JP2016212929A - アクチュエータ駆動制御装置、アクチュエータ駆動制御方法、及び振動抑制制御装置 - Google Patents

Abstract

【課題】外部振動が存在しても、制御対象の位置を高精度に制御することができる装置及び方法を提供する。【解決手段】アクチュエータ駆動制御装置７０は、アクチュエータ３０を駆動しない状態で制御対象位置信号の１周期分の電圧値を計測することによって制御対象位置信号の第１の成分（振動成分）Ｅｘを取得し、アクチュエータ３０を予め決められた周期信号で駆動した状態で制御対象位置信号の電圧値を計測することによって第２の成分（駆動成分Ｄｒ＋振動成分Ｅｘ）を取得し、第２の成分から第１の成分を減算することによって第３の成分（駆動成分）Ｄｒを取得し、第３の成分の振幅値と予め決められた目標振幅値との比較の結果に基づいて、アクチュエータの駆動信号の大きさを調整するための制御ゲインを調整する。【選択図】図３

Description

本発明は、制御対象の位置を制御するアクチュエータを駆動するアクチュエータ駆動制御装置及びアクチュエータ駆動制御方法、並びに、前記アクチュエータ駆動制御装置を含む振動抑制制御装置に関するものである。

一般に、制御対象の位置を制御するアクチュエータを駆動する際（例えば、制御対象としての可動子を変位させる駆動手段を駆動する際）には、制御対象の位置の高精度な制御が要求される。しかし、アクチュエータが共振周波数で駆動することにより高効率な動作を実現する共振型アクチュエータである場合には、外部振動に起因して発生するアクチュエータの共振によって、制御対象にも外部振動に起因する比較的大きな振動が発生することがある。外部振動に起因する振動は、制御対象の位置を示す信号を取得し、この信号に基づいてフィードバック制御、例えば、ＰＩＤ（Ｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌ Ｉｎｔｅｇｒａｌ Ｄｅｒｉｖａｔｉｖｅ）制御を行うことによって、ある程度低減可能である。

図１１は、従来のアクチュエータ駆動制御装置の構成を概略的に示すブロック図である。このアクチュエータ駆動制御装置において、制御対象位置信号検出部３は、制御対象２の位置を示す制御対象位置信号を制御フィルタ４に供給する。制御フィルタ４は、フィードバック制御を実現するためのフィルタで構成されており、例えば、ＰＩＤ制御を行う。駆動アンプ５は、制御フィルタ４から出力された信号を増幅する。アクチュエータ１は、駆動アンプ５で増幅された信号にしたがって駆動して、制御対象２の位置を制御する。このアクチュエータ駆動制御装置において、フィードバックの目標値はゼロ、すなわち、制御対象２が静止した状態を目標としている。

また、特許文献１には、以下の技術が記載されている。この技術では、光ディスク装置の光ピックアップ内の対物レンズを制御対象とし、トラッキングオフ状態で光ディスクの偏芯量ｘ［ｍ］を検出し、トラッキングオン状態で光ディスクの１回転周期に現れるレンズエラー信号（対物レンズの位置を示す信号）の振幅値（ピーク電圧幅）Ｖｐ−ｐ［Ｖ］を測定し、得られたレンズエラー信号の検出感度Ｅｒｓ［Ｖ／ｍ］＝Ｖｐ−ｐ［Ｖ］／ｘ［ｍ］に基づいて、レンズエラー信号のレベルに対応する、実際の対物レンズの変位量を取得し、この変位量を用いて、制御対象の振動を低減する。

また、特許文献２には、以下の技術が記載されている。この技術では、光ディスク装置の光ピックアップ内の対物レンズを制御対象とし、予め設定された振幅の三角波を用いて対物レンズ駆動手段を駆動し、そのときのレンズエラー信号の振幅が予め設定された振幅値となるように対物レンズ駆動手段を駆動するための駆動信号を生成する手段における制御ゲイン（振動抑制制御の制御ゲイン）を調整する。

特開２０００−１１４０４号公報 特開平８−３６７６５号公報

しかし、上記従来技術において光ディスク装置に外部振動が伝わると、外部振動に起因する振動が制御対象に伝わり、制御対象が振動する。特許文献１において制御対象である対物レンズが振動すると、検出される光ディスクの偏芯量に、外部振動に起因する対物レンズの振動成分が加算される。このため、光ディスクの偏芯量を正確に検出できない問題がある。

また、特許文献２において光ディスク装置に外部振動が伝わると、外部振動に起因する振動が制御対象に伝わり、レンズエラー信号に、三角波である対物レンズの駆動成分だけでなく、外部振動に起因する対物レンズの振動成分も加算される。このため、レンズエラー信号の振幅値が不正確になり、対物レンズ駆動手段を駆動するための駆動信号を生成する手段における制御ゲインを正確に調整することができない問題がある。

そこで、本発明は、上記従来技術の課題を解決するためになされたものであり、外部振動が存在しても、制御対象の位置を高精度に制御することができるアクチュエータ駆動制御装置及びアクチュエータ駆動制御方法、並びに、前記アクチュエータ駆動制御装置を含む振動抑制制御装置を提供することを目的とする。

本発明に係るアクチュエータ駆動制御装置は、可動支持された制御対象を変位させるアクチュエータを駆動するアクチュエータ駆動制御装置であって、前記制御対象の位置を示す信号を検出し、前記検出された信号に対応する制御対象位置信号を生成する信号検出部と、前記アクチュエータに駆動信号を供給して、前記アクチュエータを周期信号で駆動するアクチュエータ駆動部と、前記アクチュエータ駆動部を制御する中央制御部と、を有し、前記中央制御部は、前記アクチュエータを駆動しない状態で前記制御対象位置信号の少なくとも１周期分の電圧値を計測することによって、前記制御対象位置信号の第１の成分を取得し、前記アクチュエータを予め決められた前記周期信号で駆動した状態で前記制御対象位置信号の電圧値を計測することによって、前記制御対象位置信号の第２の成分を取得し、前記第２の成分から前記第１の成分を減算することによって、前記制御対象位置信号の第３の成分を取得し、前記第３の成分の振幅値と予め決められた目標振幅値との比較の結果に基づいて、前記アクチュエータ駆動部が供給する前記駆動信号の大きさを調整するための制御ゲインを調整することを特徴とする。

また、本発明に係るアクチュエータ駆動制御方法は、可動支持された前記制御対象の位置を示す信号を検出し、前記検出された信号に対応する制御対象位置信号を生成する信号検出部と、前記制御対象を変位させるアクチュエータに駆動信号を供給して、前記アクチュエータを周期信号で駆動するアクチュエータ駆動部と、前記アクチュエータ駆動部を制御する中央制御部とを有するアクチュエータ駆動制御装置における、アクチュエータ駆動制御方法であって、前記アクチュエータを駆動しない状態で前記制御対象位置信号の少なくとも１周期分の電圧値を計測することによって、前記制御対象位置信号の第１の成分を取得するステップと、前記アクチュエータを予め決められた前記周期信号で駆動した状態で前記制御対象位置信号の電圧値を計測することによって、前記制御対象位置信号の第２の成分を取得するステップと、前記第２の成分から前記第１の成分を減算することによって、前記制御対象位置信号の第３の成分を取得するステップと、前記第３の成分の振幅値と予め決められた目標振幅値との比較の結果に基づいて、前記アクチュエータ駆動部が供給する前記駆動信号の大きさを調整するための制御ゲインを調整するステップとを有することを特徴とする。

また、本発明に係る振動抑制制御装置は、可動支持された制御対象と、前記制御対象を変位させるアクチュエータと、前記制御対象の位置を示す信号を検出し、前記検出された信号に対応する制御対象位置信号を生成する信号検出部と、前記アクチュエータに駆動信号を供給して、前記アクチュエータを周期信号で駆動するアクチュエータ駆動部と、前記アクチュエータ駆動部を制御する中央制御部と、を有し、前記中央制御部は、前記アクチュエータを駆動しない状態で前記制御対象位置信号の少なくとも１周期分の電圧値を計測することによって、前記制御対象位置信号の第１の成分を取得し、前記アクチュエータを予め決められた前記周期信号で駆動した状態で前記制御対象位置信号の電圧値を計測することによって、前記制御対象位置信号の第２の成分を取得し、前記第２の成分から前記第１の成分を減算することによって、前記制御対象位置信号の第３の成分を取得し、前記第３の成分の振幅値と予め決められた目標振幅値との比較の結果に基づいて、前記アクチュエータ駆動部が供給する前記駆動信号の大きさを調整するための制御ゲインを調整することを特徴とする。

本発明においては、アクチュエータを駆動しない状態で制御対象位置信号の１周期分の電圧値を計測することによって検出される制御対象位置信号から第１の成分（振動成分）を取得し、アクチュエータを予め決められた周期信号で駆動した状態で制御対象位置信号の電圧値を計測することによって検出される第２の成分（駆動成分に振動成分が加算された成分）を取得し、第２の成分から第１の成分を減算することによって第３の成分（アクチュエータ駆動に起因する駆動成分）を取得し、第３の成分の振幅値と予め決められた目標振幅値との比較の結果に基づいて、アクチュエータの駆動信号の大きさを調整するための制御ゲインを調整する。このように、本発明においては、制御対象位置信号の第１の成分を除外し、予め決められた周期信号で駆動したアクチュエータの駆動に起因する第３の成分に基づいて、アクチュエータ駆動部が供給する駆動信号の大きさを調整するための制御ゲインを調整することができる。よって、本発明によれば、アクチュエータは、外部振動が存在している場合であっても、制御対象の位置を高精度に制御することができる。

本発明の実施の形態１に係る振動抑制制御装置の構成を概略的に示すブロック図である。 実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置の構成を概略的に示すブロック図である。 （ａ）及び（ｂ）は、実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置の動作（アクチュエータ駆動制御方法）を概念的に示す図である。 実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置の動作（アクチュエータ駆動制御方法）を示すフローチャートである。 （ａ）から（ｃ）は、実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置における、アクチュエータを駆動しない状態における制御対象位置信号の第１の成分、アクチュエータを予め決められた周期信号で駆動した状態における制御対象位置信号の第２の成分、及び第２の成分から第１の成分を減算することで得られた第３の成分の波形の一例を示す図である。 本発明の実施の形態２に係る振動抑制制御装置である光ディスク装置の構成を概略的に示すブロック図である。 実施の形態２に係るアクチュエータ駆動制御装置の構成を概略的に示すブロック図である。 （ａ）及び（ｂ）は、実施の形態２に係るアクチュエータ駆動制御装置の動作（アクチュエータ駆動制御方法）を概念的に示す図である。 実施の形態２に係るアクチュエータ駆動制御装置の動作（アクチュエータ駆動制御方法）を示すフローチャートである。 本発明の実施の形態３に係る振動抑制制御装置である磁気ディスク装置の構成を概略的に示すブロック図である。 従来のアクチュエータ駆動制御装置の構成を概略的に示すブロック図である。

実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る振動抑制制御装置１０の構成を概略的に示すブロック図である。図１に示されるように、実施の形態１に係る振動抑制制御装置１０は、試料ＳＡに向かい合う位置に配置された制御対象２０と、制御対象２０の位置を制御するアクチュエータ（駆動手段）３０と、アクチュエータ３０を駆動するアクチュエータ駆動制御装置（駆動制御手段）７０とを有する。制御対象２０は振動抑制制御装置１０の本体に移動可能に支持されている。アクチュエータ３０は、例えば、共振周波数で駆動することにより高効率な動作を実現する共振型アクチュエータである。アクチュエータ３０は、可動支持された制御対象２０を変位させることによって、試料ＳＡと制御対象２０との相対的位置関係を調整する。アクチュエータ駆動制御装置７０は、信号検出部４０と、アクチュエータ駆動部５０と、中央制御部６０とを有する。図１における中央制御部６０は情報を記憶する記憶部６１を有する。ただし、記憶部６１は、中央制御部６０の外部に設けられてもよい。アクチュエータ駆動制御装置７０は、実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御方法を実施することができる装置である。

制御対象２０は、試料ＳＡ上を３次元で走査するための装置又は部材であり、振動抑制制御装置１０に可動支持されている。ここで、走査とは、移動（変位）しながら試料ＳＡの所望の位置（被検出位置）の状態を検出又はこの位置に記録されている情報を検出することを言う。試料ＳＡは、例えば、薄板状の形状を持つ。また、３次元とは、試料ＳＡの被検出位置を含む被検出面（図１における試料ＳＡの下面）に平行なｘ軸方向及びｙ軸方向（すなわち、ｘｙ直交座標系で表現可能なｘｙ平面）と、試料ＳＡの被検出面に垂直なｚ軸方向（すなわち、ｘｙ直交座標系で表現可能なｘｙ平面に直交する方向）とからなる。制御対象２０が光ピックアップ（光ヘッド）の対物レンズである場合には、光ピックアップは、試料ＳＡに光ビームを照射し、この光ビームの試料ＳＡからの反射光（光信号）を受光し、受光した反射光に応じた電気信号を生成し、生成された電気信号を信号検出部４０に供給する。なお、制御対象２０が光ピックアップである場合の詳細は、実施の形態２において説明される。

アクチュエータ３０は、試料ＳＡ上を３次元で走査する制御対象２０の位置を、試料ＳＡと制御対象２０との間の相対的位置関係に応じて変化させる。

信号検出部４０は、制御対象２０から出力された電気信号を受け取り、この電気信号を用いて、試料ＳＡと制御対象２０との間の相対的位置関係を示す検出信号（制御対象位置信号を含む）を生成する。アクチュエータ駆動部５０は、中央制御部６０からの制御信号に応じた指令（駆動信号）をアクチュエータ３０に与えて、アクチュエータ３０を駆動する。中央制御部６０は、アクチュエータ駆動部５０に対し、アクチュエータ３０を駆動するための制御信号を出力する。中央制御部６０は、信号検出部４０から出力された検出信号を処理して、演算及び信号振幅値の計測を行う。信号検出部４０、アクチュエータ駆動部５０、及び中央制御部６０は、実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置７０を構成する。なお、振動抑制制御装置１０の構成は、図１の例に限定されない。また、アクチュエータ駆動制御装置７０の構成は、図１の例に限定されない。

実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置７０においては、中央制御部６０は、アクチュエータ３０を駆動しない状態で、信号検出部４０が生成する制御対象位置信号の少なくとも１周期分の電圧値を計測することによって、制御対象位置信号から第１の成分（振動成分）Ｅｘを取得する。第１の成分Ｅｘは、外部振動に起因して発生する制御対象位置信号の成分である。また、中央制御部６０は、アクチュエータ３０を予め決められた周期信号で駆動した状態で、信号検出部４０が生成する制御対象位置信号の電圧値を計測することによって、制御対象位置信号の第２の成分を取得する。第２の成分は、周期信号によるアクチュエータ駆動に起因して発生した制御対象位置信号の成分（駆動成分）Ｄｒに、第１の成分Ｅｘが加算された成分（Ｄｒ＋Ｅｘ）である。中央制御部６０は、第２の成分（Ｄｒ＋Ｅｘ）から第１の成分Ｅｘを減算することによって、第３の成分（駆動成分）Ｄｒを取得する。第３の成分Ｄｒは、制御対象位置信号の内の周期信号によるアクチュエータ駆動に起因して発生した制御対象位置信号の成分である。中央制御部６０は、駆動成分（第３の成分）Ｄｒの振幅値と予め決められた目標振幅値との比較の結果に基づいて、アクチュエータ駆動部５０が供給する駆動信号の大きさを調整するための制御ゲインを調整する。制御ゲインは、制御対象の位置を制御するアクチュエータ３０を駆動するための駆動信号を生成する手段におけるゲインである。

図２は、実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置７０の構成を概略的に示すブロック図である。図２に示されるように、実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置７０の信号検出部４０は、制御対象位置信号生成部４１を有する。また、アクチュエータ駆動部５０は、駆動信号生成部５１と、スイッチ５２と、駆動アンプ５３とを有する。中央制御部６０は、記憶部６１と、周波数選定部６２と、周波数抽出部６３とを有する。

制御対象位置信号生成部４１は、制御対象２０からの電気信号を受け取り、制御対象２０の位置を示す制御対象位置信号を生成する。中央制御部６０は、制御対象位置信号生成部４１で生成された制御対象位置信号を受け取り、この制御対象位置信号を用いて、演算及び信号振幅値の計測を行う。

駆動信号生成部５１は、アクチュエータ３０を駆動するための駆動信号を生成する。この信号は、周期信号である。この周期信号は、例えば、ｓｉｎ波又はｃｏｓ波のような単一周波数の信号であるが、これらに限定されない。

スイッチ５２は、駆動アンプ５３に供給する駆動信号Ｄを、振幅値“ゼロ”の信号（接点５２Ａ）、又は、駆動信号生成部５１で生成された駆動信号Ｄ（接点５２Ｂ）のいずれかに切り替える駆動信号切り替え部である。実施の形態１において、接点５２Ａには、振幅値Ｖｐｐが“ゼロ”、且つ、電位０［Ｖ］の信号が供給される。言い換えれば、設定５２Ａには、Ｖｐｐ＝０、且つ、直流成分がゼロの信号が供給される。例えば、接点５２Ａには、何も信号が入力されない。スイッチ５２は、中央制御部６０からの制御信号Ａ１によって制御され、振幅値“ゼロ”の信号を駆動アンプ５３に供給するときには、接点５２Ａを選択し、又は、駆動信号生成部５１からの駆動信号Ｄを駆動アンプ５３に供給するときには、接点５２Ｂを選択する。なお、図２において、スイッチ５２は、接点５２Ａ又は接点５２Ｂのいずれか一方を選択する切換えスイッチであるが、スイッチ５２は、１つの接点５２Ｂのみを有するオンオフ式のスイッチであってもよい。

次に、スイッチ５２の切り替えタイミングについて説明する。外部振動に起因する制御対象位置信号の振動成分（第１の成分）Ｅｘを取得するときには、スイッチ５２は、接点５２Ａを選択する。このとき、駆動アンプ５３に供給される駆動信号Ｄは、振幅値Ｖｐｐ“ゼロ”の信号である。一方、駆動信号Ｄによるアクチュエータ駆動に起因する制御対象位置信号の駆動成分（第３の成分）Ｄｒと外部信号に起因する制御対象位置信号の振動成分（第１の成分）Ｅｘの合計の成分（第２の成分）（Ｄｒ＋Ｅｘ）を取得するときには、スイッチ５２は、接点５２Ｂを選択する。このとき、駆動アンプ５３に供給される駆動信号Ｄは、駆動信号生成部５１で生成された駆動信号Ｄである。

駆動アンプ５３は、スイッチ５２を介して入力された駆動信号Ｄの電圧値を増幅する。駆動アンプ５３は、駆動信号生成部５１からの駆動信号Ｄの電圧値を増幅することによって、駆動信号Ｄのダイナミックレンジを増加させる。なお、実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置７０の構成は、図２の構成に限定されない。

図３（ａ）及び（ｂ）は、実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置７０の動作（アクチュエータ駆動制御方法）を概念的に示す図である。図３（ａ）及び（ｂ）において、制御対象２０、アクチュエータ３０、制御対象位置信号生成部４１、及び駆動アンプ５３は、それぞれ図１及び図２の制御対象２０、アクチュエータ３０、制御対象位置信号生成部４１、及び駆動アンプ５３に対応している。

図３（ａ）において、制御対象位置信号生成部４１は、制御対象２０の共振、すなわち、外部振動に起因する制御対象の振動（固有振動）を検出し、制御対象位置信号として出力する。このとき、中央制御部６０は、振動成分（第１の成分）Ｅｘの少なくとも１周期分の信号を取得する。この信号の取得は、例えば、１周期を２４分割し、各分割点における２４個の信号の電圧値を取得することによって行われる。ただし、信号の取得の方法は、これに限定されない。取得する信号は、少なくとも振動成分（第１の成分）Ｅｘの１周期分の信号を取得できればよく、振幅値の上限値と下限値を取得できる期間であれば１周期に限らない。例えば、振幅値の１周期を超える周期分の信号を取得して、取得した振幅値から上限値及び下限値を算出してもよい。これらの電圧値を、例えば、中央制御部６０内の記憶部６１に格納される。

次に、周期信号を駆動信号として駆動アンプ５３に供給する。これにより、制御対象位置信号生成部４１から出力される制御対象位置信号は、振動成分（第１の成分）Ｅｘと、駆動信号Ｄによるアクチュエータ駆動に起因する駆動成分Ｄｒを加算（合計）した成分（第２の成分）（Ｄｒ＋Ｅｘ）となる。そこで、第２の成分（Ｄｒ＋Ｅｘ）の電圧値から、外部振動に起因する制御対象位置信号の振動成分（第１の成分）Ｅｘの信号の電圧値を減算することで、アクチュエータ駆動に起因する振動成分である駆動成分（第３の成分）Ｄｒのみを取得することができる。中央制御部６０は、駆動成分（第３の成分）Ｄｒの振幅値を取得し、予め決められた目標振幅値と比較する。中央制御部６０は、駆動成分（第３の成分）Ｄｒの値が、目標振幅値に近づくように、駆動アンプ５３のゲイン（振動抑制制御の制御ゲイン）を調整する。

図１１に示す、比較例としての振動抑制制御装置においては、ゲイン特性は、アクチュエータ１の特性（具体的には検出感度、すなわち、単位電圧当たりの制御対象の移動量）、制御対象位置信号検出部３の検出ゲイン、及び駆動アンプ５の増幅率の３つの要因によって影響を受ける。これに対し、実施の形態１においては、図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、アクチュエータ駆動制御方法において、ばらつきが発生する上記３つのゲイン特性を一定にする。すなわち、実施の形態１においては、図１１に示す例における振動抑制制御のシステム全体のゲイン特性を一定にすることができる。

図３（ａ）及び（ｂ）における駆動成分Ｄｒの目標振幅値は、駆動信号Ｄの周波数と同じ周波数におけるアクチュエータの感度を基に決定するが、この感度は予め設計した基準値とする。これにより、振動抑制制御の性能を設計通りにすることができる。例えば、制御対象位置信号生成部４１の検出ゲイン（単位長さの移動量（変位量）に対する電圧値）が１０００［Ｖ／ｍ］、駆動アンプの増幅率が５、アクチュエータの基準となる検出感度（単位電圧当たりの制御対象の移動量）の設計値が、ある周波数において０．００２［ｍ／Ｖ］とする。駆動信号Ｄの上記周波数での電圧値（ピーク電圧幅）が０．０２［Ｖｐ−ｐ］であるとする。このとき、駆動成分（第３の成分）Ｄｒの上記周波数における目標振幅値（目標ピーク電圧幅）は、
０．２［Ｖｐ−ｐ］
＝０．０２［Ｖｐ−ｐ］×５×０．００２［ｍ／Ｖ］×１０００［Ｖ／ｍ］
である。

また、駆動信号が周期信号である理由を以下に述べる。駆動信号Ｄが周期信号でない場合、駆動信号Ｄを印加すると、制御対象は不定の周波数（すなわち、一定ではない周波数）で振動する。周期信号でない駆動成分（Ｄｒに対応する成分）の振幅値を取得する際、駆動成分（Ｄｒに対応する成分）は種々の周波数成分を含むことになり、所望の振幅値を取得することができない。一方、駆動信号Ｄが周期信号である場合、駆動信号Ｄを印加すると、制御対象は特定の周波数（すなわち、一定の周波数）で振動する。周期信号である駆動成分（第３の成分）Ｄｒの振幅値を取得する際、駆動信号Ｄの周波数と同じ周波数成分を抽出することにより、所望の振幅値を取得することができる。

図４は、実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置７０の動作（アクチュエータ駆動制御方法）の一例を示すフローチャートである。図４に示されるように、実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置７０においては、アクチュエータ駆動制御が開始されると、スイッチ５２は、接点５２Ａを選択して、振幅値“ゼロ”の信号を駆動アンプ５３に供給する状態に切り替える（工程Ｓ１）。すなわち、アクチュエータ駆動制御装置７０のアクチュエータ駆動部５０は、スイッチ５２の状態を切り替えて、振幅値“ゼロ”且つ直流成分ゼロの信号を出力する状態に移行する。

次に、中央制御部６０は、図３（ａ）に示される振動成分（第１の成分）Ｅｘの電圧値を１周期分取得し、取得した電圧値を記憶部６１に格納する（工程Ｓ２）。

次に、スイッチ５２は、接点５２Ｂを選択して、駆動信号Ｄを駆動アンプ５３に供給する状態に切り替える（工程Ｓ３）。すなわち、アクチュエータ駆動制御装置７０のアクチュエータ駆動部５０は、スイッチ５２の状態を切り替えて、駆動アンプ５３で増幅された駆動信号Ｄを出力することができる駆動信号制御状態に移行する。

次に、アクチュエータ駆動部５０は、駆動信号生成部５１で生成された駆動信号Ｄをアクチュエータ３０に印加する（工程Ｓ４）。

次に、中央制御部６０は、所定時間だけウェイトを行う（工程Ｓ５）。これは、工程Ｓ４にて駆動信号Ｄを印加してから制御対象が所定の周波数で駆動するまでに、ある程度時間を要するためである。ウェイト時間の長さは、特に限定されない。

次に、中央制御部６０は、制御対象位置信号から振動成分（第２の成分）（Ｄｒ＋Ｅｘ）を取得する（工程Ｓ６）。次に、中央制御部６０は、第２の成分（Ｄｒ＋Ｅｘ）の電圧値から、工程Ｓ２で取得した振動成分（第１の成分）Ｅｘの電圧値を減算する（工程Ｓ７）。ただし、駆動信号がｓｉｎ波やｃｏｓ波のような単一周波数の信号であれば、振動成分（第１の成分）Ｅｘの電圧値を減算するだけでよいが、駆動信号Ｄが複数の周波数を持つ信号であれば、周波数選定部６２が、複数の周波数から１つの周波数を選定し、減算した信号（図３（ｂ）に示される駆動成分Ｄｒ）から、周波数選定部６２で選定した周波数成分を抽出する必要がある。工程Ｓ６は、周波数抽出部６３が、駆動成分Ｄｒから周波数選定部６２で選定した周波数成分を抽出する処理を含む。なお。駆動信号Ｄが複数の周波数を持たない場合には、周波数選定部６２及び周波数抽出部６３を備える必要はない。抽出する方法は、特定の周波数をカットオフ周波数とするＢＰＦ（Ｂａｎｄ−Ｐａｓｓ Ｆｉｌｔｅｒ）を用いる方法等がある。ただし、特定の周波数成分を抽出する方法は、この方法に限定されない。

中央制御部６０は、前記減算した信号、すなわち、アクチュエータ駆動に起因する制御対象位置信号の振動成分（第３の成分）Ｄｒの振幅値を取得し、これを記憶部６１に格納する（工程Ｓ７）。

次に、スイッチ５２は、接点５２Ａを選択して振幅値“ゼロ”の信号を駆動アンプ５３に供給する状態に切り替える（工程Ｓ８）。すなわち、アクチュエータ駆動制御装置７０のアクチュエータ駆動部５０は、スイッチ５２の状態を切り替えて、振幅値“ゼロ”の信号を出力する状態に移行する。

次に、中央制御部６０は、予め決められた目標振幅値を、工程Ｓ７にて取得した第３の成分Ｄｒの振幅値で除算し、この除算によって得られた値Ｋを格納する（工程Ｓ９）。すなわち、値Ｋは、次式で算出される。
Ｋ＝（目標振幅値）／（取得したＤｒの振幅値）

次に、中央制御部６０は、駆動アンプ５３のゲイン（振動抑制制御の制御ゲイン）をＫ倍する（工程Ｓ１０）。

なお、工程Ｓ８にてスイッチ５２が接点５２Ａを選択する動作は、工程Ｓ７における減算した信号の振幅値取得よりも後であれば、どのタイミングで行ってもよい。また、実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置７０（及び、後述する実施の形態２に係るアクチュエータ駆動制御装置１３０）によるアクチュエータ駆動制御方法は、図４（及び、後述する図９）のフローチャートの手順に限定されない。

図５（ａ）から（ｃ）は、実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御方法において、駆動信号を印加した場合の振動成分（第１の成分）Ｅｘと駆動成分（第３の成分）Ｄｒの波形を示す図である。図５（ａ）は、外部振動を８０Ｈｚのｓｉｎ波とした場合の振動成分（第１の成分）Ｅｘの波形を示し、図５（ｃ）は、駆動信号Ｄを２００Ｈｚのｓｉｎ波とした場合の駆動成分（第３の成分）Ｄｒの波形を示し、図５（ｂ）は、駆動成分Ｄｒと振動成分Ｅｘの合成波形（第２の成分）を示す。駆動信号Ｄを印加すると、図５（ｂ）に示されるように、振動成分Ｅｘと駆動成分Ｄｒが加算された波形の信号（第２の成分）が出力される。加算された信号の振幅値を取得すると、振動成分（第１の成分）Ｅｘである８０Ｈｚの信号も含まれるため、所望の振幅値が取得できない。図５（ｂ）に示される波形（第２の成分）から、図５（ａ）に示される振動成分（第１の成分）Ｅｘの波形を減算することで、図５（ｃ）に示される駆動成分（第３の成分）Ｄｒが残り、所望の２００Ｈｚの信号振幅値を取得することができる。

以上に説明したように、実施の形態１に係るアクチュエータ駆動制御装置７０及びアクチュエータ駆動制御方法、並びに、振動抑制制御装置８０によれば、駆動信号Ｄを出力しないときの制御対象位置信号の振動成分（第１の成分）Ｅｘの電圧値を少なくとも１周期分取得し、駆動信号Ｄを印加したときの制御対象位置信号の第２の成分（Ｄｒ＋Ｅｘ）から、振動成分（第１の成分）Ｅｘを減算して第３の成分Ｄｒを取得し、取得した第３の成分Ｄｒの振幅値を基に振動抑制制御の制御ゲインを調整するので、制御ゲインを精度よく調整することができる。

実施の形態２．
実施の形態１においては、一般的なアクチュエータ駆動制御装置７０について説明したが、実施の形態２においては、制御対象を光ピックアップ内の対物レンズとする、光ディスク装置のアクチュエータ駆動制御装置１３０について説明する。

図６は、実施の形態２に係る振動抑制制御装置８０の構成を概略的に示すブロック図である。図６に示されるように、実施の形態２に係る振動抑制制御装置８０は、光ディスクＯＤと、スピンドルモータ８１と、スピンドル駆動部８２と、スレッドモータ８３と、スレッド駆動部８４と、レーザ駆動部８５と、光ピックアップ９０と、信号検出部１００と、アクチュエータ駆動部１１０と、中央制御部１２０とを有する。

光ディスクＯＤは、再生のみを行うことができる再生専用型ディスク、再生と追加記録とを行うことができ、書き換えを行うことができない追記型ディスク、及び再生、追加記録及び書き換えを行うことができる書き換え型ディスクを含む。また、光ディスクＯＤは、例えば、ＢＤ（Ｂｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ ｄｉｓｃ）などである。

スピンドルモータ８１は、光ディスクＯＤを回転させる。スピンドルモータ８１の回転方式には、角速度一定のＣＡＶ（Ｃｏｎｓｔａｎｔ Ａｎｇｕｌａｒ Ｖｅｌｏｃｉｔｙ）方式と、線速度一定のＣＬＶ（Ｃｏｎｓｔａｎｔ Ｌｉｎｅａｒ Ｖｅｌｏｃｉｔｙ）方式等がある。スピンドル駆動部８２は、スピンドルモータ８１を駆動する。スレッドモータ８３は、光ピックアップ９０を光ディスクＯＤのトラッキング方向（半径方向、Ｘ軸方向）に移動させる。スレッド駆動部８４は、スレッドモータ８３を駆動する。レーザ駆動部８５は、レーザ光源９２を駆動する。

光ピックアップ９０は、レーザ光源９２と、このレーザ光源９２からのレーザ光を反射させるビームスプリッタ９３と、このビームスプリッタ９３で反射したレーザ光を光ディスクＯＤの情報記録面上に集光させる対物レンズ９４と、光ディスクＯＤで反射し、対物レンズ９４及びビームスプリッタ９３を透過した反射光を受光して電気信号に変換する受光素子を有する光検出部９５と、これらの構成９２〜９５を収容するレンズユニット９１と、レンズユニット９１内に対物レンズ９４を移動可能に支持する弾性支持部材と、この弾性支持部材の弾性力に抗して対物レンズ９４をトラッキング方向及びフォーカシング方向（Ｚ軸方向）に移動させるアクチュエータ９６とを有する。

信号検出部１００は、光検出部９５からの電気信号を入力し、生成された信号を出力する。アクチュエータ駆動部１１０は、中央制御部１２０からの指令に応じて、アクチュエータ９６を駆動する。中央制御部１２０は、アクチュエータ駆動部１１０に対し、アクチュエータ９６を駆動するための指令を出す。また、信号検出部１００から出力された信号を処理し、演算や信号振幅値の計測を行う。

信号検出部１００、アクチュエータ駆動部１１０、中央制御部１２０は、本発明の実施の形態２に係るアクチュエータ駆動制御装置（すなわち、実施の形態２に係るアクチュエータ駆動制御方法を実施することができる装置）１３０を構成する。なお、アクチュエータ駆動制御装置１３０は、図６の例に限定されない。

図７は、実施の形態２に係るアクチュエータ駆動制御装置（すなわち、実施の形態２に係るアクチュエータ駆動制御方法を実施することができる装置）１３０の構成を概略的に示すブロック図である。図７に示されるように、実施の形態２に係るアクチュエータ駆動制御装置１３０は、信号検出部１００と、アクチュエータ駆動部１１０と、中央制御部１２０とを有する。

信号検出部１００は、レンズエラー信号生成部１０１と、光ディスク回転角検出部１０２とを有する。また、アクチュエータ駆動部１１０は、駆動信号生成部１１１と、スイッチ１１２と、駆動アンプ１１３とを有する。

レンズエラー信号生成部１０１は、対物レンズ９４からの電気信号を入力し、その位置を検出するための信号を生成する。この信号は、中央制御部１２０に入力され、演算や信号振幅値の計測が行われる。中央制御部１２０は、記憶部１２１と、周波数選定部１２２と、周波数抽出部１２３とを有する。記憶部１２１は、中央制御部１２０の外部に備えられてもよい。

光ディスク回転角検出部１０２は、スピンドルモータ８１の回転角を検出する。

駆動信号生成部１１１は、アクチュエータ９６を駆動するための信号を生成する。この信号は、ｓｉｎ波やｃｏｓ波のような単一周波数が挙げられるが、これらに限定されない。ただし、アクチュエータ９６を駆動するための信号は、周期信号である。この理由は、実施の形態１において、図３（ａ）及び（ｂ）を用いて説明した理由と同じである。

スイッチ１１２は、駆動アンプ１１３に供給する駆動信号Ｄを、振幅値“ゼロ”の信号（接点１１２Ａ）、又は駆動信号生成部１１１で生成された駆動信号Ｄ（接点１１２Ｂ）のいずれかに切り替える駆動信号切り替え部である。スイッチ１１２は、振幅値“ゼロ”の信号を駆動アンプ１１３に供給するときには、接点１１２Ａを選択し、又は、駆動信号生成部１１１からの駆動信号Ｄを駆動アンプ１１３に供給するときには、接点１１２Ｂを選択する。スイッチ１１２の切り替えタイミングは、実施の形態１において、図２を用いて説明したタイミングと同じである。

駆動アンプ１１３は、スイッチ１１２を介して入力された信号の電圧値を増幅する。駆動アンプ１１３は、駆動信号生成部１１１からの信号の電圧値を増幅させることによって、ダイナミックレンジを増加させる。

なお、実施の形態２に係るアクチュエータ駆動制御装置１３０の構成は、図７の構成に限定されない。

図８（ａ）及び（ｂ）は、実施の形態２に係るアクチュエータ駆動制御装置１３０の動作（アクチュエータ駆動制御方法）を概念的に示す図である。図８（ａ）及び（ｂ）において、対物レンズ９４、アクチュエータ９６、レンズエラー信号生成部１０１、駆動アンプ１１３は、それぞれ図６及び図７の対物レンズ９４、アクチュエータ９６、レンズエラー信号生成部１０１、駆動アンプ１１３に対応する。図８（ａ）及び（ｂ）のアクチュエータ駆動制御方法は、実施の形態１において、図３（ａ）及び（ｂ）を用いて説明したものと同様である。ただし、図８（ａ）における振動成分（第１の成分）Ｅｘ２の取得方法、及び図８（ｂ）における振動成分（第１の成分）Ｅｘ２の減算方法が、図３（ａ）及び（ｂ）の場合とは異なる。具体的には、図８（ａ）における振動成分（第１の成分）Ｅｘ２の電圧値を、図７における光ディスク回転角検出部１０２で検出される複数の回転角と対応させて取得する。すなわち、各々の光ディスク回転角における振動成分（第１の成分）Ｅｘ２の電圧値を取得する。また、図８（ｂ）における振動成分（第１の成分）Ｅｘ２の減算では、現在の光ディスク回転角を検出し、それに対応する振動成分（第１の成分）Ｅｘ２の電圧値を、レンズエラー信号の電圧値（駆動成分Ｄｒ２と振動成分Ｅｘ２の合計値である第２の成分Ｄｒ２＋Ｅｘ２）から第１の成分Ｅｘ２を減算する。なお、レンズエラー信号の生成方法としては、例えば、プッシュプル法、ＤＰＰ（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ Ｐｕｓｈ−Ｐｕｌｌ）法又はＤＰＤ（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ Ｐｈａｓｅ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ）法等の公知の方法を用いることができる。

対物レンズ９４は、アクチュエータ９６に印加する駆動電圧によってレンズシフトする。駆動電圧とレンズシフト量（対物レンズの移動量）との関係は、レンズシフト量がある範囲（線形領域）内であれば線形となるが、前記ある範囲を超える領域（非線形領域）では非線形となる。非線形領域で、アクチュエータ９６に駆動電圧を印加すると、印加する駆動電圧と、振動の内の駆動成分Ｄｒの振幅値との関係が非線形となるため、振動の内の駆動成分Ｄｒの振幅値が、駆動信号に対応しない誤った情報となる。よって、制御ゲインの取得の際には、レンズシフト量の線形領域で、駆動電圧を印加することが望ましい。

図９は、実施の形態２に係るアクチュエータ駆動制御装置１３０によるアクチュエータ駆動制御方法の一例を示すフローチャートである。図９における工程Ｓ１１からＳ２０は、図４における工程Ｓ１からＳ１０と同様であるが、図９の工程Ｓ１２及び工程Ｓ１６が図４に示される工程Ｓ２及び工程Ｓ６と異なる。

実施の形態２においては、制御対象位置信号であるレンズエラー信号の振動成分（第１の成分）Ｅｘ２を１周期分取得する工程（工程Ｓ１２）では、光ディスクを回転させながら、図７における光ディスク回転角検出部１０２で検出される複数の回転角と対応させて、電圧値を取得する。また、レンズエラー信号から取得された振動成分（第２の成分）（Ｄｒ２＋Ｅｘ２）から振動成分（第１の成分）Ｅｘ２を減算する工程（工程Ｓ１６）では、現在の光ディスク回転角を検出し、それに対応する振動成分（第１の成分）Ｅｘ２の電圧値をレンズエラー信号の電圧値（第２の成分）から減算する。実施の形態２において、上記以外の点は、実施の形態１の場合と同様である。

以上に説明したように、実施の形態２に係るアクチュエータ駆動制御装置１３０及びアクチュエータ駆動制御方法、並びに、振動抑制制御装置８０によれば、駆動信号Ｄを出力しないときの制御対象位置信号の振動成分（第１の成分）Ｅｘ２の電圧値を少なくとも１周期分取得し、駆動信号Ｄを印加したときの制御対象位置信号の第２の成分（Ｄｒ２＋Ｅｘ２）から、振動成分（第１の成分）Ｅｘ２を減算（同じ光ディスク回転角の値を用いる）、減算によって得られた制御対象位置信号の振幅値（第２の成分）Ｄｒ２を取得し、取得した振幅値を基に振動抑制制御の制御ゲインを調整するので、制御ゲインを精度よく調整することができる。

実施の形態３．
上記実施の形態１及び２においては、制御対象が光ピックアップ内の対物レンズである場合を説明したが、実施の形態３においては、制御対象が磁気ディスク装置の磁気ヘッドである場合を説明する。実施の形態３における磁気ディスク装置は、振動抑制制御を行う振動抑制制御装置の一例であり、例えば、ハードディスク装置（ＨＤＤ）である。

図１０は、本発明の実施の形態３に係る振動抑制制御装置３１０である磁気ディスク装置の構成を概略的に示すブロック図である。図１０に示されるように、実施の形態３に係る振動抑制制御装置３１０は、試料ＳＡとしての磁気ディスクに向き合う位置に配置された制御対象３２０と、制御対象３２０の位置を制御するアクチュエータ（駆動手段）３３０と、アクチュエータ３３０を駆動するアクチュエータ駆動制御装置（駆動制御手段）３７０とを有する。アクチュエータ駆動制御装置３７０は、信号検出部３４０と、アクチュエータ駆動部３５０と、中央制御部３６０とを有する。図１０における中央制御部３６０は情報を記憶する記憶部３６１を有する。ただし、記憶部３６１は、中央制御部３６０の外部に設けられてもよい。また、中央制御部３６０は、図２に示される中央制御部６０と同様に、周波数選定部６２及び周波数抽出部６３と同様の構成を備えてもよい。また、アクチュエータ駆動制御装置３７０は、実施の形態３に係るアクチュエータ駆動制御方法を実施することができる装置である。

実施の形態３において、制御対象３２０は、磁化パターン検出部を有する。アクチュエータ３３０及びアクチュエータ駆動部３５０は、磁化パターン検出部を支持するアームと、アームを移動させるアーム駆動部とを有する。また、振動抑制制御装置３１０は、試料ＳＡとしての磁気ディスクを回転させるスピンドルモータ３８１と、スピンドルモータ３８１を駆動するスピンドル駆動部３８２とを有する。

信号検出部３４０は、磁気ヘッド位置信号生成部３４１と、磁気ディスク回転角検出部３４２とを有する。磁気ヘッド位置信号生成部３４２と、磁気ディスク回転角検出部３４２とは、それぞれ、図７におけるレンズエラー信号生成部１０１と、光ディスク回転角検出部１０２とに相当する機能を持つ。また、アクチュエータ駆動部３５０は、駆動信号生成部と、スイッチと、駆動アンプとを有する。アクチュエータ駆動部３５０の駆動信号生成部と、スイッチと、駆動アンプとは、それぞれ、図７における駆動信号生成部１１１と、スイッチ１１２と、駆動アンプ１１３とに相当する構成及び機能を有する。

また、実施の形態３におけるアクチュエータ駆動制御方法は、実施の形態２において図８（ａ）及び（ｂ）を用いて説明したものと同様の工程を有する。ただし、図８（ａ）及び（ｂ）におけるレンズエラー信号生成部１０１は、実施の形態３においては磁気ヘッド位置信号生成部３４２となり、図８（ａ）及び（ｂ）における対物レンズは、実施の形態３においては磁気ヘッドとなる。

さらに、実施の形態３におけるアクチュエータ駆動制御装置３７０によるアクチュエータ駆動制御方法を示すフローチャートは、実施の形態２において図９を用いて説明したものと同様である。ただし、工程Ｓ１６のレンズエラー信号から振動成分Ｅｘ２を減算する工程は、磁気ヘッド位置信号から振動成分を減算する工程となる。実施の形態３において、上記以外の点は、実施の形態２の場合と同様である。

以上に説明したように、実施の形態３に係るアクチュエータ駆動制御装置３７０及びアクチュエータ駆動制御方法、並びに、振動抑制制御装置３１０によれば、駆動信号Ｄを出力しないときの制御対象位置信号の内の振動成分（第１の成分）の電圧値を少なくとも１周期分取得し、駆動信号を印加したときの制御対象位置信号（第２の成分）から、振動成分（第１の成分）を減算（同じ光ディスク回転角の値を用いる）、減算によって得られた信号の振幅値（第２の成分）を取得し、取得した振幅値を基に振動抑制制御の制御ゲインを調整するので、制御ゲインを精度よく調整することができる。

変形例．
以上で説明した実施の形態１から３に係るアクチュエータ駆動制御装置及びアクチュエータ駆動制御方法は、電子回路などのハードウェア資源のみにより実現されてもよいし、又は、ハードウェア資源とソフトウェアとの協働により実現されてもよい。ハードウェア資源とソフトウェアとの協働により実現される場合には、アクチュエータ駆動制御装置及びアクチュエータ駆動制御方法は、例えば、コンピュータプログラムがコンピュータにより実行されることによって実現され、より具体的には、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）等の記録媒体に記録されたコンピュータプログラムが主記憶装置に読み出されて中央処理装置（ＣＰＵ：Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）により実行されることによって実現される。コンピュータプログラムは、光ディスク等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録されて提供されてもよいし、インターネット等の通信回線を介して提供されてもよい。

なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の態様で実施することができる。

本発明に係るアクチュエータ駆動制御装置、アクチュエータ駆動制御方法、及び振動抑制制御装置は、アクチュエータを用いて制御対象の位置（特に、試料と制御対象との間の相対的位置）を制御する装置であれば、光ディスク装置及び磁気ディスク装置以外の各種の装置、例えば、アクチュエータによる精密な位置制御を行う制御対象を有するロボットなどの生産設備、又は、アクチュエータによる精密な位置制御を行う制御対象を有する自動車、船舶、航空機などの輸送機器のような各種の装置、に適用可能である。

１０，８０，３１０ 振動抑制制御装置、 ２０ 制御対象、 ３０ アクチュエータ、 ４０ 信号検出部、 ４１ 制御対象位置信号生成部、 ５０ アクチュエータ駆動部、 ５１ 駆動信号生成部、 ５２ スイッチ、 ５３ 駆動アンプ、 ６０ 中央制御部、 ７０，１３０，３７０ アクチュエータ駆動制御装置、 ８１ スピンドルモータ、 ８２ スピンドル駆動部、 ８３ スレッドモータ、 ８４ スレッド駆動部、 ８５ レーザ駆動部、 ９０ 光ピックアップ、 ９１ レンズユニット、 ９２ レーザ光源、 ９３ ビームスプリッタ、 ９４ 対物レンズ、 ９５ 光検出部、 ９６ アクチュエータ、 １００ 信号検出部、 １０１ レンズエラー信号生成部、 １０２ 光ディスク回転角検出部、 １１０ アクチュエータ駆動部、 １１１ 駆動信号生成部、 １１２ スイッチ、 １１３ 駆動アンプ、 １２０ 中央制御部、 ３２０ 制御対象（磁気ヘッド）、 ３３０ アクチュエータ、 ３４０ 信号検出部、 ３５０ アクチュエータ駆動部、 ３６０ 中央制御部、 ＳＡ 試料、 ＯＤ 光ディスク。

Claims (21)

1. 可動支持された制御対象を変位させるアクチュエータを駆動するアクチュエータ駆動制御装置であって、
   前記制御対象の位置を示す信号を検出し、前記検出された信号に対応する制御対象位置信号を生成する信号検出部と、
   前記アクチュエータに駆動信号を供給して、前記アクチュエータを周期信号で駆動するアクチュエータ駆動部と、
   前記アクチュエータ駆動部を制御する中央制御部と、
   を有し、
   前記中央制御部は、
   前記アクチュエータを駆動しない状態で前記制御対象位置信号の少なくとも１周期分の電圧値を計測することによって、前記制御対象位置信号の第１の成分を取得し、
   前記アクチュエータを予め決められた前記周期信号で駆動した状態で前記制御対象位置信号の電圧値を計測することによって、前記制御対象位置信号の第２の成分を取得し、
   前記第２の成分から前記第１の成分を減算することによって、前記制御対象位置信号の第３の成分を取得し、
   前記第３の成分の振幅値と予め決められた目標振幅値との比較の結果に基づいて、前記アクチュエータ駆動部が供給する前記駆動信号の大きさを調整するための制御ゲインを調整する
   ことを特徴とするアクチュエータ駆動制御装置。
2. 前記中央制御部は、
   前記周期信号として、予め決められた複数の周波数から選択された周波数の信号を選定する周波数選定部と、
   前記信号検出部で検出される制御対象位置信号から、前記周波数選定部で選定され周波数の信号と同じ周波数成分の信号を抽出する信号抽出部と、
   を有し、
   前記第１の成分の取得及び前記第２の成分の取得は、前記抽出された前記制御対象位置信号に基づいて行われる
   ことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ駆動制御装置。
3. 前記目標振幅値は、前記周波数選定部で選定した周波数における前記アクチュエータの感度である、単位電圧当たりの制御対象の移動量を基に決定され、
   前記アクチュエータの感度は、予め決められた基準値である
   ことを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ駆動制御装置。
4. 前記制御対象は、光ディスク上を走査する光ピックアップに備えられた対物レンズであり、
   前記アクチュエータは、前記対物レンズを移動させる対物レンズアクチュエータである
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のアクチュエータ駆動制御装置。
5. 前記信号検出部は、前記光ディスクの回転角を検出する回転角検出部を有し、
   複数の前記回転角に対応する前記制御対象位置信号の内の前記第１の成分の電圧値を取得し、
   現在の前記回転角に対応する前記制御対象位置信号の内の前記第２の成分の電圧値を取得し、前記第２の成分の電圧値から前記第１の成分の電圧値を減算することで、前記制御対象の駆動成分である前記第３の成分を取得する
   ことを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ駆動制御装置。
6. 前記中央制御部は、前記周期信号の電圧値と前記制御対象のシフト量の関係が線形となる範囲内で、前記周期信号の電圧値を決定することを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ駆動制御装置。
7. 前記制御対象は、磁気ディスク上を走査する磁気ヘッドであり、
   前記アクチュエータは、前記磁気ヘッドを移動可能に支持する磁気ヘッド駆動装置である
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のアクチュエータ駆動制御装置。
8. 可動支持された前記制御対象の位置を示す信号を検出し、前記検出された信号に対応する制御対象位置信号を生成する信号検出部と、前記制御対象を変位させるアクチュエータに駆動信号を供給して、前記アクチュエータを周期信号で駆動するアクチュエータ駆動部と、前記アクチュエータ駆動部を制御する中央制御部とを有するアクチュエータ駆動制御装置における、アクチュエータ駆動制御方法であって、
   前記アクチュエータを駆動しない状態で前記制御対象位置信号の少なくとも１周期分の電圧値を計測することによって、前記制御対象位置信号の第１の成分を取得するステップと、
   前記アクチュエータを予め決められた前記周期信号で駆動した状態で前記制御対象位置信号の電圧値を計測することによって、前記制御対象位置信号の第２の成分を取得するステップと、
   前記第２の成分から前記第１の成分を減算することによって、前記制御対象位置信号の第３の成分を取得するステップと、
   前記第３の成分の振幅値と予め決められた目標振幅値との比較の結果に基づいて、前記アクチュエータ駆動部が供給する前記駆動信号の大きさを調整するための制御ゲインを調整するステップと
   を有することを特徴とするアクチュエータ駆動制御方法。
9. 前記中央制御部は、
   前記周期信号として、予め決められた複数の周波数から選択された周波数の信号を選定し、
   前記信号検出部で検出される制御対象位置信号から、前記選定された周波数の信号と同じ周波数成分の信号を抽出し、
   前記第１の成分の取得及び前記第２の成分の取得は、前記抽出された前記制御対象位置信号に基づいて行われる
   ことを特徴とする請求項８に記載のアクチュエータ駆動制御方法。
10. 前記目標振幅値は、前記選定された周波数における前記アクチュエータの感度である、単位電圧当たりの制御対象の移動量を基に決定され、
    前記アクチュエータの感度は、予め決められた基準値である
    ことを特徴とする請求項９に記載のアクチュエータ駆動制御方法。
11. 前記制御対象は、光ディスク上を走査する光ピックアップに備えられた対物レンズであり、
    前記アクチュエータは、前記対物レンズを移動させる対物レンズアクチュエータである
    ことを特徴とする請求項８から１０のいずれか１項に記載のアクチュエータ駆動制御方法。
12. 前記信号検出部は、前記光ディスクの回転角を検出する回転角検出部を有し、
    複数の前記回転角に対応する前記制御対象位置信号の内の前記第１の成分の電圧値を取得し、
    現在の前記回転角に対応する前記制御対象位置信号の内の前記第２の成分の電圧値を取得し、前記第２の成分の電圧値から前記第１の成分の電圧値を減算することで、前記制御対象の駆動成分である前記第３の成分を取得する
    ことを特徴とする請求項１１に記載のアクチュエータ駆動制御方法。
13. 前記中央制御部は、前記周期信号の電圧値と前記制御対象のシフト量の関係が線形となる範囲内で、前記周期信号の電圧値を決定することを特徴とする請求項１２に記載のアクチュエータ駆動制御方法。
14. 前記制御対象は、磁気ディスク上を走査する磁気ヘッドであり、
    前記アクチュエータは、前記磁気ヘッドを移動可能に支持する磁気ヘッド駆動装置である
    ことを特徴とする請求項９から１１のいずれか１項に記載のアクチュエータ駆動制御方法。
15. 可動支持された制御対象と、
    前記制御対象を変位させるアクチュエータと、
    前記制御対象の位置を示す信号を検出し、前記検出された信号に対応する制御対象位置信号を生成する信号検出部と、
    前記アクチュエータに駆動信号を供給して、前記アクチュエータを周期信号で駆動するアクチュエータ駆動部と、
    前記アクチュエータ駆動部を制御する中央制御部と、
    を有し、
    前記中央制御部は、
    前記アクチュエータを駆動しない状態で前記制御対象位置信号の少なくとも１周期分の電圧値を計測することによって、前記制御対象位置信号の第１の成分を取得し、
    前記アクチュエータを予め決められた前記周期信号で駆動した状態で前記制御対象位置信号の電圧値を計測することによって、前記制御対象位置信号の第２の成分を取得し、
    前記第２の成分から前記第１の成分を減算することによって、前記制御対象位置信号の第３の成分を取得し、
    前記第３の成分の振幅値と予め決められた目標振幅値との比較の結果に基づいて、前記アクチュエータ駆動部が供給する前記駆動信号の大きさを調整するための制御ゲインを調整する
    ことを特徴とする振動抑制制御装置。
16. 前記中央制御部は、
    前記周期信号として、予め決められた複数の周波数から選択された周波数の信号を選定する周波数選定部と、
    前記信号検出部で検出される制御対象位置信号から、前記周波数選定部で選定され周波数の信号と同じ周波数成分の信号を抽出する信号抽出部と、
    を有し、
    前記第１の成分の取得及び前記第２の成分の取得は、前記抽出された前記制御対象位置信号に基づいて行われる
    ことを特徴とする請求項１５に記載の振動抑制制御装置。
17. 前記目標振幅値は、前記周波数選定部で選定した周波数における前記アクチュエータの感度である、単位電圧当たりの制御対象の移動量を基に決定され、
    前記アクチュエータの感度は、予め決められた基準値である
    ことを特徴とする請求項１６に記載の振動抑制制御装置。
18. 前記制御対象は、光ディスク上を走査する光ピックアップに備えられた対物レンズであり、
    前記アクチュエータは、前記対物レンズを移動させる対物レンズアクチュエータである
    ことを特徴とする請求項１５から１７のいずれか１項に記載の振動抑制制御装置。
19. 前記信号検出部は、前記光ディスクの回転角を検出する回転角検出部を有し、
    複数の前記回転角に対応する前記制御対象位置信号の内の前記第１の成分の電圧値を取得し、
    現在の前記回転角に対応する前記制御対象位置信号の内の前記第２の成分の電圧値を取得し、前記第２の成分の電圧値から前記第１の成分の電圧値を減算することで、前記制御対象の駆動成分である前記第３の成分を取得する
    ことを特徴とする請求項１８に記載の振動抑制制御装置。
20. 前記中央制御部は、前記周期信号の電圧値と前記制御対象のシフト量の関係が線形となる範囲内で、前記周期信号の電圧値を決定することを特徴とする請求項１９に記載の振動抑制制御装置。
21. 前記制御対象は、磁気ディスク上を走査する磁気ヘッドであり、
    前記アクチュエータは、前記磁気ヘッドを移動可能に支持する磁気ヘッド駆動装置である
    ことを特徴とする請求項１５から１７のいずれか１項に記載の振動抑制制御装置。

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