JP2016176868A

JP2016176868A - リーク検査装置リーク検査方法

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Publication number: JP2016176868A
Application number: JP2015058671A
Authority: JP
Inventors: 田中　良彦; Yoshihiko Tanaka; 良彦田中; 順裕土屋; Nobuhiro Tsuchiya
Original assignee: AIM Tech Co Ltd Japan; Gastar Co Ltd
Current assignee: AIM Tech Co Ltd Japan; Gastar Co Ltd
Priority date: 2015-03-20
Filing date: 2015-03-20
Publication date: 2016-10-06

Abstract

【課題】検査時に加圧導入する気体と同じ気体で検査対象の容器内を掃気することのできるリーク検査方法、リーク検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象である非貫通型の容器１８の入口を封鎖する蓋を貫通して容器内の奥で終端する内挿管７１と、容器内の入口側で終端する外郭管７２を取り付け、内挿管７１から検査用気体を容器内に送り込むことで、外郭管７２から容器内の気体を排気して容器内を掃気した後、外郭管７２の出口を閉鎖し、検査用気体を容器内にさらに導入して容器内を加圧した後、内挿管７１の入口を閉鎖する。この状態の容器を、検査用気体で掃気、加圧済みのリーク検査装置のワーク接続口に接続してリーク検査を行う。
【選択図】図６

Description

本発明は、検査対象の容器からの漏れを検査するリーク検査装置、リーク検査方法に関する。

容器の密閉性を検査する場合、容器に空気等の気体を加圧導入した後、これを密閉し、その後の圧力変化を観察する方法が一般的である。

また、わずかな漏れを検出するには、高い精度で圧力変化を測定する必要があるので、圧力センサとして差圧式のものが使用される。具体的には、差圧計の一方の第１空間に検査対象の容器(ワーク)を接続し、他方の第２空間に漏れのない容器（マスタ）を接続する。そして、第１空間と第２空間の双方に同時に気体を導入して目標圧力に加圧し、その後、第１空間と第２空間をそれぞれ密閉し、両者の圧力の低下状況の違いを差圧計で検出する（特許文献１参照）。

図１２は、上記の検査を行うための検査装置の構成および動作の概要を示す図である。加圧工程では、弁１０１〜弁１０３を開、排気弁１０４を閉、とした状態でエア源１００から加圧気体をワークとマスタを含む検査系に導入する。加圧の際に、検査系内に存在していた気体が略断熱圧縮されて発熱する。加圧工程の後、弁１０２、弁１０３を閉じて、ワークおよびマスタ内の圧力が安定（加圧工程で生じた熱の放熱が完了）するのを待つ（平衡工程）。検査工程では、ワーク内とマスタ内の圧力差を差圧計１０５で測定する。このとき、ワークに漏れがあると基準値を超える差圧が生じる。検査後、弁１０１を閉じ、弁１０２、１０３を開いた後、排気弁１０４を開いて検査系内の気体を外部に排気する排気工程を行う。次のワークを検査するときは、ワークを付け替えて加圧工程から再度行う。

上記の検査では、加圧工程、排気工程において差圧計１０５の両側が連通しているので、高い圧力で加圧しても、差圧計１０５の両側に加わる圧力差は、検査工程で生じるわずかなものである。そのため、耐圧が低いが、わずかな圧力差を検出できる高精度の差圧計を用いることができる。

特開２００４−６１２０１号公報

上記のようなリーク検査において、ワークやマスタに気体を加圧導入すると、該気体が断熱圧縮されて昇温し、検査後に減圧すると断熱膨張して温度低下する。このような工程において、図１３に示すように差圧計内も含む、各分岐の端部が発熱・蓄熱する。すなわち、図１２、図１３に示すように、大気開放部分(例えば交換されたワーク内大気開放部分、測定終了時に大気開放される部分等）に対して圧縮エア源１００から圧縮空気が送られると、大気圧時に室温であった大気開放部分は、圧縮エア源１００からの圧縮空気に押されて移動し、下流の片隅に追いやられて圧縮され、発熱する。図１３の例では、グレー色で示す箇所、具体的には、ワークやマスタの内部のほか、差圧計１０５の内部や閉じた排気弁１０４で行き止まりになっている箇所において発熱・蓄熱が生じる。８００ＫＰａや１０００ＫＰａのような高い圧力に加圧してリーク検査を行う場合には、上記の問題はより顕著になる。

また、測定系の管路からの放熱もある。そのため、複数のワークを検査するときは、以前の検査による温度変化の影響が累積しないように、１つのワークを検査する毎に測定系の管路内の気体を入れ替える掃気が行われる。また、加圧導入する気体として、雰囲気(周囲の空気)と異なる気体を使用する場合は、初回の検査の準備においても、測定系の管路内全体がその気体に入れ替わるように掃気することが望まれる。

掃気は、通常、加圧気体が導入される主管路に設けた排気弁を開いて行われる。しかし、図１３に示すようにマスタ、ワーク、及び主管路から分岐して圧力計に向かう管路は、行き止まりになっているので、断熱圧縮されて昇温した気体の溜まり場になっており、ここを適切に掃気することは難しい。また、加圧導入する気体として、雰囲気(周囲の空気)と異なる気体を使用する場合、エア源１００から送られてくる気体と溜まり場にある気体とが異なる等、比較する気体同士が異なる物理常数（温湿度）を持つこととなるので、正確な検査ができない。

なお、ワークが１つの入口のみを有する非貫通型であっても、マスタについては、貫通型を使用すれば、溜まり場を作らずに掃気が可能になる。しかし、ワークについては非貫通型を貫通型に変更することは当然にできないので、ワーク内の掃気は困難であった。

また、１つのワークを検査する毎に測定系の管路内を掃気し、その後、気体を加圧導入し、温度が安定するのを待ってから検査を行うと、複数のワークを検査するために長い時間を要してしまう。

さらに、大きいワーク（表面積に比して体積の大きいワーク）を高い圧力で加圧して検査する場合、放熱が安定した平衡状態（漏れ検査ができる状態）に至るまでの時間（静定期間とする）が、容積の割に長時間となり、検査が、予想以上にはかどらないという問題が生じた。すなわち、加圧終了後、ワークの温度は放熱で急降下するが、ある程度下がったところで、急に温度降下が緩慢になってしまう。

また、静定期間終了直後のまさに漏れ検査を行おうとする時に圧力が乱高下してしまい、正確に検査することが難しいという問題も生じた。

本発明は、上記の問題を解決しようとするものであり、検査時に加圧導入する気体と同じ気体で検査対象の容器内を掃気することのできるリーク検査方法、リーク検査装置を提供することを目的としている。

かかる目的を達成するための本発明の要旨とするところは、次の各項の発明に存する。

［１］検査対象である非貫通型の容器の入口から前記容器内に、前記容器内の奥側で終端する第１管と、前記容器内の入口側で終端する第２管を挿入した状態で前記入口を封鎖し、前記第１管と前記第２管のうちの一方の管から所定の気体を前記容器内に送り込むことで、他方の管から前記容器内の気体を排気して前記容器内を前記所定の気体で満たした後、前記他方の管を閉鎖する容器内掃気ステップと、
前記一方の管から前記所定の気体を前記容器内にさらに導入して前記容器内を加圧した後、前記一方の管を閉鎖して前記容器を含む密閉空間を形成する加圧ステップと、
前記密閉空間の圧力を圧力計で測定して前記容器に漏れがあるか否かを検査する測定ステップと、
を有する
ことを特徴とするリーク検査方法。

上記発明および下記［８］に記載の発明では、容器の入口から該容器内に、該容器内の奥側で終端する第１管と、容器内の入口側で終端する第２管を挿入した状態で該容器の入口を封鎖し、第１管と第２管のうちの一方の管から所定の気体（検査用気体）を導入することで、容器の奥から入口、あるいはその逆に向かう気体の流れを容器内全体に発生させ、該容器内にあった気体を他方の管から排出して容器内全体を掃気する。その後、他方の管を閉鎖し、検査用気体を容器に加圧導入した後、一方の管も閉じて該容器を含む密閉空間を形成する。そして、この密閉空間の圧力変化を圧力計で測定して、容器に漏れがあるか否かを検査する。非貫通型の容器であっても、容器内全体を検査用の気体で掃気することができるので、元々容器内にあった気体が検査用気体の加圧導入によって断熱圧縮されて発熱する等の問題が解決される。

［２］前記第１管を前記一方の管、前記第２管を前記他方の管とする
ことを特徴とする［１］に記載のリーク検査方法。

上記発明では、第１管にて容器の奥側に導入した検査用気体が第２管のある容器の入口側に向かって流れることで、容器の内部全体が掃気される。

［３］前記圧力計の検出口に連通した検査系空間に、気体供給源から前記所定の気体と同じ気体を導入して前記検査系空間を加圧した後、該検査系空間を密閉する検査系加圧ステップと、
前記密閉した前記検査系空間に前記密閉空間を連通させる接続ステップとをさらに備え、
前記接続ステップによって前記密閉空間と前記検査系空間が連通した状態で前記測定ステップを行う
ことを特徴とする［１］または［２］に記載のリーク検査方法。

上記発明および下記［９］に記載の発明では、所定の気体で容器を掃気し該気体をさらに加圧導入して密閉空間を形成し、これとは別に圧力計を含む加圧済みの検査系空間を形成し、該検査系空間に密閉空間を連通させて、容器の漏れ検査が行われる。

［４］前記検査系空間を前記気体供給源から供給される気体で掃気する検査系掃気ステップをさらに有し、
前記検査系掃気ステップにて前記検査系空間を掃気してから前記検査系加圧ステップを行う
ことを特徴とする［３］に記載のリーク検査方法。

上記発明および下記［１０］に記載の発明では、検査系空間は所定の気体で掃気された後、該所定の気体で加圧される。すなわち、検査系空間、密閉空間ともに、検査用気体で掃気された後に、検査用気体が加圧導入されているので、これらを連通させた空間も検査用気体で満された空間になる。

［５］前記測定ステップを行った後、前記検査系空間を密閉して前記密閉空間を前記検査系空間から切り離し、次の検査対象に係る前記接続ステップを行うまで、前記検査系空間を加圧状態に維持する
ことを特徴とする［３］または［４］に記載のリーク検査方法。

上記発明では、検査系空間を加圧状態で密閉したまま、検査対象の容器を交換するので、検査系空間に大気圧から気体を加圧導入する工程が１回で済む。言い換えると、ワークＷを交換する毎に、検査系空間を減圧し、再度加圧するといった工程が不要になるので、減圧時の断熱膨張による冷却、再加圧時の断熱圧縮による発熱などの温度変化の影響を受けずに済むと共に、温度が安定するまで待つ待ち時間も不要になり、効率的で安定した検査が可能になる。

［６］前記測定ステップを行っている間に、他の容器に対して前記加圧ステップまでを行う
ことを特徴とする［３］乃至［５］のいずれか１つに記載のリーク検査方法。

上記発明では、漏れを測定している間に、他の容器の掃気、加圧が行われる。これらの工程を同時並行に行うことで検査効率が向上する。

［７］前記加圧ステップを終えた容器は、所定の時間以上が経過してから、前記接続ステップに移行し、
一の容器が前記経過を待っている間に、前記経過を終えた他の一の容器に対して前記測定ステップを行う
ことを特徴とする［３］乃至［６］のいずれか１つに記載のリーク検査方法。

上記発明では、掃気、加圧の完了した容器は、内部の気体が容器の漏れを測定可能な安定状態になるまで待つことが望ましく、この待ち時間の間に、他の容器を掃気・加圧する工程、および、既に待ち時間の経過を終えた容器について漏れの測定を行う。これにより、複数の容器を効率的に次々と検査することができる。

［８］検査対象である非貫通型の容器の入口を封鎖する蓋体と、前記蓋体を貫通して前記容器内の奥で終端する第１管と、前記蓋体を貫通して前記容器内の入口側で終端する第２管を備えた蓋部と、
前記第１管と前記第２管のうちの一方の管を通じて前記容器に所定の気体を送り込む気体供給源と、
前記気体供給源と前記容器との間で前記一方の管を開閉する第１開閉弁と、
前記第１管と前記第２管のうちの他方の管を開閉する第２開閉弁と、
圧力計と、
を備え、
前記蓋部が入口に取り付けられた前記容器の中に、前記第１開閉弁および前記第２開閉弁を開いた状態で前記気体供給源から前記所定の気体を送り込むことで、前記他方の管から前記容器内の気体を排気して前記容器内を前記所定の気体で満たした後、前記第２開閉弁を閉鎖する容器内掃気ステップ、
前記気体供給源から前記一方の管を通じて前記所定の気体を前記容器内にさらに導入して前記容器内を加圧した後、前記第１開閉弁を閉鎖して前記容器を含む密閉空間を形成する加圧ステップ、
前記密閉空間の圧力を前記圧力計で測定して前記容器に漏れがあるか否かを検査する測定ステップ、
が行われる
ことを特徴とするリーク検査装置。

［９］前記気体供給源から延設された管を分岐管と主管の二手に分岐し、
前記分岐管は第１接続口に至り、
前記主管は第２接続口に至り、
前記分岐管を開閉する分岐管開閉弁と、
前記主管を開閉する主管開閉弁と、
前記第２接続口を開閉する第２接続口開閉弁と、
を備え、
前記圧力計の検出口は、前記主管開閉弁と前記第２接続口開閉弁との間の前記主管に連通しており、
前記分岐管開閉弁および前記第２接続口開閉弁を閉じた状態で前記主管開閉弁を開いて前記気体供給源から前記所定の気体を導入した後、前記主管開閉弁を閉じて前記主管開閉弁と前記第２接続口開閉弁の間に密閉された検査系空間を形成する検査系加圧ステップ、
前記第１接続口に前記一方の管を接続した後、前記主管開閉弁を閉じた状態で前記分岐管開閉弁を開いて、前記容器内掃気ステップおよび前記加圧ステップ、
が行われると共に、
前記加圧ステップの後で、前記第１開閉弁を閉じて、前記一方の管を前記第１接続口から前記第２接続口に付け替え、前記第１開閉弁および前記第２接続口開閉弁を開いて前記検査系空間と前記密閉空間を連通させた状態で前記測定ステップが行われる
ことを特徴とする［８］に記載のリーク検査装置。

［１０］前記検査系空間を前記気体供給源から供給される気体で掃気してから前記検査系加圧ステップが行われる
ことを特徴とする［９］に記載のリーク検査装置。

本発明に係るリーク検査方法、リーク検査装置によれば、非貫通型の容器であっても、容器内全体を検査用の気体で掃気することができるので、元々容器内にあった気体が検査用の気体の加圧導入によって断熱圧縮されて発熱する等の問題が解決される。

本発明の実施の形態に係るリーク検査装置の概略構成を示している。差圧センサとその周囲部分を示す斜視図である。滞留防止構造の一例を示す図である。滞留防止構造の他の一例を示す図である。リーク検査装置が有する気体導入部の構成を示す図である。ワークＷに手動４方弁を取り付けた状態を示す図である。手動４方弁が取り得る４つの開閉状態を示す図である。図１のリーク検査装置における第１空間から第５空間を示す図である。リーク検査装置によるリーク検査の手順を示す流れ図である。リーク検査装置に生じ得る熱溜まり箇所を示す図である。加圧開始から大気解放後所定時間が経過するまでの温度変化を示す図である。従来のリーク検査工程を示す図である。加圧時に生じる熱溜まり箇所を示す図である。

以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。

図１は、本発明の実施の形態に係るリーク検査装置５の概略構成を示している。リーク検査装置５は、検査対象となる容器（ワークＷ）の漏れを検査する装置である。

リーク検査装置５は、圧縮された気体の供給源である気体導入部１０と、検査装置本体６とを有する。検査装置本体６は、気体導入部１０の気体吐出口１０ａに一端が接続され、他端が排気ポート３０ａにされた主管路３０を備えている。主管路３０には気体導入部１０のある上流側から順に電空レギュレータ４０、第１開閉弁４１、圧力センサ４２、第１排気弁４４、第２排気弁４５が設けてある。電空レギュレータ４０は、下流側が設定圧力を超えないように調整する機能を果たす。

電空レギュレータ４０と第１開閉弁４１の間の第１分岐箇所Ｂ１において主管路３０から第１分岐管３１が分岐し、第１分岐管３１の終端は、検査前のワークＷやマスタＭを接続するための準備用接続口３１ａとなっている。第１分岐管３１の途中には、第１分岐管３１を開閉する第１分岐管開閉弁４６、手動弁４７が設けてある。

手動弁４７は接続口１〜３を備えている。接続口１は第１分岐管開閉弁４６に通じ、接続口２は準備用接続口３１ａに通じる。接続口３は大気に開放されている。手動弁４７は、開状態と閉状態とに手動で切り替えられる。手動弁４７は、開状態では接続口１、２を連通させ、接続口３を封鎖する。閉状態では接続口１を封鎖し、接続口２、３を連通させる。

第１開閉弁４１と第１排気弁４４の間の第２分岐箇所Ｂ２において主管路３０から第２分岐管３２が分岐し、第２分岐管３２の終端は、検査対象のワークＷやマスタＭを接続するための検査用接続口３２ａとなっている。第２分岐管３２の途中には手動弁４８が設けてある。圧力センサ４２は、第２分岐箇所Ｂ２に設けてある。

手動弁４８は、手動弁４７と同様に接続口１〜３を備えている。手動弁４８の接続口１は第２分岐箇所Ｂ２に通じ、接続口２は検査用接続口３２ａに通じる。接続口３は大気に開放されている。手動弁４８は、開状態では接続口１、２を連通させ、接続口３を封鎖する。閉状態では接続口１を封鎖し、接続口２、３を連通させる。

第１開閉弁４１と圧力センサ４２の間の第３分岐箇所Ｂ３において主管路３０から第３分岐管３３が分岐し、第３分岐管３３の終端は、差圧センサ５０の第１検出口５０ａに接続されている。第３分岐管３３には、第１検出口５０ａに向けて、第２開閉弁５２、第３開閉弁５３、貫通型の小マスタＭａがこの順に介挿されている。

圧力センサ４２と第１排気弁４４との間の第４分岐箇所Ｂ４において主管路３０から第４分岐管３４が分岐し、第４分岐管３４の終端は、差圧センサ５０の第２検出口５０ｂに接続されている。第４分岐管３４には、第２検出口５０ｂに向けて、第４開閉弁５４、第５開閉弁５５、小マスタＭａと同一の小マスタＭｂがこの順に介挿されている。小マスタＭａ、Ｍｂの容量はワークＷに比べて十分小さい。

第３分岐管３３は差圧センサ５０の第１検出口５０ａの近傍に第１掃気口３３ａを備えている。また、第４分岐管３４は差圧センサ５０の第２検出口５０ｂの近傍に第２掃気口３４ａを備えている。第１掃気口３３ａと第２掃気口３４ａは、それぞれ差圧センサ５０で行き止まりになる箇所に滞留する気体を外部へ逃がすために設けてある。第１掃気口３３ａには第１掃気管３６が接続され、第２掃気口３４ａには第２掃気管３７が接続されている。第１掃気管３６と第２掃気管３７の終端同志は合流し、この合流箇所に第３掃気管３８が接続され、第３掃気管３８の終端は掃気ポート３８ａになっている。

第１掃気管３６には、第１サブ掃気弁５６が介挿されている。第２掃気管３７には、第２サブ掃気弁５７が介挿されている。第３掃気管３８には、メイン掃気弁５８が介挿されている。

第１開閉弁４１と第１排気弁４４の間に設けられた部分は、差圧センサ５０の第１検出口５０ａ側と第２検出口５０ｂ側とが対称構造にされている。

すなわち、第３分岐箇所Ｂ３から差圧センサ５０の第１検出口５０ａに至るまでの第３分岐管３３、これに介挿された第２開閉弁５２、第３開閉弁５３、小マスタＭａと、第４分岐箇所Ｂ４から差圧センサ５０の第２検出口５０ｂに至るまでの第４分岐管３４、これに介挿された第４開閉弁５４、第５開閉弁５５、小マスタＭｂとは、差圧センサ５０を中心に対称構造になっている。また、第１検出口５０ａから第１掃気口３３ａ、第１掃気管３６、第１サブ掃気弁５６を通じてメイン掃気弁５８に至る経路と、第２検出口５０ｂから第２掃気口３４ａ、第２掃気管３７、第２サブ掃気弁５７を通じてメイン掃気弁５８に至る経路も対称構造になっている。

さらに第２分岐箇所Ｂ２は第１開閉弁４１と第１排気弁４４の中央に位置している。第３分岐箇所Ｂ３から第１開閉弁４１までの主管路３０の長さと、第４分岐箇所Ｂ４から第１排気弁４４までの主管路３０の長さは同一になっている。よって、差圧センサ５０の第１検出口５０ａから第３分岐箇所Ｂ３、第２分岐箇所Ｂ２を経て検査用接続口３２ａに至る経路と、差圧センサ５０の第２検出口５０ｂから第４分岐箇所Ｂ４、第２分岐箇所Ｂ２を経て検査用接続口３２ａに至る経路は、差圧センサ５０を中心に対称構造になっている。

このように、差圧センサ５０を中心に検査系を対称構造にすることで、差圧センサ５０の第１検出口５０ａと第２検出口５０ｂに振動や反射波が同時に到達して互いに打ち消し合うようになり、差圧センサ５０の検出値に含まれる、振動に起因したノイズが軽減される。

さらにリーク検査装置５は、恒温槽６０を備えている。差圧センサ５０、小マスタＭａ、第３開閉弁５３、小マスタＭｂ、第５開閉弁５５、および、第２開閉弁５２より差圧センサ５０の第１検出口５０ａ側の第３分岐管３３、第４開閉弁５４より差圧センサ５０の第２検出口５０ｂ側の第４分岐管３４分は恒温槽６０に収容されている。恒温槽６０は、上記の収容した部分を冷却して一定温度に維持する役割を果たす。

ワークＷやマスタＭにはそれぞれ手動４方弁７０が取り付けられ、該手動４方弁７０を介してワークＷやマスタＭは準備用接続口３１ａや検査用接続口３２ａに接続される。

第１開閉弁４１、第１排気弁４４，第２排気弁４５、第１分岐管開閉弁４６、第２開閉弁５２、第３開閉弁５３、第４開閉弁５４、第５開閉弁５５、第１サブ掃気弁５６、第２サブ掃気弁５７、メイン掃気弁５８は、コイルの発熱を回避するために電磁弁ではなく、エアオペレート式のバルブ（スプリングリターン単動作動形）を採用している。また、第１排気弁４４、第２排気弁４５、第１サブ掃気弁５６、第２サブ掃気弁５７は、駆動時に閉じて非駆動時に開くノーマルオープン型であり、第１開閉弁４１、第１分岐管開閉弁４６、第２開閉弁５２、第３開閉弁５３、第４開閉弁５４、第５開閉弁５５、メイン掃気弁５８は、駆動時に開き非駆動時に閉じるノーマルクローズ型である。これらのバルブは内部に弁体があると共に配管取付部を持つ。従って通常の管と異なり、内部容積の割には熱容量が大きい。

圧力センサ４２は単圧式の圧力センサである。定格圧力０〜１０００ＫＰａ、測定精度（誤差）は±０．０２５％／フルスケール程度である。従って、測定レンジ１０００ＫＰａ時には２５０Ｐａ程度の誤差を含む。差圧センサ５０は定格差圧０〜５ＫＰａ（定格圧力−５〜＋５ＫＰａ）と、圧力センサ４２に比してわずかな圧力（圧力差）で壊れる（破壊圧力は定格圧力に略比例）。その代わりに、例えば２．５Ｐａ程度の誤差しかないので、わずかな差圧を判別でき、高精度で検査することができる。

図２は、恒温槽６０およびその周囲の配管状況を示している。図中、恒温槽６０は破線で示してある。恒温槽６０の中に収められた第３開閉弁５３、差圧センサ５０、第５開閉弁５５、および恒温槽６０の外側近傍に設置された第２開閉弁５２、第４開閉弁５４は略水平に配列されており、第２開閉弁５２から差圧センサ５０に至る部分の第３分岐管３３および第４開閉弁５４から差圧センサ５０に至る部分の第４分岐管３４はそれぞれ水平に配管されている。

主管路３０から分岐した第３分岐管３３は、上方から第２開閉弁５２に至るように配管されている。同様に主管路３０から分岐した第４分岐管３４も上方から第４開閉弁５４に至るように配管されている。なお、図２では、第３開閉弁５３と差圧センサ５０との間の第３分岐管３３が小マスタＭａの機能を果たし、第５開閉弁５５と差圧センサ５０との間の第４分岐管３４が小マスタＭｂの機能を果たす。また、第１掃気口３３ａ、第２掃気口３４ａ、およびこれらに通じる第１掃気管３６、第２掃気管３７は図示省略してある。

上記のように配管をレイアウトすることで、恒温槽６０によって冷却された、第２開閉弁５２から差圧センサ５０の間にある第３分岐管３３内の気体、および第４開閉弁５４から差圧センサ５０の間にある第４分岐管３４内の気体が、第２開閉弁５２や第４開閉弁５４を開いても主管路３０側へ対流して拡散しないようになっている。

さらに、検査装置本体６は、第２分岐箇所Ｂ２、第３分岐箇所Ｂ３、第４分岐箇所Ｂ４に、気体の滞留を防止する滞留防止構造を備えている。

図３、図４は、滞留防止構造の一例を示している。図３は、Ｙ字型の滞留防止構造であり、図４は、Ｙ字型とノズル型を組み合わせた滞留防止構造である。滞留防止構造は、Ｙ字構造やノズル構造を用いて、慣性力を用いた慣性掃気により、分岐箇所で分岐した管路の奥深くまで掃気する機能を果たす。第２分岐箇所Ｂ２、第３分岐箇所Ｂ３、第４分岐箇所Ｂ４には、図３に示すＹ字型の滞留防止構造を使用する。

たとえば、第３分岐箇所Ｂ３の場合、第１開閉弁４１側（Ｙ字型滞留防止構造の入口側）から滞留防止構造に到来した気体は、慣性を有するので、Ｙ字構造の部分で急に向きを変えることができず、そのまま、第３分岐管３３を通じて第２開閉弁５２（Ｙ字型滞留防止構造の至行き止まり箇所側）に向かう。第２開閉弁５２が閉じている場合は、そこで行き止まりになるので、その行き止まりの部分に滞留している気体を巻き込んで向きを変え、圧力センサ４２のあるＹ字構造の出口側に向かう。このようにして、分岐管の奥深くまで掃気される。なお、第３分岐箇所Ｂ３から第２開閉弁５２までの第３分岐管３３、第４分岐箇所Ｂ４から第４開閉弁５４までの第４分岐管３４の長さは、上記の気流によって内部の気体が十分掃気されるように短くされている。

図４に示す滞留防止構造は、Ｙ字構造の部分については図３と同様となり、Ｙ字構造の出口の部分にノズル構造をさらに設けた構成になっている。管径を細くしたノズル型の滞留防止構造においては、Ｙ字構造の部分から到来する気体がノズルの部分で流速を増した後、行き止まり箇所に向かって吐出する。そして、その行き止まり箇所の手前の管路内に滞留している気体を巻き込んで向きを変え、出口に向かって進む。このようにして分岐管の奥深くまで掃気される。

図５は、気体導入部１０の構成を示す。気体導入部１０は、比熱の大きい気体を温度調整して気体吐出口１０ａから吐出する機能を果たす。ここでは、比熱の大きい気体は、加湿した空気である。気体導入部１０は、周囲から取り入れた空気を加熱するヒータ１１と、気体導入部１０に入る空気（ヒータ１１を経た空気）の温度を測る入側温度センサ１２と、ヒータ１１を経た空気を所望の湿度に加湿する加湿器１３と、加湿器１３の出側の空気の湿度を測る湿度センサ１４と、加湿器１３を経た空気を圧縮するコンプレッサ１５と、加圧され加湿された空気を除湿するエアクーラ１６およびエアドライヤ１７と、圧縮された空気を圧縮された状態で蓄えるエアタンク１８と、エアタンク１８に蓄えられている空気を加温するためのヒータ１９と、雰囲気の気圧（大気圧）を測定する気圧計２１と、リーク検査装置５（特に検査装置本体６）の周囲の雰囲気の温度と湿度を測定する温湿度センサ２２と、気体導入部１０の気体吐出口１０ａから出る気体の温度を測定する出側温度センサ２３と、目標圧力や大気圧等から、加湿器１１で加湿した後の気体（空気）の目標の湿度等を演算する演算部２４と、気体導入部１０を含めてリーク検査装置５全体の動作を制御する制御部２５を備えている。主管路３０は、気体吐出口１０ａに接続されてエアタンク１８の出口に連通する。

気体導入部１０は、エアタンク１８から検査装置本体６内へ目標圧力になるように気体を加圧導入したとき、検査装置本体６の配管やワークＷ内等で結露が生じない湿度、たとえば、検査装置本体６内で相対湿度が略８０〜１００％（加圧時相対湿度）となることを目標にして動作する。すなわち、検査装置本体６内の配管に導入されたときに該気体の湿度が略８０〜１００％となり、かつその温度が周囲温度とほぼ等しくなるように、湿度および温度を調整した加圧気体をエアタンク１８に蓄える。目標圧力は、たとえば、４００〜１０００ＫＰａにされる。

加湿器１３で加湿する目的は、気体導入部１０が取り入れる周囲の空気が乾燥している冬場であっても、エアドライヤ１７から出てエアタンク１８に蓄積される圧縮空気の湿度を略８０〜１００％（加圧時相対湿度）とするためである。

なお、従来のエアドライヤは以下のような構造である。すなわち、コンプレッサ１５からの湿った熱い空気はエアドライヤ内の熱交換器で、該エアドライヤから出て来る湿った（除湿された）冷たい空気と熱交換されて予冷され、更に、エアクーラでフロンガスにより所定温度に冷却される。これにより空気中の水分は凝縮し、冷却除湿される。すなわち湿度１００％（加圧時相対湿度１００％）となる。その後、エアドライヤ内の熱交換器に入って来る熱い空気と熱交換（余熱）されて湿度が下げられてからエアドライヤから排出される。すなわち、エアドライヤからは乾燥した空気が供給される。

しかし、この構造では、加圧時相対湿度を略８０〜１００％にするという気体導入部１０における加湿の目的を達成できない。そこで、気体導入部１０で用いるエアドライヤ１７は、前述した予冷、余熱を行う熱交換器を用いず（または低能力として）にエアドライヤ１７から出る空気の湿度が下げられることなく（または下げ幅をコントロールして）高湿度で出る仕組みを用いると共に、エアドライヤ１７から出る空気の温度が、気体導入部１０や検査装置本体６の周囲の空気の温度（雰囲気温度）と略同じ温度（又は所定温度低い温度）になるように温度調整する。これにより、エアドライヤ１７の下流、例えば、検査装置本体６、エアタンク１８、検査装置本体６〜エアタンク１８（またはエアドライヤ１７）間の配管等の内部で結露するのを防止している。

なお、夜間を含む略１日間の最低温度を記憶しておき、最低温度のときでも結露しない湿度とすべく、好ましくは湿度８５％（加圧時湿度）のように若干湿度を低めにしてエアドライヤ１７から出すようにしてもよい。なお、冬場に気体導入部１０に入る空気の温度と検査装置本体６等がある場所の雰囲気温度が異なる場合には、気体導入部１０に入る空気の温度とエアドライヤ１７から出る空気の温度（雰囲気温度）とは同じ温度とせずに、エアドライヤ１７から出る空気の温度は検査装置本体６等がある場所の雰囲気温度と同じ温度とすることで、前記配管等内で結露するのを防止することができる。

本実施の形態に示す気体導入部１０では、加湿器１３、コンプレッサ１５、エアドライヤ１７、エアタンク１８の順に接続されているが、例えば加湿器１３、コンプレッサ１５、エアタンク１８、エアドライヤ１７の順であってもかまわず、順番は問わない。

なお、コンプレッサ１５で圧縮した後の空気を加湿することもできる。たとえば、エアタンク１８の中に加湿器１３を設置すれば、圧縮後の空気が加湿される。しかし、圧縮後に加湿すると、加湿方法（超音波加湿、加熱水蒸気加湿）によりエアタンク１８内の温度が変わる。例えば超音波加湿を行うとエアタン１８内の温度が下がり、加熱水蒸気加湿を行うとエアタン１８内の温度が上がる。検査装置本体６に減圧導入した際に雰囲気温度と一致するようにエアタンク１８内で気体を保温貯留しておけば、検査装置本体６に目標圧力で減圧導入した際に、結露が生じ難くなるが、圧縮後に加湿すると、検査装置本体６に減圧導入した際に結露させないようにするための温度制御も難しくなる。そのため、本実施の形態では、加湿器１３で加湿した後の空気をコンプレッサ１５で圧縮している。

図６は、ワークＷに手動４方弁７０を取り付けた状態を示している。手動４方弁７０は、接続口１〜４を備えている。接続口１はリーク検査装置５の準備用接続口３１ａあるいは検査用接続口３２ａに接続される。接続口２には、ワークＷの内部の奥まで挿入される内挿管７１の一端が接続される。接続口３には、外郭管７２の一端が接続される。接続口４は大気に開放されている。外郭管７２の他端はワークＷの入り口に接続される。なお図示省略しているが、ワークＷの入り口を封鎖する蓋体を取り付けてあり、外郭管７２は蓋体を貫通してワークＷの入り口近くで終端して開口している。

内挿管７１は、外郭管７２の途中で外郭管７２の周壁を貫通して外郭管７２の中に入り、その後は、外郭管７２の中を通ってワークＷの中に挿入される。ワークＷの内部に挿入された内挿管７１はワークＷの内部の奥まで至り、先端がワークＷの内部の最奥付近で開口している。なお、内挿管７１は、外郭管７２の中を通る必要はなく、内挿管７１と外郭管７２がそれぞれ蓋体を貫通する構造としてもよい。また、外郭管７２の終端を直接、ワークＷの入り口に接続する構造とし、外郭管７２がワークＷの入り口を封鎖する蓋体の機能を兼ねるようにしてもよい。

図７は、手動４方弁７０が取り得る４つの開閉状態を示している。同図（ａ）は、接続口１と接続口２が連通し、かつ接続口３と接続口４が連通した「両開」の状態を示している。「両開」の状態で気体導入部１０から加圧導入された気体が接続口１から流入すると、該気体は接続口２から内挿管７１を通じてワークＷの内部の奥に吐出される。また外郭管７２は接続口４を経て外界に通じている。内挿管７１の先端からワークＷの内部の奥に気体が吐出されると、これに伴って、元々ワークＷの内部にあった空気が外郭管７２を通じて外界に排出される。なお、図６は、手動４方弁７０は「両開」の状態を示している。

図７（ｂ）は、接続口１と接続口２が連通し、かつ接続口３と接続口４が閉鎖された「第１開」の状態を示している。図７（ｃ）は、接続口１、接続口２、接続口３、接続口４がいずれも閉鎖された「閉」の状態を示している。図７（ｄ）は、接続口１と接続口４が連通し、かつ接続口２と接続口３が閉鎖された「第２開」の状態を示している。手動４方弁７０では各状態への切り替えは手動で行われる。

次に、リーク検査装置５における検査手順について説明する。

リーク検査装置５では、差圧センサ５０の両側の空間を一度目標圧力に加圧すると、その状態を維持したままで、マスタＭやワークＷを交換して次々と検査を進めることができる。また、断熱圧縮・膨張による温度変動を極力抑えて、短時間でかつ高い精度で検査できるようになっている。

リーク検査装置５の検査装置本体６においては、図８に示すように、第３開閉弁５３と第１サブ掃気弁５６と差圧センサ５０の第１検出口５０ａとの間の空間を第１空間８１（図中、太線で示す）、第５開閉弁５５と第２サブ掃気弁５７と差圧センサ５０の第２検出口５０ｂとの間の空間を第２空間８２（図中、太線で示す）、第２開閉弁５２と第３開閉弁５３との間を第３空間８３（図中、太破線で示す）、第４開閉弁５４と第５開閉弁５５の間を第４空間８４（図中、太破線で示す）、第１開閉弁４１と第１排気弁４４と第２開閉弁５２と第４開閉弁５４と手動弁４８の間の空間を第５空間８５（図中、太線で示す）とする。

詳細には、第１空間８１は、第３開閉弁５３と第１検出口５０ａとの間の第３分岐管３３、小マスタＭａ、第１掃気口３３ａから第１サブ掃気弁５６までの第１掃気管３６で構成される。第２空間８２は、第５開閉弁５５と第２検出口５０ｂとの間の第４分岐管３４、小マスタＭｂ、第２掃気口３４ａから第２サブ掃気弁５７までの第２掃気管３７で構成される。第３空間８３は第２開閉弁５２と第３開閉弁５３の間の第３分岐管３３で構成される。第４空間８４は第４開閉弁５４と第５開閉弁５５との間の第４分岐管３４で構成される。第５空間は、第１開閉弁４１と第１排気弁４４の間の主管路３０、第３分岐箇所Ｂ３から第２開閉弁５２までの第３分岐管３３、第４分岐箇所Ｂ４から第４開閉弁５４までの第４分岐管３４、第２分岐箇所Ｂ２から手動弁４８までの第２分岐管３２で構成される。

密閉した検査系空間は、連通された第１空間８１、第３空間８３、第５空間８５から構成される。

図９は、リーク検査装置５における検査手順を示している。まず、気体導入部１０のエアタンク１８に、加湿し圧縮し温度調整した空気を蓄える（ステップＳ２０１）。すなわち、気体導入部１０は、周囲から空気を取り入れ、この空気を加湿器１３で加湿する。そして、加湿器１３で加湿後の空気をコンプレッサ１５で目標圧力以上に圧縮し、エアクーラ１６およびエアドライヤ１７を経て、エアタンク１８に送り込み蓄える。このとき、制御部２５は、検査装置本体６内の配管に導入されたときに該気体の湿度が略８０〜１００％となり、かつその温度が周囲温度とほぼ等しくなるように、湿度および温度を調整した加圧気体がエアタンク１８に蓄えられるように温度、湿度、圧縮を制御する。

次に、検査装置本体６内の全体を掃気する（ステップＳ２０２）。すなわち、第１開閉弁４１を閉じ、手動弁４７、第１分岐管開閉弁４６を開いて、エアタンク１８から供給される気体で第１分岐管３１を掃気した後、第１分岐管開閉弁４６を閉じる。次に、第２開閉弁５２、第３開閉弁５３、第４開閉弁５４、第５開閉弁５５、第１サブ掃気弁５６、第２サブ掃気弁５７、メイン掃気弁５８、第１排気弁４４、第２排気弁４５、手動弁４８を開いた状態で第１開閉弁４１を開き、エアタンク１８から供給される気体を、検査装置本体６の各管路（除く第１分岐管３１）に流して掃気する。

所定時間掃気したら、手動弁４８、第２排気弁４５、メイン掃気弁５８、第１サブ掃気弁５６、第２サブ掃気弁５７を閉じた後、第１開閉弁４１を閉じる。ここでの掃気の目的は、気体導入部１０から送られてくる気体と溜まり場（後述する熱溜まり箇所等）にある気体とを、例えば同一の気体（比較する気体同士を同じ物理常数（温湿度）を持つ気体）として、正確な検査を可能にすることである。

該掃気において、第１サブ掃気弁５６、第２サブ掃気弁５７、メイン掃気弁５８を開くことで、差圧センサ５０の第１検出口５０ａの極近くの第１掃気口３３ａ、および差圧センサ５０の第２検出口５０ｂの極近くの第２掃気口３４ａが共に掃気ポート３８ａに連通する。

そのため、エアタンク１８からの気体が第３分岐管３３を流れ、差圧センサ５０の第１検出口５０ａの極近くの第１掃気口３３ａから第１掃気管３６、第１サブ掃気弁５６、メイン掃気弁５８を通じて掃気ポート３８ａから大気に排出される。このとき、エアタンク１８から第３分岐管３３に入ってきた気体は、第１掃気口３３ａに直接流れ込まず、慣性により直進して、差圧センサ５０の第１検出口５０ａに到達し、差圧センサ５０内の気体をも巻き込んで、第１掃気口３３ａへ流れ込み、掃気ポート３８ａから排出される。同様に、エアタンク１８からの気体は第４分岐管３４を流れ、差圧センサ５０の第２検出口５０ｂに到達し、差圧センサ５０内の気体をも巻き込んでから、第２検出口５０ｂの極近くの第２掃気口３４ａから第２掃気管３７、第２サブ掃気弁５７、メイン掃気弁５８を通じて掃気ポート３８ａから大気に排出される。

これにより、差圧センサ５０の第１検出口５０ａ、第２検出口５０ｂに至るまでの全ての管路内がエアタンク１８からの気体に置き換わって、掃気される。

なお、第１掃気口３３ａ、第２掃気口３４ａは差圧センサ５０の検出口５０ａ、５０ｂにできるだけ近くに設けることが望ましい。少なくとも、メイン掃気弁５８、第１サブ掃気弁５６、第２サブ掃気弁５７を開いて掃気する際の気体の流れ（第１掃気口３３ａや第２掃気口３４ａから第１掃気管３６、第２掃気管３７へ向かう気体の流れ）に伴って、第１掃気口３３ａから第１検出口５０ａに至る第３分岐管３３内、および第２掃気口３４ａから第２検出口５０ｂに至る第４分岐管３４内が十分掃気されるように、第１掃気口３３ａ、第２掃気口３４ａを差圧センサ５０の検出口５０ａ、５０ｂの近傍に設ける。

掃気を終える際には、第１開閉弁４１を閉じ、排気弁４５、手動弁４８を閉じ、さらに、メイン掃気弁５８を閉じてから第１サブ掃気弁５６、第２サブ掃気弁５７閉じる。メイン掃気弁５８を閉じてから第１サブ掃気弁５６、第２サブ掃気弁５７を閉じることで差圧センサ５０の両端に大きな差圧が生じることが防止される。なお、最後に第１開閉弁４１を閉じるようにすれば、大気が管内に逆流することなく、管内がエアタンク１８からの気体で充満された状態で掃気を終えることができる。

次に、検査装置本体６内の全体を目標圧力に加圧した後、放置して温度が安定するまで待つ（ステップＳ２０３）。詳細には、第１サブ掃気弁５６、第２サブ掃気弁５７を閉じた後、第１開閉弁４１を開き、第１空間８１、第２空間８２、第３空間８３、第４空間８４および第５空間８５が連通した状態でエアタンク１８からの気体を検査装置本体６内に加圧導入する。実際にはエアタンク１８内の圧力が目標圧力より高いので気体は減圧されて検査装置本体６へ導入される。加圧導入が終了したら第１開閉弁４１を閉じる。目標圧力になったか否かは圧力センサ４２の検出値で確認する。

気体導入部１０のエアタンク１８から導入される気体は、検査装置本体６内に減圧導入されて目標圧力になったとき、ちょうど、周囲温度と同じ温度になるように調整されているので、検査装置本体６内の温度が周囲温度と一致して安定な状態になるまでの待ち時間は短くて済む。また気体導入部１０から減圧導入された気体は結露せず、かつ湿度は略８０％になる。

ところで、ステップＳ２０２の掃気の時間を短縮して掃気が完全でない場合には、検査装置本体６の中に残っていた気体が、行き止まりの箇所で断熱圧縮されて発熱し熱溜まりが形成される。図１０は、たとえば、リーク検査装置５の製造時の空気が検査装置本体６に残っている状態でステップＳ２０３にて加圧した場合に生じる熱溜まり箇所をグレーの塗りつぶしで示している。具体的には、主管路３０が第２排気弁４５で行き止まりになる熱溜まり箇所ｄ１、第１掃気管３６が第１サブ掃気弁５６で行き止まりになる熱溜まり箇所ｄ２、第２掃気管３７が第２サブ掃気弁５７で行き止まりになる熱溜まり箇所ｄ３、第２分岐管３２が手動弁４８で行き止まりになる熱溜まり箇所ｄ４に熱溜まりが生じる。さらに、差圧センサ５０の両側にも熱溜まりが生じる。

そこで、ステップＳ２０３での加圧の終了直前に、あるいは、目標圧力より少し高めの圧力に加圧してから、排気弁４５、メイン掃気弁５８、第１サブ掃気弁５６、第２サブ掃気弁５７、手動弁４８を少し開いて、熱溜まり箇所ｄ１〜ｄ４、および差圧センサ５０の第１検出口５０ａや第２検出口５０ｂの部分に溜まっている気体を排出して熱を外界へ逃がすようにしている。なお、手動弁４８については、ここでは、閉じたままとしてもよい。この場合、後述するＳ２０５の掃気において、熱溜まり箇所ｄ４に溜まっている熱（気体）が排出される。

また、第２排気弁４５を少し開いて熱溜まり箇所ｄ１に溜まっている熱を排出したら、第１排気弁４４を閉じる。熱溜まり箇所ｄ１に溜まっていた熱で第２排気弁４５は昇温し蓄熱しているので、第１排気弁４４を閉じることで第２排気弁４５を切り離して断熱する。

ここでの掃気は、断熱圧縮されて昇温した気体が、排気弁４５や差圧センサ５０で行き止まりになって熱溜まり箇所になった部分で周囲に熱を撒き散らしている状態を一刻も早く解消することを目的としている。

ステップＳ２０３の加圧により、差圧センサ５０内が、断熱圧縮により発熱した気体で満たされるため、その後、その発熱が放熱して安定状態が形成されるまで（この時間を安定経過時間とする）待つ。

検査装置本体内が目標圧力になって安定経過時間が経過した後に、第１空間８１、第２空間８２、第３空間８３、第４空間８４、第５空間８５を分離し、それぞれを閉鎖空間にする（ステップＳ２０４）。具体的には、第３開閉弁５３、第５開閉弁５５を閉じ、さらに第２開閉弁５２、第４開閉弁５４を閉じる。このあと、第２空間８２、第４空間８４は目標圧力に維持される。

なお、前述の安定経過時間を設けない場合、あるいは設定した安定経過時間が不十分な（短い）場合には、第２空間８２を密閉・分離した後も放熱が進み、該放熱と共に第２空間８２内の圧力が下がってしまうので、第２空間８２がワークＷのリーク検査における基準にならなくなってしまう。そのため、十分な安定状態が形成されるだけの安定経過時間の経過を待ってから第２空間８２を密閉して分離する。

なお、リーク検査装置５では、ワークＷやマスタＭを交換する場合に手動弁４８を閉じることで、第１空間８１、第３空間８３、第５空間８５についても、ほぼ目標圧力に維持され、これらの空間において気体の入れ替えがほとんど生じないようになっている。

次に、マスタＭを準備用接続口３１ａに接続し、該マスタＭに取り付けてある手動４方弁７０を「両開」の位置にして、第１分岐管開閉弁４６、手動弁４７を開き、エアタンク１８からの気体（検査用気体：加湿され圧縮された空気）でマスタＭ内を掃気する。その後、手動４方弁７０を「第１開」の位置に変え、マスタＭ内を目標圧力まで加圧する（ステップＳ２０５）。ここでの目標圧力は、電空レギュレータ４０によって制御される圧力であり、検査時の目標圧力よりやや高くされている。

掃気時は、マスタＭに取りつけてある手動４方弁７０が「両開」の位置にあるので、エアタンク１８から導入された気体は、図６に示すように、マスタＭの内部の奥で内挿管７１の先端から吐出し、これに伴って、元々マスタＭの内部にあった空気がマスタＭの入口から外郭管７２を通じて手動４方弁７０の接続口４から外界へ排出される。

マスタＭ内の掃気完了後に手動４方弁７０を「第１開」の位置にすることで、その後は圧力の上昇が進み、マスタＭ内が目標圧力に至る。加圧が完了したら第１分岐管開閉弁４６を閉じる。なお、マスタＭ（後述するワークＷについても同じ）を加圧する場合の圧力は、検査装置本体内と同じ目標圧力にすることが好ましいが、任意の圧力でもよい。

次に、手動４方弁７０を「閉」の位置にし、マスタＭを準備用接続口３１ａから外し、検査用接続口３２ａに取り付ける（ステップＳ２０６）。手動４方弁７０を「閉」とすることで、マスタＭを含む密閉空間が形成される。

次に、手動弁４８を開き、手動４方弁７０を「第２開」の位置にして、手動弁４８と手動４方弁７０との間にあった空気を外界へ排気する（ステップＳ２０７）。

次に、手動４方弁７０を「第１開」の位置にして、マスタＭと第５空間８５を連通させる。これにより、マスタＭを含む密閉空間と検査用空間とが連通される。その後、第１開閉弁４１を開き、圧力センサ４２の検出値に基づいて、該空間を目標圧力よりやや高い圧力に加圧する（ステップＳ２０８）。たとえば、目標圧力８００ＫＰａに対して、８００．２５ＫＰａまで（圧力センサ４２の誤差分以上まで）加圧する。圧力センサ４２は誤差が大きいので、圧力センサ４２の測定レンジ（フルスケール）１０００ＫＰａにて検出値が８００．２５ＫＰａを示していても、例えば圧力センサ４２の測定精度（誤差）が、０．０２５％／フルスケールの場合、実際には、８００．０〜８００．５ＫＰａの範囲の圧力になる。したがって、第２空間８２よりも第５空間８５は、０〜０．５ＫＰａだけ高い圧力になる。

その後、第２開閉弁５２を開いて第５空間８５と第３空間８３を連通させ、さらに第３開閉弁５３を開いて、第１空間８１、第３空間８３、第５空間８５を連通させる。そして、差圧センサ５０の検出値から、第２空間８２側と、第１空間８１側の圧力が等しくなるように、第１排気弁４４および第２排気弁４５から少しずつ排気して圧力を合わせ込む(ステップＳ２０９)。このようにすることで、圧力センサ４２の測定誤差を差圧センサ５０で校正して、第１空間８１およびこれに連通している第３空間８３、第５空間８５、マスタＭ内を正確に目標圧力（第２空間８２と同じ圧力）に調整することができる。

なお、第５空間８５をほぼ目標圧力に加圧してから第５空間８５を第３空間８３および第１空間８１に連通させるので、差圧センサ５０に大きな差圧が加わることが防止される。

第２開閉弁５２より第３開閉弁５３側の第３分岐管３３は、恒温槽６０に収容されて一定温度に保たれているので、第３空間８３、第１空間８１、第２空間８２には一定温度に保たれた気体がある。Ｓ２０８で第２開閉弁５２を開いてから第３開閉弁５３を開いたときは、第３空間８３にあった気体が第１空間８１に流れ込む。よって、恒温槽６０にて一定温度に保たれた気体が差圧センサ５０の両側に加えられるので差圧センサ５０の温度ドリフトが発生しない。

すなわち、差圧センサ５０の温度ドリフトは差圧センサ５０の周囲温度、差圧センサ５０に接触する第１空間８１、第２空間８２の温度によって左右されるが、後述の基準特性を取得する時やワークＷの検査時等において第１空間８１、第２空間８２に流出入する気体もまた第１空間８１、第２空間８２の温度と同じであるようにすれば、第１空間８１、第２空間８２の温度が変化せず、もって、差圧センサ５０の温度ドリフトの発生を防止できる（ドリフト対策）。

ステップＳ２０８の加圧においても、各種の対策を施さなければ、行き止まりの箇所にて発熱する。具体的には、図１０に示すように、第４分岐管３４が第４開閉弁５４で行き止まりになる箇所ｄ５、第３分岐管３３が第２開閉弁５２で行き止まりになる箇所ｄ７、ワークＷの内部の奥で行き止まりになる箇所ｄ６、主管路６１が排気弁４５で行き止まりになる箇所ｄ１にて熱溜まりが発生し得る。

しかし、ステップＳ２０９にて第１排気弁４４、第２排気弁４５から排気することで熱溜まり箇所ｄ１の熱は外界へ排出される。また、熱溜まり箇所ｄ５、ｄ７についても第３分岐箇所Ｂ３、第４分岐箇所Ｂ４に設けたＹ字型の滞留防止構造により、第１排気弁４４、第２排気弁４５を開いて熱を外界に排出する際に、熱の溜まりが解消される。そして、マスタ内の奥の熱溜まり箇所ｄ６については、Ｓ２０５でマスタＭ内を同じ気体で事前に目標圧力に加圧してあるので、熱の発生はほとんどない。また、結露しない。後述するＳ２１３で事前に同じ気体で目標圧力へ加圧するワークＷをＳ２１６で加圧し、Ｓ２１７で目標圧力に合わせ込む場合も同様である。

次に、基準特性を測定する（ステップＳ２１０）。すなわち、差圧センサ５０の検出値の時間経過に伴う変化を、基準特性として測定する。また、この測定時の周囲湿度、周囲温度、周囲気圧、エアタンク１８内の気体の温度・湿度・圧力、加圧時間、加圧完了時の検査装置本体６内の気体の温度などを併せて記憶する。

前述したように、加圧時に、熱溜まり箇所に熱はほとんど溜まることがなく、また、目標圧力になったときに周囲温度と一致するように温度湿度の調整された気体が気体導入部１０から減圧導入されるので、検査装置本体６内の温度が安定するまでの時間(静定時間)は短くて済む。

なお、加圧完了後、放熱（漏れ以外の要因）による圧力低下がほぼ収束するまでの所定の時間を静定時間として設定し、マスタＭについて静定時間が経過したときに差圧センサ５０が検出している圧力差の値を基準特性として取得してもよい。

基準特性の測定が終了したら、第３開閉弁５３、第２開閉弁５２を閉じて第１空間８１、第３空間８３、第５空間８５を独立した空間に分離する（ステップＳ２１１）。次に、手動弁４８を「閉」位置として、マスタＭを大気開放とし、手動４方弁７０ごと、マスタＭを検査用接続口３２ａから取り外す（ステップＳ２１２）。マスタＭ内の気体は検査装置本体６の内部を通らずに手動弁４８から外界へ排出される。

マスタＭ内にあった高圧高湿度の空気を大気開放すると、断熱膨張によって急冷され、ダイヤモンドダストが舞う。マスタＭ（後述するワークＷの場合も同じ）から吐出する空気を、手動弁４８から外界へ排出することで、このダイヤモンドダストが検査装置本体６内に入らないようにしている。

仮に、マスタＭを大気開放する際に、検査装置本体６の第２排気弁４５から排気すると、減圧で発生したダイヤモンドダストは、圧力センサ４２に衝突して溜まってしまう。すなわち、ワークＷやマスタＭを大気開放する際に排気弁４５を開くと、マスタＭ（検査時はワークＷ）内の気体は第２分岐管３２、主管路３０を通って検査装置本体６から排出されるが、減圧によって生成されたダイヤモンドダストは、慣性力で直進し、圧力センサ４２に向かい、主管路３０の方向へは行かない。

このダイヤモンドダストは、周囲湿度が低いので（たとえば、４２０KPaに加圧されている時の相対湿度１００％は、大気開放下では相対湿度１５．１５％なので）、すぐに蒸発するが、それと共に周囲湿度が上昇する。そのため、次の加圧前に第５空間８５を掃気しなければ、次の加圧により管内で結露が発生してしまう。本実施の形態に係るリーク検査装置５では、マスタＭやワークＷを大気開放する際に手動弁４８から外界へ気体を逃がすので、上記の問題は生じない。

次に、ワークＷを準備用接続口３１ａに接続し、マスタＭの時と同様に掃気した後、目標圧力に加圧する（ステップＳ２１３）。すなわち、ワークＷに取り付けてある手動４方弁７０を「両開」の位置にして、第１分岐管開閉弁４６、手動弁４７を開き、エアタンク１８からの気体（検査用気体：加湿され圧縮された空気）でワークＷ内を掃気する。その後、手動４方弁７０を「第１開」の位置に変え、ワークＷ内を目標圧力まで加圧する。

次に、ワークＷの手動４方弁７０を「閉」位置にしてワークＷを準備用接続口３１ａから取り外し、検査用接続口３２ａに取り付ける（ステップＳ２１４）。手動４方弁７０を「閉」とすることで、ワークＷを含む密閉空間が形成される。

なお、ワークＷについては、目標圧力に加圧する作業を次々に行い、準備用接続口３１ａから取り外したものを、内部の気体の温度が周囲温度に一致するまで保管場所にてしばらく放置し、その後、検査用接続口３２ａに接続する。こうすれば、別のワークＷを検査している間に、保管場所にて温度の安定を図ることができる。また、ワークＷを検査用接続口３２ａに接続して検査している間に別のワークＷを準備用接続口３１ａに接続して掃気及び目標圧力へ加圧することを行うこともできる。

次に、手動弁４８を開き、ワークＷの手動４方弁７０を「第２開」の位置にして、手動弁４８と手動４方弁７０との間にあった空気を外界へ排気(パージ)する（ステップＳ２１５）。

次に、手動４方弁７０を「第１開」の位置にして、ワークＷと第５空間８５を連通させる。ワークＷを含む密閉空間と検査用空間とが連通される。その後、マスタＭの場合と同様に、第１開閉弁４１を開き、圧力センサ４２の検出値に基づいて、該空間を目標圧力よりやや高い圧力に加圧する（ステップＳ２１６）。次に、第２開閉弁５２を開いて第５空間８５と第３空間８３を連通させ、さらに第３開閉弁５３を開いて、第１空間８１、第３空間８３、第５空間８５を連通させる。そして、差圧センサ５０の検出値から、第２空間８２側と、第１空間８１側の圧力が等しくなるように、第１排気弁４４および第２排気弁４５から少しずつ排気して圧力を合わせ込む(ステップＳ２１７)。このようにすることで、圧力センサ４２の測定誤差を差圧センサ５０で校正して、第１空間８１およびこれに連通している第３空間８３、第５空間８５、ワークＷ内を正確に目標圧力（第２空間８２と同じ圧力）に調整することができる。

なお、第５空間８５をほぼ目標圧力に加圧してから第５空間８５と第３空間８３、第１空間８１を連通させるので、差圧センサ５０に大きな差圧が加わることが防止される。

ここでも、ステップＳ２０８、２０９で説明したと同様に、合わせ込み時の排気やＹ字型構造、恒温槽６０の存在により、差圧センサ５０の温度ドリフトおよび熱溜まりの発生が防止される。また、ワークＷ内はＳ２１３にて同じ気体で事前に充填されているので、発熱や結露は生じない。

次に、ワークＷの漏れを検査する（ステップＳ２１８）。すなわち、差圧センサ５０の検出値の時間経過に伴う変化を測定し、この測定結果と、先に測定した基準特性を比較することで、ワークＷの漏れの有無を判定する。ワークＷに漏れがなければ、測定結果は基準特性と一致あるいはほぼ一致する。ワークＷから空気が漏れている場合は、基準特性との差が大きくなる。たとえば、所定時間経過時点の検出値と基準特性の値との差が許容値を超える場合はワークＷに漏れがあると判定する。

なお、マスタＭについて静定時間が経過したときの圧力差の値を基準特性として取得している場合には、ワークＷの検査においても静定時間経過時の圧力差を計測し、この値と基準特性としての静定時間経過後の圧力差とを比較し、その差が所定の閾値未満ならばワークＷは漏れなし（検査合格）と判定し、閾値以上ならば漏れあり（検査不合格）と判定するようにしてもよい。

前述したように、加圧時に熱溜まり箇所に熱がほとんど溜まることがなく、また、目標圧力になったときに周囲温度と一致し結露せずに湿度略８０％になるように温度・湿度が調整された気体が気体導入部１０から導入されるので、検査装置本体６内の温度が安定するまでの時間(静定時間)は短くて済む。また、結露しない。ステップＳ２０５〜Ｓ２０９と、Ｓ２１３〜Ｓ２１７は同じ動作であり、基準特定の測定時と検査時とで条件を同一にすることができる。

検査が終了したら、第３開閉弁５３、第２開閉弁５２を閉じて、第１空間８１、第３空間８３、第５空間８５を分離する（ステップＳ２１９）。次に、手動弁４８を「閉」位置として、ワークＷを大気開放とし、手動４方弁７０ごとワークＷを検査用接続口３２ａから取り外す（ステップＳ２２０）。ワークＷ内の気体は検査装置本体６の内部を通らずに手動弁４８を介して外界へ排出される。

次のワークＷを続けて検査する場合は（ステップＳ２２１;Ｎｏ）、ステップＳ２１３へ移行して作業を継続する。検査終了ならば（ステップＳ２２１;Ｙｅｓ）、本処理を終了する。

なお、図１０の手順は、作業員が行う、あるいは一部（ワークＷの取り付け、取り外しなど）は作業員の手を借り、その他は制御基板が制御して実行する。

このように、リーク検査装置５では、マスタＭやワークＷを交換する場合にも、差圧センサ５０の両側の第１空間８１と第２空間８２はほぼ同じ圧力に維持されるので、差圧センサ５０の両側に大きな差圧が加わることがなく、高精度の差圧センサ５０を用いて、高圧下での検査を行うことができる。

また、第１空間８１、第２空間８２、第３空間８３、第４空間８４、第５空間８５は、マスタＭからワークＷへの交換やワークＷを次のワークＷに交換する際にも、ほぼ目標圧力に加圧された状態が維持されると共に、空間内の気体がほとんど入れ替わることがない。このため、気体の加圧導入や減圧開放時に生じる熱（断熱圧縮による発熱、断熱膨張による冷却と冷却された加湿空気の配管内結露、音速以下の空気通過による摩擦熱、音速以上の空気通過による衝撃波による加熱など）の影響をリーク検査装置５はほとんど受けることがなく、同じ条件で短時間のうちに複数のワークＷを検査することができる。

また、検査装置本体６の配管やワークＷ、マスタＭは、それらの中に元々あった気体を、気体導入部１０で物理常数を調整した検査用気体で掃気した後、該検査用気体を加圧導入するので、元の気体が断熱圧縮されて発熱し、行き止まり箇所に熱が溜まることが防止・低減される。

特に、従来は掃気が困難であった非貫通型のワークＷやマスタＭの内部についても、内挿管７１、外郭管７２および手動４方弁７０を使用することで掃気が可能になった。ワークＷやマスタＭの内部を、検査用気体で事前に置換することで、ワークＷやマスタＭ内に元々あった気体が断熱圧縮されることによる発熱等を防止することができる。

また、各熱溜まり箇所ｄ１〜ｄ５、ｄ７についても、加圧時にそれらの箇所に溜まる熱い気体を、加圧終了の直前等に弁を少し開く制御、および滞留防止構造によって外部へ逃がして排熱している。差圧センサ５０の第１検出口５０ａ、第２検出口５０ｂでの熱溜まりについては、検出口５０ａ、５０ｂの極近傍に弁で開閉可能な第１掃気口３３ａ、第２掃気口３４ａを設け、加圧終了の直前等に該弁を開いて熱を外部へ逃がしている。また、恒温槽６０を設けることで、Ｓ２０９、Ｓ２１７の圧力の合わせ込みにおいても、差圧センサ５０の第１検出口５０ａに接する気体を一定温度に維持している。

このように、リーク検査装置５では、検査系、マスタＭやワークＷの内部を十分掃気すること、加圧時に各熱溜まり箇所ｄ１〜ｄ５、ｄ７に生じる熱を外部へ排出すること、恒温槽６０によって差圧センサ５０の両検出口に接する気体を一定温度に保つこと、ワークＷ交換時に検査系空間を閉鎖状態に維持すること等により、気体の加圧導入や減圧開放時に生じる熱（断熱圧縮による発熱、断熱膨張による冷却と冷却された加湿空気の配管内結露、音速以下の空気通過による摩擦熱、音速以上の空気通過による衝撃波による加熱など）の影響をほとんど受けずに、同じ条件で短時間のうちに複数のワークＷを検査することができる。

さらに、比熱（組成、湿度）をコントロールした検査用気体を気体導入部１０で生成して使用するので、圧力をかけた時に断熱圧縮で発生する熱量や減圧時に断熱膨張で放熱される熱量を空気線図等から事前に求めることができる。これを利用して本実施の形態に係るリーク検査装置５では、エアタンク１８から検査装置本体６へ気体を減圧導入したときに目標圧力となり、かつ周囲温度とほぼ同じ温度で結露しない状態が形成されるように制御し、静定時間の短縮等を図っている。

また、マスタＭやワークＷ内の気体を、手動弁４８から外部に排出するので、該気体が主管路３０等の検査装置本体６内をほとんど通らなくて済む。これにより、断熱膨張による冷却と冷却による加湿空気の配管内結露等を防ぐことができる。なお、ステップＳ２１９にて、第３開閉弁５３、第２開閉弁５２を閉じて、第１空間８１、第３空間８３、第５空間８５を分離した後に、ステップＳ２２０の手動弁４８を「閉」位置としていたが、その前に、手動４方弁７０を「第１開」の位置から「閉」の位置とした後に手動弁４８を「閉」位置とすることで手動弁４８と手動４方弁７０との間にあった空気を大気開放とし、手動４方弁７０ごとワークＷを検査用接続口３２ａから取り外した後に手動４方弁７０を「第１開」の位置とすることでワークＷを大気開放としても良い（ステップＳ２２０）。このようにすると検査装置の使用時間が短くなり、検査回数を増やすことができる。また、断熱膨張による冷却の影響を検査装置がより受け難くなる。さらに、準備用接続口３１ａは、熱的影響を受けないように検査装置本体６と別体にして、ステップ２１３等の加圧を行うようにすれば、ワークＷを加圧する際の断熱圧縮による熱の影響を検査装置本体６がより受け難くなる。

ところで、天候によって、加湿器１３に入る空気の温度や湿度、気圧が相違する。そこで、天候に左右されずに、毎日の検査を同じ条件で行うために、制御部２５は、加湿器１３で加湿しコンプレッサ１５で圧縮してエアタンク１８に蓄える空気が、一定密度（kg/m³）、一定比熱KJ(/kg・K)、一定熱伝導度W/(M・K)になるように加湿器１３、コンプレッサ１５、エアクーラ１６、エアドライヤ１７、ヒータ１９等を制御する。

なお、空気の比熱Ｃは以下の式によって求められる。
Ｃ＝（Ｃpa・ｔ＋（γ＋Ｃpv・ｔ）ｘ）／ｔ
Ｃpa：乾き空気の定圧比熱［1.006KJ/(kg/K)］
Ｃpv：水蒸気の定圧比熱［1.805KJ/(kg/K)］
γ：１気圧、０℃の水の蒸発潜熱［2500KJ/kg］
ｔ：湿り空気の温度［℃］
ｘ：絶対湿度[kg/kg(DA)]

空気の比熱は、空気中に含まれる水分量（絶対湿度）に大きく左右されるので、空気に含ませることのできる水分量を多くするために、特に冬場においては、空気を加温して加湿することが有効になる。

たとえば、周囲から取り入れた空気を気体導入部１０に設けたヒータ１１で昇温してから加湿器１３で加湿する。加温しても（さらにコンプレッサ１５で圧縮されて発熱しても）エアタンク１８に貯留している間に放熱して雰囲気温度に近づく。すると、検査時に、主管路３０等に導かれた時に、電空レギュレータ４０で減圧されるので、断熱膨張によりさらに冷却される。そこで、主管路３０などの各管路（第１空間８１から第５空間８５を構成する管路）を断熱材で保温したり、エアタンク１８内にヒータ１９を入れて保温したりするとよい。

上記の保温は、電空レギュレータ４０で減圧冷却した温度が雰囲気温度となるように、減圧後の湿度、エアタンク１８内圧力、目標圧力等からエアタンク１３内の貯留温度を求めて制御する。このように、管路を断熱材で保温したり、エアタンク１８内にヒータ１９を入れて保温したりすることで、減圧した際に結露し難くなるので、加湿器１３で加湿後の空気の絶対湿度を高めることができる。

ここで、エアタンク１８内に蓄える空気の湿度、温度を目標値に調整する際に気体導入部１０が行う制御や演算について説明する。

気体導入部１０の演算部２４は、空気の湿度を演算する第１演算、エアタンク１８内の加圧された空気の貯留温度を演算する第２演算、検査装置本体６内の目標圧力に対してエアタンク１８内の圧力をどの程度高くしておくかを表す係数の値を決定する第３演算等を行う。係数は、エアタンク１８内に蓄えられる空気圧力／目標圧力で表される。

空気の湿度を演算する第１演算は次のように行なう。

大気圧をＰ１、検査での目標圧力をＰ２、気体導入部１０に取り入れる空気の温度をＴ１、エアタンク１８の出口での気体の温度をＴ２、大気圧Ｐ１かつ温度Ｔ１での飽和水蒸気量をＶ１、大気圧Ｐ１かつ温度Ｔ２での飽和水蒸気量をＶ２とし、エアタンク内での気体を湿度１００％とする場合、
加圧前の大気圧下の空気に必要な湿度Ｈ１は、
Ｈ１＝Ｖ２×圧縮比÷Ｖ１×１００＝Ｖ２×（Ｐ１／（（Ｐ１＋Ｐ２）×係数））÷Ｖ１×１００
として求まる。

必要な湿度Ｈ１が、大気圧下の加湿前の空気の湿度Ｈ２より高ければ、（Ｈ１−Ｈ２）だけ加湿器１３で加湿する必要があり、Ｈ１がＨ２以下であれば、加湿器１３で加湿する必要はない。

＜演算例１＞
たとえば、大気圧１００ＫＰａ、目標圧力９００ＫＰａ、目標加圧時相対湿度１００％、係数１．３、気体導入部１０に取り入れる空気の温度Ｔ１が３０℃、エアタンク１８の出口で気体の温度Ｔ２が３０℃の時について、必要な湿度Ｈ１を求める。

この場合の圧縮比は、
圧縮比＝１／１３（＝大気圧１００ＫＰａ／（（大気圧１００ＫＰａ＋９００ＫＰａ目標圧力）×係数１．３））となる。

雰囲気温度Ｔ１が３０℃のとき、検査装置本体６に供給される圧縮空気の温度（エアタンク１８の出口での気体の温度）Ｔ２も、周囲温度と同じ３０℃にすべきである。大気圧下かつ３０℃での飽和水蒸気量Ｖ２は３０．４（g/m³）なので、気体導入部１０から吐出する空気中の（湿度１００％時の）水分量Ｋは、
水分量Ｋ＝Ｖ２×圧縮比＝３０．４（g/m³）×（１／１３）＝２．３３８（g/m³）となる。

加湿器１３の入口温度Ｔ１が３０℃ならば、加湿器１３の入側の空気の飽和水蒸気量Ｖ１はＶ２と同じ３０．４（g/m3）である。よって大気圧下かつ３０℃での必要な湿度Ｈ１は、
Ｈ１＝Ｖ２×圧縮比÷Ｖ１×１００＝Ｋ÷Ｖ１×１００＝２．３３８／３０．４×１００＝７．７％となる。

したがって、加湿器１３の入口湿度が約７．７％以下ならば加湿を行って約７．７％以上としてエアドライヤ１７（コンプレッサ１５）に送り込む（７．７％は大気圧時湿度）。例えば夏期では、気温が高く（例えば３０℃）湿度も高い（例えば６５％RH）。このような時期において雰囲気の湿度を測定する温湿度センサ２２の出力が例えば６５％RHを出力していた場合には、目標圧力から求める必要湿度Ｈ１（上記演算例１）が約７．７％なので、この差（７．７−６５．０）がマイナスの場合には加湿不要として、加湿器１３を動かす（加湿する）ことは行わない。

なお、検査装置本体６が置かれている場所の雰囲気温度と気体導入部１０に入る空気の温度とが異なる場合には下記のように演算を行う。

＜演算例２＞
目標加圧時相対湿度１００％、目標圧力４２０ＫＰａ、大気圧１０３ＫＰａ、気体導入部１０に入る空気の温度１０℃、検査装置本体の周囲の雰囲気温度が２５℃の場合、
大気圧下、１０℃での飽和水蒸気量は９．４（g/m³）、
大気圧下、２５℃での飽和水蒸気量は２３．０（g/m³）、
圧縮比＝１０３／（（４２０＋１０３）×１．３）＝０．１５１から
Ｈ１＝Ｖ２×圧縮比÷Ｖ１×１００＝２３．０×０．１５１÷９．４×１００＝３７．１％となる。

雰囲気温度が仮に１０℃であれば、Ｈ１＝１５．１％であるが、雰囲気温度が２５℃なので３７．１％以上としてエアドライヤ１７（コンプレッサ１５に送り込む。

例えば冬期では、気温が低く（例えば10℃）湿度も低い（例えば12％RH／25℃）。このような時期において雰囲気の湿度を測定する温湿度センサ２２の出力が例えば１２％RH／２５℃を出力していた場合には、目標圧力から求める必要湿度Ｈ１（上記演算例２）が約３７．１％となるので、この差がプラスの場合（０＜（３７．１％−１２．０％））には加湿必要として、加湿器１３を大気圧時湿度において３７．１％となるように動かして加湿する。

すなわち、この加湿によって、例えば春〜秋期に至る期間（例えば演算例１の場合）と、乾燥した冬場の期間（例えば演算例２の場合）とで、加圧時の湿度に差が生じないように、すなわち、検査条件に差が生じないようにしている。

次に、エアタンク１８内の加圧された空気の貯留温度を演算する第２演算について説明する。エアタンク１８内の加圧された空気の貯留温度は下記のようにして求める。

例えば、大気圧１００ＫＰａ、目標圧力９００ＫＰａ、係数１．３の場合、エアタンク内の圧力は１２００ＫＰａ（＝（（大気圧１００ＫＰａ＋９００ＫＰａ目標圧力）×係数１．３）−大気圧１００ＫＰａ）であるが、この空気が検査装置本体６に充填されると９００ＫＰａ（目標圧力）となる。

すなわち、減圧充填されるので、エアタンク内にある時に比して充填されると温度が下がる（検査装置本体６は断熱構造ではないが、断熱圧縮時の発熱と逆の現象（断熱膨張）で温度が下がる）。検査装置本体６内に空気を加圧導入して目標圧力である９００ＫＰａになったときの検査装置本体６内の空気の温度が周囲温度と略同じになれば、加圧導入直後に、温度の安定した状態にすることができる。そこで、該状態にすべく係数１．３に基づき（正確には大気圧、湿度等も考慮に入れて）、周囲温度に比して所定温度高めた温度でエアタンク１３内に空気を蓄える。

この時、所定温度高めた温度を下記理由に基づいてやや低めとしても良い。詳述すると、図９に示すＳ２０３、Ｓ２０８、Ｓ２１６等の加圧時と、Ｓ２０９、Ｓ２１２、Ｓ２１７、Ｓ２２０等の減圧時において、空気と検査装置本体６内の配管との摩擦によって熱が発生する（摩擦発熱）。この摩擦発熱の大きさはマッハ数（空気の速度）によって左右される（断熱圧縮の温度は圧力の0.3乗に比例するが、マッハ１を超えると衝撃波が発生し、圧力に比例する別の温度上昇現象が発生するのでマッハ１未満としている）。

ところで、掃気によってある程度の熱は除去できるものの、掃気時間を短くしようとすればするほど摩擦発熱の熱が残ってしまう（発熱の絶対量が多くなる為）。そこで、摩擦発熱のうちの掃気で除去しきれなかった蓄熱分を、加圧時に周囲温度より少し低い温度の空気をエアタンク１８から導入して相殺する。

これにより、加圧後の静定時間中の放熱は、検査装置本体６内の空気温度と周囲温度との差がほぼない状態からスタートする僅かな放熱となるので、掃気の短時間化を図ることができる。このように、エアタンク１８内の加圧された空気の貯留温度は、周囲温度に比して所定温度高めた温度ではなく、摩擦発熱を相殺するためにやや低めとしても良い。

次に、目標圧力に対してエアタンク１８内の圧力をどの程度高くすべきかを示す係数の値を決定する第３演算について説明する。係数は固定でなくても良い。

たとえば、大気圧１００ＫＰａ、目標圧力８００ＫＰａ（加圧時相対湿度８０％）、係数１．３の場合、エアタンク１８内の圧力は１０７０ＫＰａ（＝（（大気圧１００ＫＰａ＋目標圧力８００ＫＰａ）×係数１．３）−大気圧１００ＫＰａ）にされる。１０７０ＫＰａのエアタンク１８内の湿度を１００％（加圧時相対湿度）とすると、８００ＫＰａに減圧したときの湿度は、以下に示すように７７％になる。

エアタンク内の圧力が１０７０ＫＰａ時の圧縮比は、圧縮比＝大気圧／（（大気圧＋目標圧力）×１．３）＝１００／（（１００＋８００）×１．３）＝１／１１．７であり、目標圧力における圧縮比は、圧縮比＝大気圧／（大気圧＋目標圧力）＝１００／（１００＋８００）＝１／９、である。したがって、
圧縮比１／１１．７：湿度１００％＝圧縮比１／９：７７％、
なので、８００ＫＰａに減圧したときの湿度は７７％になる。

このように、係数１．３の場合には目標圧力８００ＫＰａとすると検査装置本体６に導入したときの気体の湿度は７７％となり、希望の８０％にならない。そこで、第３演算では、係数を、たとえば、１．３から１．２５に変更する。すなわち、目標圧力８００ＫＰａに対してエアタンク１８内の圧力を１０７０ＫＰａから１０２５ＫＰａに落とす。こうすると、加圧時間が長くなって検査時間が延びるものの、目標圧力８００ＫＰａ時の湿度を略８０％以上（加圧時相対湿度）にすることができ、検査装置本体６に送りこむ気体の比熱を大きくして、温度による影響を少なくできる。

なお、エアタンク１８の容量Ｖと、エアタンク１８内の圧力Ｐ１と、必要吐出圧力Ｐ２と、使用空気量（必要空気量−吐出空気量）（ｍ^３）と、使用時間ｔ（分）との間には以下の関係がある。
Ｖ＝Ｑ×ｔ÷（（Ｐ１−Ｐ２）×１０）

ここで、検査圧力の切換えがある場合について説明する。

まず、検査準備として、第１空間８１〜第５空間８５を目標圧力に加圧した後、冷やして、安定な状態にする（図９のＳ２０１〜Ｓ２０３）。前回の検査が演算例１に示すような目標圧力（９００ＫＰａ）であり、今回の検査が演算例２に示すような目標圧力（４２０ＫＰａ）であるような場合には、以下のような方法でリーク検査装置５の検査装置本体６内の掃気を行う。

すなわち、前回の検査は目標圧力９００ＫＰａ（雰囲気温度30℃）であり、気体導入部１０に蓄える気体は、圧力が１２００ＫＰａ（＝((100+900)×1.3)-100）で湿度は１００％（加圧時湿度）なので、これを絶対湿度に換算すると２．３(＝30.4×1/13)（g/m³）となる。

今回の検査が目標圧力４２０ＫＰａ（雰囲気温度25℃）の場合、絶対湿度は３．５(＝23.0×1/13)（g/m³）となり、前回の検査状態を放置したまま今回の検査を行うと、第１空間８１、第２空間８２内に残っている空気の湿度（例えば絶対湿度２．３g/m³）と、今回検査に用いる空気の湿度（例えば絶対湿度３．５g/m³）とが異なることとなり、検査毎に少しずつ空間内の空気が今回の検査の空気と入れ替わる第１空間８１と、まったく入れ替わらない第２空間８２内の空気の湿度（比熱）が異なることとなり、測定毎に誤差が生じてくる。

そこで検査条件が異なる場合には、事前に第１空間８１、第２空間８２（さらに第３空間８３〜第５空間８５）内の空気を入れ替える。さらに初回の検査前にもこの掃気を行う。なぜならば、第１空間８１から第５空間８５内の空気はリーク検査装置５の検査装置本体６が組立てられた時の空気で満たされているためである。

このような掃気を行うことで、第１空間８１、第２空間８２（さらに第３空間８３から第５空間８５）内の空気が同一となり、同一の物理常数（検査用気体の調湿を行って、同一温度、同一圧力の元で、同一の比熱）を持った空気での比較を行うことができる。

次に、熱溜まり箇所の発熱を掃気で解消する点について、より詳しく説明する。

例えば、大気圧１００ＫＰａ、目標圧力８００ＫＰａ、係数１．２５の場合、エアタンク１８内には、気体が１０２５ＫＰａ（＝（（大気圧１００ＫＰａ＋８００ＫＰａ目標圧力）×係数１．２５）−大気圧１００ＫＰａ）で蓄えられる。この時のエアタンク１８内湿度が略１００％であれば、気体導入部１０からリーク検査装置５の検査装置本体６に減圧導入されると湿度は略８０％（加圧時相対湿度）となる。

前述したようにＳ２０３での発熱は、加圧の終了直前に排気弁４５等を少し開いて熱溜まり箇所ｄ１〜ｄ４に溜まっている気体を外界へ排出する制御およびＹ字型の滞留防止構造により解消され、Ｓ２０８やＳ２１６での発熱は、排気弁４５等を開いて熱溜まり箇所ｄ１、ｄ２、ｄ５、ｄ７に溜まっている熱を外界へ排出する圧力合わせ込み制御およびＹ字型の滞留防止構造により、解消される。

ところが、マスタＭやワークＷ内の発熱箇所ｄ６の熱は、上記の制御や滞留防止構造では解消されない。リーク検査装置５では、ワークＷやマスタＭ内を気体導入部１０から導入される気体で事前に掃気することで発熱箇所ｄ６の発熱を防止している。もしも、これを行わない場合には以下のようなになる。

たとえば、大気圧１００ＫＰａ、目標圧力８００ＫＰａ、雰囲気温度が３０℃、雰囲気湿度６５％RH、係数（第三演算により）１．３→１．２５、エアタンク１８内湿度略１００％（加圧時相対湿度）、リーク検査装置５の検査装置本体６へ送られる空気の湿度が略８０％（加圧時相対湿度）の時（温度は第二演算により雰囲気温度）、エアタンク１８から導入されてワークＷに向けて送られる加圧空気は雰囲気温度と同じ３０℃（目標圧力８００ＫＰａ加圧時温度）で、湿度略８０％（目標圧力８００ＫＰａ加圧時湿度）である。

しかし、事前の掃気を行わない場合には、元々ワークＷ内にあった空気が、雰囲気温度と同じ３０℃（大気圧時温度）、雰囲気湿度６５％（大気圧時相対湿度）で満たされている場合が多い。ワークＷ内の空気は加圧により発熱（図１０の発熱箇所ｄ６）し、この熱は対流してワークＷ（タンク）内上方に移動するが、時間と共に雰囲気温度に近づく（図１１参照）。雰囲気温度（３０℃）に近づいた（例えば＋０〜＋１０℃以内程度）ところでリーク検査が終了するが、この時ワークＷ（タンク）内では以下のような現象が予想される。

すなわち、大気圧時相対湿度６５％のワークＷ内にあった空気は、加圧後に体積は１／９（＝−１００ＫＰａ／（８００ＫＰａ＋１００ＫＰａ））になり、これによって湿度は５８５％（＝６５％×９目標圧力８００ＫＰａ加圧時湿度at３０℃）となる。すなわち、図１１にあるように時間と共に放熱すると、タンク内では水蒸気（気体）が水（液体）に変化し、それと共に潜熱を放熱する。すなわち、ワークＷの漏れ検査を判別終了するまでの静定時間が潜熱放熱により延びる。さらに、タンク内表面を部分的にうっすら水膜が覆った状態となる。

ところで、検査時と実際の使用時とでワークＷの中に入れるものが同じ気体であれば、検査時の判定基準となる漏れ気体量と、実際に使用する際に許される気体の漏れ許容量とに同じ基準値を用いることができる。しかし、内部に液体を入れて使用する容器（例えば電気温水器で使用するようなステンレス製温水貯湯タンク（オールステンレス）、瞬間湯沸器で使用するような銅製熱交換器（銅製フィンと銅管）など）をワークＷとする場合には、実際の使用時に許される液体の漏れ許容値を気体の漏れ量に換算して、検査時用漏れ許容値（気体）を設定しなければならない。

この換算に当たっては粘性係数の差を用いて換算する。ところが、ワークＷ（タンク）で漏れを生じている部分に水滴（水膜）が付着しているならば漏れ検査基準は、液体の漏れ量を用いなくてはならない。しかし、前述したように、検査において、タンク内表面を部分的にうっすら水膜が覆った状態になる場合、漏れを生じている部分に水滴（水膜）が付着していかどうかが判らない（漏れ塞ぎ現象）。

さらに、結露→放熱妨害→滴下→放熱復活のサイクルを経ていると思われる圧力変化の揺らぎが、静定期間終了後のまさに漏れ検査を行おうとする時（リーク検査終了間際）に発生しており、正確に検査することが難しい（圧力揺らぎ現象）。

そこで、本実施の形態に係るリーク検査装置５の検査装置本体６では、上記したワークＷ内結露を防止すべく、電空レギュレータ４０の下流側を２手に分岐し、検査前に大気圧時相対湿度６５％（at３０℃）のワークＷ内にあった空気を、８００ＫＰａ時相対湿度８０％（at３０℃）＝大気圧時相対湿度８．９％（at３０℃）の空気で置換しておくことで、上記の問題を解決している。

さらにワークＷには、手動４方弁７０が取り付けられており、気体導入部１０から送り込んだ空気と雰囲気空気（例えば相対湿度６５％（at３０℃））とが混ざらないようにしている。この時、ワークＷ内に閉じ込めた空気の圧力は、大気圧であろうと、負圧であろうと、目標圧力であろうとかまわない。

ところで、ワークＷに取りつけられた手動４方弁７０のワークＷでない側（接続口１側）は大気（例えば相対湿度６５％（at３０℃））で満たされており、さらに検査装置本体６の検査用接続口３２ａの部分も大気で満たされており、図９のステップＳ２１４でのワークＷの取りつけにあたって、手動弁４８と手動４方弁７０との間も大気圧時相対湿度６５％（at３０℃）の大気が封印されてしまう。

そこでステップＳ２１５（マスタＭの場合はＳ２０７）にて、手動４方弁７０を一時的に「第２開」としてパージを行って、調湿されていない空気がワークＷ内に流れ込むことを防止している。これにより、第１空間８１〜第５空間８５内の空気だけではなく、ワークＷ内、手動弁４８と手動４方弁７０の間の空気も同一となり、同一の物理常数を持った空気での比較（漏れ検査）を行うことができる。

ところで、気体導入部１０から送られる気体以外の気体（例えば雰囲気）が、ワークＷやワークＷに取りつけられた手動４方弁７０と手動弁４８との間の配管等の中に入っているが故に（気体導入部１０から送られる気体と同一の物理常数を持っていない空気がワークＷや配管に満たされているが故に）、加圧時に結露が発生し、漏れ塞ぎ現象等の不具合が発生するが、リーク検査装置５では、慣性掃気を可能とする構造（滞留防止構造）と、排気弁４５等を開いて目標圧力に合わせ込む等の制御（「発熱箇所の掃気解消」を含む）等により、これを解消している。

例えば、リーク検査装置５の検査装置本体６が組立てられた（製造された）時に、分岐管端部に残っていた内部空気が除去され、また例えば、リーク検査装置５の検査装置本体６と気体導入部１０が接続された時の、検査装置本体６〜気体導入部１０間の配管内気体（雰囲気）が掃気される。

ところで、結露を防止するのならば、例えば、リーク検査装置５の組立てにあたって、湿度が「０」のような環境で組立てれば良い。しかしそれでは気体導入部１０から送られる気体の物理常数と異なる空気でリーク検査が行われることとなり、物理常数を同じとした空気条件下での比較ができず、無意味である。

本発明に係るリーク検査装置５では、冬場であっても加湿することで、温度の影響を受け難い比熱の大きい気体で検査するという特徴を有している。このことは特に乾燥地帯（エジプト、モロッコ等）での検査にあたっては、通年して加湿した空気で検査できるので特に有効である。

次にリーク検査を行うワークＷの製造方法について述べる。本実施の形態に係るリーク検査装置５が検査対象とするものは、内部に液体を入れて使用する容器（例えば電気温水器で使用するようなステンレス製温水貯湯タンク（オールステンレス）、瞬間湯沸器で使用するような銅製熱交換器（銅製フィンと銅管））であり、溶接によって作られる（又は射出成型によるプラスチック製温水貯湯タンクでも良い）。

内部に気体を入れて使用する容器としてのワークＷをリーク検査するならば、許される漏れ許容値として気体の漏れ量を簡単に設定できる。すなわち、検査時と実際の使用時とでワークＷの中に入れるものが同じ気体であれば、検査時の判定基準となる漏れ気体量と、実際に使用する際に許される気体の漏れ許容量とに同じ基準値を用いることができる。しかし、液体を入れて用いるワークの検査に気体を用いる場合には、実際の使用時に許される液体の漏れ許容値を気体の漏れ量に換算して、検査時用漏れ許容値（気体）を設定しなければならない。

この換算に当たっては動粘性係数の差を用いて換算する。本発明での検査対象の容器としてのワークＷは、製造して、リーク検査合格後に機器に組み込まれる。例えば瞬間湯沸器の場合には出荷検査で（内部に組み込まれたワークＷを含めて）水を通水するが、ステンレス製温水貯湯タンクがワークＷのような場合には機器に組み込まれて施工現場に運び込まれてから初めて、ワークＷを組み込んだ製品に通水される。すなわち、ワークＷは容器に加工される部品（例えばステンレス板、銅板、銅管等部品）段階から容器形状となってリーク検査に至るまでの間は、一度も通水されることなく、水で洗浄されることもない。

ところで、ワークＷと同じはずのマスタＭを元に基準特性（ステップＳ２１０）を取得し、複数のワークＷのリーク検査を行うが、マスタＭを含めた複数のワークＷ（以下ワークＷ等）間の製造誤差によりそれぞれの重さが微妙に異なり、リーク検査に影響を与える（外乱）。本実施の形態で用いているワークＷ等の重量差は、部品に用いている母材と異なる（比熱が異なる）物、たとえば内部の水等によって重量が異なるわけではないので（ワークＷ等と比熱が異なる外乱物の混入がないので、「比熱が異なる外乱物の除去」は不要なので）、重量の差は母材重量の差である。そこで、マスタＭとの重量差を補正するために、母材と同一材質で作った補正部品を、ワークＷ内に入れたり検査用接続口３２ａに接続する部品内に取り付けたりすることで重量差を補正する（ワークＷ等と「同一比熱補正部品を用いた外乱防止」）。

もちろん、検査用接続口３２ａに接続する部品や検査用接続口３２ａに接続する場所以外の開口部を塞ぐ補機類の材質と重量も、複数のワークＷ等間で差がないように同一部材を用いると共に同じ重量物を用いることで熱容量を合わせる（「接続口に接続する部品や補機類による外乱防止」）。

このような各種外乱の防止を行った後、均温化作業に入る。すなわち、ワークＷ等間で温度が異なると、その保有熱量によりリーク検査に影響を与えるのでそれを除去する（「保有熱量合わせ込みによる外乱防止」）。上述のような外乱防止は、ステップＳ２０１〜ステップＳ２０４のように、基準特性や検査の前日までに行うとよい。

ところで断熱圧縮による発熱は、検査にあたってリーク検査装置５の検査装置本体６に導入される気体と異なる気体（例えば前回検査して放熱しきって温度が異なる気体や、ワークＷが作られた際に一緒に閉じ込められた湿度・温度が違う気体等）が残っているからなのであるから、例えば検査に先立ちリーク検査装置５の検査装置本体６内の気体、ワークＷ内気体、マスタＭ内気体、差圧センサ５０内気体等、検査装置本体内のすべてを真空吸引してしまえば、断熱圧縮による発熱問題は一気に解消される。発熱の根源である気体を無くしてしまうのであるから理想的である（ただし、真空吸引に起因する減圧冷却が静定する静定時間が代わりに必要となる）。

ところが真空吸引しても発熱の根源である気体を完全に無くすことはできない。なぜならば、気体のない空間（絶対真空）をだれ一人つくれた者がいないからである。このことはＪＩＳの定義で、真空とは「大気圧より低い圧力の気体で満たされている特定の空間の状態」となっていることからも判る。すなわち、真空にしても気体が残存するので断熱圧縮による発熱は回避できない。

本発明では、負圧吸引で真空を作り、そこに気体導入部１０からの検査用気体を流し込むことで、新旧気体の置換をはかるのではなく、気体導入部１０から検査用気体を流し込み、加圧掃気で新旧気体の置換を行った。これにより、コンプレッサ１５のほかに真空ポンプを設ける必要がない。

さらに付言すれば、真空吸引の方式では、以下のような方法を取り得る。すなわち、真空吸引によって減圧冷却が起き、この時所定量の気体を残して加圧すれば残った気体の断熱圧縮で発熱がおきる。そこで、この減圧冷却量と断熱圧縮発熱量が等量になった時点で吸引から加圧に切り替えれば、熱が相殺され、たとえ完全に吸引（絶対真空）を作ることができなくとも目的（測定時間の短縮化）を達することができる。

ところが、吸引が足りずに加圧したり、逆に吸引しすぎてから加圧したりする場合には、熱が相殺できずに測定毎の誤差が生じる。これに対して、加圧掃気による新旧気体の置換では、所定時間以上の掃気であれば良く、測定毎の誤差を簡単に収束させることができる。

次に、液体の漏れ許容値を気体の漏れ量に換算する換算計算式等について説明する。

＜粘性係数を用いた換算計算式＞
細孔から漏れる流量は粘性係数を用いて計算することができる。

粘性係数（μ Pa・s）20℃時水のμ＝0.0010050Pa・s 空気のμ＝0.0000181Pa・s、細孔の直径 0.1mm（＝0.0001m）、細孔の長さ 1mm（＝0.001m）、大気圧（雰囲気の気圧）101300Pa Abs、細孔入口圧（目標圧力）300kPa G（＝401300Pa Abs）、細孔出口圧（雰囲気の圧力）0kPa G（＝101300Pa Abs）の時の水の漏れ量は、
ΔＰ（以下、水ΔＰとする）＝[細孔入口圧]−[細孔出口圧]（Pa Abs）＝300000（Pa Abs）
とすると、
[水の漏れ量]＝π×[細孔の直径]⁴×[水ΔＰ]／（128×[水のμ]×[細孔の長さ]）
＝3.14×0.0001[m]^４×（300000[Pa Abs]）／（128×0.0010050[Pa・s]×0.001[m]
＝0.00000073[m3/s]＝0.73[ml/s]、となる。

これに対し空気の漏れ量は、水が非圧縮性流体であるのに対し、空気は圧縮性流体であるので差圧（以下、空気ΔＰとする）は下記のように表される。

空気ΔＰ＝（[細孔入口圧]²-[細孔出口圧]²)／（2×[細孔入口圧]）
＝744225（Pa Abs）
[空気の漏れ量]＝π×[細孔の直径]⁴×[空気ΔＰ]／（128×[空気のμ]×[細孔の長さ]）
＝3.14×0.0001[m]⁴×（744225[Pa Abs]）／（128×0.0000181[Pa・s]×0.001[m]
＝0.00010087[m3/s]＝100.87[ml/s]、となる。

[水の漏れ量]を基に、リーク検査装置からの[空気の漏れ量]を換算する為の換算係数（[水の細孔入口圧]＝[空気の細孔入口圧]とした場合に）は、
[空気の漏れ量]＝[水の漏れ量]×[換算係数]
[換算係数]＝[空気の漏れ量]／[水の漏れ量]
＝（[細孔入口圧]²-[細孔出口圧]²)×[水のμ]／（2×[細孔入口圧]×[空気のμ]×（[細孔入口圧]−[細孔出口圧]））
＝137.7（＝100.87／0.73）となる。

たとえば、70℃の温水を300[kPa G]で蓄えるタンクの許容温水漏れ量が10[ml/h]の時で検査時の周囲温度（＝リーク検査装置に満たされる気体温度）が20℃の時に200[kPa G]で検査する場合（[水の細孔入口圧]＝[空気の細孔入口圧]とならない場合）には、[20℃空気のμ]＝0.0000181Pa・s、[70℃の温水のμ]＝0.0004Pa・s、大気圧（雰囲気の気圧）101300Pa Absとすると、
[換算係数]＝[空気の漏れ量]／[水の漏れ量]は、
[空気の漏れ量]＝π×[細孔の直径]⁴×[空気ΔＰ]／（128×[空気のμ]×[細孔の長さ]）
[水の漏れ量]＝π×[細孔の直径]⁴×[水ΔＰ]／（128×[水のμ]×[細孔の長さ]）なので、
[換算係数]＝（[空気ΔＰ]×[水のμ]）／（[空気のμ]×[水ΔＰ]）
で表される。計算すると、
[換算係数]＝29.28（＝292.8／10）となり、
許容気体漏れ量（[空気の漏れ量]）＝292.8[ml/h] として求められる。

但し、圧力センサには誤差があるので、その分を考慮に入れて換算係数を修正して、許容気体漏れ量を設定する必要がある。ここでは、
Ａ：高耐圧（片耐圧が例えば１０００ＫＰａ以上）で、誤差２５０Ｐａ、測定精度（誤差）０．０２５％／フルスケールの第２圧力センサ２４を用いる場合
Ｂ：高耐圧（片耐圧が例えば１０００ＫＰａ以上）で、わずかな差圧を判別できる（誤差２．５Ｐａ、測定精度（誤差）０．０００２５％／フルスケール）差圧センサを用いる場合
を比較して説明する。

Ａの差圧センサを用いる場合、目標圧力８００ＫＰａに対して、８００．２５ＫＰａまで加圧しても誤差があるので、本当の圧力は８００．０〜８００．５ＫＰａの範囲の圧力であることしか判らない（誤差２５０Ｐａ）。漏れ量はＢと同程度に測れるが、加圧する目標圧力に対する誤差があるので、前述の換算係数の演算で用いる細孔入口圧が変わり、Ｂに対してある程度厳しい漏れ判定基準を用いなければならない。

すなわち、Ａの場合、
空気ΔＰ＝([901550±250 Pa Abs]^２-［101300 Pa Abs］^２)／(2×[901300±250 Pa Abs])
[換算係数]＝[空気ΔＰ]×［水のμ］／[空気のμ]×[水ΔＰ]で表される。計算すると、
[換算係数]＝(([901550-250 Pa Abs]^２-［101300 Pa Abs］^２)／(2×[901300-250 Pa Abs])×［水のμ］／[空気のμ]×[水ΔＰ]、となる。

Ｂの差圧センサを用いる場合、目標圧力８００ＫＰａに対して、８００．２５ＫＰａまで加圧すると、本当の圧力は８００．２４７５〜８００．２５２５ＫＰの範囲にある。したがって、Ｂの場合、
空気ΔＰ＝([901550±2.5 Pa Abs]^２-［101300 Pa Abs］^２)／(2×[901300±2.5 Pa Abs])
[換算係数]＝[空気ΔＰ]×［水のμ］／[空気のμ]×[水ΔＰ]で表され、計算すると、
[換算係数]＝(([901550-2.5 Pa Abs]^２-［101300 Pa Abs］^２)／(2×[901300-2.5 Pa Abs])×［水のμ］／[空気のμ]×[水ΔＰ]、となる。

したがって、Ｂに対してＡの方を厳しい判定基準にすることで、同等の測定（判定）が可能になる。

以上、本発明の実施の形態を図面によって説明してきたが、具体的な構成は実施の形態に示したものに限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。

実施の形態では、比熱の大きい気体を、加湿した空気としたが、雰囲気より比熱の大きい気体は、たとえば、エチレン、メタン、ヘリウム等の単体、あるいはこれを空気に混ぜたものであってもよい。また、加圧導入する気体は、雰囲気より比熱の大きい気体に限定されず、任意の気体でよく、周囲の空気であっても構わない。

実施の形態では、電空レギュレータ４０の下流で配管を二手に分けて準備用接続口３１ａを設けたが、ワークＷやマスタＭ内を掃気して事前に検査用気体で満たす作業は、別途の場所で行われてもよい。ただし、完全に物理常数が同一の検査用気体を用いるには、本実施の形態で示したように、気体導入部１０から配管を二手に分けて気体を供給することが望ましい。

本発明に係るリーク検査装置の構成は、実施の形態に例示したものに限定されない。例えば、差圧センサ５０の両側の熱溜まりを解消するために第１掃気口３３ａ、第２掃気口３４ａを設けたが、Ｙ字型の滞留防止構造等で対応してもかまわない。

実施の形態では、内挿管７１をワークＷの最も奥側で終端させて開口させ、外郭管７２はワークＷの入口近くで終端して開口させ、ワークＷの奥から入口側へ向かう気体の流れを起こして掃気するようにしたが、この流れは逆にされてもよい。すなわち、ワークＷ内の入口近くで終端する管から検査用気体をワークＷ内に導入し、ワークＷ内の奥で終端する管を通じてワークＷ内の気体を外部に排出するようにしてもよい。

５…リーク検査装置
６…検査装置本体
１０…気体導入部
１０ａ…気体吐出口
１１…ヒータ
１２…入側温度センサ
１３…加湿器
１４…湿度センサ
１５…コンプレッサ
１６…エアクーラ
１７…エアドライヤ
１８…エアタンク
１９…ヒータ
２１…気圧計
２２…温湿度センサ
２３…出側温度センサ
２４…演算部
２５…制御部
３０…主管路
３０ａ…排気ポート
３１…第１分岐管
３１ａ…準備用接続口
３２…第２分岐管
３２ａ…検査用接続口
３３…第３分岐管
３３ａ…第１掃気口
３４…第４分岐管
３４ａ…第２掃気口
３６…第１掃気管
３７…第２掃気管
３８…第３掃気管
３８ａ…掃気ポート
４０…電空レギュレータ
４１…第１開閉弁
４２…圧力センサ
４４…第１排気弁
４５…第２排気弁
４６…第１分岐管開閉弁
４７…手動弁
４８…手動弁
５０…差圧センサ
５０ａ…第１検出口
５０ｂ…第２検出口
５２…第２開閉弁
５３…第３開閉弁
５４…第４開閉弁
５５…第５開閉弁
５６…第１サブ掃気弁
５７…第２サブ掃気弁
５８…メイン掃気弁
６０…恒温槽
７０…手動４方弁
７１…内挿管
７２…外郭管
８１…第１空間
８２…第２空間
８３…第３空間
８４…第４空間
８５…第５空間
Ｂ１…第１分岐箇所
Ｂ２…第２分岐箇所
Ｂ３…第３分岐箇所
Ｂ４…第４分岐箇所
ｄ１…熱溜まり箇所
ｄ２…熱溜まり箇所
ｄ３…熱溜まり箇所
ｄ４…熱溜まり箇所
ｄ５…熱溜まり箇所
ｄ６…熱溜まり箇所
ｄ７…熱溜まり箇所
Ｍ…マスタ
Ｍａ…小マスタ
Ｍｂ…小マスタ
Ｗ…ワーク

Claims

検査対象である非貫通型の容器の入口から前記容器内に、前記容器内の奥側で終端する第１管と、前記容器内の入口側で終端する第２管を挿入した状態で前記入口を封鎖し、前記第１管と前記第２管のうちの一方の管から所定の気体を前記容器内に送り込むことで、他方の管から前記容器内の気体を排気して前記容器内を前記所定の気体で満たした後、前記他方の管を閉鎖する容器内掃気ステップと、
前記一方の管から前記所定の気体を前記容器内にさらに導入して前記容器内を加圧した後、前記一方の管を閉鎖して前記容器を含む密閉空間を形成する加圧ステップと、
前記密閉空間の圧力を圧力計で測定して前記容器に漏れがあるか否かを検査する測定ステップと、
を有する
ことを特徴とするリーク検査方法。
前記第１管を前記一方の管、前記第２管を前記他方の管とする
ことを特徴とする請求項１に記載のリーク検査方法。
前記圧力計の検出口に連通した検査系空間に、気体供給源から前記所定の気体と同じ気体を導入して前記検査系空間を加圧した後、該検査系空間を密閉する検査系加圧ステップと、
前記密閉した前記検査系空間に前記密閉空間を連通させる接続ステップとをさらに備え、
前記接続ステップによって前記密閉空間と前記検査系空間が連通した状態で前記測定ステップを行う
ことを特徴とする請求項１または２に記載のリーク検査方法。
前記検査系空間を前記気体供給源から供給される気体で掃気する検査系掃気ステップをさらに有し、
前記検査系掃気ステップにて前記検査系空間を掃気してから前記検査系加圧ステップを行う
ことを特徴とする請求項３に記載のリーク検査方法。
前記測定ステップを行った後、前記検査系空間を密閉して前記密閉空間を前記検査系空間から切り離し、次の検査対象に係る前記接続ステップを行うまで、前記検査系空間を加圧状態に維持する
ことを特徴とする請求項３または４に記載のリーク検査方法。
前記測定ステップを行っている間に、他の容器に対して前記加圧ステップまでを行う
ことを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
前記加圧ステップを終えた容器は、所定の時間以上が経過してから、前記接続ステップに移行し、
一の容器が前記経過を待っている間に、前記経過を終えた他の一の容器に対して前記測定ステップを行う
ことを特徴とする請求項３乃至６のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
検査対象である非貫通型の容器の入口を封鎖する蓋体と、前記蓋体を貫通して前記容器内の奥で終端する第１管と、前記蓋体を貫通して前記容器内の入口側で終端する第２管を備えた蓋部と、
前記第１管と前記第２管のうちの一方の管を通じて前記容器に所定の気体を送り込む気体供給源と、
前記気体供給源と前記容器との間で前記一方の管を開閉する第１開閉弁と、
前記第１管と前記第２管のうちの他方の管を開閉する第２開閉弁と、
圧力計と、
を備え、
前記蓋部が入口に取り付けられた前記容器の中に、前記第１開閉弁および前記第２開閉弁を開いた状態で前記気体供給源から前記所定の気体を送り込むことで、前記他方の管から前記容器内の気体を排気して前記容器内を前記所定の気体で満たした後、前記第２開閉弁を閉鎖する容器内掃気ステップ、
前記気体供給源から前記一方の管を通じて前記所定の気体を前記容器内にさらに導入して前記容器内を加圧した後、前記第１開閉弁を閉鎖して前記容器を含む密閉空間を形成する加圧ステップ、
前記密閉空間の圧力を前記圧力計で測定して前記容器に漏れがあるか否かを検査する測定ステップ、
が行われる
ことを特徴とするリーク検査装置。
前記気体供給源から延設された管を分岐管と主管の二手に分岐し、
前記分岐管は第１接続口に至り、
前記主管は第２接続口に至り、
前記分岐管を開閉する分岐管開閉弁と、
前記主管を開閉する主管開閉弁と、
前記第２接続口を開閉する第２接続口開閉弁と、
を備え、
前記圧力計の検出口は、前記主管開閉弁と前記第２接続口開閉弁との間の前記主管に連通しており、
前記分岐管開閉弁および前記第２接続口開閉弁を閉じた状態で前記主管開閉弁を開いて前記気体供給源から前記所定の気体を導入した後、前記主管開閉弁を閉じて前記主管開閉弁と前記第２接続口開閉弁の間に密閉された検査系空間を形成する検査系加圧ステップ、
前記第１接続口に前記一方の管を接続した後、前記主管開閉弁を閉じた状態で前記分岐管開閉弁を開いて、前記容器内掃気ステップおよび前記加圧ステップ、
が行われると共に、
前記加圧ステップの後で、前記第１開閉弁を閉じて、前記一方の管を前記第１接続口から前記第２接続口に付け替え、前記第１開閉弁および前記第２接続口開閉弁を開いて前記検査系空間と前記密閉空間を連通させた状態で前記測定ステップが行われる
ことを特徴とする請求項８に記載のリーク検査装置。
前記検査系空間を前記気体供給源から供給される気体で掃気してから前記検査系加圧ステップが行われる
ことを特徴とする請求項９に記載のリーク検査装置。