JP2017022178A - Sheet sticking device and sticking method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。 The present invention relates to a sheet sticking apparatus and a sticking method.
従来、積極的に接着シートに張力を付与して当該接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, a sheet sticking apparatus that positively applies tension to an adhesive sheet and sticks the adhesive sheet to an adherend is known (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1に記載されたような従来のシート貼付装置では、原反の繰り出しが行われないとき、接着シートが張力付与ローラとピンチローラとで挟み込まれた状態で待機する場合があり、このような待機状態が続くと、それらローラの挟込力が1箇所に集中し、接着シートに筋状の挟込跡を形成してしまうという不都合を発生する。このような挟込跡ができると、例えば、被着体との間に気泡が介在した状態で接着シートが貼付されるといった不都合を発生したり、例えば、被着体が半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という場合がある)の場合、接着シートでウエハの回路面を保護した状態で、当該回路面の反対側面から5〜30μm前後の厚さまでウエハを研削すると、挟込跡が形成された領域のウエハの厚みが他の領域に比べて厚くなり、半導体装置の厚みが不均一となって品質が低下するという不都合を招来したりする。 However, in the conventional sheet sticking apparatus as described in Patent Document 1, when the original fabric is not fed out, the adhesive sheet may wait in a state of being sandwiched between the tension applying roller and the pinch roller, If such a standby state continues, the pinching force of these rollers concentrates in one place, and the problem that a streak-like pinch trace will be formed in an adhesive sheet will generate | occur | produce. If such a pinch mark is made, for example, an inconvenience that an adhesive sheet is stuck in a state where air bubbles are interposed between the adherend and the adherend is, for example, a semiconductor wafer (hereinafter simply referred to as a semiconductor wafer). In the case of "wafer"), when the wafer is ground to a thickness of about 5 to 30 [mu] m from the opposite side of the circuit surface with the adhesive sheet protecting the circuit surface of the wafer, a pinch trace is formed. The thickness of the wafer in the region becomes thicker than that in other regions, and the thickness of the semiconductor device becomes non-uniform so that the quality deteriorates.
本発明の目的は、積極的に接着シートに張力を付与して当該接着シートを被着体に貼付しつつも、挟込力が1箇所に集中することによって当該接着シートに挟込跡を形成することを防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。 The object of the present invention is to form a pinch mark on the adhesive sheet by positively applying tension to the adhesive sheet and sticking the adhesive sheet to an adherend while the pinching force is concentrated in one place. It is in providing the sheet sticking apparatus and sticking method which can prevent doing.
本発明のシート貼付装置は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、帯状の剥離シートの一方の面に前記接着シートが仮着された原反に繰出力付与手段で繰出力を付与し、当該原反を所定の繰出方向に繰り出す繰出手段と、前記繰出力付与手段よりも前記繰出方向上流側に設けられ、前記原反をその折曲部で折り曲げて前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された接着シートを前記被着体に押圧する押圧手段と、前記剥離手段の折曲部よりも前記繰出方向上流側に設けられ、前記原反を挟み込むことなく前記押圧手段で前記被着体に押圧されている前記接着シートに所定の張力を付与する張力付与手段とを備えていることを特徴とする。 The sheet sticking apparatus of the present invention is a sheet sticking apparatus for sticking an adhesive sheet to an adherend, and is repeated by a feed output applying means on the original fabric in which the adhesive sheet is temporarily attached to one surface of a strip-shaped release sheet. An output is provided, the feeding means for feeding the original fabric in a predetermined feeding direction, and provided on the upstream side in the feeding direction with respect to the feeding output giving means, and the original fabric is folded at the bent portion from the release sheet. A peeling means for peeling the adhesive sheet; a pressing means for pressing the adhesive sheet peeled by the peeling means against the adherend; and provided on the upstream side in the feeding direction from the bent portion of the peeling means, Tension applying means for applying a predetermined tension to the adhesive sheet pressed against the adherend by the pressing means without sandwiching the original fabric is provided.
本発明のシート貼付装置において、前記張力付与手段は、前記原反の一方の面および他方の面の何れかの面に当接するとともに、抵抗付与手段によって前記接着シートに前記所定の張力を付与する張力付与部材と、前記張力付与部材へ前記原反を巻回させる巻回部材とを備えていることが好ましい。
本発明のシート貼付装置において、前記張力付与手段は、前記張力付与部材と巻回部材との相対位置を変更可能に設けられ、前記張力付与部材への前記原反の巻回長さを調整する巻回長調整手段を備えていることが好ましい。
In the sheet sticking device of the present invention, the tension applying unit abuts on one of the one side and the other side of the original fabric, and applies the predetermined tension to the adhesive sheet by a resistance applying unit. It is preferable that a tension applying member and a winding member that winds the original fabric around the tension applying member are provided.
In the sheet sticking device of the present invention, the tension applying means is provided so as to be able to change a relative position between the tension applying member and the winding member, and adjusts a winding length of the original fabric around the tension applying member. It is preferable that a winding length adjusting means is provided.
本発明のシート貼付方法は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、帯状の剥離シートの一方の面に前記接着シートが仮着された原反を所定の繰出方向に繰り出す工程と、前記繰り出される原反を折り曲げて前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、前記剥離された接着シートを前記被着体に押圧する押圧工程と、前記原反を挟み込むことなく前記押圧工程で前記被着体に押圧されている前記接着シートに所定の張力を付与する工程とを備えていることを特徴とする。 The sheet sticking method of the present invention is a sheet sticking method for sticking an adhesive sheet to an adherend, and feeds out an original fabric in which the adhesive sheet is temporarily attached to one surface of a strip-shaped release sheet in a predetermined feeding direction. A step, a step of bending the unrolled original fabric to peel the adhesive sheet from the release sheet, a pressing step of pressing the peeled adhesive sheet against the adherend, and the sandwich without sandwiching the original fabric And a step of applying a predetermined tension to the adhesive sheet pressed against the adherend in the pressing step.
以上のような本発明によれば、原反上の接着シートの一部分を挟み込み続けることがないので、積極的に接着シートに張力を付与して当該接着シートを被着体に貼付しつつも、挟込力が1箇所に集中することによって当該接着シートに挟込跡を形成することを防止することができる。 According to the present invention as described above, since it does not continue to sandwich a part of the adhesive sheet on the original fabric, while actively applying tension to the adhesive sheet and sticking the adhesive sheet to the adherend, It is possible to prevent a pinch trace from being formed on the adhesive sheet by concentrating the pinching force at one place.
また、張力付与部材および巻回部材を設ければ、張力付与部材へ原反を巻回させ、抵抗付与手段の抵抗力を確実に原反に付与して接着シートを被着体に貼付することができる。
さらに、巻回長調整手段を設ければ、張力付与部材への原反の巻回長さを容易に調整することができ、接着シートに適切な張力を付与して当該接着シートを被着体に貼付することができる。
Also, if a tension applying member and a winding member are provided, the original fabric is wound around the tension applying member, and the adhesive force is applied to the adherend by reliably applying the resistance of the resistance applying means to the original fabric. Can do.
Further, if the winding length adjusting means is provided, the winding length of the raw material on the tension applying member can be easily adjusted, and an appropriate tension is applied to the adhesive sheet to attach the adhesive sheet to the adherend. Can be affixed to.
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In this embodiment, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other, the X axis and the Y axis are axes in a predetermined plane, and the Z axis is an axis that is orthogonal to the predetermined plane. To do. Furthermore, in the present embodiment, when viewed from the front side in FIG. 1 parallel to the Y axis, when indicating the direction, “up” is the arrow direction of the Z axis and “down” is the opposite direction, “ The “left” is the arrow direction of the X axis, “right” is the opposite direction, “front” is the front direction in FIG. 1 parallel to the Y axis, and “rear” is the opposite direction.
図1において、シート貼付装置10は、被着体としてのウエハWFに接着シートASを貼付する装置であって、帯状の剥離シートRLの一方の面に接着シートASが仮着された原反RSに繰出力付与手段としての駆動ローラ24で繰出力を付与し、当該原反RSを所定の繰出方向に繰り出す繰出手段20と、駆動ローラ24よりも繰出方向上流側に設けられ、原反RSをその折曲部30Aで折り曲げて剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板30と、剥離板30で剥離された接着シートASをウエハWFに押圧する押圧手段としての押圧ローラ40と、剥離板30の折曲部30Aよりも繰出方向上流側に設けられ、原反RSを挟み込むことなく押圧ローラ40でウエハWFに押圧されている接着シートASに所定の張力を付与する張力付与手段50とを備え、押圧ローラ40に対してウエハWFを相対移動させる移送手段60の上方に配置されている。
In FIG. 1, a
繰出手段20は、原反RSを支持する支持ローラ21と、原反RSを案内するガイドローラ22と、駆動機器としての回動モータ23によって駆動される駆動ローラ24と、駆動ローラ24との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ25と、剥離シートRLを回収する回収ローラ26とを備え、その全体がフレーム27に支持されている。なお、原反RSの繰出方向(以下、単に「繰出方向」という場合がある)とは、当該原反RSが支持ローラ21から回収ローラ26に向かって繰り出される方向である。
The feeding means 20 includes a
張力付与手段50は、原反RSの一方の面である接着シートASが仮着された側の面に当接するとともに、抵抗付与手段であって駆動機器としての回動モータ51によって駆動され、接着シートASに所定の張力を付与する張力付与部材としての張力付与ローラ52と、張力付与ローラ52へ原反RSを巻回させる巻回部材としての従動ローラ53と、張力付与ローラ52と従動ローラ53との相対位置を変更可能に設けられ、張力付与ローラ52への原反RSの巻回長さを調整する巻回長調整手段54とを備えている。なお、回動モータ51は、トルク制御および速度制御の少なくとも一方が可能なもので構成されている。
巻回長調整手段54は、駆動機器としての回動モータ54Aと、回動モータ54Aの出力軸54Bに支持され、フレーム27に形成された円弧状の挿通溝27Aに挿通された軸54Cを介して従動ローラ53を回転可能に支持するアーム54Dとを備えている。
The tension applying means 50 abuts on the surface on which the adhesive sheet AS, which is one surface of the original fabric RS, is temporarily attached, and is driven by a
The winding length adjusting means 54 is supported by a rotating
移送手段60は、駆動機器としてのリニアモータ61のスライダ61Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハWFを吸着保持可能な支持面62Aを有するテーブル62を備えている。
The
以上のシート貼付装置10において、ウエハWFに接着シートASを貼付する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1中実線で示す状態のシート貼付装置10に対し、作業者が原反RSを同図中実線で示すようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、張力付与手段50が回動モータ54Aを駆動し、出力軸54Bを反時計回転方向に所定角度θ回転させ、図1中二点鎖線で示すように、従動ローラ53の位置を変更する。これにより、張力付与ローラ52への原反RSの巻回長さが調整される。ここで、張力付与ローラ52への原反RSの巻回長さを増加させると、張力付与ローラ52に対する原反RSの摩擦力が増加し、ウエハWFに押圧されている接着シートASに張力を付与し易くなり、逆に、当該巻回長さを減少させると、張力付与ローラ52に対する原反RSの摩擦力が低下し、ウエハWFに押圧されている接着シートASに張力を付与し難くなる。なお、出力軸54Bを回転させる所定角度θや、張力付与ローラ52に巻き回す原反RSの巻回長さは、作業者が任意に決定することができ、当該作業者が図示しない入力手段を介してシート貼付装置10に入力することができる。次いで、繰出手段20および張力付与手段50が回動モータ23、51を駆動し、剥離板30上に位置する先頭の接着シートASの繰出方向先端部AS1が折曲部30Aで所定長さ剥離されたことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段20および張力付与手段50が回動モータ23、51の駆動を停止して待機状態となる。
In the
First, after the operator sets the original fabric RS as indicated by the solid line in FIG. 1 to the
その後、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段により、初期位置にあるテーブル62の支持面62A上にウエハWFを載置すると、移送手段60が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハWFを吸着保持した後、リニアモータ61を駆動し、テーブル62を左方向に移動させる。次いで、ウエハWFが所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段20および張力付与手段50が回動モータ23、51を駆動し、テーブル62の移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。そして、先頭の接着シートASの繰出方向先端部AS1が押圧ローラ40によってウエハWFに押圧されて貼付されたことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段20がテーブル62の移動速度に合わせて原反RSを繰り出すように回動モータ23を駆動しつつも、張力付与手段50が回動モータ51のトルク制御を行い、張力付与ローラ52を介して原反RSから受けるトルクが所定値となるように維持しながら当該張力付与ローラ52を回転させる。これにより、ウエハWFに押圧されている接着シートASに所定の張力が付与されて、当該接着シートASがウエハWFに貼付される。その後、次回貼付予定の接着シートASの繰出方向先端部AS1が折曲部30Aで所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段20および張力付与手段50が回動モータ23、51の駆動を停止し、再び待機状態となる。
Thereafter, when the wafer WF is placed on the
ウエハWFに接着シートASの貼付が完了すると、移送手段60がリニアモータ61および図示しない減圧手段の駆動を停止した後、図示しない搬送手段がウエハWFを次工程に搬送する。そして、移送手段60がリニアモータ61を駆動し、テーブル62を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
When the attachment of the adhesive sheet AS to the wafer WF is completed, the
以上のような実施形態によれば、原反RS上の接着シートASの一部分を挟み込み続けることがないので、積極的に接着シートASに張力を付与して当該接着シートASをウエハWFに貼付しつつも、挟込力が1箇所に集中することによって当該接着シートASに挟込跡を形成することを防止することができる。 According to the embodiment as described above, since a part of the adhesive sheet AS on the raw fabric RS is not continuously sandwiched, tension is positively applied to the adhesive sheet AS and the adhesive sheet AS is attached to the wafer WF. However, it is possible to prevent a pinch mark from being formed on the adhesive sheet AS by concentrating the pinching force at one location.
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。 As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this. That is, the invention has been illustrated and described with particular reference to certain specific embodiments, but without departing from the spirit and scope of the invention, Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of material, quantity, and other detailed configurations. In addition, the description of the shape, material, and the like disclosed above is exemplary for ease of understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member which remove | excluded the limitation of some or all of such restrictions is included in this invention.
例えば、繰出手段20は、接着シートASが所定間隔を隔てて剥離シートRL上に仮着された原反RSを繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材に閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートAS、外側が不要シートとされ、接着シート間領域を隔てて複数の接着シートASが帯状の剥離シートRLに仮着された原反を繰り出してもよい。また、帯状の接着シート基材が帯状の剥離シートRLに仮着された原反が採用された場合、切断刃、レーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の切断手段により、接着シート基材を所定形状に切断し、所定間隔を隔てて複数の接着シートASが帯状の剥離シートRLに仮着された原反を形成してもよい。 For example, the feeding means 20 may feed out the raw fabric RS temporarily attached on the release sheet RL with a predetermined interval between the adhesive sheets AS, or a closed loop cut is formed in the belt-like adhesive sheet base material. By doing so, the inner side may be an adhesive sheet AS, and the outer side may be an unnecessary sheet, and a plurality of adhesive sheets AS may be unrolled to a strip-shaped release sheet RL across an area between the adhesive sheets. In addition, when a raw material in which a belt-like adhesive sheet base material is temporarily attached to a belt-like release sheet RL is used, the adhesive sheet is cut by a cutting means such as a cutting blade, a laser cutter, a heat cutter, an air cutter, or a compressed water cutter. The base material may be cut into a predetermined shape, and a raw material may be formed in which a plurality of adhesive sheets AS are temporarily attached to the strip-shaped release sheet RL at a predetermined interval.
剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
押圧手段は、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等で押圧部材を採用してもよいし、エア噴き付けにより接着シートASを被着体に押圧する構成としてもよい。
The peeling means may be composed of a round bar or a roller.
The pressing means may be a pressing member such as a round bar, blade material, rubber, resin, sponge, or the like, or may be configured to press the adhesive sheet AS against the adherend by air spraying.
張力付与手段50は、回動モータ51の速度制御を行い、繰出手段20がテーブル62の移動速度に合わせて原反RSを繰り出す速度よりも遅い速度で張力付与ローラ52を駆動させたり、原反RSの繰出方向の反対方向(図1の場合、半時計回転方向)に張力付与ローラ52を駆動させたりすることで、ウエハWFに押圧されている接着シートASに所定の張力を付与してもよいし、トルク制御と速度制御との両方でウエハWFに押圧されている接着シートASに所定の張力を付与してもよい。
張力付与手段50は、原反RSの他方の面である接着シートASが仮着されていない側の面に張力付与ローラ52を当接させたり、原反RSの一方の面および、他方の面の両方の面に、張力付与ローラ52を当接させ、ウエハWFに押圧されている接着シートASに所定の張力を付与してもよい。
張力付与手段50は、抵抗付与手段として、張力付与ローラ52の回転に抵抗を付与する摺動抵抗器やパウダブレーキ等のブレーキ手段を設けたり、原反RSの一方の面および他方の面の少なくとも一方の面に気体を吹き付けたりすることで、ウエハWFに押圧されている接着シートASに所定の張力を付与する構成としてもよい。
張力付与手段50は、原反RSの一方の面に気体を吹き付けるとともに、原反RSの他方の面にも気体を吹き付けることで、図1中二点鎖線で示す原反RSのパスラインを形成し、ウエハWFに押圧されている接着シートASに所定の張力を付与してもよい。
張力付与手段50は、抵抗付与手段によって従動ローラ53の回転に抵抗を付与してもよい。
張力付与手段50は、ウエハWFに押圧されている接着シートASの張力を検知する圧力センサやロードセル等の張力検知手段を設け、当該張力検知手段の検知結果を基に、トルク制御や速度制御を行ったり、巻回長調整手段54が張力付与ローラ52への原反RSの巻回長さを調整し、リアルタイムで張力調整をしてもよい。
張力付与手段50は、巻回長調整手段54を設けずに、張力付与ローラ52で剥離シートRLに張力を付与してもよい。この場合、例えば、従動ローラ53を図1中二点鎖線出示す位置に配置しておいてもよいし、従動ローラ53を採用しなくてもよい。
張力付与手段50は、丸棒やブレード材で張力付与部材や巻回部材を構成してもよい。
張力付与ローラ52は、その表面に凹凸部材、接着剤、粘着剤、吸引等の抵抗増大手段を設け、原反RSとの抵抗を大きくするようにしてもよい。
The
The
The
The tension applying means 50 forms a pass line of the original fabric RS indicated by a two-dot chain line in FIG. 1 by blowing gas on one surface of the original fabric RS and also blowing gas on the other surface of the original fabric RS. Then, a predetermined tension may be applied to the adhesive sheet AS pressed against the wafer WF.
The
The
The
The
The
巻回長調整手段54は、例えば、駆動機器としてのリニアモータのスライダで従動ローラ53を支持し、当該従動ローラ53を原反RSの繰出方向に交差する方向に移動させたり、アーム54Dでガイドローラ22を支持し、当該ガイドローラ22を張力付与ローラ52に対して回動させたりしてもよいし、従動ローラ53やガイドローラ22の位置を手動で変更させ、張力付与ローラ52への原反RSの巻回長さを調整する構成としてもよい。
巻回長調整手段54は、従動ローラ53を移動不能としておき、張力付与ローラ52を移動させたり、張力付与ローラ52および従動ローラ53の両方を移動させたりして張力付与ローラ52への原反RSの巻回長さを調整してもよい。
巻回長調整手段54は、従動ローラ53の代わりに、原反RSに気体を吹き付けることで、張力付与ローラ52への原反RSの巻回長さを調整する構成としてもよい。
The winding length adjusting means 54, for example, supports the driven
The winding length adjusting means 54 keeps the driven
The winding length adjusting means 54 may be configured to adjust the winding length of the original fabric RS on the
移送手段60は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で被着体を支持する構成でもよい。
移送手段60は、テーブル62の位置を固定しておきシート貼付装置10を移動させてもよいし、テーブル62およびシート貼付装置10の両方を移動させてもよい。
シート貼付装置10に対し、他の装置でウエハWFを相対移動させる場合、移送手段60はなくてもよい。
The transfer means 60 may be configured to support the adherend by chuck means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, coulomb force, adhesive, adhesive, magnetic force, Bernoulli adsorption, or the like.
The transfer means 60 may move the
When the wafer WF is moved relative to the
シート貼付装置10は、帯状の接着シート基材をウエハWFに貼付した後、当該接着シート基材を切断刃、レーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の切断手段で所定形状の接着シートASに切断してもよい。
The
また、本発明における接着シートASおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。 Further, the material, type, shape and the like of the adhesive sheet AS and the adherend in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS may be a circle, an ellipse, a polygon such as a triangle or a quadrangle, or other shapes, or may be of an adhesive form such as pressure sensitive adhesive or heat sensitive adhesive, When the heat-sensitive adhesive sheet AS is employed, it may be bonded by an appropriate method such as providing an appropriate coil heater for heating the adhesive sheet or a heating means such as a heat pipe. Such an adhesive sheet AS is, for example, a single layer having only an adhesive layer, an intermediate layer between the base sheet and the adhesive layer, a cover layer on the upper surface of the base sheet, etc. Three or more layers, or a so-called double-sided adhesive sheet that can peel the base sheet from the adhesive layer may be used. The double-sided adhesive sheet comprises a single-layer or multi-layer intermediate layer. It may be a single layer or a multilayer having no intermediate layer. Examples of the adherend include, for example, foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit board, information recording substrates such as optical disks, glass plates, steel plates, ceramics, wood plates or resin plates, Arbitrary forms of members and articles can also be targeted. In addition, the adhesive sheet AS is replaced with a functional and intended reading, for example, any information label, decorative label, protective sheet, dicing tape, die attach film, die bonding tape, recording layer forming resin sheet, etc. Arbitrary sheets, films, tapes and the like can be attached to any adherend as described above.
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反に繰出力付与手段で繰出力を付与し、当該原反を所定の繰出方向に繰り出すものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
The means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions, or steps described with respect to those means and steps. The process is not limited at all. For example, as long as the feeding means applies a feeding force by the feeding output imparting means to the original fabric in which the adhesive sheet is temporarily attached to one surface of the strip-shaped release sheet, and feeds the original fabric in a predetermined feeding direction. There is no limitation as long as it is within the technical scope in light of the common general technical knowledge at the time of filing (explanation of other means and steps is omitted).
The drive device in the embodiment includes an electric device such as a rotation motor, a linear motion motor, a linear motor, a single axis robot, an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to these, a combination of them directly or indirectly may be employed (some of them overlap with those exemplified in the embodiment).
10 シート貼付装置
20 繰出手段
24 駆動ローラ(繰出力付与手段)
30 剥離板(剥離手段)
30A 折曲部
40 押圧ローラ(押圧手段)
50 張力付与手段
51 回動モータ(抵抗付与手段)
52 張力付与ローラ(張力付与部材)
53 従動ローラ(巻回部材)
54 巻回長調整手段
AS 接着シート
RL 剥離シート
RS 原反
WF ウエハ(被着体)
DESCRIPTION OF
30 Peeling plate (peeling means)
30A bent
50
52 Tension applying roller (tension applying member)
53 Followed roller (winding member)
54 Winding Length Adjustment Means AS Adhesive Sheet RL Release Sheet RS Original WF Wafer (Substrate)
Claims (4)
帯状の剥離シートの一方の面に前記接着シートが仮着された原反に繰出力付与手段で繰出力を付与し、当該原反を所定の繰出方向に繰り出す繰出手段と、
前記繰出力付与手段よりも前記繰出方向上流側に設けられ、前記原反をその折曲部で折り曲げて前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された接着シートを前記被着体に押圧する押圧手段と、
前記剥離手段の折曲部よりも前記繰出方向上流側に設けられ、前記原反を挟み込むことなく前記押圧手段で前記被着体に押圧されている前記接着シートに所定の張力を付与する張力付与手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 A sheet sticking device for sticking an adhesive sheet to an adherend,
A feeding means that feeds the original fabric with the adhesive sheet temporarily attached to one surface of the strip-shaped release sheet by the feeding output imparting means, and feeds the original fabric in a predetermined feeding direction;
A peeling means provided on the upstream side in the feeding direction from the feeding output giving means, and bending the original fabric at its bent portion to peel the adhesive sheet from the peeling sheet;
A pressing means for pressing the adhesive sheet peeled off by the peeling means against the adherend;
Tension application that provides a predetermined tension to the adhesive sheet that is provided on the upstream side in the feeding direction from the bent portion of the peeling unit and is pressed against the adherend by the pressing unit without sandwiching the original fabric. Means for attaching a sheet.
前記原反の一方の面および他方の面の何れかの面に当接するとともに、抵抗付与手段によって前記接着シートに前記所定の張力を付与する張力付与部材と、
前記張力付与部材へ前記原反を巻回させる巻回部材とを備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。 The tension applying means includes
A tension applying member that abuts on one of the one side and the other side of the original fabric and applies the predetermined tension to the adhesive sheet by a resistance applying unit;
The sheet sticking apparatus according to claim 1, further comprising a winding member that winds the original fabric around the tension applying member.
帯状の剥離シートの一方の面に前記接着シートが仮着された原反を所定の繰出方向に繰り出す工程と、
前記繰り出される原反を折り曲げて前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、
前記剥離された接着シートを前記被着体に押圧する押圧工程と、
前記原反を挟み込むことなく前記押圧工程で前記被着体に押圧されている前記接着シートに所定の張力を付与する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。 A sheet sticking method for sticking an adhesive sheet to an adherend,
A step of feeding out an original fabric in which the adhesive sheet is temporarily attached to one surface of a strip-shaped release sheet in a predetermined feeding direction;
Bending the unrolled original fabric and peeling the adhesive sheet from the release sheet;
A pressing step of pressing the peeled adhesive sheet against the adherend;
And a step of applying a predetermined tension to the adhesive sheet that is pressed against the adherend in the pressing step without sandwiching the original fabric.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021017332A (en) * | 2019-07-19 | 2021-02-15 | リンテック株式会社 | Tension application device and tension application method |
JP2022030571A (en) * | 2020-08-07 | 2022-02-18 | リンテック株式会社 | Device and method for feeding sheet |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4867833A (en) * | 1987-09-14 | 1989-09-19 | Carl Strutz & Company, Inc. | Butt-cut label dispenser |
JPH06216242A (en) * | 1993-01-12 | 1994-08-05 | Lintec Corp | Adhesion of adhesive tape to be attached to semiconductor wafer |
JP2001122233A (en) * | 1999-10-29 | 2001-05-08 | Sato Corp | Label supplying device of label adhering machine |
JP2003246519A (en) * | 2002-02-27 | 2003-09-02 | Toshiba Eng Co Ltd | Tension control device for taking-up paper |
JP2009263040A (en) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Lintec Corp | Paying out device and sheet sticking device |
JP2009280316A (en) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Lintec Corp | Tension applying device and sheet sticking device |
WO2015059450A2 (en) * | 2013-10-21 | 2015-04-30 | Videojet Technologies Inc. | Machine and method of operation |
-
2015
- 2015-07-07 JP JP2015136449A patent/JP6543118B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4867833A (en) * | 1987-09-14 | 1989-09-19 | Carl Strutz & Company, Inc. | Butt-cut label dispenser |
JPH06216242A (en) * | 1993-01-12 | 1994-08-05 | Lintec Corp | Adhesion of adhesive tape to be attached to semiconductor wafer |
JP2001122233A (en) * | 1999-10-29 | 2001-05-08 | Sato Corp | Label supplying device of label adhering machine |
JP2003246519A (en) * | 2002-02-27 | 2003-09-02 | Toshiba Eng Co Ltd | Tension control device for taking-up paper |
JP2009263040A (en) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Lintec Corp | Paying out device and sheet sticking device |
JP2009280316A (en) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Lintec Corp | Tension applying device and sheet sticking device |
WO2015059450A2 (en) * | 2013-10-21 | 2015-04-30 | Videojet Technologies Inc. | Machine and method of operation |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021017332A (en) * | 2019-07-19 | 2021-02-15 | リンテック株式会社 | Tension application device and tension application method |
JP2022030571A (en) * | 2020-08-07 | 2022-02-18 | リンテック株式会社 | Device and method for feeding sheet |
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