JP2016519420A - 銅ピラー取り付け基板 - Google Patents
銅ピラー取り付け基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016519420A JP2016519420A JP2016500941A JP2016500941A JP2016519420A JP 2016519420 A JP2016519420 A JP 2016519420A JP 2016500941 A JP2016500941 A JP 2016500941A JP 2016500941 A JP2016500941 A JP 2016500941A JP 2016519420 A JP2016519420 A JP 2016519420A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- traces
- solder resist
- trace
- assembly
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims abstract description 41
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 39
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 39
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims abstract description 112
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 84
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 48
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 8
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- MPTQRFCYZCXJFQ-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride dihydrate Chemical compound O.O.[Cl-].[Cl-].[Cu+2] MPTQRFCYZCXJFQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4846—Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
- H01L21/4853—Connection or disconnection of other leads to or from a metallisation, e.g. pins, wires, bumps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/10—Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/11—Manufacturing methods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49838—Geometry or layout
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49866—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers characterised by the materials
- H01L23/49894—Materials of the insulating layers or coatings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Geometry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
Description
Claims (20)
- 電子的アッセンブリであって、
銅ピラー取り付け基板を含み、
前記銅ピラー取り付け基板が、
誘電体層と、
前記誘電体層に重なるソルダレジスト層であって、中に複数の開口を有し、且つ、ソルダレジスト層厚みを有する、前記ソルダレジスト層と、
前記誘電体層上に形成される複数の平行のトレースと、
を含み、
各トレースが第1端部と第2端部と中間部とを有し、前記第1及び第2端部が前記ソルダレジスト層により覆われ、前記中間部が前記ソルダレジスト層の前記開口内に配置され、前記中間部の各々が、その上に少なくとも1つの導電性被覆層を有し、且つ、前記誘電体層から、少なくとも前記ソルダレジスト層厚み程度に大きい前記少なくとも1つの導電性被覆層の最頂のものまで測定された高さを有する、
アッセンブリ。 - 請求項1に記載のアッセンブリであって、前記少なくとも1つの導電性被覆層が、第1の導電性被覆層及び第2の導電性被覆層を含む、アッセンブリ。
- 請求項2に記載のアッセンブリであって、前記第1の導電性被覆層が銅を含む、アッセンブリ。
- 請求項2に記載のアッセンブリであって、前記第2の導電性被覆層が錫を含む、アッセンブリ。
- 請求項1に記載のアッセンブリであって、前記トレースが銅を含む、アッセンブリ。
- 請求項1に記載のアッセンブリであって、前記ソルダレジスト層における前記開口が互い違いにされる、アッセンブリ。
- 請求項1に記載のアッセンブリであって、前記複数の平行のトレースの隣接するトレースがトレース間隔距離により隔てられ、前記ソルダレジスト層開口が互い違いにされ、複数の銅ピラーを有するダイを更に含み、前記銅ピラーの各々が、前記複数のトレースの関連する一つのトレースの前記中間部に接続されるティップ部を有し、前記銅ピラーの各々が、前記平行のトレースに垂直に測定された前記ソルダレジスト開口の関連する一つのソルダレジスト開口の寸法より大きい、前記平行のトレースに垂直に測定された断面寸法を有する、アッセンブリ。
- 請求項7に記載のアッセンブリであって、前記銅ピラーの各々の前記ティップ部が、前記複数のトレースの関連する一つのトレースの前記中間部上の前記少なくとも1つの被覆層にボンディングされる、アッセンブリ。
- 請求項8に記載のアッセンブリであって、前記複数のトレースの各々の前記中間部上の前記少なくとも1つの導電性被覆層が、第1の被覆層、及び前記第1の被覆層の上の第2の被覆層を含み、前記銅ピラーの前記はんだティップ部が前記第2の被覆層にボンディングされる、アッセンブリ。
- 請求項9に記載のアッセンブリであって、前記第1の被覆層が前記第2の被覆層より厚い、アッセンブリ。
- 請求項7に記載のアッセンブリであって、前記はんだティップ部の各々が円形の断面を有する、アッセンブリ。
- 請求項1に記載のアッセンブリであって、前記複数の平行のトレースが、前記トレースに垂直であり且つ前記トレースの第1端部のうちの最外の第1端部に交差する第1の線と、前記トレースに垂直であり且つ前記トレースの第2端部のうちの最外の第2端部に交差する第2の線とにより画定されるエリア内に配置され、前記複数のトレースが各々、前記第1の線と前記第2の線との間の距離より短い長さを有する、アッセンブリ。
- 請求項12に記載のアッセンブリであって、前記複数のトレースが各々、前記第1の線と前記第2の線との間の前記距離の2分の1より短い長さを有する、アッセンブリ。
- 請求項12に記載のアッセンブリであって、前記ソルダレジスト層が、少なくとも、前記第1の線まで、及び前記複数の平行のトレースの少なくとも最初のトレースから前記複数の平行のトレースの少なくとも最後のトレースまで延在する領域において前記第2の線まで延在する、アッセンブリ。
- 電子的アッセンブリであって、
銅ピラー取り付け基板を含み、
前記銅ピラー取り付け基板が、
誘電体層と、
前記誘電体層に重なるソルダレジスト層であって、中に複数の開口を有し、且つ、ソルダレジスト層厚みを有する、前記ソルダレジスト層と、
前記誘電体層上に形成される複数の平行のトレースと、
を含み、
各トレースが第1端部と第2端部と中間部とを有し、前記第1及び第2端部が前記ソルダレジスト層により覆われ、前記中間部が、前記ソルダレジスト層における前記開口内に配置され、前記複数の平行のトレースが、前記トレースに垂直であり且つ前記トレースの第1端部のうちの最外の第1端部に交差する第1の線と、前記トレースに垂直であり且つ前記トレースの第2端部のうちの最外の第2端部に交差する第2の線とにより画定されるエリア内に配置され、前記複数のトレースが各々、前記第1の線と前記第2の線との間の距離より短い長さを有する、
アッセンブリ。 - 請求項15に記載のアッセンブリであって、前記複数のトレースが各々、前記第1の線と前記第2の線との間の前記距離の2分の1より短い長さを有する、アッセンブリ。
- 請求項15に記載のアッセンブリであって、前記ソルダレジスト層が、少なくとも前記第1の線まで、及び前記複数の平行のトレースの少なくとも最初のトレースから前記複数の平行のトレースの少なくとも最後のトレースまで延在する領域において前記第2の線まで延在する、アッセンブリ。
- 銅ピラー取り付け基板を形成する方法であって、
誘電体層を備えた基板を提供すること、
前記誘電体層上に複数の平行のトレースを形成すること、
前記複数の平行のトレースの上にソルダレジスト層を付けること、
各トレースの中間部分を露出させる前記ソルダレジスト層における開口を形成すること、及び
前記トレースの各々の前記露出された中間部を、前記ソルダレジスト層の前記高さより高い高さまで延在する導電性材料で被覆すること、
を含む、方法。 - 請求項18に記載の方法であって、前記誘電体層上に前記複数の平行のトレースを形成することが、隣接するトレースの長さが重ならないように、平行のトレースの開始点及び終点を互い違いにすることを含む、方法。
- 請求項18に記載の方法であって、各トレースの中間部分を露出させる前記ソルダレジスト層において前記開口を形成することが、互い違いの開口を形成することを含む、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/798,678 US8896118B2 (en) | 2013-03-13 | 2013-03-13 | Electronic assembly with copper pillar attach substrate |
US13/798,678 | 2013-03-13 | ||
PCT/US2014/022334 WO2014164402A1 (en) | 2013-03-13 | 2014-03-10 | Copper pillar attach substrate |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016519420A true JP2016519420A (ja) | 2016-06-30 |
JP2016519420A5 JP2016519420A5 (ja) | 2017-04-13 |
JP6503334B2 JP6503334B2 (ja) | 2019-04-17 |
Family
ID=51523877
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016500941A Active JP6503334B2 (ja) | 2013-03-13 | 2014-03-10 | 銅ピラー取り付け基板 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8896118B2 (ja) |
JP (1) | JP6503334B2 (ja) |
CN (1) | CN105190879B (ja) |
WO (1) | WO2014164402A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018020640A1 (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JP6691031B2 (ja) * | 2016-10-05 | 2020-04-28 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板及びその製造方法、半導体パッケージ |
CN109729639B (zh) * | 2018-12-24 | 2020-11-20 | 奥特斯科技(重庆)有限公司 | 在无芯基板上包括柱体的部件承载件 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11191672A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Victor Co Of Japan Ltd | プリント配線基板 |
JP2008098402A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009177118A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | ポストバンプ及びその形成方法 |
JP2009212208A (ja) * | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Seiko Epson Corp | 半導体モジュール及びその製造方法 |
WO2010103934A1 (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-16 | ナミックス株式会社 | アンダーフィル材、及び、電子部品の実装方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3891838B2 (ja) * | 2001-12-26 | 2007-03-14 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置およびその製造方法 |
JP3829325B2 (ja) * | 2002-02-07 | 2006-10-04 | 日本電気株式会社 | 半導体素子およびその製造方法並びに半導体装置の製造方法 |
KR100722645B1 (ko) * | 2006-01-23 | 2007-05-28 | 삼성전기주식회사 | 반도체 패키지용 인쇄회로기판 및 그 제조방법 |
US7851345B2 (en) * | 2008-03-19 | 2010-12-14 | Stats Chippac, Ltd. | Semiconductor device and method of forming oxide layer on signal traces for electrical isolation in fine pitch bonding |
GB2487338B (en) | 2009-12-23 | 2014-10-22 | Skyworks Solutions Inc | Surface mount spark gap |
US8587119B2 (en) * | 2010-04-16 | 2013-11-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Conductive feature for semiconductor substrate and method of manufacture |
US8367467B2 (en) | 2010-04-21 | 2013-02-05 | Stats Chippac, Ltd. | Semiconductor method of forming bump on substrate to prevent ELK ILD delamination during reflow process |
US9905524B2 (en) * | 2011-07-29 | 2018-02-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Bump structures in semiconductor device and packaging assembly |
-
2013
- 2013-03-13 US US13/798,678 patent/US8896118B2/en active Active
-
2014
- 2014-03-10 CN CN201480014113.5A patent/CN105190879B/zh active Active
- 2014-03-10 JP JP2016500941A patent/JP6503334B2/ja active Active
- 2014-03-10 WO PCT/US2014/022334 patent/WO2014164402A1/en active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11191672A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Victor Co Of Japan Ltd | プリント配線基板 |
JP2008098402A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009177118A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | ポストバンプ及びその形成方法 |
JP2009212208A (ja) * | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Seiko Epson Corp | 半導体モジュール及びその製造方法 |
WO2010103934A1 (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-16 | ナミックス株式会社 | アンダーフィル材、及び、電子部品の実装方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8896118B2 (en) | 2014-11-25 |
JP6503334B2 (ja) | 2019-04-17 |
US20140264829A1 (en) | 2014-09-18 |
WO2014164402A1 (en) | 2014-10-09 |
CN105190879A (zh) | 2015-12-23 |
CN105190879B (zh) | 2018-07-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10297582B2 (en) | BVA interposer | |
TWI739662B (zh) | 具有增大的附接角度的導電線之半導體裝置及方法 | |
US9536850B2 (en) | Package having substrate with embedded metal trace overlapped by landing pad | |
US10600709B2 (en) | Bump-on-trace packaging structure and method for forming the same | |
TWI591785B (zh) | 半導體裝置及其製造方法 | |
JP4916241B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US20150008575A1 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
US20140182912A1 (en) | Packaging substrate | |
US8659168B2 (en) | Wiring board for flip-chip mounting, mounting structure of electronic components on wiring board, and semiconductor device including wiring board | |
TW201911508A (zh) | 電子封裝件 | |
US9349678B2 (en) | Chip having a pillar electrode offset from the bonding pad | |
US8723319B2 (en) | BGA package structure and method for fabricating the same | |
KR100967565B1 (ko) | 반도체 부품 | |
US9219052B2 (en) | Making a flip-chip assembly with bond fingers | |
US20120319289A1 (en) | Semiconductor package | |
JP6503334B2 (ja) | 銅ピラー取り付け基板 | |
TWI666746B (zh) | 覆晶式封裝基板、覆晶式封裝件及其製法 | |
US11211318B2 (en) | Bump layout for coplanarity improvement | |
US8828799B2 (en) | Method of forming an integrated circuit package including a direct connect pad, a blind via, and a bond pad electrically coupled to the direct connect pad | |
US20070267730A1 (en) | Wafer level semiconductor chip packages and methods of making the same | |
US10340242B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170307 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180523 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190306 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6503334 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |