JP2016515301A - 基板をクランプしデクランプする技術 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- ウェハーをプラテンにクランプしプラテンからデクランプする方法であって、
前記プラテンが、前記ウェハーを当該プラテン上にクランプするための電極を具え、前記電極に初期電圧のバイアスをかける間に、前記ウェハーを前記プラテン上に配置するステップと;
前記初期電圧より大きい第1電圧を前記プラテンの前記電極に印加して、前記ウェハーを前記プラテンに静電クランプするステップと;
前記第1電圧より小さく、かつ前記初期電圧より大きい第2電圧を、前記電極に印加するステップと;
前記第2電圧を前記電極に印加した後に、前記ウェハーを前記プラテンから除去するステップと
を含むことを特徴とする方法。 - 前記第2電圧の印加後に、前記初期電圧を前記電極に印加するステップをさらに含み、前記初期電圧の印加後に前記ウェハーを除去することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2電圧の印加後に、第3電圧を前記電極に印加するステップをさらに含み、前記第3電圧は前記第2電圧より小さく、かつ前記初期電圧より大きく、前記第3電圧の印加後に、前記ウェハーを除去することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記初期電圧より大きい電圧の印加中に、前記ウェハーを除去することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2電圧の印加後に、第3電圧を前記電極に印加するステップをさらに含み、前記第3電圧は、前記第2電圧より大きく、かつ前記第1電圧より小さく、前記第3電圧の印加後に、前記ウェハーを除去することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第3電圧の印加後に、第4電圧を印加するステップをさらに含み、前記第4電圧は、前記第3電圧より小さく、かつ前記初期電圧より大きく、前記第4電圧の印加後に、前記ウェハーを除去することを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記第2電圧の印加後に、第3電圧を印加するステップであって、前記第3電圧は、前記第2電圧より小さく、かつ前記初期電圧より大きいステップと;
前記第3電圧の印加後に、第4電圧を印加するステップであって、前記第4電圧は、前記第3電圧より大きく、かつ前記第1電圧より小さいステップと;
前記第4電圧の印加後に、第5電圧を印加するステップであって、前記第5電圧は、前記第4電圧より小さく、かつ前記初期電圧より大きく、前記第5電圧の印加後に、前記ウェハーを除去するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - ウェハーをプラテンにクランプしプラテンからデクランプする方法であって、
前記プラテンが、前記ウェハーを当該プラテン上にクランプするための電極を具え、前記電極に初期電圧のバイアスをかける間に、前記ウェハーを前記プラテン上に配置するステップと;
前記初期電圧より大きい第1電圧を前記電極に印加して、前記ウェハーを前記プラテンに静電クランプするステップと;
前記第1電圧より低く、かつ前記初期電圧より大きい第2電圧を、前記電極に印加するステップと;
前記第2電圧より高く、かつ前記第1電圧より低い第3電圧を、前記電極に印加するステップと;
前記第3電圧を前記電極に印加した後に、前記ウェハーを除去するステップと
を含むことを特徴とする方法。 - 前記初期電圧が0ボルトであることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記初期電圧より大きい電圧の印加中に、前記ウェハーを除去することを特徴とする請求項8に記載の方法。
ことを特徴とする請求項8に記載の方法。 - 前記第1電圧の印加後かつ前記第2電圧の印加前に、前記第1電圧より小さく、かつ前記第2電圧より大きい電圧を、前記電極に印加するステップをさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記第1電圧を前記プラテンの前記電極に印加する間に、前記ウェハーにイオンを注入することを特徴とする請求項8に記載の方法。
- ウェハーをプラテンにクランプしプラテンからデクランプする方法であって、
前記プラテンが、前記ウェハーを当該プラテン上にクランプするための電極を具え、前記電極に0ボルトのバイアスをかける間に、前記ウェハーを前記プラテン上に配置するステップと;
100V〜1000Vの第1電圧を前記プラテンの前記電極に印加して、前記ウェハーを前記プラテンに静電クランプするステップと;
前記第1電圧より小さく、かつ5V〜600Vの第2電圧を、前記電極に印加するステップと;
前記第2電圧の印加後に、前記第2電圧より小さく、かつ5V〜600Vの第3電圧を、前記電極に印加するステップと;
前記第3電圧を前記電極に印加した後に、前記ウェハーを前記プラテンから除去するステップと
を含むことを特徴とする方法。 - 前記第1電圧が500Vであり、前記第2電圧が250Vであり、前記第3電圧が15Vであり、前記第3電圧の印加中に前記ウェハーを除去することを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記第1電圧が500Vであり、前記第2電圧が350Vであり、前記第3電圧が15Vであり、前記第3電圧が15Vであり、前記第3電圧の印加中に前記ウェハーを除去することを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記第3電圧の印加後に、前記第3電圧より大きく、かつ前記第1電圧より小さく、かつ5V〜600Vの第4電圧を、前記電極に印加するステップと;
前記第4電圧の印加後に、前記第4電圧より小さく、かつ5V〜600Vの第5電圧を、前記電極に印加し、前記第5電圧の印加中に前記ウェハーを除去するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項13に記載の方法。 - 前記第1電圧が500Vであり、前記第2電圧が250Vであり、前記第3電圧が15Vであり、前記第4電圧が250Vであり、前記第5電圧が15Vであることを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 前記第1電圧が500Vであり、前記第2電圧が350Vであり、前記第3電圧が15Vであり、前記第4電圧が350Vであり、前記第5電圧が15Vであることを特徴とする請求項16に記載の方法。
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