JP2016538678A - 電子ビーム検査及びレビューにおける向上した欠陥検出 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2013年9月28日に出願された米国仮出願第61/883,995号の利益を主張し、その開示は参照により本明細書に組み込まれる。
本発明は、半導体ウエハ及び他の製造された基板の検査及び/またはレビューのための方法及び装置に関する。
Claims (20)
- 検査及び/またはレビューのための電子ビーム装置であって、
一次電子ビームを発生させる電子源と、
試料を搬送するステージと、
前記一次電子ビームを前記試料の上に整形及び集束させる電子光学システムと、
前記試料からの二次電子及び後方散乱電子を含む信号搬送電子を検出する検出システムと、
前記検出システムからのデータを処理する画像処理システムと、
前記電子光学システム、前記検出システム、及び前記画像処理システムの動作を制御及び調整するホストコンピュータシステムと、
パラメータ空間を示し、かつ前記装置の動作パラメータのユーザ選択及び起動を提供するグラフィカルユーザインターフェースと、を備える、装置。 - 前記電子光学システムが、
複数の電子レンズと、
前記試料上の複数の電極と、を備え、
電荷制御電圧が、前記試料と前記試料に最も近い前記電極との間に生成されるような様式で、電圧が前記電極及び前記試料に印加され、
前記電荷制御電圧が、前記グラフィカルユーザインターフェースによって制御可能である独立した動作パラメータである、請求項1に記載の装置。 - 前記電荷制御電圧が、前記信号搬送電子を選別して、後方散乱電子を抽出し、二次電子を取り除くように選択される、請求項2に記載の装置。
- 前記電荷制御電圧が、前記信号搬送電子を選別して、後方散乱電子を取り除き、二次電子を抽出するように選択される、請求項2に記載の装置。
- 前記電荷制御電圧が、前記信号搬送電子を選別して、後方散乱電子と二次電子との混合物を抽出するように選択される、請求項2に記載の装置。
- 前記電荷制御電圧が、少なくとも−1キロボルト〜+1キロボルトの範囲である、請求項2に記載の装置。
- 前記一次電子ビームが、ある着地エネルギーで前記試料上に着地し、前記着地エネルギーが、前記グラフィカルユーザインターフェースによって制御可能である独立した動作パラメータである、請求項2に記載の装置。
- 前記着地エネルギーが、少なくとも0電子ボルト〜11キロ電子ボルトの範囲である、請求項7に記載の装置。
- 前記着地エネルギー及び前記電荷制御電圧が、前記グラフィカルユーザインターフェースの二次元パラメータ空間における横軸及び縦軸によって表される、請求項7に記載の装置。
- 前記パラメータ空間が、電流動作点を示し、かつ前記パラメータ空間における新たな動作点をポイントアンドクリックすることによって前記新たな動作点の選択を提供する、請求項9に記載の装置。
- 前記着地エネルギー及び前記電荷制御電圧が、前記パラメータ空間における任意の点が、前記新たな動作点として選択可能であるように、連続的に可変である、請求項10に記載の装置。
- 前記着地エネルギー及び前記電荷制御電圧が、前記パラメータ空間内で一定の増分で離散的に可変である、請求項10に記載の装置。
- 前記一定の増分が、前記電荷制御電圧では100ボルトの増分及び前記着地エネルギーでは100電子ボルトの増分を含む、請求項12に記載の装置。
- 前記パラメータ空間が、連続的に可変な領域及び離散的に可変な領域の両方を含む、請求項10に記載の装置。
- 連続的に可変な領域が、前記パラメータ空間における第2の次元に沿った離散値で、前記パラメータ空間における第1の次元における連続的範囲を含む、請求項14に記載の装置。
- 前記第1の次元が前記電荷制御電圧であり、前記第2の次元が前記着地エネルギーである、請求項15に記載の装置。
- 電子ビーム装置を使用して欠陥を検出及び/またはレビューする方法であって、
電子源を使用して一次電子ビームを発生させることと、
ステージを使用して試料を搬送することと、
電子光学システムを使用して、前記一次電子ビームを前記試料の上に整形及び集束させることと、
検出システムを使用して、前記試料からの二次電子及び後方散乱電子を含む信号搬送電子を検出することと、
画像処理システムを使用して、前記検出システムからのデータを処理することと、
ホストコンピュータシステムを使用して、前記電子光学システム、前記検出システム、及び前記画像処理システムの動作を制御することと、
グラフィカルユーザインターフェースを使用して、パラメータ空間を示し、かつ前記装置の動作パラメータのユーザ選択及び起動を提供することと、を含む、方法。 - 前記電子光学システムが、複数の電子レンズ及び前記試料上の複数の電極を備え、
電荷制御電圧が、前記試料と前記試料に最も近い前記電極との間に生成されるような様式で、前記電極及び前記試料に電圧を印加することと、
前記グラフィカルユーザインターフェースによって、第1の独立した動作パラメータとして前記電荷制御電圧を制御することと、をさらに含む、請求項17に記載の方法。 - 前記一次電子ビームが、ある着地エネルギーで前記試料上に着地し、
前記グラフィカルユーザインターフェースによって、第2の独立した動作パラメータとして前記着地エネルギーを制御することをさらに含む、請求項18に記載の方法。 - 前記グラフィカルユーザインターフェースの二次元パラメータ空間に前記着地エネルギー及び前記電荷制御電圧を表示することと、
前記パラメータ空間に、マークによって電流動作点を示すことと、
前記パラメータ空間内の新たな動作点をポイントアンドクリックすることによって、前記新たな動作点の選択を提供することと、をさらに含む、請求項19に記載の方法。
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