JP2017043873A - ガラスクロス - Google Patents

Abstract

【課題】 厚さを１４μｍ以下と薄くしつつ、例えば、厚さ２０μｍ以下のように薄いプリプレグとしたときにピンホールの発生を抑制することができる、ガラスクロスの提供。【解決手段】 下記（ｉ）〜（ｉｖ）を満足する、ガラスクロス。（ｉ）開繊度が、経糸が７０〜９０％であり、緯糸が９５〜１２０％。（ｉｉ）隣接する前記経糸間の隙間間隔、または隣接する前記緯糸間の隙間間隔のいずれかが１００μｍ以下。（ｉｉｉ）ＪＩＳ Ｒ ３４２０：２０１３ ７．１０．１に従って測定される厚さが１４μｍ以下。（ｉｖ）ＪＩＳ Ｒ ３４２０：２１０３ ７．２に従って測定されるクロス質量が１１ｇ／ｍ２以下。【選択図】図１

Description

本発明は、ガラスクロスに関し、樹脂を含浸したプリプレグ及び該プリプレグを用いた基板、としたときにピンホールの発生が抑制可能な、ガラスクロス、該ガラスクロスを含むプリプレグ、基板、並びに、該基板を含む集積回路及び電子機器に関する。

近年、プリント配線板は、電子機器の小型化に伴い、薄型化が求められている。プリント配線板を製造するには、ガラスクロスに樹脂が含浸されたプリプレグが用いられるが、上記薄型化に伴って、プリプレグも薄型化が求められており、例えば、プリプレグの厚さを２０μｍ以下とすることが要求されている。そして、プリプレグに含まれるガラスクロスも同様に薄型化が求められており、例えば、プリプレグの厚さ２０μｍ以下を達成するために、ガラスクロスの厚さを１４μｍ以下とすることが要求されている。

薄型化したガラスクロスとして、ガラスクロスの厚さが１５〜２０μｍで、且つ、タテ糸またはヨコ糸のうち少なくともどちらか一方が、平均フィラメント径３〜４μｍ、構成フィラメント数７０〜２００本のガラス糸で構成され、隣り合う糸同士が実質的に隙間無く配列されているプリント配線板用ガラスクロスが知られている（例えば、特許文献１参照。）。該ガラスクロスによれば、ガラスクロスを構成するタテ糸またはヨコ糸のうち少なくともどちらか一方が平均フィラメント径３〜４μｍ、構成フィラメント数７０〜２００本のガラス糸、好ましくは平均フィラメント径３〜３．７μｍ、フィラメント数８０〜１２０本のガラス糸を用いて、ガラスクロスの織り密度、糸の拡幅条件を最適化することで、実質的に隙間無く配列され、且つ厚みが２５μｍ以下のガラスクロスを得ることが可能となり、極めて良好なレーザ加工性の優れたプリント配線板が得られるとされている。

薄型化したガラスクロスとして、タテ糸及びヨコ糸の両方の平均フィラメント径が２．５μｍ以上であり、その少なくとも片方の平均フィラメント径が４．５μｍ未満であり、且つタテ糸及びヨコ糸の両方のフィラメント数が５本以上７０本以下のガラスヤーンで構成されるガラスクロスであって、厚さが５μｍ以上１２μｍ以下で、且つ表面ガラス糸被覆率が５０％以上８５％以下であるガラスクロスが知られている（例えば、特許文献２参照）。該ガラスクロスによれば、厚さが１５μｍ未満で且つ目曲がり量が小さいため、該ガラスクロスを用いたプリプレグを硬化させることで寸法安定性、機械的特性に優れたフィルム状基板を提供することができるとされている。同文献には、実施例１として、タテ糸及びヨコ糸として平均フィラメント直径が４．１μｍ、フィラメント数５０本のガラス糸を使用し、経糸及び緯糸の織密度を８０本／２５ｍｍとして製織し、開繊加工を施してガラスクロスを得たこと、該ガラスクロスの厚さが１２μｍであったことが開示されている。

特許第３７５６０６６号公報 特許第４４４６７５４号公報

しかしながら、特許文献１に開示されたガラスクロスは、実施例において圧力１．９６ＭＰａの高圧水流による開繊処理をおこなわれているものの、構成フィラメント数が７０〜２００本と多いことから、厚さが１４μｍ以下とすることが困難であるという問題がある。そこで、該ガラスクロスの厚さを小さくする方法として、織密度を小さいものとしつつ、例えば６ＭＰａ等、より高圧とした水流による開繊処理をおこない糸幅を拡幅する方法が考えられる。ところが、本発明者等の検討によると、該方法により得られるガラスクロスは、例えばエポキシ樹脂のような硬化性樹脂を含浸して薄いプリプレグとしたときに、該プリプレグに貫通孔が生じる、所謂ピンホールが発生しやすくなるという問題があることが判明した。

また、特許文献２に開示されたガラスクロスは、タテ糸及びヨコ糸の両方のフィラメント数が５本以上７０本以下とすることにより厚さを薄くすることができ、また、表面ガラス糸被覆率を特定範囲とすることにより寸法安定性及び機械的特性に優れるとされている。上記表面ガラス糸被覆率とは、ガラスクロス中におけるガラス糸の占める面積の割合を示すものであり、これが高いほどガラスクロス中におけるガラス糸の占める面積の割合が大きいことを示す。そして、該被覆率を調整する方法としては、例えば、ガラス糸の開繊処理により調整する方法が挙げられる。しかしながら、特許文献２では、ガラスクロス中におけるガラス糸の占める面積についてしか検討されておらず、具体的に経糸及び緯糸をどのような糸幅とするか、隣接する経糸同士、緯糸同士の隙間間隔をどのように設定するかは、検討されていない。そして、本発明者等の検討によると、表面ガラス糸被覆率を特定のものとしても、ガラス糸の開繊処理の度合いによっては、得られるガラスクロスを薄いプリプレグとしたときにピンホールが発生しやすくなる場合があるという問題があることが判明した。さらに、特許文献２の実施例で具体的な開繊処理条件として挙げられている、経方向張力を４．９Ｎ／ｍとして開繊処理をおこなうと、緯糸方向に沿ってピンホールが発生しやすくなるという問題があることが判明した。

本発明の目的は、上記問題を解決し、厚さを１４μｍ以下と薄くしつつ、例えば、厚さ２０μｍ以下のように薄いプリプレグ及び該プリプレグを用いた基板としたときに、ピンホールの発生を抑制することができるガラスクロス、該ガラスクロスを含むプリプレグ及び基板、並びに該基板を含む集積回路及び電子機器の提供を課題とする。

本発明者等は、上記特許文献１及び２に開示されているガラスクロスにおける、ピンホールの発生の原因についてより詳細に検討した。結果、ピンホールは、特に、ガラスクロスを含むプリプレグの質量（ｇ／ｍ^２）に対する硬化性樹脂の質量（ｇ／ｍ^２）の質量割合（以下、ＲＣと略することがある。）を少なくしたときに、顕著に発生することを知得した。

上記の原因について、本発明者等は、以下のように考えた。すなわち、硬化性樹脂をガラスクロスに含浸する際には、経糸と緯糸によって形成される空間、所謂バスケットホール内において、樹脂溶液が薄膜を形成する。そして、ＲＣが少なくなるにつれて、該薄膜は厚さが薄くなる。そのとき、バスケットホールの面積が大きければ、バスケットホール内において樹脂溶液の表面張力により該薄膜が割れたり、バスケットホールから液垂れが発生したりしやすくなることから、部分的にバスケットホール内から樹脂が無くなり、ピンホールが発生するのではないかと考えた。そこで、本発明者等が検討を重ねた結果、バスケットホールの大きさがピンホールの発生に大きく影響を及ぼすことが判明した。

具体的に、特許文献１に開示されたガラスクロスは、上記したようにより高圧とした散水流による開繊処理をおこない厚さを１４μｍ以下としようとすると、部分的にガラス糸の目曲がり等が生じる。結果、目曲がりが生じた部分にバスケットホールの大きい部分が生じ、該部分にピンホールが発生することを突き止めた。

また、特許文献２の実施例１に開示されたガラスクロスは、経方向の張力を４．９Ｎ／ｍという低張力条件下で開繊処理をおこなっていることから、経糸の開繊が相当大きくなると考えられる。しかしながら、本発明者等の検討によれば、上記低張力条件下で開繊処理をおこなうと、一般的な張力（例えば、３００Ｎ／ｍ）の条件下で開繊処理をおこなう場合と比して、経糸の開繊が大きくなるのとは反対に緯糸の開繊は小さくなることが判明した。そして、同実施例１において、仮に経糸幅と緯糸幅とが同じ幅であるとして隣接する経糸間及び緯糸間の隙間間隔を計算すると約１３６μｍとなる。そして、このように設計したガラスクロスは上記隙間間隔が大きく、ピンホールが発生することを突き止めた。

この時点で、ピンホールの発生の抑制には、バスケットホールの大きさをガラスクロス全体に均一に小さくすることが有効であろうことが判明したものの、単にバスケットホールの大きさを小さくするのみでは、ピンホールの発生を抑制するのは困難であった。具体的に、例えば、特許文献２の実施例１において、経糸及び緯糸の織密度をより大きくして経糸間及び緯糸間の隙間間隔を小さくしても、例えば厚さ２０μｍ以下のように薄いプリプレグとする場合にはピンホールが多く発生する場合があるという問題があった。そこで、本発明者等が当該問題の原因についてさらに検討したところ、織密度を大きいものとするとガラスクロスの質量が大きくなることから、例えば厚さ２０μｍ以下のように薄いプリプレグとする場合に、ＲＣが少なくなり、ピンホールが発生しやすくなることを知得した。

そこで、本発明者等が研究を重ねた結果、薄いプリプレグとする場合にピンホールの発生を抑制するには、バスケットホールの面積の割合を小さくするのみでは十分でなく、バスケットホールの縦横のいずれか一方の長さを１００μｍ以下に短くすることが必要であることを知得した。そして、ＲＣを高める観点からガラスクロスの質量を１１ｇ／ｍ^２以下とすることが必要であることを知得した。そして、経糸、緯糸の開繊度が特定範囲になるように開繊処理をおこなうことにより、厚さが１４μｍとしつつも、経糸及び緯糸の目曲がりが生じにくくなり、結果、薄いプリプレグとする場合にピンホールの発生を抑制できることを見出した。

即ち、本発明は、以下のとおりである。
項１．下記（ｉ）〜（ｉｖ）を満足する、ガラスクロス。
（ｉ）下記式（１）に示す開繊度が、経糸が７０〜９０％であり、緯糸が９５〜１２０％。
開繊度（％）＝｛（２５×１０００）／Ｗ_Ｄ−Ｉ｝／（Ｄ×Ｎ）×１００ （１）
Ｗ_Ｄ：経糸または緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）
Ｉ：隣接する経糸間または緯糸間の隙間間隔（μｍ）
Ｄ：経糸または緯糸の平均フィラメント直径（μｍ）
Ｎ：経糸または緯糸の平均フィラメント本数（本）
（ｉｉ）隣接する前記経糸間の隙間間隔、または隣接する前記緯糸間の隙間間隔のいずれかが１００μｍ以下。
（ｉｉｉ）ＪＩＳ Ｒ ３４２０：２０１３ ７．１０．１に従って測定される厚さが１４μｍ以下。
（ｉｖ）ＪＩＳ Ｒ ３４２０：２１０３ ７．２に従って測定されるクロス質量が１１ｇ／ｍ^２以下。
項２．前記経糸の平均フィラメント直径が３．０〜４．３μｍ、平均フィラメント本数が３５〜５５本であり、前記緯糸の平均フィラメント径が３．０〜４．３μｍ、平均フィラメント本数が３５〜７０本である、項１に記載のガラスクロス。
項３．前記経糸の織密度（本／２５ｍｍ）と前記緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）との比率（経糸の織密度／緯糸の織密度）が０．９〜１．１である、項１または２に記載のガラスクロス。
項４．前記経糸の織密度（本／２５ｍｍ）及び前記緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）が８０本〜１３０本／２５ｍｍである、項１〜３のいずれか１項に記載のガラスクロス。
項５．前記経糸の平均フィラメント直径と前記緯糸の平均フィラメント直径との比率（経糸の平均フィラメント直径／緯糸の平均フィラメント直径）が０．９〜１．１である、項１〜４のいずれか１項に記載のガラスクロス。
項６． 前記緯糸間の隙間間隔に対する前記経糸間の隙間間隔の比率（経糸間の隙間間隔／緯糸間の隙間間隔）が１．５〜３．０である、項１〜５のいずれか１項に記載のガラスクロス。
項７．厚さ２０μｍ以下のプリプレグに用いられる、項１〜６のいずれか１項に記載のガラスクロス。
項８．項１〜７のいずれか１項に記載のガラスクロスを含む、プリプレグ。
項９．項１〜７のいずれか１項に記載のガラスクロスを含む、基板。
項１０．項９に記載の基板を含む、集積回路。
項１１．項９に記載の基板を含む、電子機器。

本発明のガラスクロスによれば、厚さを１４μｍ以下と薄くしつつ、例えば、厚さ２０μｍ以下のように薄いプリプレグ及び該プリプレグを用いた基板としたときに、ピンホールの発生を抑制することができる。従って、該ガラスクロスを用いたプリプレグ及び基板は、薄型化しつつ、ピンホールの発生を抑制することが可能となり、該基板を含む集積回路及び電子機器は、薄型化しつつ、ピンホール発生に起因する絶縁不良等の欠点を抑制することが可能となる。

ガラス糸の開繊度について説明する横断面模式図である。

以下、本発明について詳細に説明する。

本発明のガラスクロスは、下記式（１）に示す開繊度が、経糸が７０〜９０％であり、緯糸が９５〜１２０％である。
開繊度（％）＝｛（２５×１０００）／Ｗ_Ｄ−Ｉ｝／（Ｄ×Ｎ）×１００ （１）
Ｗ_Ｄ：経糸または緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）
Ｉ：隣接する経糸間または緯糸間の隙間間隔（μｍ）
Ｄ：経糸または緯糸の平均フィラメント直径（μｍ）
Ｎ：経糸または緯糸の平均フィラメント本数（本）

本発明において、上記開繊度は、仮想的にガラス糸中においてフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置されたガラス糸幅に対する、隣接するガラス糸間の隙間間隔及び該ガラス糸の織密度から計算される実際のガラス糸幅の比率によって評価する。具体的に、図１を用いて説明する。

図１（ａ）は、経糸中において、仮想的にフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置された態様を例示する横断面模式図であり、図１（ｂ）は実際の隣接する経糸の一態様を例示する横断面模式図であり、図１（ｃ）は、緯糸中において、仮想的にフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置された態様を例示する横断面模式図であり、図１（ｄ）は、実際の隣接する緯糸の一態様を例示する横断面模式図である。なお、図１においては、説明のため、仮に、経糸のフィラメント本数を８本、緯糸のフィラメント本数を１０本としている。

図１（ａ）及び（ｃ）において、ガラス糸１は、仮想的にフィラメント２が幅方向に隙間なく一列に配置されている。そして、図１（ａ）及び（ｃ）中、ＬＶＡ及びＬＶＢは、「仮想的にフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置されたガラス糸幅」を示し、平均フィラメント径×平均フィラメント数（Ｄ×Ｎ）により計算される。

図１（ｂ）及び（ｄ）中、ＬＡ及びＬＢは、経糸及び緯糸の実際の糸幅を示し、以下のように計算される。すなわち、ＬＡは、経糸の織密度（Ｗ_ＤＡ（本／２５ｍｍ））と隣接する経糸間の隙間間隔ＩＡを測定し、該織密度から、経糸の糸幅と隣接する経糸間の隙間間隔との合計（ＬＡ＋ＩＡ）を算出（ＬＡ＋ＩＡ＝（２５×１０００）／Ｗ_ＤＡ）し、該経糸の糸幅と隣接する経糸間の隙間間隔との合計から、隣接する経糸間の隙間間隔ＩＡを減じる（（ＬＡ＋ＩＡ）−ＩＡ）ことにより、計算される。また、ＬＢは、緯糸の織密度（Ｗ_ＤＢ（本／２５ｍｍ））と隣接する緯糸間の隙間間隔ＩＢを測定し、該織密度から、緯糸の糸幅と隣接する緯糸間の隙間間隔との合計（ＬＢ＋ＩＢ）を算出（ＬＢ＋ＩＢ＝（２５×１０００）／Ｗ_ＤＢ）し、該緯糸の幅と隣接する緯糸間の隙間間隔との合計から、隣接する緯糸間の隙間間隔ＩＢを減じる（（ＬＢ＋ＩＢ）−ＩＢ）ことにより、計算される。

そして、開繊度は、仮想的にフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置されたガラス糸幅に対する、隣接するガラス糸間の隙間間隔及び該ガラス糸の織密度から計算される実際のガラス糸幅の比率であり、例えば、図１中、経糸の開繊度（％）は、ＬＡ／ＬＶＡ×１００によって計算され、緯糸の開繊度（％）は、ＬＢ／ＬＶＢ×１００によって計算される。すなわち、例えば、開繊度が１００％を超えるものであれば、仮想的にガラス糸中においてフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置されたガラス糸よりも、実際のガラス糸の方が開繊していることを示し（例えば、図１（ｄ）参照。）、開繊度が１００％未満のものであれば、仮想的にガラス糸中においてフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置されたガラス糸よりも、実際のガラス糸が開繊していない（集束する方向、例えば図１（ｂ）参照。）ことを示す。

経糸と緯糸の開繊度を上記のようにすることにより、厚さが１４μｍとしつつも、経糸及び緯糸の目曲がりが生じにくくなり、結果、ピンホールの発生を抑制できる。上記開繊度は、ガラスクロスの厚さをより薄くしやすくなるという観点から、経糸が７５〜８５％、緯糸が１００〜１１０％が好ましい。

経糸の開繊度を７０〜９０％、及び緯糸の開繊度を９５〜１２０％とする方法としては、例えば、平均フィラメント本数が２０〜５５本のガラス糸を経糸とし、平均フィラメント本数が３５〜７０本のガラス糸を緯糸として、水流加工による開繊処理をおこなうことが挙げられる。このとき、水流加工による開繊処理条件としては、ガラスクロスの張力を経方向が５０〜１００Ｎ／ｍ、より好ましくは８０〜１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理をおこなうことが好ましく挙げられる。開繊処理時にガラスクロスにかかる張力の測定には、フィルム分野で一般的に使用される張力検出器を用いた張力検出方法によることが好ましい。該張力検出方法においては、ガイドロール２つ（以下、ガイドロールＸ、ガイドロールＹという。）と張力検出用ロール１つを左右対称になるように二等辺三角形の頂点に配置し、ガラスクロスがガイドロールＸ、張力検出用ロール、ガイドロールＹの順に通るようにセットする。張力検出用ロールにおいては、ガイドロールＸ側に働く張力、ガイドロールＹ側に働く張力、及び該張力検出用ロールに働く重力の合力が荷重として該張力検出用ロールに作用するので、該張力検出用ロールにセットした荷重センサーの測定値から計算によってガラスクロスにかかる張力を求めることができる。そして、水流加工における水流圧力としては、例えば、１〜３ＭＰａが挙げられる。また、開繊度を経糸が７５〜８５％、緯糸が１００〜１１０％とする方法としては、上記ガラスクロスの張力を経方向が５０〜１００Ｎ／ｍ、より好ましくは８０〜１００Ｎ／ｍとし、上記水流圧力として開繊処理をおこなうことに加え、経糸の織密度を９０〜１１０本／２５ｍｍとすることが挙げられる。

経糸の開繊度と緯糸の開繊度との比率（経糸の開繊度／緯糸の開繊度）としては、例えば、０．６〜０．９、ガラスクロスの厚さをより薄くしやすくなるという観点から、０．７〜０．８とすることが挙げられる。

本発明のガラスクロスは、隣接する経糸間の隙間間隔、または隣接する緯糸間の隙間間隔のいずれかが１００μｍ以下である。これにより、ピンホールの発生を抑制することができる。厚さを薄くすることと、とりわけ低ＲＣとして後述する合成樹脂、より好ましくは硬化性樹脂を含浸させた際にもピンホールの発生をより一層抑制することに加え、コストパフォーマンスをより一層優れたものとするという観点からは、上記隙間間隔は、５０〜１００μｍがより好ましく、６０〜１００μｍがより一層好ましい。中でも、より一層目曲がりを低減させつつ、より一層ＲＣを高いものとしやすくして、ピンホールの発生をより一層抑制するという観点からは、隣接する緯糸間の隙間間隔が６０〜１００μｍとし、隣接する経糸間の隙間間隔を１００〜１５０μｍとしつつ、緯糸間の隙間間隔に対する経糸間の隙間間隔の比率（経糸間の隙間間隔／緯糸間の隙間間隔）を１．５〜１．８とすることがより一層好ましい。

本発明において、経糸は、毛羽の発生を抑制しつつ、ガラスクロスの厚さをより薄くするという観点からは、平均フィラメント直径が３．０〜４．３μｍが好ましく、３．４〜４．３μｍがより好ましく、３．４〜３．８μｍがさらに好ましく、３．４〜３．６μｍが特に好ましい。

経糸は、ガラスクロスの厚さを１４μｍ以下とすることと、樹脂を含浸して基板としたときにピンホールの発生をより一層抑制することとをより一層両立させやすくするという観点から、平均フィラメント本数が２０〜５５本であることが好ましく、３７本〜５３本が好ましい。

経糸の番手は、１．５ｔｅｘ以下であることが好ましい。経糸の番手が１．５ｔｅｘを超える場合、得られるガラスクロスは厚さが１４μｍ以下となりにくくなる場合がある。ガラスクロスの厚さを１４μｍ以下とすることと、樹脂を含浸して基板としたときにピンホールの発生をより一層抑制することとをより一層両立させやすくするという観点から、０．５〜１．５ｔｅｘが好ましく、１．０〜１．５ｔｅｘがより好ましく、１．１〜１．４ｔｅｘが特に好ましい。

経糸の撚り数は、経糸をより開繊しやすくし、ガラスクロスの厚さをより薄くしやすくするという観点から、０（無撚り）〜１．０回／２５ｍｍが好ましく、０〜０．７回／２５ｍｍがより好ましく、０〜０．５回／２５ｍｍが特に好ましい。本発明において、撚り数は、ＪＩＳ Ｒ ３４２０ ２０１３ ７．５に従い、測定、算出される値である。撚りの方向としては、Ｓ、Ｚのいずれでもよい。

本発明において、緯糸は、毛羽の発生を抑制しつつ、ガラスクロスの厚さをより薄くするという観点からは、平均フィラメント径が３．０〜４．３μｍが好ましく、３．４〜４．３μｍがより好ましく、３．４〜３．８μｍがさらに好ましく、３．４〜３．６μｍが特に好ましい。

本発明において、緯糸は、ガラスクロスの厚さを１４μｍ以下とすることと、樹脂を含浸して基板としたときにピンホールの発生をより一層抑制することとをより一層両立させやすくするという観点から、平均フィラメント本数が３５〜７０本が好ましく、３５〜６０本がより好ましく、３５〜５５本がさらに好ましく、３７〜５３本が特に好ましい。

緯糸の番手は、１．５ｔｅｘ以下であることが好ましい。緯糸の番手が１．５ｔｅｘを超える場合、得られるガラスクロスは厚さが１４μｍ以下となりにくくなる場合がある。ガラスクロスの厚さを１４μｍ以下とすることと、樹脂を含浸して基板としたときにピンホールの発生をより一層抑制することとをより一層両立させやすくするという観点から、０．５〜１．５ｔｅｘが好ましく、１．０〜１．５ｔｅｘがより好ましく、１．１〜１．４ｔｅｘが特に好ましい。

本発明において、緯糸の撚り数は、緯糸をより開繊しやすくし、ガラスクロスの厚さをより薄くしやすくするという観点から、０（無撚り）〜１．０回／２５ｍｍが好ましく、０〜０．７回／２５ｍｍがより好ましく、０〜０．５回／２５ｍｍが特に好ましい。

本発明において、ＪＩＳ Ｒ ３４２０：２０１３ ７．１０．１に従って測定される前記ガラスクロスの厚さは、１４μｍ以下である必要があり、１０〜１４μｍが好ましく、１１〜１４μｍがより好ましい。これにより、例えば厚さ２０μｍ以下のように薄いプリプレグとすることができる。

本発明において、ＪＩＳ Ｒ ３４２０：２１０３ ７．２に従って測定されるクロス質量が１１ｇ／ｍ^２以下である必要があり、８〜１１ｇ／ｍ^２が好ましく、９．０〜１０．０ｇ／ｍ^２がより好ましい。これにより、例えば厚さ２０μｍ以下のように薄いプリプレグとする場合に、ＲＣが高いものとしやすくなり、ピンホールの発生を抑制することが可能となる。

本発明において、経糸の平均フィラメント直径と緯糸の平均フィラメント直径との比率（経糸の平均フィラメント直径／緯糸の平均フィラメント直径）は、０．９〜１．１であることが好ましく、０．９５〜１．０５がより好ましい。これにより、得られるガラスクロスは、縦緯の寸法安定性がより優れたものとなり、目曲がり等がより生じにくくなり、ピンホールの発生がより抑制しやすくなる。

本発明において、経糸及び緯糸を構成するガラス材料については、特に制限されず、公知のガラス材料を用いることができる。ガラス材料としては、具体的には、無アルカリガラス（Ｅガラス）、耐酸性の含アルカリガラス（Ｃガラス）、高強度・高弾性率ガラス（Ｓガラス、Ｔガラス等）、耐アルカリ性ガラス（ＡＲガラス）等が挙げられる。これらのガラス材料の中でも、好ましくは汎用性の高い無アルカリガラス（Ｅガラス）が挙げられる。ガラス繊維布帛２を構成するガラス繊維は、１種類のガラス材料からなるものであってもよいし、異なるガラス材料からなるガラス繊維を２種類以上組み合わせたものであってもよい。

本発明のガラスクロスは、経糸の織密度（本／２５ｍｍ）と前記緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）との比率（経糸の織密度／緯糸の織密度）が０．９〜１．４であることが好ましく、０．９〜１．１がより好ましく、０．９５〜１．０５が特に好ましい。これにより、経糸と緯糸との拘束力が均一なものとなりやすく、目曲がり等がより生じにくくなり、ピンホールの発生がより抑制しやすくなる。

経糸の織密度（本／２５ｍｍ）及び緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）は、厚さを薄くすることと、経糸及び緯糸の交絡点を多くし目曲がりを生じにくくさせてピンホールの発生を抑制することと、をより一層両立させるという観点からは、８０本〜１３０本／２５ｍｍであることが好ましく、８０〜１１０本がより好ましく、９０〜１１０本が特に好ましい。

ガラス繊維織物の織組織としては、特に制限されないが、例えば、平織、朱子織、綾織、斜子織、畦織などが挙げられる。中でも、平織が好ましい。

本発明のガラスクロスは、薄いプリプレグとする場合にピンホールの発生を抑制することができる。本発明が用いられるプリプレグの厚さとしては、例えば、２０μｍ以下が挙げられ、１０〜２０μｍが好ましく、１５〜１８μｍがより好ましい。

次に、本発明のガラスクロスの製造方法について説明する。

まず、経糸及び緯糸を用いて織成する。織成方法は、従来公知の任意の方法を採用すればよく、例えば、経糸を整経工程及び糊付工程を施した後、ジェット織機（例えば、エアージェット織機、ウォータージェット織機等）、スルザー織機、レピヤー織機等を用いて緯糸を緯糸として打ち込むことが挙げられる。

ガラスクロスの厚さをより薄くしながら、隣接する緯糸間の隙間間隔をより効率的に小さくするという観点から、開繊処理を施すのが好ましい。開繊処理する方法としては、例えば、得られたガラスクロスに水流の圧力による開繊処理、水（例えば脱気水、イオン交換水、脱イオン水、電解陽イオン水又は電解陰イオン水等）等を媒体とした高周波振動による開繊処理、ロールによる加圧での加工処理等が挙げられる。かかる開繊処理は織成と同時に行ってもよいし、織成後に行ってもよい。後述するヒートクリーニング前或いは後若しくはヒートクリーニングと同時に行ってもよいし、後述する表面処理と同時に若しくは後に行ってもよい。

中でも、経糸の開繊度を７０〜９０％、及び緯糸の開繊度を９５〜１２０％とするには、開繊処理として、前述したガラスクロスの張力を経方向が５０〜１００Ｎ／ｍとしながら水流加工による開繊処理をおこなうことが好ましく挙げられる。

織成したガラスクロスに、集束剤等、基板とする際のマトリックス樹脂の密着性、含浸性を阻害する物質が付着している場合は、例えば、ヒートクリーニング処理等により該物質を除去するのが好ましい。更に、ヒートクリーニング処理されたガラスクロスは従来公知のシランカップリング剤で表面処理が施されるのが好ましい。かかる表面処理手段は、従来公知の手段でよく、例えば、シランカップリング剤をガラスクロスに含浸する方法、塗布する方法、スプレーする方法等が挙げられる。

本発明のプリプレグは、本発明のガラスクロスを含む。これにより、得られるプリプレグは、薄型化しつつ、ピンホールの発生が抑制することができる。

本発明のプリプレグの厚さは、例えば、２０μｍ以下が挙げられ、１０〜２０μｍが好ましく、１５〜１８μｍがより好ましい。

本発明の基板は、本発明のガラスクロスを含む。これにより、得られる基板は、薄型化しつつ、ピンホールの発生が抑制することができる。

本発明の集積回路は、上記本発明の基板を含む。上記したように、本発明の基板は、本発明のガラスクロスを含むことから薄型化しつつ、ピンホールの発生が抑制することができる。従って、該基板を含む集積回路及び電子機器は、薄型化しつつ、ピンホール発生に起因する絶縁不良等の欠点を抑制することが可能となる。

本発明のプリプレグ及び基板において、本発明のガラスクロスに含浸される樹脂としては、本発明のガラスクロスと複合し得る合成樹脂であれば得に限定されず、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、これらの複合樹脂等が挙げられる。

上記熱硬化性樹脂は、熱硬化性を有する樹脂であれば特に限定されず、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂（例えば不飽和ポリエステル樹脂等）、ビニルエステル樹脂、メラミン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ＢＴ（ポリビスマレイミドトリアジン）樹脂、シアネート樹脂（例えばシアネートエステル樹脂等）、シリコーン樹脂、ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）樹脂、ＰＥＳ（ポリエーテルサルフォン）樹脂、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂、ＣＰレジン、これらの共重合体樹脂、これら樹脂を変性させた変性樹脂、又はこれら混合物などが挙げられる。

上記熱可塑性樹脂は、熱可塑性を有する樹脂であれば特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）樹脂、ポリトリメチレンテレフタレート（ＰＴＴ）樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）樹脂、液晶ポリエステル樹脂等のポリエステル樹脂、ポリエチレン（ＰＥ）樹脂、ポリプロピレン（ＰＰ）樹脂、ポリブチレン樹脂等のポリオレフィン樹脂、スチレン系樹脂、ポリオキシメチレン（ＰＯＭ）樹脂、ポリアミド（ＰＡ）樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）樹脂、ポリメチレンメタクリレート（ＰＭＭＡ）樹脂、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）樹脂、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）樹脂、ポリフェニレンエーテル（ＰＰＥ）樹脂、ポリフェニレンオキサイド（ＰＰＯ）樹脂、ポリイミド（ＰＩ）樹脂、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）樹脂、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）樹脂、ポリスルホン（ＰＳＵ）樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリケトン（ＰＫ）樹脂、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂、ポリアリレート（ＰＡＲ）樹脂、ポリエーテルニトリル（ＰＥＮ）樹脂、フェノール（ノボラック型など）樹脂、フェノキシ樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン系、ポリオレフィン系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、ポリイソプレン系又はフッ素系等の熱可塑性エラストマー、又はこれらの共重合体樹脂又は変性体樹脂等が挙げられる。

上記複合樹脂は、例えば、上記熱硬化性樹脂に熱可塑性樹脂を混合したもの（例えばエポキシ樹脂−ＰＥＳ、エポキシ樹脂−ＰＳＵ又はエポキシ樹脂−ＰＰＳ等）などが挙げられる。

上記合成樹脂の中では、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ＢＴ樹脂、シアネートエステル樹脂、ＰＰＥ樹脂等の硬化性樹脂が好ましく、エポキシ樹脂がより好ましい。この場合、本発明の基板は、本発明のガラスクロス１枚にエポキシ樹脂が含浸された層を含むことが好ましい。

本発明の基板において、ＲＣ（ガラスクロスを含む基板の質量（ｇ／ｍ^２）に対する硬化性樹脂の質量（ｇ／ｍ^２）の質量割合）としては、例えば、７０〜８０質量％が挙げられる。

本発明のプリプレグ及び基板の製造方法は、特に限定されず、従来公知の任意の製造方法が採用されればよい。

本発明の基板の製造方法としては、ガラスクロスに含浸されたエポキシ樹脂を硬化する工程を含むことが好ましい。硬化の方法は特に限定されず、例えば、ガラスクロスに含浸されたエポキシ樹脂を含むプリプレグを製造したあとに硬化する方法等が挙げられる。

本発明の集積回路は、上記本発明の基板を含む。本発明の基板は、薄型化しつつ、ピンホールの発生が抑制することができることから、集積回路とするのに好適である。特に、ＬＳＩに用いるのに好適であり、ＬＳＩの中でも、携帯電話やスマートフォンに用いられるアプリケーションプロセッサやモバイルＤＲＡＭ、ＮＡＮＤメモリなどのサブストレートに用いることが好適である。

本発明の電子機器は、上記本発明の基板を含む。本発明の基板は、薄型化しつつ、ピンホールの発生が抑制することができるので、電子機器を小型化することが可能となる。電子機器としては、例えば、映像機器（例えばテレビ、ＶＴＲ、ＤＶＤ−ビデオ、ビデオカメラ、デジタルカメラ又はカーナビゲーションシステム等）、音声機器（例えばラジカセ、ヘッドホンステレオ若しくはテープデッキ等のテープレコーダー、セット若しくはコンポーネント等のステレオ、カーステレオ、カー用スピーカ、ラジオ、拡声装置、又は補聴器等）、電気計測器（例えば電気計器又は環境計測器等）、事務用機械（例えば謄写機、事務用印刷機、複写機、マイクロ写真機械又はタイプライタ等）、通信機器（例えば有線通信機器又は無線通信機器等）、コンピューター、又はコンピューター関連機器（例えばプリンタ等）等が挙げられ、特に、小型の通信機器、例えば、携帯電話やスマートフォン等が好ましく挙げられる。

以下、実施例によって本発明を詳しく説明する。ただし、本発明は以下の実施例によって限定されるものではない。

以下の実施例、比較例における測定及び評価は下記の方法でおこなった。

１．ガラス糸の平均フィラメント直径Ｄ（μｍ）、平均フィラメント本数（本）
得られたガラスクロスを３０ｃｍ角にカットしたものを２枚用意し、一方を経糸観察用、他方を緯糸観察用として、それぞれをエポキシ樹脂（丸本ストルアス株式会社製商品名３０９１）に包埋して硬化させ、経糸、緯糸が観察可能な程度に研磨し、ＳＥＭ（日本電子株式会社製商品名ＪＳＭ−６３９０Ａ）を用い、倍率５００倍で観察、測定をおこなった。
（１）ガラス糸の平均フィラメント直径Ｄ（μｍ）
経糸、緯糸それぞれについて無作為に２０本選び、該２０本のガラス糸の全フィラメントの直径（最も大きい部分）を測定して平均値を算出し、ガラス糸の平均フィラメント直径とした。
（２）平均フィラメント本数Ｎ（本）
経糸、緯糸それぞれについて無作為に２０本選び、２０本のガラス糸の全フィラメント数を測定して平均値を算出し、ガラス糸の平均フィラメント直径とした。

２．ガラスヤーンの番手（ｔｅｘ）
ＪＩＳ Ｒ ３４２０ ２０１３ ７．１に従い、測定、算出した。

３．ガラスクロスの織密度Ｗ_Ｄ（本／２５ｍｍ）
ＪＩＳ Ｒ ３４２０ ２０１３ ７．９に従い、経、緯糸の織密度を測定、算出した。

４．ガラスクロスの厚さ（μｍ）
ＪＩＳ Ｒ ３４２０ ２０１３ ７．１０．１Ａ法に従い、測定、算出した。１４μｍ以下のものを合格とした。

５．ガラスクロスの質量（ｇ／ｍ^２）
ＪＩＳ Ｒ ３４２０ ２０１３ ７．２に従い、測定、算出した。１１．４ｇ／ｍ^２以下のものを合格とした。

６．隣接する経糸間及び緯糸間の隙間間隔Ｉ（μｍ）
まず、得られたガラスクロスにおいて、任意に選ばれた３箇所から、経糸、緯糸ともに隙間が連続して１００箇所ずつ観察できる大きさにカットし、サンプルとした。次いで、該サンプルについて、マイクロスコープを用い、倍率１５０倍で隙間間隔の観察、測定をおこなった。具体的に、ガラスクロス平面の法線方向から、クロス経方向、緯方向それぞれ同一直線上に連続する隙間間隔１００箇所ずつについて観察した。それを上記任意に選ばれた３箇所についておこない、経糸、緯糸ともに合計３００箇所ずつ測定し、当該３００箇所の平均値を隙間間隔Ｉ（μｍ）とした。

７．経糸及び緯糸の開繊度（％）
前記した方法により測定、算出した。

８．ピンホール発生の評価
得られたガラスクロスを下記処方のエポキシ樹脂ワニスに充分に浸漬することにより、ガラスクロスに該ワニスを塗布した。ガラスクロスに塗布した該ワニスの付着量を、ギャップロールを用いて、得られるプリプレグの厚さが１８μｍになるように調整し、乾燥機を用いて加熱硬化させることにより、プリプレグを得た。得られたプリプレグを無作為に３０ｃｍ角にカットしたものを３枚用意し、目視でピンホールの数を観察した。このとき、プリプレグにおけるＲＣについて、プリプレグの質量（ｇ／ｍ^２）からガラスクロスの質量（ｇ／ｍ^２）を減じることにより硬化性樹脂の質量（ｇ／ｍ^２）を求め、該硬化性樹脂の質量とプリプレグの質量からＲＣを求めた。

＜処方＞
エポキシ樹脂（三菱化学株式会社製 ｊＥＲ５０４５Ｂ８０） １００質量部
硬化剤（三菱化学株式会社製 ｊＥＲキュアＤＩＣＹ７） ２．７質量部
（ジシアンジアミド）
硬化促進剤（三菱化学株式会社製２−エチル−４−メチルイミダゾール） ０．２質量部
希釈溶剤（キシダ化学株式会社製ジメチルホルムアミド） ２０質量部

実施例１
経糸及び緯糸として平均フィラメント径３．７μｍ、平均フィラメント本数４７本、撚り数０．５Ｚのガラス糸を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が９５本／２５ｍｍ、緯糸密度が９５本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を４００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０：Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、圧力１．５ＭＰａの水流加工でガラスクロスの張力を経方向が１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、実施例１のガラスクロスを得た。

実施例２
経糸密度を９０本／２５ｍｍ、緯糸密度を９０本／２５ｍｍとして製織した以外は、実施例１と同様におこない、実施例２のガラスクロスを得た。

実施例３
経糸及び緯糸として平均フィラメント径３．７μｍ、平均フィラメント本数４０本、撚り数０．５Ｚのガラス糸を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が１１０本／２５ｍｍ、緯糸密度が１１０本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を４００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０：Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、圧力１．５ＭＰａの水流加工でガラスクロスの張力を経方向が１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、実施例３のガラスクロスを得た。

実施例４
経糸及び緯糸として平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数４０本、撚り数０．５Ｚのガラス糸を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が９５本／２５ｍｍ、緯糸密度が９５本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を４００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０：Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、圧力１．５ＭＰａの水流加工でガラスクロスの張力を経方向が１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、実施例４のガラスクロスを得た。

実施例５
経糸及び緯糸として平均フィラメント径３．５μｍ、平均フィラメント本数５１本、撚り数０．５Ｚのガラス糸を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が９５本／２５ｍｍ、緯糸密度が９５本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を４００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０：Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、圧力１．５ＭＰａの水流加工でガラスクロスの張力を経方向が１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、実施例５のガラスクロスを得た。

実施例６
経糸密度を９０本／２５ｍｍ、緯糸密度を９０本／２５ｍｍとして製織した以外は、実施例５と同様におこない、実施例６のガラスクロスを得た。

比較例１
経糸密度を８５本／２５ｍｍ、緯糸密度を８５本／２５ｍｍとして製織した以外は、実施例１と同様におこない、比較例１のガラスクロスを得た。

比較例２
経糸密度を１１５本／２５ｍｍ、緯糸密度を１１５本／２５ｍｍとして製織した以外は、実施例１と同様におこない、比較例２のガラスクロスを得た。

比較例３
経糸及び緯糸として平均フィラメント径３．７μｍ、平均フィラメント本数６１本、撚り数０．５Ｚのガラス糸を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が９５本／２５ｍｍ、緯糸密度が９５本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を４００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０：Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、圧力１．５ＭＰａの水流加工でガラスクロスの張力を経方向が１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、比較例３のガラスクロスを得た。

比較例４
経糸及び緯糸として平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数４０本、撚り数０．５Ｚのガラス糸を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が９５本／２５ｍｍ、緯糸密度が９５本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を４００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０：Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、圧力２．０ＭＰａの水流加工でガラスクロスの張力を経方向が２００Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、比較例４のガラスクロスを得た。

比較例５
経糸及び緯糸として平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数５１本、撚り数０．５Ｚのガラス糸を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が９５本／２５ｍｍ、緯糸密度が９５本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を４００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０：Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、圧力１．５ＭＰａの水流加工でガラスクロスの張力を経方向が１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、比較例５のガラスクロスを得た。

得られた結果を表１に示す。

実施例１〜６は、前述した（ｉ）〜（ｉｖ）を全て満足することから、例えば厚さ２０μｍ以下のように薄いプリプレグとする場合にピンホールの発生を抑制することができるものであった。特に、実施例１〜３、５、及び６は、平均フィラメント径が３．４〜３．８μｍの範囲内であったことから、ガラスクロスの厚さがより一層薄いものであった。

一方、比較例１は、隣接する経糸間の隙間間隔及び隣接する緯糸間の隙間間隔が１００μｍを越えるものであったことから、ピンホールの発生が多くなった。また、経糸及び緯糸の織密度が９０（本／２５ｍｍ）未満であったことから、やや目曲がりが生じやすいものであった。

比較例２は、隣接する経糸間の隙間間隔及び隣接する緯糸間の隙間間隔が１００μｍ以下であったものの、ガラスクロスの質量が１１ｇ／ｍ^２を超えるものであったことから、ＲＣが低くなり、ピンホールの発生が多くなった。

比較例３は、実施例１に比して、フィラメント本数が多かった結果、ガラスクロスの質量が１１ｇ／ｍ^２を超えるものであったことから、ＲＣが低くなり、ピンホールの発生が多くなった。また、経糸の開繊度が７０％未満及び緯糸の開繊度が９５％未満であったことから、ガラスクロスの厚さも１４μｍを超えるものとなった。

比較例４は、緯糸の開繊度が１２０％を超えるものであったことから、緯糸に目曲がりが生じ、結果ピンホールの発生が多くなった。

比較例５は、隣接する緯糸間の隙間間隔が１００μｍ以下であったものの、ガラスクロスの質量が１１ｇ／ｍ^２を超えるものであったことから、ＲＣが低くなり、ピンホールの発生が多くなった。また、ガラスクロスの厚さも１４μｍを超えるものとなった。

１ ガラス糸
２ フィラメント

即ち、本発明は、以下のとおりである。
項１．下記（ｉ）〜（ｉｖ）を満足する、ガラスクロス。
（ｉ）前記ガラスクロスの下記式（ｉ）に示す開繊度が、経糸が７０〜９０％であり、緯糸が９５〜１２０％。
開繊度（％）＝｛（２５×１０００）／Ｗ_Ｄ−Ｉ｝／（Ｄ×Ｎ）×１００
Ｗ_Ｄ：前記ガラスクロスの経糸または緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）
Ｉ：前記ガラスクロスの隣接する経糸間または緯糸間の隙間間隔（μｍ）
Ｄ：前記ガラスクロスの経糸または緯糸の平均フィラメント直径（μｍ）
Ｎ：前記ガラスクロスの経糸または緯糸の平均フィラメント本数（本）
（ｉｉ）前記経糸間の隙間間隔、または前記緯糸間の隙間間隔のいずれかが１００μｍ以下。
（ｉｉｉ）前記ガラスクロスのＪＩＳ Ｒ ３４２０：２０１３ ７．１０．１に従って測定される厚さが１４μｍ以下。
（ｉｖ）前記ガラスクロスのＪＩＳ Ｒ ３４２０：２１０３ ７．２に従って測定されるクロス質量が１１ｇ／ｍ^２以下。
項２．前記経糸の平均フィラメント直径が３．０〜４．３μｍ、平均フィラメント本数が３５〜５５本であり、前記緯糸の平均フィラメント径が３．０〜４．３μｍ、平均フィラメント本数が３５〜７０本である、項１に記載のガラスクロス。
項３．前記経糸の織密度（本／２５ｍｍ）と前記緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）との比率（経糸の織密度／緯糸の織密度）が０．９〜１．１である、項１または２に記載のガラスクロス。
項４．前記経糸の織密度（本／２５ｍｍ）及び前記緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）が８０本〜１３０本／２５ｍｍである、項１〜３のいずれか１項に記載のガラスクロス。
項５．前記経糸の平均フィラメント直径と前記緯糸の平均フィラメント直径との比率（経糸の平均フィラメント直径／緯糸の平均フィラメント直径）が０．９〜１．１である、項１〜４のいずれか１項に記載のガラスクロス。
項６． 前記緯糸間の隙間間隔に対する前記経糸間の隙間間隔の比率（経糸間の隙間間隔／緯糸間の隙間間隔）が１．５〜３．０である、項１〜５のいずれか１項に記載のガラスクロス。
項７．厚さ２０μｍ以下のプリプレグに用いられる、項１〜６のいずれか１項に記載のガラスクロス。
項８．項１〜７のいずれか１項に記載のガラスクロスを含む、プリプレグ。
項９．項１〜７のいずれか１項に記載のガラスクロスを含む、基板。
項１０．項９に記載の基板を含む、集積回路。
項１１．項９に記載の基板を含む、電子機器。

Claims (11)

1. 下記（ｉ）〜（ｉｖ）を満足する、ガラスクロス。
   （ｉ）下記式（１）に示す開繊度が、経糸が７０〜９０％であり、緯糸が９５〜１２０％。
   開繊度（％）＝｛（２５×１０００）／Ｗ_Ｄ−Ｉ｝／（Ｄ×Ｎ）×１００ （１）
   Ｗ_Ｄ：経糸または緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）
   Ｉ：隣接する経糸間または緯糸間の隙間間隔（μｍ）
   Ｄ：経糸または緯糸の平均フィラメント直径（μｍ）
   Ｎ：経糸または緯糸の平均フィラメント本数（本）
   （ｉｉ）隣接する前記経糸間の隙間間隔、または隣接する前記緯糸間の隙間間隔のいずれかが１００μｍ以下。
   （ｉｉｉ）ＪＩＳ Ｒ ３４２０：２０１３ ７．１０．１に従って測定される厚さが１４μｍ以下。
   （ｉｖ）ＪＩＳ Ｒ ３４２０：２１０３ ７．２に従って測定されるクロス質量が１１ｇ／ｍ^２以下。
2. 前記経糸の平均フィラメント直径が３．０〜４．３μｍ、平均フィラメント本数が３５〜５５本であり、
   前記緯糸の平均フィラメント径が３．０〜４．３μｍ、平均フィラメント本数が３５〜７０本である、請求項１に記載のガラスクロス。
3. 前記経糸の織密度（本／２５ｍｍ）と前記緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）との比率（経糸の織密度／緯糸の織密度）が０．９〜１．１である、請求項１または２に記載のガラスクロス。
4. 前記経糸の織密度（本／２５ｍｍ）及び前記緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）が８０本〜１３０本／２５ｍｍである、請求項１〜３のいずれか１項に記載のガラスクロス。
5. 前記経糸の平均フィラメント直径と前記緯糸の平均フィラメント直径との比率（経糸の平均フィラメント直径／緯糸の平均フィラメント直径）が０．９〜１．１である、請求項１〜４のいずれか１項に記載のガラスクロス。
6. 前記緯糸間の隙間間隔に対する前記経糸間の隙間間隔の比率（経糸間の隙間間隔／緯糸間の隙間間隔）が１．５〜３．０である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のガラスクロス。
7. 厚さ２０μｍ以下のプリプレグに用いられる、請求項１〜６のいずれか１項に記載のガラスクロス。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載のガラスクロスを含む、プリプレグ。
9. 請求項１〜７のいずれか１項に記載のガラスクロスを含む、基板。
10. 請求項９に記載の基板を含む、集積回路。
11. 請求項９に記載の基板を含む、電子機器。