JP4451475B2 - 試料面観察方法 - Google Patents
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Description
前記電子ビームのランディングエネルギーが100eV以下の領域において、前記試料面画像における前記絶縁材料と前記導電性材料との輝度差をなくすように前記ランディングエネルギーを調整し、
調整された前記ランディングエネルギーを有する前記電子ビームを前記試料面に照射して試料面画像を取得し、前記絶縁材料及び前記導電性材料の輝度と異なる輝度の点を、前記試料面の開放欠陥として検出することを特徴とする。
前記電子ビームのランディングエネルギーが100eV以下の領域において、前記試料面画像における前記絶縁材料と前記導電性材料との輝度差が最大となるように前記ランディングエネルギーを調整し、
調整された前記ランディングエネルギーを有する前記電子ビームを前記試料面に照射して試料面画像を取得し、欠落欠陥を検出することを特徴とする。
前記電子ビームの前記試料面への照射は、複数回、漸次ランディングエネルギーを上げて行われ、前記絶縁材料及び前記導電性材料と前記開放欠陥との輝度差を上昇させることを特徴とする。
第5の発明に係る試料観察方法は、絶縁材料と導電性材料を含む配線が形成された試料面に電子ビームを照射し、該試料面の構造情報を得た電子を検出することにより、試料面画像を取得して該試料面を観察する試料面観察方法であって、
前記電子ビームのランディングエネルギーが100eV以下の領域において、該ランディングエネルギーを変化させることにより、検出目的とする欠陥の種類に応じて取得する試料画像の階調調整を行い、前記検出目的とする欠陥に対応した試料画像を取得することを特徴とする。
これにより、ランディングエネルギーの調整により、容易に開放欠陥の検出に適した状態と、欠落欠陥の検出に適した状態を設定することができ、開放欠陥の検出モードと欠落欠陥の検出モードの切り替えを容易に行うことができる。
2 ウェーネルト電極
3 アノード
4 静電レンズ
5 開口
6 四極子レンズ
7 E×B分離器
8 対物レンズ
9 第1段目コンデンサレンズ
10 第2段目コンデンサレンズ
11 MCP
12 蛍光板
13 TDI−CCD検出器
14 画像処理装置
15 電子ビーム
30 正常なコンタクトプラグ
31 欠落欠陥のコンタクトプラグ
32 開放欠陥のコンタクトプラグ
40 絶縁層
60 電子ビーム射出部
70 一次電子光学系
80 二次電子光学系
90 電子検出部
100 電子ビーム装置
Claims (5)
- 絶縁材料と導電性材料を含む配線が形成された試料面に電子ビームを照射し、該試料面の構造情報を得た電子を検出することにより、試料面画像を取得して該試料面を観察する試料面観察方法であって、
前記電子ビームのランディングエネルギーが100eV以下の領域において、前記試料面画像における前記絶縁材料と前記導電性材料との輝度差をなくすように前記ランディングエネルギーを調整し、
調整された前記ランディングエネルギーを有する前記電子ビームを前記試料面に照射して試料面画像を取得し、前記絶縁材料及び前記導電性材料の輝度と異なる輝度の点を、前記試料面の開放欠陥として検出することを特徴とする試料面観察方法。 - 絶縁材料と導電性材料を含む配線が形成された試料面に電子ビームを照射し、該試料面の構造情報を得た電子を検出することにより、試料面画像を取得して該試料面を観察する試料面観察方法であって、
前記電子ビームのランディングエネルギーが100eV以下の領域において、前記試料面画像における前記絶縁材料と前記導電性材料との輝度差が最大となるように前記ランディングエネルギーを調整し、
調整された前記ランディングエネルギーを有する前記電子ビームを前記試料面に照射して試料面画像を取得し、欠落欠陥を検出することを特徴とする試料面観察方法。 - 前記欠落欠陥の検出は、取得した前記試料面画像を参照用の試料面画像と比較することにより行われることを特徴とする請求項2に記載の試料面観察方法。
- 前記電子ビームの前記試料面への照射は、複数回、漸次ランディングエネルギーを上げて行われ、前記絶縁材料及び前記導電性材料と前記開放欠陥との輝度差を上昇させることを特徴とする請求項1に記載の試料面観察方法。
- 絶縁材料と導電性材料を含む配線が形成された試料面に電子ビームを照射し、該試料面の構造情報を得た電子を検出することにより、試料面画像を取得して該試料面を観察する試料面観察方法であって、
前記電子ビームのランディングエネルギーが100eV以下の領域において、該ランディングエネルギーを変化させることにより、検出目的とする欠陥の種類に応じて取得する試料画像の階調調整を行い、前記検出目的とする欠陥に対応した試料画像を取得することを特徴とする試料面観察方法。
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