JP2016161459A - パーティクルカウンター - Google Patents

Abstract

【課題】携帯性を備えるとともに利便性が向上したパーティクルカウンターを提供する。
【解決手段】本発明のパーティクルカウンターは、浮遊微粒子の測定を行う測定器本体部と、測定器本体部に取り外し可能に取着され、且つ、測定器本体部を操作可能な液晶表示部を備えた操作パネル部とを有し、測定器本体部は、操作パネル部と有線通信を行う第１有線通信部と、操作パネル部と無線通信を行う第１無線通信部と、有線通信と無線通信の切り替えを行う第１通信切替部とを有し、操作パネル部は、測定器本体部と有線通信による送受信を行う第２有線通信部と、測定器本体部と無線通信による送受信を行う第２無線通信部と、有線通信と無線通信の切り替えを行う第２通信切替部とを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、測定対象空間で気体を吸引しながら、その気体中に存在する浮遊微粒子（パーティクル）の大きさ及び個数を測定するパーティクルカウンターに関する。

医薬品等の医療分野や半導体製造等の電子工業分野などでは、空気中における塵埃等の浮遊微粒子を少なくして空気の清浄度が高度に保たれたクリーンルームが用いられている。通常、クリーンルームには、空気中の塵埃を除去するために、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等のエアフィルタを通じて空気が送り込まれる。

クリーンルームの清浄度は、単位体積当たりの空気に存在する浮遊微粒子の大きさ及び個数によって評価されて、クラス分けされている。また一般に、空気中における浮遊微粒子の大きさ及び個数の測定は、パーティクルカウンターを用いて行われている。

パーティクルカウンターは、ポンプによって気体を所定の流量で吸引するとともに、その吸引した空気に対してレーザ光を照射し、そのレーザ光が空気中に存在する微粒子に当たって散乱した光を検出器で捉えて電気信号に変換することにより、微粒子を検出する。この場合、散乱光の強度は微粒子の大きさによって異なるため、検出器で検出される電気信号（電圧）の大きさ及び回数により、微粒子の大きさ及び個数が算出される。

このようなパーティクルカウンターを用いてクリーンルーム内に浮遊する微粒子を測定する場合、測定者がパーティクルカウンターをクリーンルーム内に持ち運んでパーティクルカウンターによる測定が行われる。この場合、測定者がパーティクルカウンターを持ちながら測定を行うこともあるが、クリーンルーム内に測定者が入室することにより、クリーンルーム内の空気の流れが乱れたり、微粒子が掻き回されたりするため、パーティクルカウンターによる測定に影響を与えることがある。

このため、例えば高い清浄度が要求されるクリーンルームでは、パーティクルカウンターによる測定を高精度に行うために、測定者がパーティクルカウンターをクリーンルーム内に配置してタイマーをセットし、クリーンルーム内が定常状態となるように時間を空けてから微粒子の測定が行われる。このため、測定に時間がかかるとともに、測定結果をリアルタイムで見ることができないため、測定に誤りがあったときや異常が発生したとき等に即座に対応することができないという問題があった。

このような問題に対し、特開平４−１２２４８号公報（特許文献１）には、無線通信を利用するクリーンルーム内清浄度測定システムが開示されている。
この特許文献１に記載されている清浄度測定システムは、クリーンルーム内に配置されて清浄度を測定する清浄度測定器（パーティクルカウンター）と、同じクリーンルーム内に配置されて測定器と電気的に接続された第１ＦＭ無線機と、クリーンルームの外側に設けられ、第１ＦＭ無線機と通信を行う第２ＦＭ無線機と、第２ＦＭ無線機と電気的に接続されたパーソナルコンピュータ（ＰＣ）と、ＰＣに接続されてＰＣから出力される測定データを磁気記録する磁気記録装置とを備える。

この場合、ＰＣは、測定器に対して測定指令や測定仕様を発するとともに、測定器で測定された測定データを収集して加工整理し、その測定結果を磁気記録装置に出力する。また、第１ＦＭ無線機と第２ＦＭ無線機とは、互いにデータ授受を行うための無線通信手段であり、送信手段及び受信手段をそれぞれ有する。

このような特許文献１の清浄度測定システムによれば、清浄度測定器がクリーンルーム内に予め設置されていて、その測定器は、ＰＣから測定指令が出されることによって清浄度の測定を行うことが可能であるため、測定者がクリーンルームに入室する必要がない。従って、特許文献１では、ＰＣで測定仕様の指定から測定開始及び終了時期の指定まで行って測定できるため、クリーンルーム内の定常状態を保って短時間で正確な測定結果が得られるとしている。

更に、特開２０００−１９０９５号公報（特許文献２）にも、クリーンルーム内の清浄度を測定する装置として、無線通信手段を利用する清浄度測定装置（パーティクル測定器）が開示されている。
この特許文献２に記載されている清浄度測定装置は、照射したレーザの散乱光を測定するゴミカウンタと、アンテナを具備する無線送信装置と、ゴミカウンタの測定データを入力して演算処理し、送信装置へ出力するデータ処理装置と、ゴミカウンタ、送信装置及びデータ処理装置の電源となるバッテリーとを備えており、この清浄度測定装置は、演算処理された測定データと位置情報とを、無線送信装置のアンテナから、上位コンピュータが存在する中央監視盤へ送信することができる。

更に、特許文献２の清浄度測定装置は、クリーンルームの天井搬送レール上を走行するウェーハ自動搬送台車、又は、クリーンルームの床面を走行する無軌道式走行台車に搭載されており、クリーンルーム内を自由に移動することが可能である。

従って、特許文献２の清浄度測定装置を用いることにより、測定者がクリーンルームに入室しなくても、クリーンルーム内の搬送エリア全域の空気清浄度を監視することができる。更に特許文献２によれば、清浄度測定装置が通過するエリアのパーティクル環境がリアルタイムで解るため、異常発生時には即座に調査、対策が可能であるとしている。

特開平４−１２２４８号公報 特開２０００−１９０９５号公報

例えばクリーンルームの清浄度評価を行う場合、その評価の依頼を受けた会社は、安定した分析及び評価を行うために、クリーンルーム内に既設されているパーティクルカウンターを用いることはなく、携帯性を備えた所定のパーティクルカウンターをクリーンルーム内に持ち運んで浮遊微粒子の測定が行われる。

このため、クリーンルームの清浄度評価を行う際には、例えば特許文献１や特許文献２に記載されているような、無線通信手段を備えたパーティクルカウンターをクリーンルーム内に常設しておくことによってクリーンルーム内への人の出入りを禁止するという技術をそのまま利用することはできない。更に近年では、例えば医療分野や半導体製造分野において無線通信の使用自体が禁止されているところもある。

従って、クリーンルームの清浄度を評価する際には、少なくともクリーンルーム内に人（測定者）が入室する必要がある。しかし、例えば測定者がパーティクルカウンターを持って、又は近くに置いて浮遊微粒子の測定を行うと、前述したように、クリーンルーム内の空気の流れが乱れたり、微粒子が掻き回されたりするため、高精度な測定結果を得ることが難しかった。

また、浮遊微粒子の測定を定常状態で高精度に行うために、測定者がパーティクルカウンターにタイマーをセットし、測定者がパーティクルカウンターから離れた後に時間を空けてから浮遊微粒子の測定を自動的に行うようにすると、測定者がパーティクルカウンターによる測定結果をリアルタイムで見ることができなくなる。このため、前述したように測定に誤りがあったときや異常が発生したとき等に即座に対応できないという問題があった。

更に例えば、クリーンルームに設置されているＨＥＰＡフィルタ等のリーク試験を行う場合は、一般に、ＨＥＰＡフィルタから吹き出す下流側の空気に存在する浮遊微粒子を測定するだけでなく、ＨＥＰＡフィルタに流れ込む上流側の空気に存在する浮遊微粒子も測定し、ＨＥＰＡフィルタの上流側と下流側とで得られる測定結果の比較が行われる。

この場合、ＨＥＰＡフィルタの上流側の浮遊微粒子を測定するために、ＨＥＰＡフィルタの上流側の領域にパーティクルカウンターを持ち込む必要があるため、上述したようなクリーンルーム内に人がパーティクルカウンターを持ち込む場合と同様の問題があった。

本発明は上記従来の課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、クリーンルーム内等の測定対象空間に持ち運ぶことが可能な携帯性を備えるとともに、離れた位置でも浮遊微粒子の測定結果をリアルタイムで見ることが可能で、また、無線通信の使用が禁止されているところでも測定を行うことが可能なパーティクルカウンターを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明により提供されるパーティクルカウンターは、測定対象空間に持ち運ぶことが可能な携帯性を備え、気体を吸引しながら前記気体中に存在する浮遊微粒子の大きさ及び個数を測定するパーティクルカウンターであって、前記気体を吸引して前記浮遊微粒子の測定を行う測定器本体部と、前記測定器本体部に取り外し可能に取着され、且つ、前記測定器本体部を操作可能な液晶表示部を備えた操作パネル部とを有し、前記測定器本体部は、前記操作パネル部と有線通信を行う第１有線通信部と、前記操作パネル部と無線通信を行う第１無線通信部と、前記有線通信と前記無線通信の切り替えを行う第１通信切替部とを有し、前記操作パネル部は、前記測定器本体部と有線通信を行う第２有線通信部と、前記測定器本体部と無線通信を行う第２無線通信部と、前記有線通信と前記無線通信の切り替えを行う第２通信切替部とを有してなることを最も主要な特徴とするものである。

本発明に係るパーティクルカウンターにおいて、前記測定器本体部は、前記第１有線通信部として、前記操作パネル部を前記測定器本体部に取着した状態にて前記操作パネル部に接続して有線通信する第１直接接続部を有し、前記操作パネル部は、前記第２有線通信部として、前記取着状態にて前記測定器本体部に接続して有線通信する第２直接接続部を有することが好ましい。

また、前記測定器本体部は、前記第１有線通信部として、前記操作パネル部を前記測定器本体部から取り外した状態にて、前記操作パネル部とケーブルを介して有線通信する第１ケーブル接続部を有し、前記操作パネル部は、前記第２有線通信部として、前記取り外し状態にて前記測定器本体部と前記ケーブルを介して有線通信する第２ケーブル接続部を有することが好ましい。

更に、前記測定器本体部は、前記操作パネル部に係合して前記操作パネル部を前記測定器本体部に固定する係合爪部と、前記係合爪部を前記操作パネル部の係合方向に付勢する弾性部材と、押圧により前記係合爪部を前記弾性部材の付勢に抗して前記操作パネル部の係合方向とは反対の方向に移動させることが可能な取り外しボタン部とを有することが好ましい。

本発明に係るパーティクルカウンターは、例えば持ち手を有することにより持ち運び可能な携帯性を備えるとともに、浮遊微粒子の測定を行う測定器本体部と、測定器本体部に取り外し可能に取着される操作パネル部とを有する。測定器本体部は、操作パネル部との間で有線通信によるデータの送受信を行う第１有線通信部と、操作パネル部との間で無線通信によるデータの送受信を行う第１無線通信部と、有線通信と無線通信の切り替えを行う第１通信切替部とを有しており、操作パネル部は、測定器本体部との間で有線通信によるデータの送受信を行う第２有線通信部と、測定器本体部との間で無線通信によるデータの送受信を行う第２無線通信部と、有線通信と無線通信の切り替えを行う第２通信切替部とを有する。

これにより、クリーンルーム内にパーティクルカウンターを持ち運んで浮遊微粒子の測定を行う場合、パーティクルカウンターの操作パネル部を、測定器本体部に取り付けて有線で繋いだ状態で測定を行うこともできるし、また、測定器本体部から取り外し、離れた位置から無線通信を利用して測定を行うこともできる。

従って、通常は操作パネル部を測定器本体部に取り付けておくことによって、パーティクルカウンターの持ち運びや取り扱いを容易に行うことができる。また、例えばクリーンルームの清浄度を評価する場合や、クリーンルームに設置されたＨＥＰＡフィルタの上流側で浮遊微粒子の測定を行う場合等に、パーティクルカウンターの測定器本体部を、クリーンルーム内等の測定対象領域に持ち運んで所定の位置にセットし、その後、測定者が、測定器本体部から離れた位置において操作パネル部から無線通信を利用して測定器本体部を操作することによって測定を開始することができ、それによって、浮遊微粒子の測定を定常状態で高精度に行うことが可能となる。

更に、操作パネル部と測定器本体部とが無線通信で相互に送受信できることにより、測定者は、測定器本体部による測定結果をリアルタイムで見て確認することができる。またそれによって、例えば測定器本体部の測定に誤りがあったときや異常が発生したとき等に測定者が即座に気付くことができるとともに、操作パネル部で測定器本体部を操作することによって迅速に且つ容易に対応をとることが可能となる。

また、例えばクリーンルームで無線通信の使用自体が禁止されている場合は、測定器本体部及び操作パネル部の各通信切替部で無線通信から有線通信に切り替えることにより、同じパーティクルカウンターを用いて、無線通信を使用せずに浮遊微粒子の測定を行うことができる。更に後述するように、測定器本体部と操作パネル部とをケーブルで繋いで有線通信を行うことにより、測定者は、パーティクルカウンターの測定器本体部を離れた位置から操作パネル部で操作することも可能となる。

このような本発明のパーティクルカウンターにおいて、測定器本体部は、操作パネル部を測定器本体部に取着した状態で操作パネル部に接続して有線通信する第１直接接続部を有するとともに、操作パネル部は、操作パネル部を測定器本体部に取着した状態で測定器本体部に接続して有線通信する第２直接接続部を有する。

これにより、無線通信が利用可能で且つ携帯性を備えたパーティクルカウンターであっても、操作パネル部が測定器本体部に取着された一体的な状態で操作を安定して行うことができるため、パーティクルカウンターの利便性を更に向上させることができる。

また、本発明のパーティクルカウンターにおいて、測定器本体部は、操作パネル部を測定器本体部から取り外した状態で操作パネル部とケーブルを介して有線通信する第１ケーブル接続部を有するとともに、操作パネル部は、操作パネル部を測定器本体部から取り外した状態で測定器本体部とケーブルを介して有線通信する第２ケーブル接続部を有する。

これにより、無線通信の使用が禁止されている場所で測定を行う場合、パーティクルカウンターの測定器本体部を所定の位置に持ち運んでセットするとともに、ケーブルを介して測定器本体部と接続された操作パネル部で、測定器本体部から離れた位置から有線通信を利用して測定器本体部を操作することができるため、浮遊微粒子の測定を定常状態で高精度に行うことが可能となる。

更に、本発明のパーティクルカウンターにおいて、測定器本体部は、操作パネル部に係合して操作パネル部を測定器本体部に固定する係合爪部と、係合爪部を操作パネル部の係合方向に付勢する弾性部材と、押圧により係合爪部を弾性部材の付勢に抗して操作パネル部の係合方向とは反対の方向に移動させることが可能な取り外しボタン部とを有する。これにより、簡単な構造で操作パネル部を測定器本体部に安定して固定できるとともに、取り外しボタン部を押圧することにより、操作パネル部を測定器本体部から簡単に取り外すことができる。

本発明のパーティクルカウンターの操作パネル部が測定器本体部から分離している状態を示す斜視図である。 図１に示したＩＩ−ＩＩ線について矢視方向から凹溝部を見た模式図である。 測定器本体部の載置部を上面側から見た平面図である。 操作パネル部を下方側から見た底面図である。 操作パネル部における液晶表示部の表示状態の一例を示す模式図である。 測定器本体部において浮遊微粒子の測定を行う測定部を説明するブロック図である。

以下、本発明の好適な実施の形態について、実施例を挙げて図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は、以下で説明する実施例に何ら限定されるものではなく、本発明と実質的に同一な構成を有し、かつ、同様な作用効果を奏しさえすれば、多様な変更が可能である。

例えば、測定器本体部に操作パネル部を取り付けて固定する構造は、以下の実施例の形態に限定されるものではなく、操作パネル部を測定器本体部に取り外し可能に固定することができれば、その他の形態を採用することも可能である。

図１は、本実施例に係るパーティクルカウンターの操作パネル部が測定器本体部から分離している状態を示す斜視図である。図２は、図１に示したＩＩ−ＩＩ線について矢視方向から凹溝部を見た模式図であり、図３は、測定器本体部の載置部を上面側から見た平面図である。また、図４は、操作パネル部の底面図である。

なお、本実施例では、パーティクルカウンターの高さ方向を上下方向とする。また、パーティクルカウンターの高さ方向に直交する幅方向を左右方向とし、特に、パーティクルカウンターを後述する操作パネルが配される正面側から見たときの左側及び右側の方向を、それぞれ左方向及び右方向とする。更に、上下方向及び左右方向に直交する奥行方向を前後方向とし、特に、パーティクルカウンターの後述する測定器本体部に対して操作パネルが取り付けられる側を前方とし、その反対側を後方とする。

本実施例のパーティクルカウンター１は、人が容易に持ち運ぶことが可能なように、全体として持ち運び可能な大きさ及び重さを有する携帯性を備えたパーティクルカウンターである。

このパーティクルカウンター１は、測定対象空間の気体を吸引しながらその気体中に存在する浮遊微粒子の大きさ及び個数の測定を行う測定器本体部１０と、測定器本体部１０に取り外し可能に取着される操作パネル部３０とを有しており、測定器本体部１０と操作パネル部３０とは、有線通信及び無線通信により各種データの送受信を相互に行うことが可能に形成されている。以下、測定器本体部１０及び操作パネル部３０について、具体的に説明する。

本実施例の測定器本体部１０は、本体主要部１１と、本体主要部１１の上面に設けられた持ち手１２と、本体主要部１１の前方下端部から前方へ延びる載置部１３と、載置部１３の前端部に突設された留め部（引っ掛け部）１４とを有する。更に、測定器本体部１０の下面における隅角部には、４つのゴム製の脚部１５が設けられている。

また、測定器本体部１０は、本体主要部１１に設けられて浮遊微粒子の大きさ及び個数を測定する測定部２０と、操作パネル部３０との間で有線通信による送受信を行う本体有線通信部（第１有線通信部）と、操作パネル部３０との間で無線通信による送受信を行う本体無線通信部（第１無線通信部）と、操作パネル部３０に対する通信方法（通信手段）を切り替える切替スイッチボタン（第１通信切替部）１６と、測定部２０及び各通信部の制御を行うＣＰＵ等の本体制御部（第１制御部）と、各種データ（情報）を書き込んで記憶するとともに本体制御部が所要のデータを読み出すことが可能な本体記憶部（第１メモリ）と、電力を蓄えて供給する本体バッテリー（第１充電部）とを有する。

なお、本実施例において、本体無線通信部、本体制御部、本体記憶部、及び本体バッテリーについては図示を省略する。また、例えば本実施例の測定器本体部１０にはプリンター機能を追加することも可能であり、それによって、操作パネル部３０の操作により浮遊微粒子の測定結果等を紙に印刷することが可能となる。

本実施例の測定部２０は、図６に示すように、本体主要部１１の上端部に吸気口として設けられる吸気ノズル（気体導入部）２１と、吸気ノズル２１の下流側に設けられ、気体を吸引して移送するポンプ２３と、吸気ノズル２１及びポンプ２３間に配され、導入された空気中に存在する浮遊微粒子を検出する検出部２２と、ポンプ２３の下流側に配される排気口（気体排出部）２４とを有する。

本実施例における浮遊微粒子を検出する検出部２２は、従来の一般的なパーティクルカウンターと同様に形成されており、吸気ノズル２１を介して導入された空気にレーザ光源からレーザ光を照射し、そのレーザ光が空気中に存在する微粒子に当たって散乱した光を検出器（センサー）で捉えて電気信号に変換することにより、微粒子を検出するように形成されている。

このような測定部２０で空気中に浮遊する微粒子の測定を行う場合には、ポンプ２３を作動させて吸気ノズル２１から空気を所定の流量で吸い込んで検出部２２に導入するとともに、検出部２２では、導入された空気にレーザ光を照射するとともに微粒子に当たって散乱した光を検出器で捉えて電気信号に変換する。これにより、変換された電気信号から微粒子の大きさ及び個数が算出される。また、ポンプ２３で吸引された空気は、測定器本体部１０の後面に設けられた排気口２４を介して測定器本体部１０の外部（クリーンルーム）に排出される。

なお、本発明において、測定可能な微粒子の大きさは、測定部２０に用いる検出器の種類や性能によって設定され、また、測定可能な浮遊微粒子の個数（濃度）は、測定部２０に用いるポンプ２３の性能によって設定される。また本実施例では、測定部２０の吸気ノズル２１の先端部に中空のホースや漏斗等を取り付けて測定を行うことも可能である。

更に本発明において、浮遊微粒子の大きさ及び個数を測定する測定部２０の構成は特に限定されるものではなく、微粒子の検出方法として、上述のようなレーザ光を照射して光散乱方式で微粒子を検出する方法以外の方法を用いることも可能である。

本実施例において、上述のような測定部２０を備える本体主要部１１は、左右方向に直交する断面が台形状を呈する箱型の形態を有する。この場合、測定部２０の上述した吸気ノズル２１の一部が、図１に示したように、本体主要部１１の上面から突出するように配されているとともに、測定部２０の排気口２４は、本体主要部１１の後面に設けられている（図１には不図示）。

本体主要部１１の前面は、下端部が前方に出るように上下方向（鉛直方向）に対して斜めに下り傾斜して形成されており、測定器本体部１０の載置部１３に操作パネル部３０を載置して固定したときに、本体主要部１１の前面に操作パネル部３０を寄り掛からせて操作パネル部３０の後面（背面）全体を支持することができる。

この本体主要部１１の前方下端部には、前方に延出する載置部１３が設けられているとともに、本体主要部１１と留め部１４との間には、操作パネル部３０を収容可能な凹溝部１３ａが形成されている。この凹溝部１３ａは、本体主要部１１の前面の傾斜に合わせて、上下方向に対して斜めに形成されており、載置部１３の上面となる凹溝部１３ａの底面も、本体主要部１１の前面に略直交するように水平方向に対して斜めに僅かに傾斜して形成されている。

この凹溝部１３ａの底面部には、図２及び図３に示すように、底面部の左右側縁部に設けられた左右の係合爪部１３ｂと、操作パネル部３０に設けた後述の本体接続コネクタ部（第２直接接続部）３８を嵌入して操作パネル部３０と直接接続する操作パネル接続コネクタ部（第１直接接続部）１３ｃと、凹溝部１３ａの底面に対して上下方向に移動可能に配されるとともに、図示しないスプリングにより上方へ向けて付勢されているイジェクトピン１３ｄとが配されている。

左右の係合爪部１３ｂは、底面部の左右側縁部に穿設された爪孔１３ｅ内を左右方向に移動可能に配されているとともに、載置部１３内に設けられた図示しない弾性部材により、左右方向の内側に向けて付勢されている。また、各係合爪部１３ｂは、爪孔１３ｅを介して上下方向に延びる爪柱部と、爪柱部の上端部に配され、左右方向の内側（左右方向の中心部に向く側）に向けて突出する係合頭部とを有しており、係合爪部１３ｂの底面部から突出している部分の形状は、略Ｌ字状を呈する。

この場合、係合爪部１３ｂの上端面（すなわち、爪柱部及び係合頭部の上端面）は、左右方向の内側に向けて下り傾斜する傾斜面に形成されている。これにより、操作パネル部３０を後述するように測定器本体部１０の凹溝部１３ａに挿入して固定する際に、操作パネル部３０の下面部に設けた後述する係止孔部３７の枠縁部（特に、左右方向の内側に配される内側枠縁部）が係合爪部１３ｂの上端面に当接し、更に操作パネル部３０が下方に押し込まれることにより、係止孔部３７の枠縁部が係合爪部１３ｂの傾斜した上端面を介して同係合爪部１３ｂを左右方向の外側に向けて押圧するため、係合爪部１３ｂを図示しない弾性部材の付勢力に抗して外側へ移動させることが可能となる。

そして、操作パネル部３０が更に下方に押し込まれて、左右の係合爪部１３ｂの係合頭部が、操作パネル部３０の係止孔部３７の内部に入り込むことにより、係止孔部３７の枠縁部による左右の係合爪部１３ｂの押圧が解除される。その結果、左右の係合爪部１３ｂが図示しない弾性部材により付勢されて左右方向の内側に向けて移動し、それによって、操作パネル部３０の係止孔部３７の後述する横孔部３７ｂに入り込んで操作パネル部３０に係合する。これにより、左右の係合爪部１３ｂが操作パネル部３０をガタ付かないように挟み込んで、操作パネル部３０を測定器本体部１０に安定して固定することができる。

測定器本体部１０の留め部１４における左右方向の中央部には、取り外しボタン部１４ａが設けられている。この取り外しボタン部１４ａを下方に押すことにより、凹溝部１３ａの底面部に設けた左右の係合爪部１３ｂを、図示しない弾性部材の付勢力に抗して左右方向の外側に移動させることができる。従って、操作パネル部３０が左右の係合爪部１３ｂによって測定器本体部１０に固定されている状態において、取り外しボタン部１４ａを指で下方に向けて押圧することにより、左右の係合爪部１３ｂを左右方向の外側に移動させて、操作パネル部３０に対する係合を解除することができる。

更に、本実施例の測定器本体部１０では、凹溝部１３ａの底面部に設けたイジェクトピン１３ｄが操作パネル部３０の固定時に下方に押し込まれた状態となっている。このため、取り外しボタン部１４ａが押されて左右の係合爪部１３ｂの係合が解除されることにより、イジェクトピン１３ｄが凹溝部１３ａの底面から飛び出るとともに操作パネル部３０を持ち上げることができる。これによって、操作パネル部３０を測定器本体部１０の凹溝部１３ａから容易に抜出させることができる。

また、測定器本体部１０の上面における右側縁部には、操作パネル部３０に対する通信を有線通信及び無線通信から選択して切り替えることが可能な上述した切替スイッチボタン１６（第１通信切替部）と、測定器本体部１０の電源をＯＮ／ＯＦＦする電源スイッチボタン１７とが前後に並んで配置されている。

更に、本体主要部１１の左側面部には、本体バッテリーに電力を供給するＡＣアダプタを接続するためのアダプタ接続コネクタ部（アダプタ接続端子）１８と、操作パネル部３０との間で有線通信を行う通信ケーブル５を接続するケーブル接続コネクタ部（ケーブル接続端子）１９とが配されている。この場合、有線通信を行う通信ケーブル５には、ＩＥＥＥ１３９４やＵＳＢ等が利用される。

すなわち、本実施例の測定器本体部１０は、操作パネル部３０との間で有線通信を行う第１有線通信部として、操作パネル部３０が測定器本体部１０に固定されているときに、凹溝部１３ａの底面部に設けた操作パネル接続コネクタ部１３ｃに操作パネル部３０を直接接続して有線通信を行うことが可能な本体側直接有線通信部と、操作パネル部３０が測定器本体部１０から外されて分離しているときに、測定器本体部１０のケーブル接続コネクタ部１９に通信ケーブル５を接続して有線通信を行うことが可能な本体側ケーブル有線通信部との２種類の有線通信部を備える。

測定器本体部１０の本体無線通信部は、本体主要部１１の内部に設けられており、この本体無線通信部は、無線電波により各種データ（情報）を送受信するアンテナや、アンテナが受信したデータ及び送信するデータを処理する送受信回路等を有する。なお、本発明において無線通信を行う方法は特に限定されず、ＩＥＥＥ８０２．１１、ＩＥＥＥ８０２．１６、又はその他の適切な無線通信方法を採用できる。

また、本実施例の本体無線通信部は、切替スイッチボタン１６が押されて操作パネル部３０に対する通信として無線通信が選択されているときには、操作パネル部３０とアドホックモードで無線通信を行い、一方、操作パネル部３０に対する通信として有線通信が選択されているときには無線通信を停止する。

本実施例の操作パネル部３０は、所謂タブレット端末として形成されている。この操作パネル部３０の前面には、略矩形状のタッチパネル式液晶表示部３１が配されているとともに、液晶表示部３１の外周に沿って外枠部３２が配されている。液晶表示部３１には、例えば図５に液晶表示部３１に表示される画面の一例を示すように、測定器本体部１０の測定部２０で測定される測定結果３１ａ、測定器本体部１０のバッテリー残量（本体バッテリーの充電残量）３１ｂ、操作パネル部３０のバッテリー残量（パネルバッテリーの充電残量）３１ｃ、測定器本体部１０の測定状態３１ｄ、測定器本体部１０と操作パネル部３０の通信状態３１ｅ、測定時間（サンプリング時間）３１ｆ、並びに、現在時間３１ｇ及び日付３１ｈ等が表示されるとともに、測定器本体部１０を操作する各種操作ボタン３１ｉ〜３１ｎが表示される。

従って、測定者は、操作パネル部３０の液晶表示部３１に表示される操作ボタン３１ｉ〜３１ｎ等をタッチすることにより、測定器本体部１０の設定や測定条件を確認・変更することや、測定器本体部１０に対する通信方法（通信手段）を切り替えること、測定器本体部１０による浮遊微粒子の測定を開始すること等の各種操作を行うことができる。

また、測定者は、液晶表示部３１の各表示３１ａ〜３１ｈ等から、測定器本体部１０のバッテリー残量、操作パネル部３０のバッテリー残量、測定器本体部１０の測定状態、測定器本体部１０と操作パネル部３０の通信状態、測定時間、測定条件、測定経過、及び測定結果等を、リアルタイムで確認することができる。

操作パネル部３０の左側面部（図１の斜視図で見える側の側面部）には、左側スピーカー３３、ＳＤメモリカード等のメモリカードを挿入可能なカード挿入スロット３４、上側ケーブル接続コネクタ部（上側ケーブル接続端子）３５、及び、下側ケーブル接続コネクタ部（下側ケーブル接続端子）３６が、上から順番に配置されている。

この場合、操作パネル部３０では、カード挿入スロット３４に挿入されたメモリカードに対してデータの読み出しや書き込みを行うことができる。上側ケーブル接続コネクタ部３５と下側ケーブル接続コネクタ部３６とには、カバーがそれぞれ被せられており、これらのケーブル接続コネクタ部３５，３６は、そのカバーを外してＩＥＥＥ１３９４やＵＳＢ等の通信ケーブルを接続することが可能である。更に本実施例では、上側ケーブル接続コネクタ部３５及び下側ケーブル接続コネクタ部３６に、ＵＳＢフラッシュメモリ等の外部記憶装置を装着することも可能である。

操作パネル部３０の右側面部（図１の斜視図で見えない側の側面部）には、その図示を省略するものの、右側スピーカー、操作パネル部３０の電源をＯＮ／ＯＦＦする電源スイッチボタン、ＡＣアダプタを接続するためのアダプタ接続コネクタ部（アダプタ接続端子）、操作パネル部３０の音量を調整可能なボリュームキー、イヤホンを接続するイヤホン接続コネクタ部（イヤホンジャック）などが配置されている。

操作パネル部３０の下面部には、測定器本体部１０の凹溝部１３ａの底面部に配される左右の係合爪部１３ｂ及び操作パネル接続コネクタ部１３ｃの位置に対応して、左右の係止孔部３７及び本体接続コネクタ部（第２直接接続部）３８が設けられている。

左右の係止孔部３７は、操作パネル部３０の下面から上方に延びる縦孔部３７ａと、第１孔部の先端から左右方向の内側に向けて延びる横孔部３７ｂとをそれぞれ有しており、全体として略Ｌ字状に形成されている。

この場合、各係止孔部３７の開口の周囲に配される枠縁部のうちの左右方向の内側に配される内側枠縁部は、上述したように、操作パネル部３０を測定器本体部１０の凹溝部１３ａに挿入して固定する際に、測定器本体部１０の係合爪部１３ｂの上端面に当接し、その係合爪部１３ｂを左右方向の外側に向けて押圧する部分である。

操作パネル部３０の本体接続コネクタ部（第２直接接続部）３８は、操作パネル部３０が測定器本体部１０に固定されるときに、測定器本体部１０の操作パネル接続コネクタ部（第１直接接続部）１３ｃ内に嵌入して測定器本体部１０に直接接続される。このように測定器本体部１０の操作パネル接続コネクタ部１３ｃと操作パネル部３０の本体接続コネクタ部３８とが接続されることにより、測定器本体部１０と操作パネル部３０との間で有線通信を行うことが可能となる。

更に、本実施例の操作パネル部３０は、測定器本体部１０との間で有線通信を行うパネル有線通信部（第２有線通信部）と、測定器本体部１０との間で無線通信を行うパネル無線通信部（第２無線通信部）３９と、各種制御を行うＣＰＵ等のパネル制御部（第２制御部）と、各種データ（情報）を書き込んで記憶するとともにパネル制御部が所要のデータを読み出すことが可能なパネル記憶部（第２メモリ）と、電力を蓄えて供給するパネルバッテリー（第２充電部）とを有する。

この場合、操作パネル部３０は、測定器本体部１０との間で有線通信を行う第２有線通信部として、操作パネル部３０が測定器本体部１０に固定されているときに、操作パネル部３０の下面部に設けた本体接続コネクタ部３８を測定器本体部１０に直接接続して有線通信を行うことが可能なパネル側直接有線通信部と、操作パネル部３０が測定器本体部１０から取り外されているときに、操作パネル部３０の左側面部に設けた上側又は下側のケーブル接続コネクタ部１９に通信ケーブル５を接続して有線通信を行うことが可能なパネル側ケーブル有線通信部との２種類の有線通信部を備える。

パネル無線通信部３９は、例えば操作パネル部３０の内部の右下隅角部に設けられており、このパネル無線通信部３９は、無線電波により各種データ（情報）を送受信するアンテナや、アンテナが受信したデータ及び送信するデータを処理する送受信回路等を有する。また、パネル無線通信部３９は、液晶表示部３１に表示される図示しない通信切替ボタンがタッチされて無線通信が選択されているときには、測定器本体部１０とアドホックモードで無線通信を行い、一方、有線通信が選択されているときには無線通信を停止する。

また、本実施例の操作パネル部３０は、有線通信及び無線通信の何れかの通信を介して測定器本体部１０から送られてきた測定結果をパネル制御部で逐次解析し、例えば測定された微粒子の個数が予め設定された所定の基準値よりも多かった場合に、操作パネル部３０の左右側面部に配されたスピーカー３３からアラーム音を発生可能に形成されているとともに、測定結果が基準値よりも多かったときにアラーム音を発生させるか否かを操作パネル部３０の液晶表示部３１で設定することが可能である。

ここで、クリーンルームの清浄度等を評価する会社の測定者が、上述のような本実施例のパーティクルカウンター１を用いて、クリーンルーム内における浮遊微粒子の個数及び大きさを測定する際には、例えばクリーンルームやその近傍で無線通信の使用が許されている場合であれば、測定者は、先ず、操作パネル部３０が測定器本体部１０に取り付けられている本実施例のパーティクルカウンター１を、そのパーティクルカウンター１の持ち手１２を持ってクリーンルーム内に持ち運び、クリーンルーム内の所定の位置にセットする。

続いて、測定者は、測定器本体部１０の取り外しボタン部１４ａを下方に向けて押すことにより、測定器本体部１０から操作パネル部３０を取り外す。また、測定器本体部１０の上面に配置された切替スイッチボタン１６を押して無線通信を選択するとともに、操作パネル部３０においても、操作パネル部３０の液晶表示部３１に表示される通信切替ボタンを押して無線通信を選択する。これにより、測定器本体部１０と操作パネル部３０との間で、無線通信によるデータの送受信を行うことが可能となる。

その後、測定者は、操作パネル部３０を手に持ってクリーンルームから退出し、更に、クリーンルーム内の空気の流れが落ち着いて定常な状態になるように所定時間経過してから、クリーンルームの外側から操作パネル部３０を用いて測定器本体部１０を操作することにより、測定器本体部１０による測定を開始する。

測定が開始されると、測定器本体部１０と操作パネル部３０との間で無線通信によるデータの送受信が行わることにより、測定器本体部１０の測定状態や測定経過等のデータが、測定器本体部１０から操作パネル部３０へ逐次送信される。従って、測定者は、操作パネル部３０の液晶表示部３１を見ることにより、測定器本体部１０の測定状態や測定経過をリアルタイムで観察することができる。

このため、例えば測定条件に誤りがあったり、測定中に異常が発生したりしたときは、測定者は測定中に気付き易くなり、また、測定途中であっても操作パネル部３０から無線通信を利用して測定器本体部１０を操作することにより、測定を停止することや設定を変更すること等の対応を迅速に且つ容易にとることが可能となる。

測定器本体部１０による測定が所定時間行われて測定が終了した後、測定者は、クリーンルームの外側から操作パネル部３０で最終的な測定結果を確認することができる。このとき、例えば得られた測定結果に不審な点等があったら、測定者は、クリーンルームに入室しなくても、操作パネル部３０から測定器本体部１０を操作することによって、浮遊微粒子の測定を同じ条件又は異なる条件でもう一度やり直すことも可能となる。このため、クリーンルーム内の空気の流れを乱すことも、浮遊微粒子を掻き回すこともなく、測定を迅速にやり直すことが可能となる。
そして、測定者は、測定結果を確認した後にクリーンルームに入出し、測定器本体部１０を回収することによって、クリーンルームの検査が終了する。

このように、無線通信の使用が許されているクリーンルームにおいては、本実施例のパーティクルカウンター１を用いて浮遊微粒子の測定を行うことにより、クリーンルーム内に持ち運ばれた測定器本体部１０を、クリーンルームの外側から操作パネル部３０で無線通信を利用して操作できる。このため、浮遊微粒子の測定を定常状態で高精度に行うことができ、また、測定器本体部１０の測定状態や測定結果等をクリーンルームの外側からリアルタイムに確認することもできる。

一方、例えばクリーンルームやその近傍で無線通信の使用が禁止されている場合には、測定器本体部１０のケーブル接続コネクタ部１９に、長い通信ケーブル５の一端部を接続するとともに、その通信ケーブル５の他端部を、操作パネル部３０の上側ケーブル接続コネクタ部３５又は下側ケーブル接続コネクタ部３６に接続する。これにより、測定器本体部１０と操作パネル部３０とが長い通信ケーブル５を介して有線通信によるデータの送受信を行うことが可能となる。

このように測定器本体部１０と操作パネル部３０とが通信ケーブル５を介して接続されたパーティクルカウンター１を、測定者がクリーンルーム内に持ち運び、クリーンルーム内の所定の位置にセットする。

続いて、測定者は、操作パネル部３０を持って測定器本体部１０から離れた位置に移動する。このとき、クリーンルーム内に別室があれば別室に移動することが可能であり、また、クリーンルームの内側から外側にかけて通信ケーブル５を連続的に延ばすことができれば、クリーンルームの外側に移動することも可能である。

測定者は、測定器本体部１０から離れた位置への移動した後、クリーンルーム内の空気の流れが落ち着いて定常に近い状態になるように所定時間経過してから、操作パネル部３０を用いて測定器本体部１０を操作し、測定器本体部１０による測定を開始する。

この場合、測定器本体部１０と操作パネル部３０とは、無線通信が使用できない環境であっても、長い通信ケーブル５を介して有線通信によるデータの送受信が可能であるから、測定器本体部１０の測定状態や測定結果等のデータが測定器本体部１０から操作パネル部３０へ逐次送信される。従って、測定者は、操作パネル部３０の液晶表示部３１を見ることにより、測定器本体部１０の測定状態や測定結果をリアルタイムで観察することができる。

測定器本体部１０による測定が終了した後、測定器本体部１０の測定結果は測定器本体部１０から通信ケーブル５を介して操作パネル部３０に送信されるため、測定者は、測定器本体部１０から離れた位置で測定結果を確認することができる。

このとき、例えば得られた測定結果に不審な点等があったら、無線通信の場合と同様に、測定器本体部１０から離れた場所から操作パネル部３０で測定器本体部１０を操作することによって、クリーンルーム内の空気の流れを乱すことも、浮遊微粒子を掻き回すこともなく、測定を迅速にやり直すことが可能となる。
その後、測定者は、測定結果を確認した後に測定器本体部１０を回収することによって、クリーンルームの検査が終了する。

このように、本実施例のパーティクルカウンター１を用いることによって、無線通信の使用が禁止されているクリーンルームであっても、浮遊微粒子の測定を定常に近い状態で高精度に行うことができ、また、測定器本体部１０の測定状態や測定結果等を操作パネル部３０でリアルタイムに確認することもできる。

なお、本実施例のパーティクルカウンター１では、測定器本体部１０に操作パネル部３０を取り付けて固定した状態のままでクリーンルーム内で浮遊微粒子の測定を行うことも可能である。この場合、測定器本体部１０と操作パネル部３０とは互いに直接接続されているため、操作パネル部３０で測定器本体部１０を安定して操作でき、また、測定器本体部１０の測定状態や測定結果等をリアルタイムで観察することができる。

また、本実施例では、パーティクルカウンター１を用いてクリーンルーム内で浮遊微粒子の測定を行う場合について説明しているが、例えばクリーンルームに設置されているＨＥＰＡフィルタ等のエアフィルタのリーク試験における検査（例えばエアフィルタの上流側の空間における浮遊微粒子の検査）なども、本実施例のパーティクルカウンター１を用いて行うことができる。

例えば、本実施例のパーティクルカウンター１における測定器本体部１０を、エアフィルタの上流側の狭い空間に持ち運び、その上流側の空間で浮遊微粒子の測定を行うことも可能である。このような場合でも、測定器本体部１０と操作パネル部３０とは、無線通信によるデータの送受信、又は、長い通信ケーブル５を介して有線通信によるデータの送受信を行うことが可能である。

従って、測定者は、測定対象空間がエアフィルタの上流側のように狭い場合であっても、測定器本体部１０から離れた位置から操作パネル部３０を用いて測定器本体部１０を安定して操作し、測定器本体部１０による測定を円滑に行うことができる。更に、測定器本体部１０の測定状態や測定結果等を操作パネル部３０でリアルタイムに容易に確認することができる。

以上のように、本実施例のパーティクルカウンター１では、操作パネル部３０を測定器本体部１０に取り付けた状態でも、測定器本体部１０から取り外した状態でも、浮遊微粒子の測定を安定して行うことができるとともに、有線通信と無線通信とを自由に切り換えて測定器本体部１０と操作パネル部３０との間でデータの送受信を安定して行うことができる。

すなわち、本発明では、携帯性を備えたパーティクルカウンター１を様々な測定対象空間に持ち運び、様々な測定環境や様々な測定状況下で浮遊微粒子の測定を行う際に、操作パネル部３０を測定器本体部１０に固定した状態にするか、測定器本体部１０から分離した状態にするか、更には、操作パネル部３０を測定器本体部１０から分離する場合には、両者間の通信に有線通信を用いるか、無線通信を用いるかについて、その測定環境や状況に応じて適切に選択して測定を行うことができるため、パーティクルカウンター１の利便性を大幅に向上させることができる。

なお、上述した実施例のパーティクルカウンター１は、有線通信を行う手段として、操作パネル部３０を測定器本体部１０に取り付けて測定器本体部１０と操作パネル部３０とを直接接続することによって有線通信を行う手段と、測定器本体部１０と操作パネル部３０とを分離させた状態で通信ケーブル５を介して互いを接続することによって有線通信を行う手段とを備えているが、本発明のパーティクルカウンターは、有線通信と無線通信とを任意に切り換えることが可能であれば、上述した２つの有線通信手段のうちの何れか一方のみを用いて有線通信可能に形成されていても良い。

１ パーティクルカウンター
５ 通信ケーブル
１０ 測定器本体部
１１ 本体主要部
１２ 持ち手
１３ 載置部
１３ａ 凹溝部
１３ｂ 係合爪部
１３ｃ 操作パネル接続コネクタ部（第１直接接続部）
１３ｄ イジェクトピン
１３ｅ 爪孔
１４ 留め部（引っ掛け部）
１４ａ 取り外しボタン部
１５ 脚部
１６ 切替スイッチボタン（第１通信切替部）
１７ 電源スイッチボタン
１８ アダプタ接続コネクタ部（アダプタ接続端子）
１９ ケーブル接続コネクタ部（ケーブル接続端子）
２０ 測定部
２１ 吸気ノズル（気体導入部）
２２ 検出部
２３ ポンプ
２４ 排気口（気体排出部）
３０ 操作パネル部
３１ 液晶表示部
３１ａ 測定結果
３１ｂ 測定器本体部のバッテリー残量（本体バッテリーの充電残量）
３１ｃ 操作パネル部のバッテリー残量（パネルバッテリーの充電残量）
３１ｄ 測定状態
３１ｅ 測定器本体部と操作パネル部の通信状態
３１ｆ 測定時間（サンプリング時間）
３１ｇ 現在時間
３１ｈ 日付
３１ｉ〜３１ｎ 操作ボタン
３２ 外枠部
３３ 左側スピーカー
３４ カード挿入スロット
３５ 上側ケーブル接続コネクタ部（上側ケーブル接続端子）
３６ 下側ケーブル接続コネクタ部（下側ケーブル接続端子）
３７ 係止孔部
３７ａ 縦孔部
３７ｂ 横孔部
３８ 本体接続コネクタ部（第２直接接続部）
３９ パネル無線通信部

Claims (4)

1. 測定対象空間に持ち運ぶことが可能な携帯性を備え、気体を吸引しながら前記気体中に存在する浮遊微粒子の大きさ及び個数を測定するパーティクルカウンターであって、
   前記気体を吸引して前記浮遊微粒子の測定を行う測定器本体部と、前記測定器本体部に取り外し可能に取着され、且つ、前記測定器本体部を操作可能な液晶表示部を備えた操作パネル部とを有し、
   前記測定器本体部は、前記操作パネル部と有線通信を行う第１有線通信部と、前記操作パネル部と無線通信を行う第１無線通信部と、前記有線通信と前記無線通信の切り替えを行う第１通信切替部とを有し、
   前記操作パネル部は、前記測定器本体部と有線通信を行う第２有線通信部と、前記測定器本体部と無線通信を行う第２無線通信部と、前記有線通信と前記無線通信の切り替えを行う第２通信切替部とを有してなる、
   ことを特徴とするパーティクルカウンター。
2. 前記測定器本体部は、前記第１有線通信部として、前記操作パネル部を前記測定器本体部に取着した状態にて前記操作パネル部に接続して有線通信する第１直接接続部を有し、
   前記操作パネル部は、前記第２有線通信部として、前記取着状態にて前記測定器本体部に接続して有線通信する第２直接接続部を有してなる、
   請求項１記載のパーティクルカウンター。
3. 前記測定器本体部は、前記第１有線通信部として、前記操作パネル部を前記測定器本体部から取り外した状態にて、前記操作パネル部とケーブルを介して有線通信する第１ケーブル接続部を有し、
   前記操作パネル部は、前記第２有線通信部として、前記取り外し状態にて前記測定器本体部と前記ケーブルを介して有線通信する第２ケーブル接続部を有してなる、
   請求項１又は２記載のパーティクルカウンター。
4. 前記測定器本体部は、前記操作パネル部に係合して前記操作パネル部を前記測定器本体部に固定する係合爪部と、前記係合爪部を前記操作パネル部の係合方向に付勢する弾性部材と、押圧により前記係合爪部を前記弾性部材の付勢に抗して前記操作パネル部の係合方向とは反対の方向に移動させることが可能な取り外しボタン部とを有してなる請求項１〜３のいずれかに記載のパーティクルカウンター。

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