JP5731031B2 - 分光装置 - Google Patents
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Description
以上のような実情を踏まえ、本発明では、広い波長域で高い光の利用効率を実現する、VPH回折格子を用いた分光装置を提供することを課題とする。
従って、入射角θ及び1次回折光の回折角βが小さい場合には、1次回折光の射出方向は波長毎に略平行とみなすことができる。
まず、入射光ILは、波長分散面(XZ平面)上に投影したときに青色の波長がブラッグ波長となる角度で反射型VPH回折格子22aに入射して回折される。
また、透過型VPH回折格子32に入射する入射光IL及び0次回折光L0は、ミラー33a、ミラー33b、ミラー34a、及び、ミラー34bにより、図10Bに例示されるように、波長分散面と直交する平面(XY平面)上で平行に透過型VPH回折格子32に入射する。このため、透過型VPH回折格子32から射出される1次回折光の方向も、XY平面上では入射光IL及び0次回折光L0と平行となる。
また、集光レンズ53は、波長分散量の線形性を向上させるために、透過型VPH回折格子2aに対して光学的に平行に配置されることが望ましい。
Claims (13)
- 少なくとも第1のVPH回折格子と第2のVPH回折格子とを含み、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を、前記第2のVPH回折格子に入射させ、
前記第1のVPH回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第2のVPH回折格子に入射する0次回折光の入射角は、異なり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向は、一致し、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角は、波長毎に略等しい
ことを特徴とする分光装置。 - 少なくとも第1のVPH回折格子と第2のVPH回折格子とを含み、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を、前記第2のVPH回折格子に入射させ、
前記第1のVPH回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第2のVPH回折格子に入射する0次回折光の入射角は、異なり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向は、一致し、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角は、特定の波長で等しい
ことを特徴とする分光装置。 - 少なくとも第1のVPH回折格子と第2のVPH回折格子とを含み、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を、前記第2のVPH回折格子に入射させ、
前記第1のVPH回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第2のVPH回折格子に入射する0次回折光の入射角は、異なり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向は、平行であり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角は、波長毎に略等しい
ことを特徴とする分光装置。 - 少なくとも第1のVPH回折格子と第2のVPH回折格子とを含み、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を、前記第2のVPH回折格子に入射させ、
前記第1のVPH回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第2のVPH回折格子に入射する0次回折光の入射角は、異なり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向は、平行であり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角は、特定の波長で等しい
ことを特徴とする分光装置。 - 少なくとも第1のVPH回折格子と第2のVPH回折格子とを含み、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を、前記第2のVPH回折格子に入射させ、
前記第1のVPH回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第2のVPH回折格子に入射する0次回折光の入射角は、異なり、
前記第1のVPH回折格子の波長分散面と、前記第2のVPH回折格子の波長分散面は、平行であり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向は、前記波長分散面上で、平行であり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角は、波長毎に略等しい
ことを特徴とする分光装置。 - 少なくとも第1のVPH回折格子と第2のVPH回折格子とを含み、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を、前記第2のVPH回折格子に入射させ、
前記第1のVPH回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第2のVPH回折格子に入射する0次回折光の入射角は、異なり、
前記第1のVPH回折格子の波長分散面と、前記第2のVPH回折格子の波長分散面は、平行であり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光の射出方向は、前記波長分散面上で、平行であり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角は、特定の波長で等しい
ことを特徴とする分光装置。 - 少なくとも第1のVPH回折格子と第2のVPH回折格子とを含み、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を、前記第2のVPH回折格子に入射させ、
前記第1のVPH回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第2のVPH回折格子に入射する0次回折光の入射角は、異なり、
前記第1のVPH回折格子の波長分散面と、前記第2のVPH回折格子の波長分散面は、平行であり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を前記波長分散面に投影した光の射出方向と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光を前記波長分散面に投影した光の射出方向は、平行であり、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角と、前記第2のVPH回折格子で生じる0次回折光と1次回折光とのなす角は、波長毎に略等しい
ことを特徴とする分光装置。 - 少なくとも第1のVPH回折格子と第2のVPH回折格子と、
少なくとも前記第1のVPH回折格子からの1次回折光と前記第2のVPH回折格子からの1次回折光を集光する集光レンズと、
前記集光レンズで集光された前記1次回折光を検出する一つの検出器と、を含み、
前記第1のVPH回折格子で生じる0次回折光を、前記第2のVPH回折格子に入射させ、
前記第1のVPH回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第2のVPH回折格子に入射する0次回折光の入射角は、異なる
ことを特徴とする分光装置。 - 請求項8に記載の分光装置において、
前記第1のVPH回折格子からの1次回折光と、前記第2のVPH回折格子からの1次回折光は、前記波長分散面上で、波長毎に略平行に前記集光レンズに入射する
ことを特徴とする分光装置。 - 請求項9に記載の分光装置において、
前記検出器は、複数の受光素子を含み、
前記第1のVPH回折格子からの1次回折光と、前記第2のVPH回折格子からの1次回折光は、波長毎に同一の前記受光素子に入射する
ことを特徴とする分光装置。 - 請求項10に記載の分光装置において、
前記第1のVPH回折格子の格子定数と、前記第2のVPH回折格子の格子定数は、異なり、
前記第1のVPH回折格子からの1次回折光と、前記第2のVPH回折格子からの1次回折光は、一つの前記集光レンズに入射する
ことを特徴とする分光装置。 - 請求項10に記載の分光装置において、
前記集光レンズは、前記第1のVPH回折格子からの1次回折光が入射する第1の集光レンズと、前記第2のVPH回折格子からの1次回折光が入射する第2の集光レンズと、を含み、
前記第1の集光レンズの光軸は、前記第1のVPH回折格子の入射面の法線と平行であり、
前記第2の集光レンズの光軸は、前記第2のVPH回折格子の入射面の法線と平行である
ことを特徴とする分光装置。 - 請求項8乃至請求項12のいずれか1項に記載の分光装置において、さらに、
前記1次回折光の光路を切り換える光路切換え手段を含み、
前記光路切換え手段による光路の切換えにより、前記検出器上での前記1次回折光の波長分散量が変化する
ことを特徴とする分光装置。
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