JP2017001403A - 液体噴射装置及び圧電アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流路ユニット20の一表面の複数の圧電素子41の周囲領域には、複数の接続端子40が配置されている。ドライバIC46は、複数の圧電素子41を覆うように流路ユニット20の前記一表面と対向して配置されている。ドライバIC46と複数の接続端子50とが複数のバンプ51で接続されることで、複数の圧電素子41が複数のバンプ51によって取り囲まれる。さらに、複数のバンプ51の間には絶縁性の封止材52が充填されている。これにより、ドライバIC46、複数のバンプ51、及び、複数のバンプ51間の封止材52によって複数の圧電素子41が密閉され、複数の圧電素子41は大気から遮断される。
【選択図】図4
Description
前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記流路構造体の前記一表面と対向して配置され、前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数の第1バンプによって取り囲まれ、前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されていることを特徴とするものである。
前記基板の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記基板の前記一表面と対向して配置され、前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記ドライバICと前記複数の第1バンプによって囲まれ、前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されていることを特徴とするものである。
16 ノズル
20 流路ユニット
20a 隔壁部
21 圧電アクチュエータ
24 圧力室
30 振動板
40 圧電体
41 圧電素子
42 駆動電極
43 共通電極
43b 第1接続部
43c 第2接続部
45 駆動用端子
46 ドライバIC
47 入力端子
50 接続端子
51a 駆動バンプ
51b 第1共通電極バンプ
51c 入力バンプ
51d 第1共通電極バンプ
51e ダミーバンプ
52 封止材
Claims (11)
- 複数の圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、
前記流路構造体の一表面に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、
前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、
前記ドライバICは、前記流路構造体の前記一表面を挟んで前記圧力室とは反対側に配置され、
複数のバンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数のバンプによって取り囲まれ、
前記複数のバンプの周囲に絶縁材が設けられ、
前記流路構造体の前記一表面の、前記複数の圧力室を隔てる隔壁部と対向する領域に、前記バンプが接合されており、
前記隔壁部の前記バンプの周囲に前記絶縁材が設けられることを特徴とする液体噴射装置。 - 前記隔壁部の前記バンプは、前記接続端子が接続されないダミーバンプであることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射装置。
- 複数の圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、
前記流路構造体の一表面に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、
前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、
前記ドライバICは、前記流路構造体の前記一表面を挟んで前記圧力室とは反対側に配置され、
複数のバンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数のバンプによって取り囲まれ、
前記複数のバンプの周囲に絶縁材が設けられ、
前記流路構造体の前記一表面の、前記複数の圧力室を隔てる隔壁部と対向する領域に、前記バンプが接合されており、
前記隔壁部の前記バンプは、前記圧電素子の共通電極と接続されることを特徴とする液体噴射装置。 - 前記共通電極と接続される前記バンプは、前記隔壁部のみで接続されることを特徴とする請求項3に記載の液体噴射装置。
- 複数の圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、
前記流路構造体の一表面に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、
前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、
前記ドライバICは、前記流路構造体の前記一表面を挟んで前記圧力室とは反対側に配置され、
複数のバンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数のバンプによって取り囲まれ、
前記複数のバンプの周囲に絶縁材が設けられ、
前記流路構造体の前記一表面の、前記複数の圧力室を隔てる隔壁部と対向する領域に、前記バンプが接合されており、
前記接続端子は、前記流路構造体の前記一表面の、前記圧力室と対向する領域よりも外側に配置されており、
前記隔壁部の複数の前記バンプ間の距離は、前記接続端子と接続される前記外側の領域の複数の前記バンプ間の距離より大きいことを特徴とする液体噴射装置。 - 前記隔壁部の複数の前記バンプ間の距離は、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続される駆動用端子と接続される複数の前記バンプ間の距離より大きいことを特徴とする請求項5に記載の液体噴射装置。
- 前記隔壁部は、複数列の圧力室の列の間に設けられることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の液体噴射装置。
- 複数の圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、
前記流路構造体の一表面に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、
前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、
前記ドライバICは、前記流路構造体の前記一表面を挟んで前記圧力室とは反対側に配置され、
複数のバンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数のバンプによって取り囲まれ、
前記複数のバンプの周囲に絶縁材が設けられ、
前記バンプは、複数の圧力室が配列される方向と直交する方向に位置がずれて配置され、千鳥状に配列されることを特徴とする液体噴射装置。 - 前記千鳥状に配列されるバンプは、前記接続端子と接続される第1バンプと、前記接続端子と接続されない第2バンプと、を含むことを特徴とする請求項8に記載の液体噴射装置。
- 前記絶縁材は、少なくとも前記バンプの前記複数の圧力室が配列される方向と直交する方向の両側に設けられることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の液体噴射装置。
- 基板の一表面に配置された複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、
前記基板の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、
前記ドライバICは、前記基板の前記一表面側に配置され、
複数のバンプに含まれる複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記ドライバICと前記複数のバンプによって囲まれ、
前記複数のバンプの周囲に絶縁材が設けられ、
前記基板の前記一表面の、前記複数の圧電素子を隔てる隔壁部と対向する領域に、前記バンプが接合されており、
前記隔壁部の前記バンプの周囲に前記絶縁材が設けられることを特徴とする圧電アクチュエータ。
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