JP2003124164A - 研磨工具 - Google Patents
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Landscapes
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 産業廃棄物として処理すべき物質を大量に生
成せしめることなく、半導体ウエーハの裏面を高効率及
び高研磨品質で研磨し、そこに存在していた加工歪を除
去することができる研磨工具を提供する。 【解決手段】 研磨工具（２、１０２、２０２）は支持
部材（４、１０４、２０４）と研磨手段（６、１０６、
２０６）を具備する。研磨手段は、種々の獣毛を含む天
然繊維及び合成繊維から選択された少なくとも２種の繊
維から形成された塊状体とこの塊状体中に分散せしめら
れた砥粒とから構成されている。
成せしめることなく、半導体ウエーハの裏面を高効率及
び高研磨品質で研磨し、そこに存在していた加工歪を除
去することができる研磨工具を提供する。 【解決手段】 研磨工具（２、１０２、２０２）は支持
部材（４、１０４、２０４）と研磨手段（６、１０６、
２０６）を具備する。研磨手段は、種々の獣毛を含む天
然繊維及び合成繊維から選択された少なくとも２種の繊
維から形成された塊状体とこの塊状体中に分散せしめら
れた砥粒とから構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、研磨工具、殊に加
工歪を有する半導体ウエーハの裏面を研磨するのに適し
た研磨工具に関する。
工歪を有する半導体ウエーハの裏面を研磨するのに適し
た研磨工具に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体チップの製造工程においては、半
導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートに
よって多数の矩形領域を区画し、矩形領域の各々に半導
体回路を配設する。そして、ストリートの各々に沿って
半導体ウエーハを分離することによって矩形領域の各々
を半導体チップにせしめている。半導体チップの小型化
及び軽量化のために、矩形領域を個々に分離するに先立
って半導体ウエーハの裏面を研削し、これによって半導
体ウエーハの厚さを減少せしめることが望まれることも
少なくない。半導体ウエーハの裏面の研削は、通常、ダ
イヤモンド砥粒をレジンボンドの如き適宜のボンドで固
着して形成した研削手段を、高速回転せしめながら半導
体ウエーハの裏面に押圧せしめることによって遂行され
ている。かような研削様式によって半導体ウエーハの裏
面を研削すると、半導体ウエーハの裏面に所謂加工歪が
生成され、これによって抗折強度が相当低減される。半
導体ウエーハの裏面に生成される加工歪を除去し、かく
して抗折強度の低減を回避するために、研削された半導
体ウエーハの裏面を遊離砥粒を使用してポリッシングす
ること、及び研削された半導体ウエーハの裏面を硝酸及
び弗化水素酸を含むエンチング液を使用して化学的エッ
チングすることが提案されている。更に、特開平２００
０−３４３４４０号公報には、適宜の布に砥粒を分散せ
しめて構成された研磨手段を使用して、半導体ウエーハ
の裏面を研磨することが開示されている。
導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートに
よって多数の矩形領域を区画し、矩形領域の各々に半導
体回路を配設する。そして、ストリートの各々に沿って
半導体ウエーハを分離することによって矩形領域の各々
を半導体チップにせしめている。半導体チップの小型化
及び軽量化のために、矩形領域を個々に分離するに先立
って半導体ウエーハの裏面を研削し、これによって半導
体ウエーハの厚さを減少せしめることが望まれることも
少なくない。半導体ウエーハの裏面の研削は、通常、ダ
イヤモンド砥粒をレジンボンドの如き適宜のボンドで固
着して形成した研削手段を、高速回転せしめながら半導
体ウエーハの裏面に押圧せしめることによって遂行され
ている。かような研削様式によって半導体ウエーハの裏
面を研削すると、半導体ウエーハの裏面に所謂加工歪が
生成され、これによって抗折強度が相当低減される。半
導体ウエーハの裏面に生成される加工歪を除去し、かく
して抗折強度の低減を回避するために、研削された半導
体ウエーハの裏面を遊離砥粒を使用してポリッシングす
ること、及び研削された半導体ウエーハの裏面を硝酸及
び弗化水素酸を含むエンチング液を使用して化学的エッ
チングすることが提案されている。更に、特開平２００
０−３４３４４０号公報には、適宜の布に砥粒を分散せ
しめて構成された研磨手段を使用して、半導体ウエーハ
の裏面を研磨することが開示されている。
【０００３】
【発明は解決しようとする課題】而して、遊離砥粒を使
用するポリッシングには、遊離砥粒の供給及び回収等に
煩雑な操作が必要である、大量に使用される遊離砥粒を
産業廃棄物として処理しなければならない、という問題
が存在する。エッチング液を使用する化学的エッチング
にも、大量に使用されるエッチング液を産業廃棄物とし
て処理しなければならない、という問題が存在する。一
方、布に砥粒を分散せしめて構成された研磨手段による
研磨においては、産業廃棄物として処理すべき物質が大
量に生成されることがない。しかしながら、未だ充分に
満足し得る研磨効率及び研磨品質を達成することができ
なかった。
用するポリッシングには、遊離砥粒の供給及び回収等に
煩雑な操作が必要である、大量に使用される遊離砥粒を
産業廃棄物として処理しなければならない、という問題
が存在する。エッチング液を使用する化学的エッチング
にも、大量に使用されるエッチング液を産業廃棄物とし
て処理しなければならない、という問題が存在する。一
方、布に砥粒を分散せしめて構成された研磨手段による
研磨においては、産業廃棄物として処理すべき物質が大
量に生成されることがない。しかしながら、未だ充分に
満足し得る研磨効率及び研磨品質を達成することができ
なかった。
【０００４】本発明は上記事実に鑑みてなされたもので
あり、その主たる技術的課題は、産業廃棄物として処理
すべき物質を大量に生成せしめることなく、半導体ウエ
ーハの裏面を高研磨効率及び高研磨品質で研磨して、そ
こに存在していた加工歪を除去することができる、新規
且つ改良された研磨工具を提供することである。
あり、その主たる技術的課題は、産業廃棄物として処理
すべき物質を大量に生成せしめることなく、半導体ウエ
ーハの裏面を高研磨効率及び高研磨品質で研磨して、そ
こに存在していた加工歪を除去することができる、新規
且つ改良された研磨工具を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、先に、平
成１３年３月２８日付け特願２００１−９３３９７の明
細書及び図面において、上記主たる目的を達成すること
ができる研磨工具として、特定のフェルト中に砥粒を分
散せしめて形成した研磨手段を具備する研磨工具を提案
した。然るに、本発明者等は、更に鋭意検討を重ねた結
果、研磨工具における研磨手段を、種々の獣毛を含む天
然繊維及び合成繊維から選択された少なくとも２種の繊
維から形成された塊状体とかかる塊状体中に分散せしめ
られた砥粒とから構成すれば、その理由は必ずしも明確
ではないが、研磨手段が単一繊維から構成されたフェル
トの如き塊状体とかかる塊状体に分散せしめられた砥粒
とから構成された研磨工具と比べて、研磨手段及び又は
被加工物からの放熱効率が一層効果的に実現され、研磨
品質及び研磨効率が向上されることを見出した。
成１３年３月２８日付け特願２００１−９３３９７の明
細書及び図面において、上記主たる目的を達成すること
ができる研磨工具として、特定のフェルト中に砥粒を分
散せしめて形成した研磨手段を具備する研磨工具を提案
した。然るに、本発明者等は、更に鋭意検討を重ねた結
果、研磨工具における研磨手段を、種々の獣毛を含む天
然繊維及び合成繊維から選択された少なくとも２種の繊
維から形成された塊状体とかかる塊状体中に分散せしめ
られた砥粒とから構成すれば、その理由は必ずしも明確
ではないが、研磨手段が単一繊維から構成されたフェル
トの如き塊状体とかかる塊状体に分散せしめられた砥粒
とから構成された研磨工具と比べて、研磨手段及び又は
被加工物からの放熱効率が一層効果的に実現され、研磨
品質及び研磨効率が向上されることを見出した。
【０００６】即ち、本発明によれば、上記主たる技術的
課題を達成する研磨工具として、支持部材及び該支持部
材に固定さた研磨手段を具備し、該研磨手段は種々の獣
毛を含む天然繊維及び合成繊維から選択された少なくと
も２種の繊維から形成された塊状体と該塊状体中に分散
せしめられた砥粒とから構成されている、ことを特徴と
する研磨工具が提供される。
課題を達成する研磨工具として、支持部材及び該支持部
材に固定さた研磨手段を具備し、該研磨手段は種々の獣
毛を含む天然繊維及び合成繊維から選択された少なくと
も２種の繊維から形成された塊状体と該塊状体中に分散
せしめられた砥粒とから構成されている、ことを特徴と
する研磨工具が提供される。
【０００７】本明細書において使用する語句「天然繊
維」は、羊毛及び山羊毛のみならず豚毛、馬毛、牛毛、
犬毛、猫毛、狸毛及び狐毛等を含む動物系天然繊維、綿
及び麻等の植物系繊維並びに石綿等の鉱物系繊維を含
む。また、本明細書において使用する語句「塊状体」は
繊維を圧縮して塊状にせしめることによって形成され
る、フェルト及び繊維束の如き物体を意味する。
維」は、羊毛及び山羊毛のみならず豚毛、馬毛、牛毛、
犬毛、猫毛、狸毛及び狐毛等を含む動物系天然繊維、綿
及び麻等の植物系繊維並びに石綿等の鉱物系繊維を含
む。また、本明細書において使用する語句「塊状体」は
繊維を圧縮して塊状にせしめることによって形成され
る、フェルト及び繊維束の如き物体を意味する。
【０００８】好適実施形態においては、該塊状体は第一
の繊維から形成された第一のフェルトと第二の繊維から
形成された第二のフェルトとから構成されている。第一
の繊維は羊毛又は山羊毛であり、該第二の繊維は山羊毛
又は羊毛でよい。該塊状体は該第一のフェルトに複数個
の空所を形成し、該複数個の空所の各々に該第二のフェ
ルトを嵌入して構成されており、該研磨手段の研磨面に
おいては該第一のフェルト中に該第二のフェルトが分散
配列されているのが好適である。他の好適実施形態にお
いては、該塊状体は第一の繊維から形成されたフェルト
と第二の繊維から形成された繊維束とから構成されてい
る。該第一の繊維は羊毛又は山羊毛であり、該第二の繊
維は羊毛及び山羊毛以外の獣毛でよい。該塊状体は該フ
ェルトに複数個の空所を形成し、該複数個の空所の各々
に該繊維束を嵌入して構成されており、該研磨手段の研
磨面においては該フェルト中に該繊維束が分散配列され
ているのが好適である。更に他の好適実施形態において
は、該塊状体は少なくとも２種の繊維を混合して形成さ
れたフェルトから構成されている。該塊状体は羊毛と山
羊毛とを混合して形成されたフェルトから構成すること
ができる。いずれの実施形態においても、塊状体は密度
が０．２０ｇ／ｃｍ３以上、殊に０．４０ｇ／ｃｍ３以
上、で硬度が３０以上、殊に５０以上、であるのが好適
である。好ましくは、該研磨手段は０．０５乃至１．０
０ｇ／ｃｍ３、殊に０．２０乃至０．７０ｇ／ｃｍ３の
砥粒を含有している。該砥粒は０．０１乃至１００μm
の粒径を有するのが好適である。該砥粒はシリカ、アル
ミナ、ホルステライト、ステアタイト、ムライト、立方
晶窒化硼素、ダイヤモンド、窒化珪素、炭化珪素、炭化
硼素、炭酸バリウム、炭酸カルシウム、酸化鉄、酸化マ
グネシウム、酸化ジルコニア、酸化セリウム、酸化クロ
ム、酸化錫、酸化チタンのうちの１種又は２種以上を含
むことができる。該支持部材は円形支持面を有し、該研
磨手段は該円形支持面に接合された円板形状であるのが
好都合である。
の繊維から形成された第一のフェルトと第二の繊維から
形成された第二のフェルトとから構成されている。第一
の繊維は羊毛又は山羊毛であり、該第二の繊維は山羊毛
又は羊毛でよい。該塊状体は該第一のフェルトに複数個
の空所を形成し、該複数個の空所の各々に該第二のフェ
ルトを嵌入して構成されており、該研磨手段の研磨面に
おいては該第一のフェルト中に該第二のフェルトが分散
配列されているのが好適である。他の好適実施形態にお
いては、該塊状体は第一の繊維から形成されたフェルト
と第二の繊維から形成された繊維束とから構成されてい
る。該第一の繊維は羊毛又は山羊毛であり、該第二の繊
維は羊毛及び山羊毛以外の獣毛でよい。該塊状体は該フ
ェルトに複数個の空所を形成し、該複数個の空所の各々
に該繊維束を嵌入して構成されており、該研磨手段の研
磨面においては該フェルト中に該繊維束が分散配列され
ているのが好適である。更に他の好適実施形態において
は、該塊状体は少なくとも２種の繊維を混合して形成さ
れたフェルトから構成されている。該塊状体は羊毛と山
羊毛とを混合して形成されたフェルトから構成すること
ができる。いずれの実施形態においても、塊状体は密度
が０．２０ｇ／ｃｍ３以上、殊に０．４０ｇ／ｃｍ３以
上、で硬度が３０以上、殊に５０以上、であるのが好適
である。好ましくは、該研磨手段は０．０５乃至１．０
０ｇ／ｃｍ３、殊に０．２０乃至０．７０ｇ／ｃｍ３の
砥粒を含有している。該砥粒は０．０１乃至１００μm
の粒径を有するのが好適である。該砥粒はシリカ、アル
ミナ、ホルステライト、ステアタイト、ムライト、立方
晶窒化硼素、ダイヤモンド、窒化珪素、炭化珪素、炭化
硼素、炭酸バリウム、炭酸カルシウム、酸化鉄、酸化マ
グネシウム、酸化ジルコニア、酸化セリウム、酸化クロ
ム、酸化錫、酸化チタンのうちの１種又は２種以上を含
むことができる。該支持部材は円形支持面を有し、該研
磨手段は該円形支持面に接合された円板形状であるのが
好都合である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明に従って構成された
研磨工具の好適実施形態を図示している添付図面を参照
して、更に詳述する。
研磨工具の好適実施形態を図示している添付図面を参照
して、更に詳述する。
【００１０】図１及び図２は、本発明に従って構成され
た研磨工具の好適実施形態を図示している。全体を番号
２で示す研磨工具は、支持部材４と研磨手段６とを具備
している。支持部材４はアルミニウムの如き適宜の金属
から形成されているのが好都合であり、円板形状であっ
て平坦な円形支持面即ち下面を有する。図１に図示する
如く、支持部材４にはその上面から下方に延びる盲ねじ
孔８が周方向に間隔をおいて複数個（図示の場合は４
個）形成されている。研磨手段６も円板形状であり、支
持部材４の外径と研磨手段６の外径は実質上同一であ
る。研磨手段６はエポキシ樹脂系接着剤の如き適宜の接
着剤によって支持部材４の下面、即ち平坦な円形支持面
に接合されている。かような研磨工具２は、例えば上記
特願２０００−９３３９７の図９及び図１０に図示する
形態の研削・研磨機における研磨装置に好適に使用され
る。更に詳しくは、研磨装置の回転軸の下端に装着さ
れ、半導体ウエーハの研削された裏面に作用せしめら
れ、かかる裏面を研磨して研削に起因して生成された加
工歪を除去するのに好適に使用される。回転軸の下端に
研磨工具２を装着する際には、回転軸に装備された装着
部材を挿通せしめられる締結ねじが研磨工具２の支持部
材４に形成されている上記盲ねじ孔８に螺合せしめられ
る。研削・研磨機自体の構成についての説明は、上記特
願２０００−９３３９７の明細書及び図面に委ね、本明
細書及び図面においては省略する。
た研磨工具の好適実施形態を図示している。全体を番号
２で示す研磨工具は、支持部材４と研磨手段６とを具備
している。支持部材４はアルミニウムの如き適宜の金属
から形成されているのが好都合であり、円板形状であっ
て平坦な円形支持面即ち下面を有する。図１に図示する
如く、支持部材４にはその上面から下方に延びる盲ねじ
孔８が周方向に間隔をおいて複数個（図示の場合は４
個）形成されている。研磨手段６も円板形状であり、支
持部材４の外径と研磨手段６の外径は実質上同一であ
る。研磨手段６はエポキシ樹脂系接着剤の如き適宜の接
着剤によって支持部材４の下面、即ち平坦な円形支持面
に接合されている。かような研磨工具２は、例えば上記
特願２０００−９３３９７の図９及び図１０に図示する
形態の研削・研磨機における研磨装置に好適に使用され
る。更に詳しくは、研磨装置の回転軸の下端に装着さ
れ、半導体ウエーハの研削された裏面に作用せしめら
れ、かかる裏面を研磨して研削に起因して生成された加
工歪を除去するのに好適に使用される。回転軸の下端に
研磨工具２を装着する際には、回転軸に装備された装着
部材を挿通せしめられる締結ねじが研磨工具２の支持部
材４に形成されている上記盲ねじ孔８に螺合せしめられ
る。研削・研磨機自体の構成についての説明は、上記特
願２０００−９３３９７の明細書及び図面に委ね、本明
細書及び図面においては省略する。
【００１１】研磨手段６は天然繊維及び合成繊維から選
択された少なくとも２種の繊維から構成された塊状体と
かかる塊状体内に分散せしめられた砥粒とから構成れて
いることが重要である。天然繊維としては、羊毛、山羊
毛、豚毛、馬毛、牛毛、犬毛、猫毛、狸毛及び狐毛等の
動物系繊維と共に、綿及び麻等の植物系繊維並びに石綿
の如き鉱物系繊維を挙げることができる。合成繊維とし
ては、ナイロン繊維、ポリエチレン繊維、ポリプロピレ
ン繊維、ポリエステル繊維、アクリル繊維、レーヨン繊
維、ケプラー繊維及びガラス繊維等を挙げることができ
る。繊維を圧縮して塊状にせしめることによって形成さ
れる塊状体はフェルト或いは繊維束でよく、０．２０ｇ
／ｃｍ３、特に０．４０ｇ／ｃｍ３以上の密度を有し、
そしてまた３０以上、特に５０以上の硬度を有するのが
好適である。本明細書のおいて使用する硬度は、ＪＩＳ
規格Ｋ６２５３の５（デュロメータ硬さ試験）に従って
測定される硬さを意味する。密度及び硬度が過小になる
と、研磨効率及び研磨品質が低下する傾向がある。
択された少なくとも２種の繊維から構成された塊状体と
かかる塊状体内に分散せしめられた砥粒とから構成れて
いることが重要である。天然繊維としては、羊毛、山羊
毛、豚毛、馬毛、牛毛、犬毛、猫毛、狸毛及び狐毛等の
動物系繊維と共に、綿及び麻等の植物系繊維並びに石綿
の如き鉱物系繊維を挙げることができる。合成繊維とし
ては、ナイロン繊維、ポリエチレン繊維、ポリプロピレ
ン繊維、ポリエステル繊維、アクリル繊維、レーヨン繊
維、ケプラー繊維及びガラス繊維等を挙げることができ
る。繊維を圧縮して塊状にせしめることによって形成さ
れる塊状体はフェルト或いは繊維束でよく、０．２０ｇ
／ｃｍ３、特に０．４０ｇ／ｃｍ３以上の密度を有し、
そしてまた３０以上、特に５０以上の硬度を有するのが
好適である。本明細書のおいて使用する硬度は、ＪＩＳ
規格Ｋ６２５３の５（デュロメータ硬さ試験）に従って
測定される硬さを意味する。密度及び硬度が過小になる
と、研磨効率及び研磨品質が低下する傾向がある。
【００１２】塊状体中に分散せしめられる砥粒量は、
０．０５乃至１．００ｇ／ｃｍ３、特に０．２０乃至
０．７０ｇ／ｃｍ３、であるのが好適である。塊状体中
に分散せしめられる砥粒自体は、０．０１乃至１００μ
m の粒径を有するものであるのが好適である。砥粒は、
シリカ、アルミナ、ホルステライト、ステアタイト、ム
ライト、立方晶窒化硼素、ダイヤモンド、窒化珪素、炭
化珪素、炭化硼素、炭酸バリウム、炭酸カルシウム、酸
化鉄、酸化マグネシウム、酸化ジルコニア、酸化セリウ
ム、酸化クロム、酸化錫、酸化チタンのいずれかから形
成されたものでよい。必要に応じて、２種乃至３種以上
の砥粒をフェルト中に分散せしめることもできる。塊状
体中に砥粒を適宜に分散せしめるためには、例えば、適
宜の液体中に砥粒を混入し、かかる液体を塊状体に含浸
せしめる、或いは塊状体の製造工程中に塊状体原料繊維
中に砥粒を適宜に混入することができる。塊状体中に砥
粒を適宜に分散せしめた後に、塊状体に適宜の液状接着
剤、例えばフェノール樹脂系接着液又はエポキシ樹脂系
接着剤、を含浸せしめ、かかる接着剤によって塊状体中
に砥粒を結合することができる。
０．０５乃至１．００ｇ／ｃｍ３、特に０．２０乃至
０．７０ｇ／ｃｍ３、であるのが好適である。塊状体中
に分散せしめられる砥粒自体は、０．０１乃至１００μ
m の粒径を有するものであるのが好適である。砥粒は、
シリカ、アルミナ、ホルステライト、ステアタイト、ム
ライト、立方晶窒化硼素、ダイヤモンド、窒化珪素、炭
化珪素、炭化硼素、炭酸バリウム、炭酸カルシウム、酸
化鉄、酸化マグネシウム、酸化ジルコニア、酸化セリウ
ム、酸化クロム、酸化錫、酸化チタンのいずれかから形
成されたものでよい。必要に応じて、２種乃至３種以上
の砥粒をフェルト中に分散せしめることもできる。塊状
体中に砥粒を適宜に分散せしめるためには、例えば、適
宜の液体中に砥粒を混入し、かかる液体を塊状体に含浸
せしめる、或いは塊状体の製造工程中に塊状体原料繊維
中に砥粒を適宜に混入することができる。塊状体中に砥
粒を適宜に分散せしめた後に、塊状体に適宜の液状接着
剤、例えばフェノール樹脂系接着液又はエポキシ樹脂系
接着剤、を含浸せしめ、かかる接着剤によって塊状体中
に砥粒を結合することができる。
【００１３】図２を参照することによって明確に理解さ
れる如く、図１及び図２に図示する実施形態において
は、研磨手段６の塊状体は、第一のフェルト１０と複数
個の第二のフェルト１２とから構成されている。第一の
フェルト１０は第一の繊維から形成され、第二のフェル
ト１２は第一の繊維とは異なった第二の繊維から形成さ
れている。第一のフェルト１０は全体として円板形状で
あり、厚さ方向に貫通する複数個の空所１４が適宜の間
隔をおいて形成されている。空所１４の各々の断面形状
は比較的小径の円でよい。複数個の第二のフェルト１２
は比較的小径の円柱形状であり、第一のフェルト１０に
形成されている空所１４の各々に嵌入せしめられてい
る。従って、研磨手段６の研磨面即ち下面においては、
第一のフェルト１０中に第二のフェルト１２が分散配列
されている。空所１４の各々に第二のフェルト１２を圧
入することによって第一のフェルト１０の空所１４に第
二のフェルト１２を固着することができる。これに代え
て、適宜の接着剤によって第二のフェルト１２を第一の
フェルト１０の空所１４に固着することもできる。第一
のフェルト１０を羊毛から形成し、第二のフェルト１２
を山羊毛から形成し、或いは第一にフェルト１０を山羊
毛から形成し、第二のフェルト１２を羊毛から形成する
ことができる。
れる如く、図１及び図２に図示する実施形態において
は、研磨手段６の塊状体は、第一のフェルト１０と複数
個の第二のフェルト１２とから構成されている。第一の
フェルト１０は第一の繊維から形成され、第二のフェル
ト１２は第一の繊維とは異なった第二の繊維から形成さ
れている。第一のフェルト１０は全体として円板形状で
あり、厚さ方向に貫通する複数個の空所１４が適宜の間
隔をおいて形成されている。空所１４の各々の断面形状
は比較的小径の円でよい。複数個の第二のフェルト１２
は比較的小径の円柱形状であり、第一のフェルト１０に
形成されている空所１４の各々に嵌入せしめられてい
る。従って、研磨手段６の研磨面即ち下面においては、
第一のフェルト１０中に第二のフェルト１２が分散配列
されている。空所１４の各々に第二のフェルト１２を圧
入することによって第一のフェルト１０の空所１４に第
二のフェルト１２を固着することができる。これに代え
て、適宜の接着剤によって第二のフェルト１２を第一の
フェルト１０の空所１４に固着することもできる。第一
のフェルト１０を羊毛から形成し、第二のフェルト１２
を山羊毛から形成し、或いは第一にフェルト１０を山羊
毛から形成し、第二のフェルト１２を羊毛から形成する
ことができる。
【００１４】図３乃至図５は塊状体を構成する第一のフ
ェルト１０と第二のフェルト１２との組み合わせ様式の
変形例を図示している。図３に図示する研磨工具２の研
磨手段６においては、第一のフェルト１０は円板形状で
あり、第二のフェルト１２は第一のフェルト１０を囲繞
する円環形状である。図４に図示する研磨工具２の研磨
手段６においては、第一のフェルト１０と第二のフェル
ト１２とが交互に同心円状に配列されており、第一のフ
ェルト１０は中心円柱形状部と中間円環形状部との２個
の部分を有し、第二のフェルト１２は中間円環形状部と
外側円環形状部とを有する。図５に図示する研磨工具２
の研磨手段６においては、第一のフェルト１０は６個の
セグメント形状部を有し、第二のフェルト１２は放射状
に延びる６個の直線形状部と外側環形状部とを有する。
ェルト１０と第二のフェルト１２との組み合わせ様式の
変形例を図示している。図３に図示する研磨工具２の研
磨手段６においては、第一のフェルト１０は円板形状で
あり、第二のフェルト１２は第一のフェルト１０を囲繞
する円環形状である。図４に図示する研磨工具２の研磨
手段６においては、第一のフェルト１０と第二のフェル
ト１２とが交互に同心円状に配列されており、第一のフ
ェルト１０は中心円柱形状部と中間円環形状部との２個
の部分を有し、第二のフェルト１２は中間円環形状部と
外側円環形状部とを有する。図５に図示する研磨工具２
の研磨手段６においては、第一のフェルト１０は６個の
セグメント形状部を有し、第二のフェルト１２は放射状
に延びる６個の直線形状部と外側環形状部とを有する。
【００１５】図６は本発明に従って構成された研磨工具
の他の実施形態を図示している。図６に図示する研磨工
具１０２も支持部材１０４と研磨手段１０６とから構成
されている。支持部材１０４は図１及び図２に図示する
研磨工具２における支持部材２と同一でよい。塊状体と
この塊状体中に分散せしめられている砥粒から構成され
ている研磨手段１０６は円板形状であり、支持部材１０
４の平坦な円形支持下面即ち下面に適宜の接着剤を介し
て接合されている。研磨手段１０６の塊状体は、第一の
繊維から形成されたフェルト１１０と第一の繊維とは異
なった第二の繊維から形成された複数個の繊維束１１２
とから形成されている。フェルト１１０を形成する第一
の繊維は羊毛又は山羊毛でよい。繊維束１１２を構成す
る第二の繊維は羊毛及び山羊毛以外の獣毛、例えば豚
毛、馬毛、牛毛、犬毛、猫毛、狸毛又は狐毛でよい。繊
維束１１２は多数の繊維を束ねて所要圧縮力で圧縮する
ことによって形成することができる。図６に図示する実
施形態においては、フェルト１１０は全体として円板形
状であり、厚さ方向に貫通する複数個の空所１１４が適
宜の間隔をおいて形成されている。空所１１４の各々の
横断面形状は比較的小径の円形である。複数個の繊維束
１１２の各々は比較的小径の円柱形状であり、フェルト
１１０に形成されている空所１１４内に嵌入されてい
る。従って、研磨手段１０６の下面においては、フェル
ト１１０中に繊維束１１２が分散配列されている。繊維
束１１２の各々は、空所１１４の各々内に圧入すること
によって、或いは適宜の接着剤を介して、フェルト１１
０の空所１１４内に固着されている。
の他の実施形態を図示している。図６に図示する研磨工
具１０２も支持部材１０４と研磨手段１０６とから構成
されている。支持部材１０４は図１及び図２に図示する
研磨工具２における支持部材２と同一でよい。塊状体と
この塊状体中に分散せしめられている砥粒から構成され
ている研磨手段１０６は円板形状であり、支持部材１０
４の平坦な円形支持下面即ち下面に適宜の接着剤を介し
て接合されている。研磨手段１０６の塊状体は、第一の
繊維から形成されたフェルト１１０と第一の繊維とは異
なった第二の繊維から形成された複数個の繊維束１１２
とから形成されている。フェルト１１０を形成する第一
の繊維は羊毛又は山羊毛でよい。繊維束１１２を構成す
る第二の繊維は羊毛及び山羊毛以外の獣毛、例えば豚
毛、馬毛、牛毛、犬毛、猫毛、狸毛又は狐毛でよい。繊
維束１１２は多数の繊維を束ねて所要圧縮力で圧縮する
ことによって形成することができる。図６に図示する実
施形態においては、フェルト１１０は全体として円板形
状であり、厚さ方向に貫通する複数個の空所１１４が適
宜の間隔をおいて形成されている。空所１１４の各々の
横断面形状は比較的小径の円形である。複数個の繊維束
１１２の各々は比較的小径の円柱形状であり、フェルト
１１０に形成されている空所１１４内に嵌入されてい
る。従って、研磨手段１０６の下面においては、フェル
ト１１０中に繊維束１１２が分散配列されている。繊維
束１１２の各々は、空所１１４の各々内に圧入すること
によって、或いは適宜の接着剤を介して、フェルト１１
０の空所１１４内に固着されている。
【００１６】図７は本発明に従って構成された研磨工具
の更に他の実施形態を図示している。図７に図示する研
磨工具２０２も支持部材２０４と研磨手段２０６とから
構成されている。支持部材２０４は図１及び図２に図示
する研磨工具２における支持部材２と同一でよい。塊状
体とこの塊状体中に分散せしめられている砥粒から構成
されている研磨手段２０６は円板形状であり、支持部材
２０４の平坦な円形支持下面即ち下面に適宜の接着剤を
介して接合されている。研磨手段２０６の塊状体は単一
のフェルト２１０から形成されているが、フェルト２１
０自体は少なくとも２種の繊維を混合して形成されてい
る。例えば羊毛と山羊毛とを適宜の割合で混合してフェ
ルト２１０を形成することができる。
の更に他の実施形態を図示している。図７に図示する研
磨工具２０２も支持部材２０４と研磨手段２０６とから
構成されている。支持部材２０４は図１及び図２に図示
する研磨工具２における支持部材２と同一でよい。塊状
体とこの塊状体中に分散せしめられている砥粒から構成
されている研磨手段２０６は円板形状であり、支持部材
２０４の平坦な円形支持下面即ち下面に適宜の接着剤を
介して接合されている。研磨手段２０６の塊状体は単一
のフェルト２１０から形成されているが、フェルト２１
０自体は少なくとも２種の繊維を混合して形成されてい
る。例えば羊毛と山羊毛とを適宜の割合で混合してフェ
ルト２１０を形成することができる。
【００１７】
【発明の効果】本発明の研磨工具によれば、産業廃棄物
として処理すべき物質を大量に生成せしめることなく、
半導体ウエーハの裏面を高研磨効率及び高研磨品質で研
磨して、そこに存在していた加工歪を除去することがで
きる。
として処理すべき物質を大量に生成せしめることなく、
半導体ウエーハの裏面を高研磨効率及び高研磨品質で研
磨して、そこに存在していた加工歪を除去することがで
きる。
【図１】本発明に従って構成された研磨工具の好適実施
形態を示す斜面図。
形態を示す斜面図。
【図２】図１の研磨工具を倒立状態で示す斜面図。
【図３】研磨手段の塊状体を形成する第一のフェルトと
第二のフェルトとの組み合わせ様式の変形例を図示す
る、図２と同様の斜面図。
第二のフェルトとの組み合わせ様式の変形例を図示す
る、図２と同様の斜面図。
【図４】研磨手段の塊状体を形成する第一のフェルトと
第二のフェルトとの組み合わせ様式の他の変形例を図示
する、図２と同様の斜面図。
第二のフェルトとの組み合わせ様式の他の変形例を図示
する、図２と同様の斜面図。
【図５】研磨手段の塊状体を形成する第一のフェルトと
第二のフェルトとの組み合わせ様式の更に他の変形例を
図示する、図２と同様の斜面図。
第二のフェルトとの組み合わせ様式の更に他の変形例を
図示する、図２と同様の斜面図。
【図６】本発明に従って構成された研磨工具の他の実施
形態を倒立状態で示す、図２と同様の斜面図。
形態を倒立状態で示す、図２と同様の斜面図。
【図７】本発明に従って構成された研磨工具の更に他の
実施形態を倒立状態で示す、図２と同様の斜面図。
実施形態を倒立状態で示す、図２と同様の斜面図。
２：研磨工具
４：支持部材
６：研磨手段
１０：第一のフェルト
１２：第二のフェルト
１０２：研磨工具
１０４：支持部材
１０６：研磨手段
１１０：フェルト
１１２：繊維束
２０２：研磨工具
２０４：支持部材
２０６：研磨手段
２１０：フェルト
フロントページの続き
(72)発明者 松谷 直宏
東京都大田区東糀谷２丁目14番３号 株式
会社ディスコ内
Ｆターム(参考） 3C058 AA09 CA05 CB03 DA17
3C063 AA06 AB05 BB25 BC03 BE04
BG07 BH03 EE10 FF23
Claims (17)
- 【請求項１】 支持部材及び該支持部材に固定さた研磨
手段を具備し、該研磨手段は種々の獣毛を含む天然繊維
及び合成繊維から選択された少なくとも２種の繊維から
形成された塊状体と該塊状体中に分散せしめられた砥粒
とから構成されている、ことを特徴とする研磨工具。 - 【請求項２】 該塊状体は第一の繊維から形成された第
一のフェルトと第二の繊維から形成された第二のフェル
トとから構成されている、請求項１記載の研磨工具。 - 【請求項３】 該第一の繊維は羊毛又は山羊毛であり、
該第二の繊維は山羊毛又は羊毛である、請求項２記載の
研磨工具。 - 【請求項４】 該塊状体は該第一のフェルトに複数個の
空所を形成し、該複数個の空所の各々に該第二のフェル
トを嵌入して構成されており、該研磨手段の研磨面にお
いては該第一のフェルト中に該第二のフェルトが分散配
列されている、請求項２又は３記載の研磨工具。 - 【請求項５】 該塊状体は第一の繊維から形成されたフ
ェルトと第二の繊維から形成された繊維束とから構成さ
れている、請求項１記載の研磨工具。 - 【請求項６】 該第一の繊維は羊毛又は山羊毛であり、
該第二の繊維は羊毛及び山羊毛以外の獣毛である、請求
項５記載の研磨工具。 - 【請求項７】 該塊状体は該フェルトに複数個の空所を
形成し、該複数個の空所の各々に該繊維束を嵌入して構
成されており、該研磨手段の研磨面においては該フェル
ト中に該繊維束が分散配列されている、請求項５又は６
記載の研磨工具。 - 【請求項８】 該塊状体は少なくとも２種の繊維を混合
して形成されたフェルトから構成されている、請求項１
記載の研磨工具。 - 【請求項９】 該塊状体は羊毛と山羊毛とを混合して形
成されたフェルトから構成されている、請求項８記載の
研磨工具。 - 【請求項１０】 該塊状体は密度が０．２０ｇ／ｃｍ３
以上で硬度が３０以上である、請求項１から９までのい
ずれかに記載の研磨工具。 - 【請求項１１】 該塊状体の密度は０．４０ｇ／ｃｍ３
以上である、請求項１０記載の研磨工具。 - 【請求項１２】 該塊状体求の硬度は５０以上である、
請求項１０又は１１記載の研磨工具。 - 【請求項１３】 該研磨手段は０．０５乃至１．００ｇ
／ｃｍ３の砥粒を含有している、請求項１から１２まで
のいずれかに記載の研磨工具。 - 【請求項１４】 該研磨手段は０．２０乃至０．７０ｇ
／ｃｍ３の砥粒を含有している、請求項１３記載の研磨
工具。 - 【請求項１５】 該砥粒は０．０１乃至１００μm の粒
径を有する、請求項１から１４までのいずれかに記載の
研磨工具。 - 【請求項１６】 該砥粒はシリカ、アルミナ、ホルステ
ライト、ステアタイト、ムライト、立方晶窒化硼素、ダ
イヤモンド、窒化珪素、炭化珪素、炭化硼素、炭酸バリ
ウム、炭酸カルシウム、酸化鉄、酸化マグネシウム、酸
化ジルコニア、酸化セリウム、酸化クロム、酸化錫、酸
化チタンのうちの１種又は２種以上を含む、請求項１か
ら１５までのいずれにかに記載の研磨工具。 - 【請求項１７】 該支持部材は円形支持面を有し、該研
磨手段は該円形支持面に接合された円板形状である、請
求項１から１６までのいずれかに記載の研磨工具。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001311450A JP2003124164A (ja) | 2001-10-09 | 2001-10-09 | 研磨工具 |
| SG200201425-6A SG131737A1 (en) | 2001-03-28 | 2002-03-13 | Polishing tool and polishing method and apparatus using same |
| DE10211342.4A DE10211342B4 (de) | 2001-03-28 | 2002-03-14 | Polierwerkzeug und Polierverfahren und -vorrichtung unter Verwendung desselben |
| TW091104995A TW528656B (en) | 2001-03-28 | 2002-03-15 | Polishing tool and polishing method and apparatus using same |
| US10/100,901 US7713107B2 (en) | 2001-03-28 | 2002-03-20 | Polishing tool |
| CNB021198187A CN1246885C (zh) | 2001-03-28 | 2002-03-28 | 研磨工具和使用其的研磨方法及装置 |
| KR1020020017003A KR100838028B1 (ko) | 2001-03-28 | 2002-03-28 | 연마공구와 이것을 사용하는 연마방법 및 장치 |
| HK03101637.4A HK1054815B (zh) | 2001-03-28 | 2003-03-05 | 研磨工具和使用其的研磨方法及裝置 |
| US11/987,382 US7736215B2 (en) | 2001-03-28 | 2007-11-29 | Polishing tool and polishing method and apparatus using same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
2001
- 2001-10-09 JP JP2001311450A patent/JP2003124164A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008183659A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
| WO2016120516A1 (en) * | 2015-01-28 | 2016-08-04 | Kwh Mirka Ltd | A polishing pad and material and manufacturing method for such |
| US10632591B2 (en) | 2015-01-28 | 2020-04-28 | Kwh Mirka Ltd | Polishing pad and material and manufacturing method for such |
| JP2016159416A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 株式会社ディスコ | 研磨パッド |
| JP2019527147A (ja) * | 2016-07-01 | 2019-09-26 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 研磨粒子を含む不織布研磨物品 |
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