JP2017017264A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハWを上下方向に並べて収納可能なフロントオープンボックスの容器本体1と、この容器本体1の外部から内部後方に不活性ガスを供給可能な一対の給気バルブ30と、この一対の給気バルブ30からの不活性ガスを容器本体1の内部後方から正面方向に供給可能なパージユニット50とを備え、パージユニット50を中空に形成し、このパージユニット50を容器本体1の内部後方に立設してその正面を容器本体1の正面方向に向け、このパージユニット50の正面上下方向に不活性ガス用の複数の吹出口を並設し、各吹出口から吹き出た不活性ガスを、半導体ウェーハWの表裏両面のうち、少なくとも表面に沿わせて容器本体1の正面方向に流動させる。
【選択図】図1
Description
パージユニットを中空に形成し、このパージユニットを容器本体の内部後方に立て設けてその正面を容器本体の正面方向に向け、このパージユニットの正面にパーガス用の吹出口を設け、この吹出口から吹き出たパージガスを、基板の表裏両面のうち、少なくとも表面に沿わせて容器本体の正面方向に流すようにしたことを特徴としている。
また、容器本体の内部両側に、基板を略水平に支持する複数の支持片を対向させて設けるとともに、この複数の支持片を容器本体の上下方向に所定の間隔で配列し、パージユニットの吹出口を、複数の支持片に支持された基板よりも高位に位置するよう設け、この吹出口を、複数の支持片に支持された基板の表面方向に2°〜60°の角度で傾斜させることができる。
また、パージユニットは、容器本体の底部後方の給気部材に連通されるパージガス用の導通部材と、この導通部材の導出部から導出したパージガスを容器本体の正面方向に吹き出すユニット本体とを含み、導通部材の導出部を、ユニット本体に設け、ユニット本体の容器本体正面に対向する正面に、パージガス用の吹出口を設けることが可能である。
請求項4記載の発明によれば、複数の吹出口からそれぞれ吹き出るパージガスに方向性が生じるのを規制し、パージガスの流通しない箇所の発生をより低減することが可能となる。
このような容器本体1は、蓋体開閉装置に位置決めして搭載され、開口した正面に蓋体11が圧入して嵌合された状態でパージされたり、EFEM(Equipment Front End Module)に併設された蓋体開閉装置に位置決めして搭載され、この蓋体開閉装置により正面からシール状態の蓋体11が取り外された後、正面が開口した状態でパージされたりする。
表面プレート13は、横長の正面矩形に形成され、補強用や取付用のリブ、螺子孔等が複数配設される。この表面プレート13の両側部には、施錠機構20用の操作孔がそれぞれ穿孔される。
2 底板
4 支持片
6 背面壁
7 取付孔
11 蓋体
20 施錠機構
30 給気バルブ(給気部材)
50 パージユニット
51 導通管
52 導出部
53 ユニット本体
54 正面壁(正面)
55 吹出口
56 メンブレンフィルタ
57 パージボックス
58 パージプレート(正面)
59 パージ空間
60 導通路
61 導出路
62 分岐路
63 吹出口
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (4)
- 複数枚の基板を上下方向に並べて収納可能なフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の外部から内部後方にパージガスを供給可能な給気部材と、この給気部材からのパージガスを容器本体の内部後方から正面方向に供給可能なパージユニットとを備えた基板収納容器であって、
パージユニットを中空に形成し、このパージユニットを容器本体の内部後方に立て設けてその正面を容器本体の正面方向に向け、このパージユニットの正面にパーガス用の吹出口を設け、この吹出口から吹き出たパージガスを、基板の表裏両面のうち、少なくとも表面に沿わせて容器本体の正面方向に流すようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体の内部両側に、基板を略水平に支持する複数の支持片を対向させて設け、この複数の支持片を容器本体の上下方向に所定の間隔で配列し、パージユニットの吹出口を、複数の支持片に支持された基板と略同じ高さに設けて基板の周縁部後方に対向させるようにした請求項1記載の基板収納容器。
- 容器本体の内部両側に、基板を略水平に支持する複数の支持片を対向させて設けるとともに、この複数の支持片を容器本体の上下方向に所定の間隔で配列し、パージユニットの吹出口を、複数の支持片に支持された基板よりも高位に位置するよう設け、この吹出口を、複数の支持片に支持された基板の表面方向に2°〜60°の角度で傾斜させた請求項1記載の基板収納容器。
- 容器本体の複数の支持片の配列数に応じ、パージユニットの正面高さ方向に複数の吹出口を並べ設けた請求項2又は3記載の基板収納容器。
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