JP2016159416A - 研磨パッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板状物(21)を研磨する研磨装置(2)の回転軸(38)に連結した円盤状の基台(40)に装着される研磨パッド(1)であって、研磨装置の基台に装着される下地部材(3)と、下地部材に対してそれぞれ固定され、下地部材に固定される側とは反対側にそれぞれ研磨布(17)が接着された径の異なる複数の環状部材(13)と、を備え、一部の環状部材には、他の一部の環状部材とは異なる種類の研磨布が接着されており、複数の環状部材は、隣接する2個の環状部材の内側の環状部材の外周面(13b)に外側の環状部材の内周面(13a)が接触して全ての環状部材が同心状に配置されるように、下地部材に対してそれぞれ着脱自在に固定される。
【選択図】図1
Description
3 下地部材(プラテン)
3a 第1面
3b 第2面
3c,3d,3e 貫通穴
5 円盤状部材
5a 外周面
7 プレート
7a 第1面
7b 第2面
7c 雌螺子部
7d 貫通穴
9 研磨布
9a 貫通穴
11 雄螺子
13 環状部材
13a 内周面
13b 外周面
15 プレート
15a 第1面
15b 第2面
15c 雌螺子部
17 研磨布
19 雄螺子
21 板状物
2 研磨装置
4 基台
4a,4b 開口
6 搬送機構
8a,8b カセット
10 位置合わせ機構
12 搬入機構
14 X軸移動テーブル
16 防塵防滴カバー
18 チャックテーブル
18a 保持面
20 支持構造
22 Z軸移動機構
24 Z軸ガイドレール
26 Z軸移動プレート
28 Z軸ボールネジ
30 Z軸パルスモータ
32 支持具
34 研磨ユニット(研磨手段)
36 スピンドルハウジング
38 スピンドル(回転軸)
38a 供給路
40 マウンタ(基台)
40a 供給路
42 配管
44 研磨液供給源
46 厚み測定器
48 第1洗浄ノズル
50 第2洗浄ノズル
52 搬出機構
54 洗浄ユニット
Claims (2)
- 板状物を研磨する研磨装置の回転軸に連結した円盤状の基台に装着される研磨パッドであって、
該研磨装置の該基台に装着される下地部材と、
該下地部材に対してそれぞれ固定され、該下地部材に固定される側とは反対側にそれぞれ研磨布が接着された径の異なる複数の環状部材と、を備え、
一部の該環状部材には、他の一部の該環状部材とは異なる種類の研磨布が接着されており、
複数の該環状部材は、隣接する2個の該環状部材の内側の該環状部材の外周面に外側の該環状部材の内周面が接触して全ての該環状部材が同心状に配置されるように、該下地部材に対してそれぞれ着脱自在に固定されることを特徴とする研磨パッド。 - 複数の該環状部材は、それぞれ雌螺子部を有し、雄螺子を用いて該下地部材に固定されることを特徴とする請求項1記載の研磨パッド。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2021135452A1 (zh) * | 2019-12-31 | 2021-07-08 | 天津大学 | 一种子孔径中心供液光学表面系列加工工艺与工具 |
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2015
- 2015-03-05 JP JP2015043169A patent/JP2016159416A/ja active Pending
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