象を観察する顕微鏡に用いられる液浸系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とを有して構成されている。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズL11と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL12とを接合した接合レンズCL11、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL13、及び、両凸レンズL14と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL15とを接合した接合レンズで構成されている。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸レンズL21と両凹レンズL22とを接合した接合レンズ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL23と両凸レンズL24とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL25と両凸レンズL26とを接合した接合レンズで構成されている。また、第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL32とが接合され、全体として負の屈折力を有し、像面側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第1接合レンズCL31、及び、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL33と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL34とが接合され、全体として物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第2接合レンズCL32で構成されている。
[全体諸元]
f=10
NA=0.95
β=20x
d0=1.09
TL=63.15
f12=9.62
[レンズデータ]
m r d νd nd
1 0.000 1.0 70.31 1.48749
2 -1.950 7.0 42.72 1.83481
3 -8.446 0.1
4 -32.369 3.5 65.44 1.60300
5 -11.170 0.2
6 41.174 5.5 95.25 1.43385
7 -14.400 1.4 46.62 1.81600
8 -20.994 1.3
9 22.088 3.5 95.02 1.43425
10 -334.697 1.2 53.97 1.61720
11 113.025 1.7
12 160.956 1.0 44.27 1.61340
13 15.700 5.9 95.02 1.43425
14 -36.164 0.7
15 34.108 1.0 46.62 1.81600
16 11.500 5.9 95.02 1.43425
17 -34.351 0.1
18 10.000 4.9 95.25 1.43385
19 639.880 1.0 53.21 1.69350
20 9.508 6.9
21 -9.400 4.3 55.52 1.69680
22 -99.025 3.8 39.61 1.80440
23 -14.100
[レンズ群焦点距離]
レンズ群 始面 焦点距離
第1レンズ群 1 11.301
第2レンズ群 9 48.824
第3レンズ群 18 -92.141
[条件式対応値]
(1)|(n21−n0)/r1|/(1/f)=0.741
(2)n21−n0=0.697
(3)f12/f=0.96
(4)|r2/d2|=0.929
(5)D3/f=1.400
(6)NA×f/TL=0.150
(7)NA×d0/TL=0.0164
(8)|(Φ1+Φ2−d×Φ1×Φ2)/(1/f)|=1.844
(9)(n12+n21)/2=1.695
G1 第1レンズ群 CL11 接合レンズ G2 第2レンズ群
G3 第3レンズ群 CL31 第1接合レンズ CL32 第2接合レンズ
Claims (7)
- 物体側から順に、
正の屈折力を有する第1レンズ群と、
正の屈折力を有する第2レンズ群と、
第3レンズ群と、を有し、
前記第1レンズ群は、最も物体側に、物体側のレンズ面の曲率半径が像面側のレンズ面よりも大きい第1レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとを接合した接合レンズを有し、
前記第3レンズ群は、物体側から順に、
像面側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第1接合レンズと、
物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状の第2接合レンズと、を有し、
次式の条件を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
0.60 ≦ |(n21−n0)/r1|/(1/f) ≦ 0.85
0.66 ≦ n21−n0 ≦ 0.85
但し、
n21:前記第2接合レンズの最も物体側にあるレンズの屈折率
n0:前記第2接合レンズの最も物体側にあるレンズの物体側に接する媒質の屈折率
r1:前記第2接合レンズの最も物体側にあるレンズの物体側のレンズ面の曲率半径
f:全系の焦点距離 - 次式の条件を満足することを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡対物レンズ。
0.9 ≦ f12/f < 1.1
但し、
f12:前記第1レンズ群及び前記第2レンズ群の合成焦点距離
f:全系の焦点距離 - 次式の条件を満足することを特徴とする請求項1または2に記載の顕微鏡対物レンズ。
0.80 ≦ |r2/d2| ≦ 0.95
但し、
r2:前記第1レンズ群の前記接合レンズの最も像面側のレンズ面の曲率半径
d2:物体面から前記第1レンズ群の前記接合レンズの最も像面側のレンズ面までの光軸上の距離 - 次式の条件を満足することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
1.20 ≦ D3/f ≦ 1.65
但し、
D3:前記第3レンズ群の前記第1接合レンズ及び前記第2接合レンズのレンズ厚の総和
f:全系の焦点距離 - 次式の条件を満足することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
0.14 ≦ NA×f/TL ≦ 0.16
但し、
NA:開口数
TL:全長
f:全系の焦点距離 - 次式の条件を満足することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
0.010 ≦ NA×d0/TL ≦ 0.024
但し、
NA:開口数
d0:物体から前記第1レンズ群の最も物体側のレンズ面までの光軸上の距離
TL:全長 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズと、
前記顕微鏡対物レンズの物体側に配置された観察対象を配置するステージと、
前記ステージを挟んで、前記顕微鏡対物レンズが設けられている側の反対側に配置された照明ユニットと、を有することを特徴とする顕微鏡装置。
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- 2015-09-17 JP JP2015183768A patent/JP6562259B2/ja active Active
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