JP2016130732A - 光学装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回折格子14と、回折格子14の偏光依存性を解消するための、複屈折材料を含む偏光解消板12と、回折格子14での回折に起因する、回折光における回折角のずれを光学的に補正する光学補正器15,16,17,18,19,20と、を備える。
【選択図】図1
Description
α:「分離された2本の光線」のなす角
θ0:ウェッジ角
ne:常光線の屈折率
no:異常光線の屈折率
図6(a)〜(c)は、光が平面回折格子に入射し回折される様子を模式的に示したものである。図6(a)は、偏光解消板で分離された光の一方が、平面回折格子に入射し回折される様子を三次元的に示している。また、図6(b)は、光が平面回折格子に入射し回折される様子を、zx平面で二次元的に示しており、図6(c)はyz平面で二次元的に示している。
m:回折次数
d:格子定数
λ:波長
θ:入射光と溝の深さ方向とがなす角
α1:回折格子への入射光の入射角
α2:回折格子からの回折光の回折角
回折格子と、
前記回折格子の偏光依存性を解消するための、複屈折材料を含む偏光解消板と、
前記回折格子での回折に起因する、回折光における回折角のずれを光学的に補正する光学補正器と、
を備える光学装置である。
前記光学補正器は、前記回折格子で回折された回折光を折り返して、前記回折格子に再び入射するように構成されている。
前記光学補正器は、前記偏光解消板により分離され、前記回折格子で回折された2本の回折光が、前記回折格子に再び入射するときに、前記2本の回折光の非分散方向の角度の関係が反転しているように構成されている。
前記光学補正器は、
前記回折格子で回折された回折光を集光する第1のレンズと、
前記第1のレンズによって集光された後に、拡散する光を平行光にする第2のレンズと、
前記第2のレンズからの出射光を、その光路を直角に曲げるように反射する第1のミラーと、
前記第1のミラーからの反射光を、その光路を直角に曲げるように反射する第2のミラーと、
前記第2のミラーからの反射光を集光する第3のレンズと、
前記第3のレンズによって集光された後に、拡散する光を平行光にして、前記回折格子に出射する第4のレンズと、
を含む。
前記光学補正器は、
入射光を平行光に変換して、前記回折格子に出射するとともに、前記回折格子で回折された回折光を反射および集光する凹面鏡と、
この凹面鏡からの反射光を平行光に変換する第5のレンズと、
前記第5のレンズからの出射光を、その光路を直角に曲げるように反射する第3のミラーと、
前記第3のミラーからの反射光を、その光路を直角に曲げるように反射する第4のミラーと、
前記第4のミラーからの反射光を集光し、前記凹面鏡に出射する第6のレンズと、
を含む。
このように、光は、レンズ16に入射し、平面ミラー17および平面ミラー18を経て、レンズ19から出射される。これによって、光の分散方向の位置関係(並び)が反転される。他方、光の非分散方向の位置関係(並び)は変わらない。
12 偏光解消板
13 凹面鏡
14 平面回折格子
15、16、19、20 レンズ
17、18 平面ミラー
21 出射スリット
Claims (5)
- 回折格子と、
前記回折格子の偏光依存性を解消するための、複屈折材料を含む偏光解消板と、
前記回折格子での回折に起因する、回折光における回折角のずれを光学的に補正する光学補正器と、
を備える光学装置。 - 前記光学補正器は、前記回折格子で回折された回折光を折り返して、前記回折格子に再び出射するように構成されている、請求項1に記載の光学装置。
- 前記光学補正器は、前記偏光解消板により分離され、前記回折格子で回折された2本の回折光が、前記回折格子に再び入射するときに、前記2本の回折光の非分散方向の角度の関係が反転しているように構成されている、請求項1または2に記載の光学装置。
- 前記光学補正器は、
前記回折格子で回折された回折光を集光する第1のレンズと、
前記第1のレンズによって集光された後に、拡散する光を平行光にする第2のレンズと、
前記第2のレンズからの出射光を、その光路を直角に曲げるように反射する第1のミラーと、
前記第1のミラーからの反射光を、その光路を直角に曲げるように反射する第2のミラーと、
前記第2のミラーからの反射光を集光する第3のレンズと、
前記第3のレンズによって集光された後に、拡散する光を平行光にして、前記回折格子に出射する第4のレンズと、
を含む請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記光学補正器は、
入射光を平行光に変換して、前記回折格子に出射するとともに、前記回折格子で回折された回折光を反射および集光する凹面鏡と、
この凹面鏡からの反射光を平行光に変換する第5のレンズと、
前記第5のレンズからの出射光を、その光路を直角に曲げるように反射する第3のミラーと、
前記第3のミラーからの反射光を、その光路を直角に曲げるように反射する第4のミラーと、
前記第4のミラーからの反射光を集光し、前記凹面鏡に出射する第6のレンズと、
を含む請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学装置。
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