JP2016539907A - インゴットの成長工程を観察するためのビューポート及びこれを含むインゴット成長装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(付記1)
インゴットの成長工程が行われる空間を提供するチャンバーの内部を観察するためのビューポートであって、
前記チャンバーの一側に配置され、前記チャンバーの内部と連結されたホールを有するボディ部と、
前記ボディ部のホールに挿入されて前記チャンバーの封止状態を維持し、前記チャンバーの内部の光を透過するウィンドウと、
前記ウィンドウに向けてガスを噴射するウィンドウパージと、
を含むことを特徴とする、インゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
前記ボディ部の上側には前記ウィンドウパージがフランジで結合されることを特徴とする、付記1に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
前記ウィンドウパージの上側には前記ウィンドウがフランジで結合されることを特徴とする、付記2に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
前記ウィンドウパージは、前記ボディ部の上側に結合され、前記ボディ部のホールと連結されたパージホールが備えられているパージボディと、前記パージボディの一側からガスを噴射してエアカーテンを形成するガス噴射部とを含むことを特徴とする、付記2に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
前記ガス噴射部は、ガスの噴射方向を調節できるガスノズルを含むことを特徴とする、付記4に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
前記パージボディには、前記ガス噴射部から供給されたガスの移動通路となるガス案内部が設けられ、前記ガス案内部とパージボディとの間には、前記移動したガスを噴射するガス噴出口が設けられていることを特徴とする、付記4に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
前記ガス噴出口は、複数個で設けられることを特徴とする、付記6に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
前記ガス噴出口は、広い面積にガスを噴射できるように横方向に延長された形状を有することを特徴とする、付記6に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
前記ウィンドウパージには、前記噴射されたガスを分岐する傾斜した突出部がさらに備えられていることを特徴とする、付記1に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
インゴットの成長工程が行われる空間を提供し、密閉されたチャンバーと、
前記チャンバーの内部に配置され、シリコンメルトを収容する石英るつぼと、
前記シリコンメルトにシードを浸漬し、回転し及び引き上げて前記インゴットを成長させる引き上げ手段と、
前記チャンバーの一側に設置されて、前記チャンバーの内部の工程状況を観察できるように内部の光を透過するビューポートと、を含み、
前記ビューポートは、前記チャンバーの一側に配置され、前記チャンバーの内部と連結されたホールが備えられているボディ部と、前記ボディ部のホールに挿入されて前記チャンバーの封止状態を維持し、チャンバーの内部の光を透過するウィンドウと、前記ウィンドウに向けてガスを噴射するウィンドウパージと、を含むことを特徴とする、インゴット成長装置。
前記ビューポートを介して前記インゴットの成長工程の状況を測定するセンサ部をさらに含むことを特徴とする、付記10に記載のインゴット成長装置。
前記センサ部は、前記シリコンメルトから成長するインゴットの直径を測定する直径測定センサ部であることを特徴とする、付記11に記載のインゴット成長装置。
前記ウィンドウパージにガスを供給するガス供給部と、前記ガス供給部と前記ウィンドウパージを連結するガスラインとをさらに含むことを特徴とする、付記10に記載のインゴット成長装置。
前記シリコンメルトには、アンチモン(Sb)がドーパントとして含有されていることを特徴とする、付記10に記載のインゴット成長装置。
前記ガス供給部と連結されて、前記インゴットの成長工程に応じてガス注入圧力を調節する制御部をさらに含むことを特徴とする、付記13に記載のインゴット成長装置。
インゴットの成長工程が行われる空間を提供するチャンバーの内部を観察するためのビューポートであって、
前記チャンバーの密閉状態を維持しながら前記チャンバーの内部を観察できるウィンドウと、前記ウィンドウに向けてガスを噴射してウィンドウの汚染を防止するウィンドウパージと、を含むことを特徴とする、インゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
Claims (16)
- インゴットの成長工程が行われる空間を提供するチャンバーの内部を観察するためのビューポートであって、
前記チャンバーの一側に配置され、前記チャンバーの内部と連結されたホールを有するボディ部と、
前記ボディ部のホールに挿入されて前記チャンバーの封止状態を維持し、前記チャンバーの内部の光を透過するウィンドウと、
前記ウィンドウに向けてガスを噴射するウィンドウパージと、
を含むことを特徴とする、インゴットの成長工程を観察するためのビューポート。 - 前記ボディ部の上側には前記ウィンドウパージがフランジで結合されることを特徴とする、請求項1に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
- 前記ウィンドウパージの上側には前記ウィンドウがフランジで結合されることを特徴とする、請求項2に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
- 前記ウィンドウパージは、前記ボディ部の上側に結合され、前記ボディ部のホールと連結されたパージホールが備えられているパージボディと、前記パージボディの一側からガスを噴射してエアカーテンを形成するガス噴射部とを含むことを特徴とする、請求項2に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
- 前記ガス噴射部は、ガスの噴射方向を調節できるガスノズルを含むことを特徴とする、請求項4に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
- 前記パージボディには、前記ガス噴射部から供給されたガスの移動通路となるガス案内部が設けられ、前記ガス案内部とパージボディとの間には、前記移動したガスを噴射するガス噴出口が設けられていることを特徴とする、請求項4に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
- 前記ガス噴出口は、複数個で設けられることを特徴とする、請求項6に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
- 前記ガス噴出口は、広い面積にガスを噴射できるように横方向に延長された形状を有することを特徴とする、請求項6に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
- 前記ウィンドウパージには、前記噴射されたガスを分岐する傾斜した突出部がさらに備えられていることを特徴とする、請求項1に記載のインゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
- インゴットの成長工程が行われる空間を提供し、密閉されたチャンバーと、
前記チャンバーの内部に配置され、シリコンメルトを収容する石英るつぼと、
前記シリコンメルトにシードを浸漬し、回転し及び引き上げて前記インゴットを成長させる引き上げ手段と、
前記チャンバーの一側に設置されて、前記チャンバーの内部の工程状況を観察できるように内部の光を透過するビューポートと、を含み、
前記ビューポートは、前記チャンバーの一側に配置され、前記チャンバーの内部と連結されたホールが備えられているボディ部と、前記ボディ部のホールに挿入されて前記チャンバーの封止状態を維持し、チャンバーの内部の光を透過するウィンドウと、前記ウィンドウに向けてガスを噴射するウィンドウパージと、を含むことを特徴とする、インゴット成長装置。 - 前記ビューポートを介して前記インゴットの成長工程の状況を測定するセンサ部をさらに含むことを特徴とする、請求項10に記載のインゴット成長装置。
- 前記センサ部は、前記シリコンメルトから成長するインゴットの直径を測定する直径測定センサ部であることを特徴とする、請求項11に記載のインゴット成長装置。
- 前記ウィンドウパージにガスを供給するガス供給部と、前記ガス供給部と前記ウィンドウパージを連結するガスラインとをさらに含むことを特徴とする、請求項10に記載のインゴット成長装置。
- 前記シリコンメルトには、アンチモン(Sb)がドーパントとして含有されていることを特徴とする、請求項10に記載のインゴット成長装置。
- 前記ガス供給部と連結されて、前記インゴットの成長工程に応じてガス注入圧力を調節する制御部をさらに含むことを特徴とする、請求項13に記載のインゴット成長装置。
- インゴットの成長工程が行われる空間を提供するチャンバーの内部を観察するためのビューポートであって、
前記チャンバーの密閉状態を維持しながら前記チャンバーの内部を観察できるウィンドウと、前記ウィンドウに向けてガスを噴射してウィンドウの汚染を防止するウィンドウパージと、を含むことを特徴とする、インゴットの成長工程を観察するためのビューポート。
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