JP5666496B2 - 計測装置 - Google Patents
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Description
物体面からの反射光の光束を、導入平面ミラーを介して、凹面主鏡、凸面副鏡、前記凹面主鏡の順番で反射させた後、引き出し平面ミラーを介して、受光素子の受光面に結像させることのできる等倍反射型結像光学系であって、
前記物体面及び前記受光面が、それぞれの面に入射する光の光軸に対して傾斜していることを特徴とする等倍反射型結像光学系。
図1は、本発明の実施形態に係る等倍反射型結像光学系を備えた分光エリプソメータ10の全体図である。
図1に示すように、分光エリプソメータ10は、薄膜(単層膜でも多層膜でもよい。)が形成された基板Sに偏光した光(以下、「偏光光」という。)を入射させるための照明光学系20と、基板S(または薄膜)からの偏光光の反射光を受光するための受光素子30と、基板S(または薄膜)からの反射光を受光素子30の受光面に結像させるための結像光学系40と、を備えている。基板Sの表面が、本発明の「物体面」に対応している。
図2、図3に示すように、オフナー光学系によって構成された結像光学系40は、導入平面ミラー42、凹面鏡で構成された主鏡44、凸面鏡で構成された副鏡46、及び引き出し平面ミラー48を備えている。基板S(または薄膜)の表面からの反射光は、導入平面ミラー42、主鏡44、副鏡46、再び主鏡44、及び引き出し平面ミラー48の順番で反射された後、受光素子30の受光面に結像するようになっている。
副鏡46は、光学系の瞳となっている。
なお、受光素子30は、例えば2次元CCD等の撮像素子によって構成されている。
なお、分光器の光学特性は、f=320mm、F/4.1(NA=0.06)、グレーティング:1200本/mmであると仮定する。
分光器のスリットから出射する光束を、バンドルファイバ(光ファイバの束)で受光する。
バンドルファイバは、入射端の形状が1mm×20mmであり、出射端の形状が2.79mm×7.17mmである。
ロッドレンズ22の入射端の形状は、1.75mm×4.5mmである。
バンドルファイバの出射端の断面形状は、ロッドレンズ22の入射端22aの断面形状に相似している。
レンズ系などを用いて、バンドルファイバの出射端から出射される光束を1/4に光学縮小して、NA=0.24に変換する。
バンドルファイバの出射端から出射される光束を、ロッドレンズ22の入射端22aに入射させる。入射端22aにおける入射光の照射面の大きさは、0.7mm×1.79mmである。
ロッドレンズ22に入射した光束は、ロッドレンズ22の内部で反射を繰り返す。これにより、ロッドレンズ22の出射端22bから出射される光の照度が均一化される。
ロッドレンズ22の出射端22bにおいて、NA=0.24である。
ロッドレンズ22の出射端22bは、基板Sの表面(物体面)、及び、受光素子30の受光面と像共役である。共役関係にある基板Sの表面と受光素子30の受光面の照度は、均一に維持される。
アパーチャ絞り26と副鏡46は、瞳共役である。
アパーチャ絞り26に置かれた絞りにより、照明光束は制限され、基板Sの表面に照射される光のNA(=0.04)が決定される。
基板Sの表面で反射した光束は、結像光学系40の副鏡46で再び制限され、受光素子30の受光面にNA(=0.04)となる角度で照射される。
基板Sの表面(物体面)での照度ムラが小さければ、被計側面の各点において、エリプソ法による計測に必要な薄膜情報を均一に得ることができる。
同様に、受光素子30の受光面での照度ムラが小さければ、受光光量幅が均一化され、薄膜情報の演算が容易になる。
ロッドレンズ22の入射端22aに入射する光束には、結像に必要なNAを超える光束が含まれる。余分な光束は、結像光学系40(オフナー光学系)で反射を繰り返し、受光素子30の受光面に迷光として到達するため、受光素子のS/Nを悪化させる原因となる。瞳絞りは、このような余分な光束をカットする役割を有する。
高い方の曲線は、座標X方向(長手方向)でのMTFであり、理論値に合致している。
低い方の曲線は、座標Y方向(短手方向)でのMTFであり、NAが小さくなる分だけMTF値が小さくなっているが、理論値に合致している。
本発明のエリプソメータは、薄膜の面内の各点において、薄膜を微細に計測することを目的とする。したがって、計測される各点での分解能も良くなくてはならない。
等倍の共役関係にある被計測面(物体面)の各点の分解能も、10μmオーダーであることが望ましい。
NA=0.04において、座標X方向(長手方向)の10μm分解のMTF値は58%あるので充分であり、座標Y方向(短手方向)の10μm分解のMTF値は25%なので少し不足する。
一般に、傾斜した結像面に置かれる2次元受光素子は、受光感度特性が大きなものを用いなければならない。
しかし、大きな傾きを持つ光束は、マイクロ・レンズで集光することは難しく、多くの光束は、CCDの受光面に至らない。
したがって、受光素子30として使用する2次元CCDは、マイクロ・レンズが組み込まれていないタイプであることが好ましい。
この場合、短手方向の10μm分解のMTFは50%になり、被計測面内の波面収差は0.2Waves以内になるため、エリプソ計測は可能である。
しかし、NAを大きくしすぎると、薄膜に当たる光束の角度幅が大きくなり、エリプソ計測に用いられる薄膜情報のS/Nが悪くなるおそれがある。
本発明の結像光学系40も、等倍反射型結像光学系であるため、波長に依存しない特長を持つ。
波長幅を議論するに際して、光源波長の制約、被検査薄膜の透過率と消衰係数、受光素子の分光感度の何れもが、仕様を満たすことを考慮する必要がある。
1サイクルを前提にすると、波長幅は、250−500nm、あるいは、400−800nmなどに制限してもよい。
しかし、照明光学系20は、屈折系のレンズのみによって構成される必要はなく、例えば、図6に示すように、等倍反射型光学系の一つであるオフナー光学系によって構成されてもよい。
分光エリプソメータであって、
薄膜が形成された基板に偏光光を入射させるための照明光学系と、
前記基板からの反射光を受光するための受光素子と、を備え、
前記基板からの反射光の光束を、導入平面ミラーを介して、凹面主鏡、凸面副鏡、前記凹面主鏡の順番で反射させた後、引き出し平面ミラーを介して、前記受光素子の受光面に結像させることのできる等倍反射型結像光学系を備えることを特徴とする分光エリプソメータ。
20 照明光学系
22 ロッドレンズ
24 コンデンサレンズ
26 アパーチャ絞り
28 コリメータレンズ
30 受光素子
40 結像光学系(等倍反射型結像光学系)
42 導入平面ミラー
44 主鏡
46 副鏡
48 引き出し平面ミラー
Claims (4)
- 物体の物体面に光を入射させるための照明光学系と、前記物体面からの反射光を受光するための受光素子と、前記受光素子の受光面に前記物体面からの反射光を結像させるための結像光学系と、を備える計測装置であって、
前記結像光学系は、導入平面ミラー、凹面主鏡、凸面副鏡、及び引き出し平面ミラーを含み、前記物体面からの反射光の光束を、前記導入平面ミラーを介して、前記凹面主鏡、前記凸面副鏡、前記凹面主鏡の順番で反射させた後、前記引き出し平面ミラーを介して、前記受光素子の受光面に結像させることのできる等倍反射型結像光学系で構成されており、
前記物体面及び前記受光面が、それぞれの面に入射する光の光軸に対して傾斜していることを特徴とする、計測装置。 - 前記物体面の垂線が、前記照明光学系からの入射光の光軸に対して45〜70度傾斜しており、
前記受光面の垂線が、前記物体面からの反射光の光軸に対して45〜70度傾斜していることを特徴とする請求項1に記載の計測装置。 - 前記照明光学系は、ロッドレンズとコンデンサレンズとアパーチャ絞りとコリメータレンズを有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の計測装置。
- 分光エリプソメータ、欠陥検出装置、または反射率測定器であることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012053702A JP5666496B2 (ja) | 2012-01-27 | 2012-03-09 | 計測装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012015501 | 2012-01-27 | ||
JP2012015501 | 2012-01-27 | ||
JP2012053702A JP5666496B2 (ja) | 2012-01-27 | 2012-03-09 | 計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013174844A JP2013174844A (ja) | 2013-09-05 |
JP5666496B2 true JP5666496B2 (ja) | 2015-02-12 |
Family
ID=49267765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012053702A Active JP5666496B2 (ja) | 2012-01-27 | 2012-03-09 | 計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5666496B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6344933B2 (ja) * | 2014-03-03 | 2018-06-20 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
WO2016125325A1 (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-11 | 株式会社目白ゲノッセン | 観察装置 |
JP2016148829A (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-18 | 株式会社目白ゲノッセン | 観察装置 |
JP2017049438A (ja) * | 2015-09-02 | 2017-03-09 | 株式会社目白67 | 観察装置 |
JP6448528B2 (ja) * | 2015-12-24 | 2019-01-09 | 株式会社目白67 | エリプソメータ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH088169A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-12 | Nikon Corp | 露光装置 |
JP3791037B2 (ja) * | 1996-02-28 | 2006-06-28 | 株式会社ニコン | 露光装置 |
JP2002100561A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-04-05 | Nikon Corp | 露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法 |
JP3348721B2 (ja) * | 2000-12-05 | 2002-11-20 | 株式会社ニコン | 照明装置及び方法 |
JPWO2005022614A1 (ja) * | 2003-08-28 | 2007-11-01 | 株式会社ニコン | 露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法 |
JP2006196559A (ja) * | 2005-01-12 | 2006-07-27 | Nikon Corp | 露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 |
-
2012
- 2012-03-09 JP JP2012053702A patent/JP5666496B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013174844A (ja) | 2013-09-05 |
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