JP2016079430A

JP2016079430A - Vacuum deposition apparatus and evaporator used in the same

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Publication number: JP2016079430A
Application number: JP2014209664A
Authority: JP
Inventors: 加瀬部　強; Tsuyoshi Kasebe; 強加瀬部; 寿裕錦織; Hisahiro Nishigori; 三宅　徹; Toru Miyake; 徹三宅
Original assignee: Machine Tech Kk; MACHINE TECHNOLOGY KK
Current assignee: Machine Tech Kk; MACHINE TECHNOLOGY KK
Priority date: 2014-10-14
Filing date: 2014-10-14
Publication date: 2016-05-16
Anticipated expiration: 2034-10-14
Also published as: JP5987154B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an evaporator that improves maintainability of a mask and does not impair deposition quality.SOLUTION: An evaporator 100 that is arranged in a vacuum tank with its longitudinal direction being horizontal and deposits a material to be evaporated on a continuously supplied belt-shaped film includes: an open crucible 101 that melts an evaporation source; a cylinder-based heating chamber 102 that lies in a laid position and houses the crucible; and a plurality of rod-shaped heaters 131 that are arranged outside the heating chamber and parallel to an axis of the heating chamber. The heating chamber is provided with a mounting port 121 which has a substantially rectangular shape long in one direction and whose side surface is formed to rise outward from a position notched parallel to the axis. The evaporator 100 further includes: a mask 141 that is long in one direction and detachably mounted to the mounting port, and has a slit 144 formed in the longitudinal direction to blow out an evaporated material; and a heater 132 for the mask that is disposed immediately below or in the mask to heat the mask to a re-evaporation temperature or more.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、フィルムコンデンサや蒸着フィルムを製造する真空蒸着装置およびそれに用いる蒸発装置に関し、特に、マスクの目詰まりを発生させない真空蒸着装置および蒸発装置に関する。 The present invention relates to a vacuum vapor deposition apparatus for producing a film capacitor or a vapor deposition film and an evaporation apparatus used therefor, and more particularly to a vacuum vapor deposition apparatus and an evaporation apparatus that do not cause clogging of a mask.

フィルムコンデンサを製造する際、金属蒸着フィルムが用いられ、これは、真空蒸着装置によりフィルム上に金属を蒸着して形成される。真空蒸発装置においては、クーリングロールにわたされ連続的に供給される帯状のフィルムに、蒸発装置からの金属が付着し、蒸着がおこなわれる。 When manufacturing a film capacitor, a metal vapor-deposited film is used, which is formed by vapor-depositing metal on a film by a vacuum vapor deposition apparatus. In the vacuum evaporation apparatus, the metal from the evaporation apparatus adheres to the belt-like film continuously supplied to the cooling roll, and vapor deposition is performed.

均質な蒸着をおこなうため、蒸発装置は、フィルムの幅方向に配向させかつフィルムと一定間隔をあけて配置される。そして、蒸発装置にはスリットが形成されたマスクが取り付けられ、スリットを抜けた蒸発金属が一様にフィルムに蒸着していく。 In order to perform uniform vapor deposition, the evaporation apparatus is oriented in the width direction of the film and arranged at a constant interval from the film. A mask having slits is attached to the evaporator, and the evaporated metal that has passed through the slits is uniformly deposited on the film.

しかしながら、従来の技術では以下の問題点があった。
スリットは通常狭く、また、蒸発装置の環境、すなわち、ヒータの加熱温度、ヒータからマスクまでの距離、マスク等の熱容量、マスク外側の温度、等により、スリット部分に蒸発金属が凝固し孔形状を変化させ目詰まりを起こす場合もあるという問題点があった。結果、マスクを寿命前に交換する必要が生じ、メンテナンス性にかけるという問題点があった。 However, the conventional technique has the following problems.
The slit is usually narrow, and the evaporation metal solidifies in the slit part due to the environment of the evaporator, that is, the heating temperature of the heater, the distance from the heater to the mask, the heat capacity of the mask, the temperature outside the mask, etc. There was a problem that it could change and cause clogging. As a result, it is necessary to replace the mask before the end of its life, and there is a problem in that maintenance is required.

また、マスクと装置筐体は共に鋼材であって熱履歴に曝され、かつ、マスクが交換部品であるため、気密性よく合着した状態が永続しにくい。特に従来では、図５に示したようにマスクがコ字状であって脚として差し込まれる形態が採用されており、ガスケットの接触面積を構造上大きくしにくく、気密性が必ずしも十全でない場合がある。すなわち、蒸着フィルムの所期の品質を維持し難い場合があるという問題点があった。 Further, since the mask and the apparatus housing are both steel materials and are exposed to a thermal history, and the mask is a replacement part, it is difficult to permanently maintain a state where the mask and the apparatus housing are joined together in an airtight manner. In particular, conventionally, as shown in FIG. 5, the mask has a U-shape and is inserted as a leg, and it is difficult to make the contact area of the gasket large in structure, and the airtightness is not always sufficient. is there. That is, there is a problem that it is difficult to maintain the desired quality of the deposited film.

特開平７−１８４４２号Japanese Patent Laid-Open No. 7-18442

本発明は上記に鑑みてなされたものであって、マスクのメンテナンス性ないし寿命を高め、所期の蒸着品質を維持する蒸発装置および真空蒸着装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide an evaporation apparatus and a vacuum evaporation apparatus that improve the maintainability or life of the mask and maintain the desired evaporation quality.

請求項１に記載の蒸発装置は、真空槽の中に長手を水平にして配置し、連続的に供給される帯状のフィルムに対して被蒸発物を蒸着させるための蒸発装置であって、蒸発源を溶融する開口したルツボと、ルツボを収容し横倒し姿勢の円筒基調の加熱室と、加熱室外側に加熱室の軸に平行に配した複数の加熱室用発熱抵抗体と、を有し、加熱室に、側面を軸に平行に切り欠いて形成したまたは当該切欠位置から外側に立ち上げ形成した、軸方向に長い略長方形の取付口を設け、更に、取付口に着脱可能に取り付ける一方向に長いマスクであって、蒸発物を吹き出させるスリットを長手方向に設けたマスクと、マスク直下またはマスク中に配し、マスクを蒸発源の再蒸発温度以上に加温するマスク用発熱抵抗体と、を具備したことを特徴とする。 The evaporation apparatus according to claim 1 is an evaporation apparatus that is disposed in a vacuum chamber with a longitudinal length horizontally, and deposits an evaporation target on a continuously supplied strip-shaped film. An open crucible for melting the source, a cylindrical-tone heating chamber containing the crucible and lying down, and a plurality of heating chamber heating resistors arranged outside the heating chamber in parallel to the axis of the heating chamber, The heating chamber is provided with a substantially rectangular attachment port that is formed by cutting the side surface in parallel to the axis or rising outward from the notch position, and is detachably attached to the attachment port. A long mask having a slit in the longitudinal direction for blowing out the evaporant, and a heating resistor for the mask that is disposed directly under or in the mask and heats the mask at a temperature higher than the re-evaporation temperature of the evaporation source It is characterized by comprising.

すなわち、請求項１にかかる発明は、マスクを効果的に温めて金属付着を回避し、これにより、マスクのメンテナンス性ないし寿命を高め、所期の蒸着品質を維持する蒸発装置を提供することが可能となる。 That is, the invention according to claim 1 provides an evaporation apparatus that effectively warms the mask and avoids metal adhesion, thereby improving the maintainability or life of the mask and maintaining the intended deposition quality. It becomes possible.

蒸発源または被蒸発物は金属系原料を意味し、亜鉛、亜鉛合金等を挙げることができる。ルツボは、加熱室に収容されれば特に限定されないが、加熱室が長手であるので、ルツボも長手であると加熱室内の蒸気の充満性、スリットからの一様な吹き出しの観点から好ましい。加熱室が円筒基調であるため、ヒータからの輻射熱が室内にとどまり易く一様加熱を実現する。発熱抵抗体は室外に配置されるので、短絡しないのであれば伝熱素材をむき出しのまま使用してもよく、また、適宜ヒータ碍子で***された態様であっても良い。なお、マスク用発熱抵抗体は、マスク全体を再蒸発温度以上に加温できるのであれば、構成、素材、形状等特に限定されないが、マスクを一様に加熱して温度ムラが生じない態様であることが好ましい。スリットは、長手に延伸した一本線に限定されず、また、適宜分断されていても良いものとする。ドットが長手に点在する態様もここではスリットに含まれるものとする。すなわちスリットとは放散孔群であれば特に限定されない。 The evaporation source or the substance to be evaporated means a metal-based raw material, and examples thereof include zinc and zinc alloys. The crucible is not particularly limited as long as the crucible is accommodated in the heating chamber. However, since the heating chamber is long, it is preferable that the crucible is also long from the viewpoint of fullness of steam in the heating chamber and uniform blowing from the slit. Since the heating chamber has a cylindrical tone, the radiant heat from the heater tends to stay in the chamber, and uniform heating is realized. Since the heat generating resistor is disposed outside the room, the heat transfer material may be used as it is if it is not short-circuited, or may be appropriately wrapped with a heater insulator. The heating resistor for the mask is not particularly limited in configuration, material, shape, etc. as long as the entire mask can be heated to the re-evaporation temperature or higher, but in a mode in which the mask is heated uniformly and temperature unevenness does not occur. Preferably there is. The slit is not limited to a single line extending in the longitudinal direction, and may be appropriately divided. Here, an aspect in which dots are scattered in the longitudinal direction is also included in the slit. That is, the slit is not particularly limited as long as it is a group of diffusion holes.

請求項２に記載の蒸発装置は、請求項１に記載の蒸発装置において、マスクは、取付口の内幅より幅広であって、取付口の長手に差し込み嵌合する脚部と、脚部基端からそれぞれ外側に延び出て取付口外側を覆う二つの長手の縁片部と、を有することを特徴とする。 The evaporation device according to claim 2 is the evaporation device according to claim 1, wherein the mask is wider than the inner width of the attachment port, and is inserted into and fitted into the longitudinal direction of the attachment port; And two long edge pieces that extend outward from the ends and cover the outer side of the attachment port.

すなわち、請求項２にかかる発明は、縁片部と脚部とにより取付性を高め、また、縁片部を設けたことにより脚部だけであるよりマスク周縁の気密性を高め、蒸着品質を向上させることができる。また、取付口が立ち上げて形成されこれに沿って加熱室用発熱抵抗体が配されている場合には、この立ち上がり部分と脚部との面接触により熱伝導も享受し、金属付着の回避性能を一層向上させることができる。 In other words, the invention according to claim 2 enhances the attachment property by the edge piece portion and the leg portion, and also improves the airtightness of the mask periphery rather than only the leg portion by providing the edge piece portion, thereby improving the vapor deposition quality. Can be improved. In addition, when a heating opening is formed and a heating chamber heating resistor is arranged along the mounting opening, heat conduction is also enjoyed by surface contact between the rising portion and the leg portion, and metal adhesion is avoided. The performance can be further improved.

なお、脚部は、２本ないし２枚の長手に沿った板状の脚として形成してもよいし、断面が凸を逆さにした形状であって、中実体としてもよい。この場合、マスク用発熱抵抗体は中実部に埋入させるようにしてもよい。また、縁片部と取付口との接合部分にガスケットを挿入し、気密性を一層高めるようにしてもよい。 The leg portion may be formed as a plate-like leg along the length of two or two pieces, or may have a solid cross-sectional shape with a convex shape. In this case, the mask heating resistor may be embedded in the solid portion. Further, a gasket may be inserted into the joint portion between the edge piece portion and the attachment port to further improve the airtightness.

請求項３に記載の蒸発装置は、請求項１または２に記載の蒸発装置において、加熱室用発熱抵抗体およびマスク用発熱抵抗体を棒状または柱状とし、端部で折り返しすべてまたは数本を組として直列接続したことを特徴とする。 The evaporation apparatus according to claim 3 is the evaporation apparatus according to claim 1 or 2, wherein the heating resistor for the heating chamber and the heating resistor for the mask are formed in a rod shape or a column shape, and all or several of them are folded at the end. As a series connection.

すなわち、請求項３にかかる発明は、簡便に一様加熱を実現する。また、回路構成も簡素化できる。組となり事実上一体化するので着脱性ひいてはメンテナンス性を向上させることも可能となる。 That is, the invention according to claim 3 easily realizes uniform heating. In addition, the circuit configuration can be simplified. Since it becomes a set and is practically integrated, it is possible to improve detachability and, in turn, maintainability.

端部で折り返すとは、隣り合う二本がＵ字となることを意味する。数本を組とするとは、たとえば、加熱室の上半分を第一系統、下半分を第二系統として電力供給する例を挙げることができる。この他、マスク用発熱抵抗体のみを独立した系統としてもよい。 Folding at the end means that two adjacent pieces are U-shaped. For example, an example in which several sets are used to supply power using the upper half of the heating chamber as the first system and the lower half as the second system can be given. In addition, only the mask heating resistor may be an independent system.

請求項４に記載の蒸発装置は、請求項１、２または３に記載の蒸発装置において、被蒸発物が亜鉛または亜鉛化合物であり、フィルムコンデンサ製造用であることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an evaporator according to the first, second, or third aspect, wherein the material to be evaporated is zinc or a zinc compound and is used for manufacturing a film capacitor.

すなわち、請求項４にかかる発明は、高品質なフィルムコンデンサを提供することができる。 That is, the invention according to claim 4 can provide a high-quality film capacitor.

請求項５に記載の真空蒸着装置は、請求項１〜４のいずれか一つに記載の蒸発装置を具備したことを特徴とする。 A vacuum deposition apparatus according to a fifth aspect includes the evaporation apparatus according to any one of the first to fourth aspects.

すなわち、請求項５にかかる発明は、マスクのメンテナンス性ないし寿命を高め、所期の蒸着品質を維持する真空蒸着装置を提供することができる。 That is, the invention according to claim 5 can provide a vacuum deposition apparatus that improves the maintainability or life of the mask and maintains the intended deposition quality.

本発明によれば、マスクのメンテナンス性ないし寿命を高め、所期の蒸着品質を維持する蒸発装置および真空蒸着装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an evaporation apparatus and a vacuum evaporation apparatus that improve the maintainability or life of the mask and maintain the desired evaporation quality.

本発明の蒸発装置を備えた真空蒸着装置の構成例（模式図）である。It is a structural example (schematic diagram) of the vacuum evaporation apparatus provided with the evaporation apparatus of this invention. 本発明の蒸発装置の斜視図である。このうち、図２ａは、上方部を示した斜視図、図２ｂは、下方部を示した斜視図である。It is a perspective view of the evaporation apparatus of this invention. 2a is a perspective view showing the upper part, and FIG. 2b is a perspective view showing the lower part. 本発明の蒸発装置の断面図である。It is sectional drawing of the evaporation apparatus of this invention. ヒータ内蔵マスクの概要図である。このうち、図４ａは、斜視図であり、図４ｂは、断面概要図である。It is a schematic diagram of a heater built-in mask. 4a is a perspective view, and FIG. 4b is a schematic cross-sectional view. 従来の蒸発装置の断面図である。It is sectional drawing of the conventional evaporator.

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。ここでは、フィルムコンデンサ用の亜鉛蒸着フィルムを製造する真空蒸着装置について説明する。図１は、本発明の蒸発装置を備えた真空蒸着装置の構成例である。図２は、本発明の蒸発装置の斜視図である。図３は、本発明の蒸発装置の断面図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Here, the vacuum evaporation apparatus which manufactures the zinc vapor deposition film for film capacitors is demonstrated. FIG. 1 is a configuration example of a vacuum deposition apparatus provided with the evaporation apparatus of the present invention. FIG. 2 is a perspective view of the evaporation apparatus of the present invention. FIG. 3 is a cross-sectional view of the evaporation apparatus of the present invention.

真空蒸着装置１は、蒸着室１０と、巻出体２０と、クーリングロール３０と、巻取部４０と、アルミ蒸発源５０と、蒸発装置１００と、を主要な構成とし、蒸着室１０の中に、巻出体２０と、クーリングロール３０と、巻取部４０と、アルミ蒸発源５０と、蒸発装置１００を備える。 The vacuum vapor deposition apparatus 1 mainly includes a vapor deposition chamber 10, an unwinding body 20, a cooling roll 30, a winding unit 40, an aluminum evaporation source 50, and an evaporation device 100. In addition, an unwinding body 20, a cooling roll 30, a winding unit 40, an aluminum evaporation source 50, and an evaporation device 100 are provided.

蒸着室１０は、図示しない脱気装置により所定の真空度まで室内の脱気をおこなう。 The vapor deposition chamber 10 deaerates the chamber to a predetermined degree of vacuum using a deaeration device (not shown).

巻出体２０は、所定の誘電率を有するコンデンサ用の幅広フィルムを巻き付けてあり、一定の供給速度となるようにフィルムを連続的に繰り出す。 The unwinding body 20 is wound with a wide film for a capacitor having a predetermined dielectric constant, and continuously feeds the film so as to have a constant supply speed.

巻取部４０は、亜鉛が蒸着されたフィルムを順次巻き取る。巻取速度はフィルム供給速度と同速とし、蒸着フィルムにたわみが発生しないようにしている。なお、蒸着終了後、蒸着フィルムは後工程でコンデンサに適宜加工される。 The winding unit 40 sequentially winds the film on which zinc is deposited. The winding speed is the same as the film supply speed, so that no deflection occurs in the deposited film. In addition, after completion | finish of vapor deposition, a vapor deposition film is processed into a capacitor | condenser suitably at a post process.

クーリングロール３０は所定径の円柱であって、巻出体２０から繰り出されたフィルムをフィルム幅方向が軸方向となるようにして所定の中心角分巻き付ける。この巻き付いた接触部分に亜鉛蒸気が吹きあたり、クーリングロール３０の裏あてによりフィルムが冷やされて金属が凝結する。すなわち、亜鉛がフィルムに蒸着していく。 The cooling roll 30 is a cylinder having a predetermined diameter, and winds the film fed from the unwinding body 20 by a predetermined center angle such that the film width direction is the axial direction. Zinc vapor blows to the wound contact portion, and the film is cooled by the back of the cooling roll 30 to condense the metal. That is, zinc is deposited on the film.

アルミ蒸発源５０は、亜鉛蒸着を良好にするための前処理として蒸発装置１００の直近上流に配する。これにより、フィルムに亜鉛の蒸着核としてアルミニウムが蒸着する。 The aluminum evaporation source 50 is disposed immediately upstream of the evaporation apparatus 100 as a pretreatment for improving zinc deposition. As a result, aluminum is deposited on the film as zinc deposition nuclei.

蒸発装置１００は、クーリングロール３０の真下にその長手方向が軸方向と一致するように配置される。すなわち、蒸発装置１００は、クーリングロール３０と一定間隔を保ち真下に配置される。 The evaporator 100 is disposed directly below the cooling roll 30 so that its longitudinal direction coincides with the axial direction. That is, the evaporator 100 is disposed directly below the cooling roll 30 with a certain distance.

蒸発装置１００は、ルツボ１０１と、加熱室１０２と、ヒータ１０３と、を主要な構成としている。
ルツボ１０１は、一方向に長い桶状ないし樋状であって、輻射加熱により蒸発源である亜鉛を溶融する。なお、１気圧における亜鉛の融点は４１９℃、沸点は９０７℃である。このルツボ１０１は、水平に横倒しした円筒基調の加熱室１０２の中に開口部を上にして収容される。 The evaporation apparatus 100 has a crucible 101, a heating chamber 102, and a heater 103 as main components.
The crucible 101 has a bowl shape or bowl shape that is long in one direction, and melts zinc as an evaporation source by radiation heating. The melting point of zinc at 1 atm is 419 ° C. and the boiling point is 907 ° C. The crucible 101 is accommodated in a cylindrical-tone heating chamber 102 that is horizontally laid down with the opening portion facing up.

加熱室１０２は、上方の側面を軸に平行に切り欠いた位置から上方に立ち上がり形成された角筒様の取付口１２１が設けられている。そして取付口１２１上面は水平に広がる返し１２２が長手左右に形成されている。 The heating chamber 102 is provided with a rectangular tube-like attachment port 121 formed upward from a position where the upper side surface is cut out parallel to the axis. And the upper surface of the attachment port 121 is formed with horizontally extending barbs 122 on the left and right sides.

マスク１４１は、返し１２２と同じ幅であって取付口１２１を塞ぐ長方形基調の鋼板である。ただし、下面には取付口１２１に差し込み嵌合する長手の２本の脚１４２が備わる。ここで、脚１４２外側は取付口１２１内側と面接触をする関係にあり、後述するように、取付口１２１外側からの加熱を脚１４２も享受する。また、マスク１４１左右長手の片、すなわち返し１２２に対応する縁片部１４５、の下には炭素繊維からなるシート状のガスケットＧを挟み、縁片部１４５と返し１２２とがボルト留めされる。従来は、取付口１２１の内側にガスケットが介在し、必ずしも取付性に優れず、また気密性も十全でない場合があったところ、蒸発装置１００では、脚１４２と縁片部１４５とがＬ字となり、また、ガスケットＧが水平に配されて面接触するので、良好な気密性が保たれる。また、取付作業性にも優れることとなる。 The mask 141 is a rectangular steel plate having the same width as the barb 122 and closing the attachment port 121. However, the lower surface is provided with two long legs 142 that are inserted into and fitted into the attachment port 121. Here, the outer side of the leg 142 is in surface contact with the inner side of the attachment port 121, and the leg 142 also enjoys heating from the outer side of the attachment port 121, as will be described later. Further, a sheet-like gasket G made of carbon fiber is sandwiched between the left and right longitudinal pieces of the mask 141, that is, the edge piece 145 corresponding to the turn 122, and the edge piece 145 and the turn 122 are bolted. Conventionally, there has been a case where a gasket is interposed inside the mounting port 121, and the mounting property is not necessarily excellent and the airtightness is not sufficient. In the evaporator 100, the leg 142 and the edge piece 145 are L-shaped. In addition, since the gasket G is disposed horizontally and makes surface contact, good airtightness is maintained. In addition, the mounting workability is excellent.

マスク１４１は中央には孔１４３が所定間隔で一列に長手方向に配されスリット１４４を形成している。亜鉛蒸気はスリット１４４から放散され、上方のフィルムに蒸着していく。ルツボ１０１と加熱室１０２とスリット１４４が一方向に長い構成であるので、孔１４３の場所に依存せず、一様な蒸気放散が実現でき、製造する蒸着フィルムにムラが生じないようにしている。 In the center of the mask 141, holes 143 are arranged in a line at a predetermined interval in the longitudinal direction to form a slit 144. Zinc vapor is dissipated from the slit 144 and deposited on the upper film. Since the crucible 101, the heating chamber 102, and the slit 144 are long in one direction, uniform vapor dissipation can be realized regardless of the location of the hole 143, and unevenness is not generated in the produced vapor deposition film. .

加熱室１０２の外側周囲にはヒータ１０３が備わり加熱室１０２を加熱する。詳細には、加熱室１０２の長手方向（軸方向）に平行に配した１２本の棒状ヒータ１３１が配されている。図示したように、棒状ヒータ１３１は発熱抵抗体であって、端部でＵ字状に折り曲げられ、隣の棒状ヒータ１３１と同一回路、すなわち、直列接続するようにしている。なお、本実施の形態では、下４本が第１系統、取付口１２１近傍に配される４本を含み、上８本が第２系統として、別の組（別回路）としている。 A heater 103 is provided around the outside of the heating chamber 102 to heat the heating chamber 102. Specifically, twelve rod heaters 131 arranged in parallel to the longitudinal direction (axial direction) of the heating chamber 102 are arranged. As shown in the figure, the rod-shaped heater 131 is a heating resistor and is bent in a U shape at the end, and is connected in the same circuit as the adjacent rod-shaped heater 131, that is, in series. In the present embodiment, the lower four lines include the first system and the four lines arranged in the vicinity of the attachment port 121, and the upper eight lines are the second system, which is another set (separate circuit).

加熱室１０２の軸に沿って、左右対象に棒状ヒータ１３１が配されているので、加熱ムラが生じず、また、加熱室１０２が円筒基調であるので熱効率がよく好適な輻射加熱を実現する。 Since the rod heaters 131 are arranged on the left and right objects along the axis of the heating chamber 102, heating unevenness does not occur, and since the heating chamber 102 has a cylindrical tone, heat efficiency is good and suitable radiant heating is realized.

蒸発装置１００は、また、マスク１４１の直下にマスク１４１に平行に棒状のマスク用ヒータ１３２を具備する。マスク用ヒータ１３２は碍子により被覆されており、短絡が発生しないようにしている。マスク１４１はその構成上、ルツボ１０１からある程度離れているところに位置し、また、真空外部との境界であり、温度が下がりやすい。更に、亜鉛蒸気が狭いスリット１４４を通過するため、蒸気の速度が速まる。 The evaporation apparatus 100 also includes a rod-shaped mask heater 132 in parallel with the mask 141 immediately below the mask 141. The mask heater 132 is covered with an insulator so as not to cause a short circuit. The mask 141 is located at a certain distance from the crucible 101 due to its structure, and is a boundary with the outside of the vacuum, so that the temperature tends to decrease. Further, since the zinc vapor passes through the narrow slit 144, the velocity of the vapor is increased.

このため、通常であればスリット１４４部分に亜鉛が凝着しやすいところ、本蒸発装置１００では、凝着・凝固が発生しないように、マスク用ヒータ１３２がマスク１４１を十分加熱する。すなわち、亜鉛の再蒸発温度以上に加温する。また、取付口１２１左右の４本の棒状ヒータ１３１によっても、取付口１２１を介して脚１４２が加温され、マスク１４１の加熱が補助される。なお、マスク１４１とマスク用ヒータ１３２との距離は適宜設定する。たとえば１ｃｍとする例を挙げることができる。なお、マスク用ヒータ１３２は、前述の第２系統の一部に組み込んでもよいが、ここでは、独立した系統としている。 For this reason, normally, zinc easily adheres to the slit 144 portion. In the present evaporation apparatus 100, the mask heater 132 sufficiently heats the mask 141 so that adhesion and solidification do not occur. That is, it heats more than the re-evaporation temperature of zinc. Further, the four rod heaters 131 on the left and right of the attachment port 121 also heat the leg 142 through the attachment port 121 and assist the heating of the mask 141. Note that the distance between the mask 141 and the mask heater 132 is set as appropriate. For example, an example of 1 cm can be given. Note that the mask heater 132 may be incorporated into a part of the second system described above, but here is an independent system.

なお、棒状ヒータ１３１とマスク用ヒータ１３２は、メンテナンスまたは交換が容易なように、絶縁性を確保しつつ加熱室１０２に着脱可能にそれぞれ取り付けられている。 The rod heater 131 and the mask heater 132 are detachably attached to the heating chamber 102 while ensuring insulation so that maintenance or replacement is easy.

以上、本発明によれば、マスクの目詰まりが生じず、蒸着膜厚が一定かつ均質な真空蒸着フィルムを製造することができる。 As mentioned above, according to this invention, the clogging of a mask does not arise, but a vapor deposition film with a uniform and uniform vapor deposition film thickness can be manufactured.

なお、本発明は、上記の例に限定されない。図４に示したように、マスクにヒータを内蔵するようにしてもよい。なお、ヒータは発熱抵抗体（伝熱棒）を絶縁体（碍子）で***した態様であり、スリットの左右に設けている。このヒータ付マスクの場合は、ヒータとマスクを同時に交換することとなるので、作業性に優れる。なお、図４では、扁平な十字の孔が長手に連なりスリットを形成した例を示している。 The present invention is not limited to the above example. As shown in FIG. 4, a heater may be built in the mask. The heater is a mode in which a heating resistor (heat transfer rod) is covered with an insulator (insulator), and is provided on the left and right sides of the slit. In the case of this mask with a heater, since the heater and the mask are exchanged at the same time, the workability is excellent. FIG. 4 shows an example in which flat cross-shaped holes are continuous in the longitudinal direction to form slits.

本発明の真空蒸着装置により生産された亜鉛蒸着フィルムを所定幅に切り出して捲回し、たとえば、ＤＣ−ＡＣ変換時の平滑回路に用いることができる。 The zinc vapor-deposited film produced by the vacuum vapor deposition apparatus of the present invention can be cut into a predetermined width and wound, and can be used, for example, for a smoothing circuit during DC-AC conversion.

１真空蒸着装置
１０蒸着室
２０巻出体
３０クーリングロール
４０巻取部
５０アルミ蒸発源
１００蒸発装置
１０１ルツボ
１０２加熱室
１０３ヒータ
１２１取付口
１２２返し
１３１棒状ヒータ
１３２マスク用ヒータ
１４１マスク
１４２脚
１４３孔
１４４スリット
１４５縁片部
Ｇガスケット

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum evaporation apparatus 10 Deposition chamber 20 Unwinding body 30 Cooling roll 40 Winding part 50 Aluminum evaporation source 100 Evaporating apparatus 101 Crucible 102 Heating chamber 103 Heater 121 Mounting port 122 Return 131 Rod heater 132 Mask heater 141 Mask 142 Leg 143 Hole 144 Slit 145 Edge piece G Gasket

Claims

真空槽の中に長手を水平にして配置し、連続的に供給される帯状のフィルムに対して被蒸発物を蒸着させるための蒸発装置であって、
蒸発源を溶融する開口したルツボと、
ルツボを収容し横倒し姿勢の円筒基調の加熱室と、
加熱室外側に加熱室の軸に平行に配した複数の加熱室用発熱抵抗体と、
を有し、
加熱室に、側面を軸に平行に切り欠いて形成したまたは当該切欠位置から外側に立ち上げ形成した、軸方向に長い略長方形の取付口を設け、
更に、
取付口に着脱可能に取り付ける一方向に長いマスクであって、蒸発物を吹き出させるスリットを長手方向に設けたマスクと、
マスク直下またはマスク中に配し、マスクを蒸発源の再蒸発温度以上に加温するマスク用発熱抵抗体と、
を具備したことを特徴とする蒸発装置。 An evaporation device for horizontally depositing a longitudinal length in a vacuum chamber and depositing an evaporation target on a continuously supplied strip-shaped film,
An open crucible to melt the evaporation source;
A cylindrical heating chamber that houses the crucible and lies on its side,
A plurality of heating chamber heating resistors arranged outside the heating chamber in parallel to the axis of the heating chamber;
Have
The heating chamber is provided with a substantially rectangular attachment port that is formed by cutting the side surface in parallel to the axis or rising from the notch position and extending in the axial direction.
Furthermore,
A mask that is long in one direction and is detachably attached to the attachment port, and a mask that is provided with a slit in the longitudinal direction to blow off the evaporated material,
A heating resistor for the mask that is placed directly under or in the mask and heats the mask above the re-evaporation temperature of the evaporation source,
An evaporation apparatus comprising:

マスクは、取付口の内幅より幅広であって、
取付口の長手に差し込み嵌合する脚部と、
脚部基端からそれぞれ外側に延び出て取付口外側を覆う二つの長手の縁片部と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の蒸発装置。 The mask is wider than the inner width of the mounting opening,
A leg that plugs into and fits into the length of the mounting opening;
Two longitudinal edge pieces that extend outward from the base end of the leg and cover the outside of the mounting opening,
The evaporation apparatus according to claim 1, comprising:

加熱室用発熱抵抗体およびマスク用発熱抵抗体を棒状または柱状とし、端部で折り返しすべてまたは数本を組として直列接続したことを特徴とする請求項１または２に記載の蒸発装置。 3. The evaporator according to claim 1, wherein the heating resistor for the heating chamber and the heating resistor for the mask are formed in a rod shape or a column shape, and all or several of the folded portions are connected in series at the end.

被蒸発物が亜鉛または亜鉛化合物であり、フィルムコンデンサ製造用であることを特徴とする請求項１、２または３に記載の蒸発装置。 The evaporation apparatus according to claim 1, 2 or 3, wherein the substance to be evaporated is zinc or a zinc compound and is used for manufacturing a film capacitor.

請求項１〜４のいずれか一つに記載の蒸発装置を具備したことを特徴とする真空蒸着装置。 A vacuum evaporation apparatus comprising the evaporation apparatus according to claim 1.