JP2016178216A - 保護カバー及びこれを用いた基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記フォークを覆ったときに、前記フォークを外部から視認可能なカバー体と、
該カバー体に取り付けられ、該保護カバーが前記フォークを覆ったときに、前記フォークの一対のフィンガーの各々に取り付けられた対向型の光検出器の光を遮光可能な遮光板と、を有する。
前記基板搬送装置と、
前記光検出器に接続され、前記光検出器の光が遮光されているときに、前記基板搬送装置を駆動させないインターロック制御を行う制御手段と、
前記基板を処理する処理容器と、を有する基板処理装置。
先ず、本発明の実施形態に係る基板搬送用フォークの保護カバーを適用可能な基板搬送装置を備えた本発明の実施形態に係る基板処理装置の構成例について説明する。図1に、本発明の実施形態に係る基板処理装置の一例の概略構成図を示す。また、図2に、本発明の実施形態に係る基板処理装置の一例の概略平面図を示す。さらに、図3に、本発明の実施形態に係る基板処理装置の一例の配置構成の概略斜視図を示す。なお、図2においては、説明のために、図1のロードポート14の一方とFIMSポート24とに、キャリアCが載置されていない状態を示す。
ウエハ搬送装置60は、直方体状のガイド機構63と、ガイド機構63上に長手方向に沿って進退移動可能に設けられた移動体62と、移動体62を介して取り付けられた5枚のフォークとを有する。ガイド機構63は、鉛直方向に延びる昇降機構64に取り付けられ、昇降機構64により鉛直方向への移動が可能であると共に、回転機構66により回動可能に構成されている。
図5は、本発明の第1の実施形態に係る保護カバー140の一例を示した図である。保護カバー140は、カバー体110と、遮蔽板120と、取っ手130とを備える。
61、61a フォーク
611、612 フィンガー
62 移動体
63 ガイド機構
64 昇降機構
65 光検出器
80 熱処理炉
100 制御部
110 カバー体
111、111a 上面
112、112a 前面
115、115a フレーム
120、120a 遮蔽板
121、121a 遮蔽部
122、122a 開口部
130 取っ手
140、140a 保護カバー
200 基板処理装置
Claims (13)
- 基板搬送装置のフォークを保護する保護カバーであって、
前記フォークを覆ったときに、前記フォークを外部から視認可能なカバー体と、
該保護カバーに取り付けられ、該保護カバーが前記フォークを覆ったときに、前記フォークの一対のフィンガーの各々に取り付けられた対向型の光検出器の光を遮光可能な遮光板と、を有する保護カバー。 - 前記保護カバーは、透明である請求項1に記載の保護カバー。
- 前記保護カバーは、樹脂材からなる請求項2に記載の保護カバー。
- 前記保護カバーは、ポリカーボネート又はアクリルからなる請求項3に記載の保護カバー。
- 前記遮光板は、前記保護カバーの内側の天井面及び/又は前面に取り付けられた請求項1乃至4のいずれか一項に記載の保護カバー。
- 前記フォークが鉛直方向に複数重ねて配置されたときに、複数の前記フォークのうち、所定の位置に配置された前記フォークの前記光検出器の光のみを遮光可能なように、前記遮光板は遮光部と開口部とを有する枠状の形状を有する請求項1乃至5のいずれか一項に記載の保護カバー。
- 前記カバー体の下端は、前記基板搬送装置のフォーク載置部の上面の形状に沿った形状部分を含む請求項1乃至6のいずれか一項に記載の基板搬送用フォーク保護カバー。
- 前記カバー体の下端は、前記基板搬送装置のフォーク載置部の側面を覆う形状部分を含む請求項1乃至7のいずれか一項に記載のフォーク保護カバー。
- 前記カバー体の外側の面には、前記カバー体を搬送するための取っ手が設けられた請求項1乃至8のいずれか一項に記載の保護カバー。
- 前記外側の面は上面である請求項9に記載の保護カバー。
- 請求項1乃至10のいずれか一項に記載された保護カバーと、
請求項1乃至10のいずれか一項に記載された基板搬送装置と、
前記光検出器に接続され、前記光検出器の光が遮光されているときに、前記基板搬送装置を駆動させないインターロック制御を行う制御手段と、
前記基板を処理する処理容器と、を有する基板処理装置。 - 前記制御手段は、前記基板搬送装置のスタートスイッチがオフからオンに切り替えられたときに前記インターロック制御を行う請求項11に記載の基板処理装置。
- 前記処理容器は、前記基板を加熱して熱処理する熱処理炉である請求項11又は12に記載の基板処理装置。
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