JP2016121341A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. バインダ樹脂及び熱伝導性フィラーを含有する熱伝導性樹脂組成物を所定の形状に成型して硬化することにより、前記熱伝導性樹脂組成物の成型体を得る成型体作製工程と、
   前記成型体をシート状に切断して、表面において前記熱伝導性フィラーが突出した成型体シートを得る成型体シート作製工程と、
   前記成型体シートをプレスして、前記成型体シートの表面を、突出した前記熱伝導性フィラーによる凸形状を追従するように、前記成型体シートから滲み出した滲出成分により覆う、プレス工程とを含むことを特徴とする熱伝導シートの製造方法。
2. 前記バインダ樹脂が、液状シリコーンゲルの主剤と、硬化剤とを含有し、
   前記主剤と前記硬化剤との配合割合が、質量比で主剤：硬化剤＝３５：６５〜６５：３５である請求項１に記載の熱伝導シートの製造方法。
3. 前記成型体作製工程が、中空状の型内に、前記熱伝導性樹脂組成物を充填し、前記熱伝導性樹脂組成物を熱硬化することにより行われ、
   前記熱伝導性フィラーが、炭素繊維、及び無機物フィラーを含有し、
   前記熱伝導シートにおいて、前記炭素繊維が、ランダムに配向している、請求項１から２のいずれかに記載の熱伝導シートの製造方法。
4. 前記プレス工程が、前記成型体シートを所定の厚みに圧縮するためのスペーサを用いて行われる請求項１から３のいずれかに記載の熱伝導シートの製造方法。
5. 前記プレス工程が、複数の前記成型体シートを隣接し、一括してプレスすることにより行われ、前記複数の成型体シートが一体化された熱伝導シートを得る請求項１から４のいずれかに記載の熱伝導シートの製造方法。
6. バインダ樹脂及び熱伝導性フィラーを含有する熱伝導性樹脂組成物を硬化してなるシート本体を有する熱伝導シートであって、
   前記熱伝導性フィラーが、炭素繊維、及び無機物フィラーを含有し、
   前記シート本体の表面が、突出した前記熱伝導性フィラーによる凸形状を追従するように、前記シート本体から滲み出した滲出成分で覆われていることを特徴とする熱伝導シート。
7. バインダ樹脂及び熱伝導性フィラーを含有する熱伝導性樹脂組成物を硬化してなるシート本体を有する熱伝導シートであって、
   前記バインダ樹脂が、液状シリコーンゲルの主剤と、硬化剤とを含有し、
   前記主剤と前記硬化剤との配合割合が、質量比で主剤：硬化剤＝３５：６５〜６５：３５であり、
   前記シート本体の表面が、突出した前記熱伝導性フィラーによる凸形状を追従するように、前記シート本体から滲み出した滲出成分で覆われていることを特徴とする熱伝導シート。
8. 前記熱伝導性フィラーが、炭素繊維、及び無機物フィラーを含有する請求項７に記載の熱伝導シート。
9. 突出した前記熱伝導性フィラーによる凸形状において、前記炭素繊維の表面に前記無機物フィラーが付着している請求項６及び８のいずれかに記載の熱伝導シート。
10. 前記熱伝導シートにおいて、前記炭素繊維がランダムに配向している請求項６、８、及び９のいずれかに記載の熱伝導シート。
11. 前記熱伝導シートの表面のＬ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるＬ＊値が、２５以上７０以下である請求項６から１０のいずれかに記載の熱伝導シート。
12. 熱源と、放熱部材と、前記熱源と前記放熱部材との間に挟持される熱伝導シートとを有し、
    前記熱伝導シートが、請求項６から１１のいずれかに記載の熱伝導シートであることを特徴とする半導体装置。