JP2017017895A - 圧電駆動装置、モーターおよびロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2つの同一形状の圧電振動子の組が1組以上、1つの固定板に固定されている圧電駆動装置であって、前記圧電振動子は、前記固定板に固定される固定部と、圧電素子が設けられている振動体部と、前記固定部と前記振動体部とを接続する接続部と、を備えている振動板と、前記振動板に取り付けられまたは前記振動板と接触し、かつ、被駆動体に接触される接触部と、を有し、前記振動板の主面に平行かつ互いに直交する2つの方向をX方向およびY方向とし、前記振動板の主面に垂直な方向をZ方向とし、前記固定部、前記振動体部および前記接触部が、前記X方向に沿って設けられ、前記2つの同一形状の圧電振動子は、互いに逆位相で駆動される。
【選択図】図1
Description
本適用例に係る圧電駆動装置は、
2つの同一形状の圧電振動子の組が1組以上、1つの固定板に固定されている圧電駆動装置であって、
前記圧電振動子は、
前記固定板に固定される固定部と、圧電素子が設けられている振動体部と、前記固定部と前記振動体部とを接続する接続部と、を備えている振動板と、
前記振動板に取り付けられまたは前記振動板と接触し、かつ、被駆動体に接触される接触部と、
を有し、
前記振動板の主面に平行かつ互いに直交する2つの方向をX方向およびY方向とし、前記振動板の主面に垂直な方向をZ方向とし、
前記固定部、前記振動体部および前記接触部が、前記X方向に沿って設けられ、
前記2つの同一形状の圧電振動子は、互いに逆位相で駆動される、圧電駆動装置である。
動エネルギーの漏れを低減できるので、大きな出力を得られる圧電駆動装置を実現できる。また、固定板を小さくすることができる。
上述の圧電駆動装置において、
前記2つの同一形状の圧電振動子は、前記Y方向に並んで配置されていてもよい。
上述の圧電駆動装置において、
前記2つの同一形状の圧電振動子の前記固定部は、一体として構成されていてもよい。
上述の圧電駆動装置において、
前記圧電振動子は、前記振動体部の前記主面上に設けられ、
前記2つの同一形状の圧電振動子は、前記固定板の+Z方向側の面と−Z方向側の面に、互いの圧電素子が形成されていない面どうし、または、圧電素子が形成されている面どうしが向かい合うように、配置されていてもよい。
本適用例に係るモーターは、
上述の圧電駆動装置と、
前記被駆動体と、
を備えている、モーターである。
本適用例に係るロボットは、
複数のリンク部と、
前記複数のリンク部を接続する関節部と、
前記関節部を前記被駆動体として駆動する、上述のいずれかの圧電駆動装置と、
を備えている、ロボットである。
1−1.第1実施形態
図1は、第1実施形態に係る圧電駆動装置1を模式的に示す斜視図である。
定部111、接続部113、振動体部112および接触部114が、この順にX方向に沿って設けられている。これによって、被駆動体に大きな力を与えることができる。
ン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム(BST)、タンタル酸ストロンチウムビスマス(SBT)、メタニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等を用いることが可能である。またセラミック以外の圧電効果を示す材料、例えばポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いることも可能である。圧電体1003の厚みは、例えば50nm(0.05μm)以上20μm以下の範囲とすることが好ましい。この範囲の厚みを有する圧電体1003の薄膜は、成膜プロセスを利用して容易に形成することができる。圧電体1003の厚みを0.05μm以上とすれば、圧電体1003の伸縮に応じて十分に大きな力を発生することができる。また、圧電体1003の厚みを20μm以下とすれば、圧電駆動装置1を十分に小型化することができる。
描く。また、圧電振動子12が伸縮することによって、接触部124は、XY平面内で楕円の軌跡を描く。この動作によって、接触部114または接触部124と接触する被駆動体をY方向に送り出すことができる。
図6は、第2実施形態に係る圧電駆動装置2を模式的に示す斜視図である。第1実施形態に係る圧電駆動装置1と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
有限要素法によるシミュレーション結果を表1に示す。固定板の材質はステンレス鋼、固定板の大きさはX方向5mm、Y方向5mm、Z方向1mmとした。また、圧電振動子の材質はシリコン、圧電振動子の大きさはX方向2.5mm、Y方向1mm、Z方向0.2mmとした。
図8は、本実施形態に係るモーター50を模式的に示す平面図である。
図9は、上述の圧電駆動装置1を利用したロボット2050の一例を示す説明図である。ロボット2050は、複数のリンク部2012(「リンク部材」とも呼ぶ)と、それらリンク部2012の間を回動または屈曲可能な状態で接続する複数の関節部2020とを備えたアーム2010(「腕部」とも呼ぶ)を有している。それぞれの関節部2020には、上述した圧電駆動装置1が内蔵されており、圧電駆動装置1は、関節部2020を被駆動体として駆動する。本実施形態においては、圧電駆動装置1を用いて関節部2020を任意の角度だけ回動または屈曲させることが可能である。アーム2010の先端には、ロボットハンド2000が接続されている。ロボットハンド2000は、一対の把持部2003を備えている。ロボットハンド2000にも圧電駆動装置1が内蔵されており、圧電駆動装置1を用いて把持部2003を開閉して物を把持することが可能である。また、ロボットハンド2000とアーム2010との間にも圧電駆動装置1が設けられており、圧電駆動装置1を用いてロボットハンド2000をアーム2010に対して回転させることも可能である。
Claims (6)
- 2つの同一形状の圧電振動子の組が1組以上、1つの固定板に固定されている圧電駆動装置であって、
前記圧電振動子は、
前記固定板に固定される固定部と、圧電素子が設けられている振動体部と、前記固定部と前記振動体部とを接続する接続部と、を備えている振動板と、
前記振動板に取り付けられまたは前記振動板と接触し、かつ、被駆動体に接触される接触部と、
を有し、
前記振動板の主面に平行かつ互いに直交する2つの方向をX方向およびY方向とし、前記振動板の主面に垂直な方向をZ方向とし、
前記固定部、前記振動体部および前記接触部が、前記X方向に沿って設けられ、
前記2つの同一形状の圧電振動子は、互いに逆位相で駆動される、圧電駆動装置。 - 請求項1に記載の圧電駆動装置において、
前記2つの同一形状の圧電振動子は、前記Y方向に並んで配置されている、圧電駆動装置。 - 請求項2に記載の圧電駆動装置において、
前記2つの同一形状の圧電振動子の前記固定部は、一体として構成されている、圧電駆動装置。 - 請求項1に記載の圧電駆動装置において、
前記圧電素子は、前記振動体部の前記主面上に設けられ、
前記2つの同一形状の圧電振動子は、前記固定板の+Z方向側の面と−Z方向側の面に、互いの前記圧電素子が形成されていない面どうし、または、前記圧電素子が形成されている面どうしが向かい合うように、配置されている、圧電駆動装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の圧電駆動装置と、
前記被駆動体と、
を備えている、モーター。 - 複数のリンク部と、
前記複数のリンク部を接続する関節部と、
前記関節部を前記被駆動体として駆動する、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の圧電駆動装置と、
を備えている、ロボット。
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