JP2016129927A - 研磨装置における温度起因偏差を補償する方法及び該方法に対応する装置 - Google Patents
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Abstract
Description
−回転するように駆動され得る、研磨工具を備えた工具スピンドルと、
−回転するように駆動され得る、ドレッシング工具を備えたドレッサと、
−ドレッシング工具の研磨工具に対する動作を制御するための制御部(CNC)と、
−研磨工具が研磨装置のその他の部分と接触したことを知らせる信号を送信するように設計されたファーストカット検出部と、
を備える。
a.ドレッシング工具を研磨工具の方へ相対的に動かすために、ドレッシング工具の研磨工具に対する動作を制御するステップと、
b.ファーストカット検出部が研磨工具及びドレッシング工具の接触を知らせる信号を送信したかチェックするステップと、
c.研磨工具及びドレッシング工具の接触を知らせる信号が送信されるまで、ステップaからステップcまでを繰り返すステップと、
d.研磨工具及びドレッシング工具の接触を知らせる信号が送信されたとき、
i.”現状位置”を記録するステップと、
ii.”現状位置”と参照位置または所定の位置とを用いて補償計算を行うステップと、
を実施することを特徴とする。
本記載に関連して、関連する刊行物や特許でも使われる用語を用いる。しかし、これらの用語は、単により良い理解のために用いられることに注意すべきである。本発明の概念や請求項の記載により保護される範囲は、用語の特別な選択による解釈で制限されるものではない。本発明は、他の用語のシステム及び/または技術分野に容易に移転することができる。用語は、他の技術分野で適宜適用される。
a. ドレッシング工具31を研磨工具10の方へ相対的に動かすため、ドレッシング工具31の研磨工具10に対する動作ZB(例えばZB(Y)またはZB(X))を制御するステップ、
b. ファーストカット検出部51が研磨工具10及びドレッシング工具31の接触を知らせる信号を発信したかチェックするステップ、
c. 研磨工具10及びドレッシング工具31の接触を知らせる信号が発信されるまで、ステップa〜cを繰り返すステップ、及び
d. もしファーストカット検出部51が研磨工具10及びドレッシング工具31の接触を知らせる信号が発信されたとき、
i. ”現状位置”を記録し、
ii.”現状位置”と参照位置または所定の位置とを用いて補償計算を行うステップ。
− ”現状位置”の記録、及び
− 距離ZRを増加させることの実行。
− 予め定義されたまたは定義可能な期間の間、研磨装置100が製造に使われていなかった後、及び/または
− 研磨装置100の型を変更した後、及び/または
− 環境センサ、好ましくは温度センサが変化を示した後、または変化を知らせる信号を送信した後。
11 工具スピンドル
12 駆動部
13 領域
20 工作物
30 ドレッサ
31 ドレッシング工具
32 駆動部
40 センサ
41 環境センサ
50 制御部
51 ファーストカット検出(検出部)
100 研磨装置
ΔA 相対距離
|ΔA| 相対距離の絶対値
I1、I2 回路接続部
A1 工具軸
B 工作物軸
C ピボット軸
R1 ドレッシング軸
WS 経路センサ
AB (ドレッシング)動作
AB(X、Y) X及びY要素を伴う(ドレッシング)動作
S1 信号
ZB 近接/近接動作
ZB(X) それぞれX軸に平行な近接動作
ZB(Y) それぞれY軸に平行な近接動作
ZR 距離を獲得する/ステップ
Claims (9)
- −回転するように駆動され得る、研磨工具(10)を備えた工具スピンドル(11)と、
−回転するように駆動され得る、ドレッシング工具(31)を備えたドレッサ(30)と、
−ドレッシング工具(31)の研磨工具(10)に対する動作(AB、ZB、ZR)を制御するための制御部(50)と、
−研磨工具(10)が研磨装置(100)のその他の部分と接触したことを知らせる信号を送信するように設計されたファーストカット検出部と、
を備えた、研磨装置(100)における温度起因偏差を補償する方法であって、
a.ドレッシング工具(31)を研磨工具(10)の方へ相対的に動かすために、ドレッシング工具(31)の研磨工具(10)に対する動作(ZB)を制御するステップと、
b.ファーストカット検出部が研磨工具(10)及びドレッシング工具(31)の接触を知らせる信号を送信したかチェックするステップと、
c.研磨工具(10)及びドレッシング工具(31)の接触を知らせる信号が送信されるまで、ステップaからステップcまでを繰り返すステップと、
d.研磨工具(10)及びドレッシング工具(31)の接触を知らせる信号が送信されたとき、
i.”現状位置”を記録するステップと、
ii.”現状位置”と参照位置または所定の位置とを用いて補償計算を行うステップと、
を実施することを特徴とする方法。
- ファーストカット検出部(51)が、研磨工具(10)の駆動部(12)及び/またはドレッシング工具の駆動部(32)の電流または電圧を監視し、駆動部(12、32)の電気入力の増加により電流及び/または電圧の変化が生じた場合、接触を知らせる信号を送信することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- ファーストカット検出部(51)が、振動センサ(40)の出力信号(S1)を監視し、振動が増加した場合、接触を知らせる信号を送信することを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- ファーストカット検出部(51)が、音響センサ(40)の出力信号(S1)を監視し、音響強度が増加した場合、接触を知らせる信号を送信することを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の方法。
- ステップaからcを実施することが、
− 予め定義されたまたは定義可能な期間の間、研磨装置100が製造に使われていなかった後、及び/または
− 研磨装置(100)の型を変更した後、及び/または
− 環境センサ、好ましくは温度センサが変化を示した後、または変化を知らせる信号を送信した後、
に誘発されることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の方法。
- ステップaからcを実施することが、ドレッシング処理を実行する直前に誘発されることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の方法。
- ステップdが、
研磨工具(10)がドレッシング工具(31)に接触した直後に、研磨工具(10)のドエッシング工具(31)に対する相対距離(ΔA)を調整するため、距離(ZR)を自動的に増加させるステップを含み、好ましくは、相対距離ΔAの絶対値|ΔA|が事前に定義されることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の方法。
- −回転するように駆動され得る、研磨工具(10)を備えた工具スピンドル(11)と、
−回転するように駆動され得る、ドレッシング工具(31)を備えたドレッサ(30)と、
−ドレッシング工具(31)の研磨工具(10)に対する動作を制御するための制御部(50)と、
−研磨工具(10)が研磨装置(100)のその他の部分と接触したことを知らせる信号を送信するように設計されたファーストカット検出部と、
を備えた研磨装置(100)であって、
a.ドレッシング工具(31)を研磨工具(10)の方へ相対的に動かすために、ドレッシング工具(31)の研磨工具(10)に対する動作(ZB)を制御するステップと、
b.ファーストカット検出部が研磨工具(10)及びドレッシング工具(31)の接触を知らせる信号を送信したかチェックするステップと、
c.研磨工具(10)及びドレッシング工具(31)の接触を知らせる信号が送信されるまで、ステップaからステップcまでを繰り返すステップと、
d.研磨工具(10)及びドレッシング工具(31)の接触を知らせる信号が送信されたとき、
i.”現状位置”を記録するステップと、
ii.”現状位置”と参照位置または所定の位置とを用いて補償計算を行うステップと、
を実行可能なようにプログラムされたことを特徴とする装置。
- ステップaからcを実施することが、
− 予め定義されたまたは定義可能な期間の間、研磨装置100が製造に使われていなかった後、及び/または
− 研磨装置(100)の型を変更した後、及び/または
− 環境センサ、好ましくは温度センサが変化を示した後、または変化を知らせる信号を送信した後、
に誘発されるように設計された手段を備えたことを特徴とする請求項8に記載の装置。
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