KR101328788B1 - Linear Source For Large Area Substrate - Google Patents

Abstract

본 발명은 대면적용 선형 증발원에 관한 것으로, 도가니 교체가 용이하며, 고온 가열효율이 우수하고 증발원의 선팽창을 완충할 수 있는 선형 증발원을 제공하고자 한다.
본 발명에 따르면, 히터에 도가니를 서랍과 같이 인입/인출할 수 있게 구성하고, 히터에는 노즐 가열부를 두어 클로깅을 방지하고, 히터 몸체에 타공을 하거나 히터의 다리부를 곡선형으로 하거아 틈새를 다수 두어 전기저항을 조절함과 동시에 선팽창을 완충하게 하였다. The present invention relates to a large area linear evaporation source, and to provide a linear evaporation source that is easy to replace the crucible, excellent in high temperature heating efficiency and can buffer the linear expansion of the evaporation source.
According to the present invention, the crucible can be pulled into / out of the heater as a drawer, and the nozzle heater is placed in the heater to prevent clogging, perforating the heater body or curved the legs of the heater to form gaps. It was placed in a large number to adjust the electrical resistance and to buffer the linear expansion at the same time.

Description

대면적용 선형 증발원{Linear Source For Large Area Substrate}Linear Source For Large Area Substrate

본 발명은 반도체, 디스플레이 소자 제작에 사용되는 증발원에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는, 대면적 기판에 물질을 증착시키는 데 사용되는 대면적용 선형 증발원에 관한 것이다. The present invention relates to evaporation sources used in the manufacture of semiconductors and display devices, and more particularly, to linear evaporation sources for large areas used to deposit materials on large area substrates.

생산성 향상 등을 위해 반도체, 디스플레이 제작은 점점 더 대면적 기판을 사용하고 있다. 그에 따라 대면적 기판에 균일한 박막을 형성할 수 있는 길이의 선형 증발원을 필요로 하고 있다. 길이가 긴 선형 증발원의 경우, 양단부로 갈수록 박막 두께가 얇아지는 단부 효과(end effect)의 소거, 전 길이를 통해 균일한 온도로 가열할 수 있는 히터, 증발물이 분사되는 노즐 단부에서의 막힘 현상(clogging)을 방지할 수 있는 노즐 가열 등의 문제를 해결할 수 있어야 하고, 여기에 조립과 분리해체가 용이해야 한다. 증발원을 증착 공정에 1회 사용 후 도가니를 교체하거나 물질을 재충진 할 필요가 있기 때문에 이러한 작업에 편리성을 제공하지 않으면 생산성을 해할 수 있기 때문이다. In order to improve productivity, semiconductors and displays are increasingly using large-area substrates. Accordingly, there is a need for a linear evaporation source of a length capable of forming a uniform thin film on a large area substrate. In the case of a long linear evaporation source, elimination of the end effect of thinning the thinner the film thickness toward both ends, a heater that can be heated to a uniform temperature through the entire length, and clogging at the nozzle end where the evaporate is injected. Problems such as nozzle heating, which can prevent clogging, should be solved, and it should be easy to assemble and disassemble. This is because if the evaporation source is used once in the deposition process, the crucible must be replaced or the material needs to be refilled.

따라서, 본 발명의 목적은 단부 효과를 소거하고, 전 길이를 균일하게 고온으로 가열하며, 클로깅 현상을 방지할 수 있으며, 도가니의 장착과 탈착이 모두 용이한 새로운 구성의 대면적용 선형 증발원을 제공하고자 하는 것이다. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a large area linear evaporation source of a novel construction that eliminates end effects, uniformly heats the entire length to a high temperature, prevents clogging, and facilitates both mounting and detaching of the crucible. I would like to.

본 발명은,
히터 몸체 자체에 전원을 연결하여 발열 되게 하는 주울 열 가열방식의 히터; 및
상기 히터 몸체에 서랍의 인입 식으로 장착되고 인출될 수 있으며, 히터 몸체에 안착 되어 히터 몸체에 의해 직접 가열되는 하나 이상의 서랍식 도가니;를 포함하고, 상기 도가니는 교체시, 히터 몸체에 대해 서랍과 같이 인입 및 인출되고 상기 히터는 도가니가 서랍식으로 인입 및 인출될 수 있도록 도가니 인입부를 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원을 제공할 수 있다.According to the present invention,
Joule heat heating heater for connecting the power to the heater body itself to generate heat; And
One or more drawer crucibles mounted on the heater body may be mounted and withdrawn in a drawer, and seated on the heater body and directly heated by the heater body; the crucible may be replaced with a drawer for the heater body when replaced. The drawer and the drawer can provide a linear evaporation source, characterized in that the crucible is provided with a crucible inlet so that the crucible can be pulled in and out in a drawer type.

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또한, 번 발명은, 상기 도가니는 도가니 덮개를 구비하며, 상기 덮개는 증발물을 분사하는 노즐이 형성되고,In addition, the invention, the crucible is provided with a crucible cover, the cover is formed with a nozzle for spraying the evaporate,

상기 히터는 도가니를 가열하는 도가니 가열부와 노즐 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원을 제공할 수 있다.The heater may provide a linear evaporation source comprising a crucible heating unit and a nozzle heating unit for heating the crucible.

또한, 본 발명은, 상기 히터의 도가니 가열부는 다수의 타공을 형성하여 전기저항을 조절하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원을 제공할 수 있다.In addition, the present invention, the crucible heating unit of the heater can provide a linear evaporation source, characterized in that to form a plurality of perforations to control the electrical resistance.

또한, 본 발명은, 상기 히터는 다수의 도가니를 장착할 경우, 각각의 도가니 단부에 스토퍼(stopper)를 두어 고정하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원을 제공할 수 있다.In addition, the present invention, when mounting a plurality of crucibles, it is possible to provide a linear evaporation source, characterized in that by fixing a stopper (stopper) to the end of each crucible.

또한, 본 발명은, 상기 히터는 양단부에 히터 고정을 위한 다리부를 구비하며, 상기 다리부는 열팽창 완충 및 저항 조절을 위해, 곡선형으로 되거나 다수의 갭(gap)을 구비한 것을 특징으로 하는 선형 증발원을 제공할 수 있다.In addition, the present invention, the heater is provided with a leg portion for fixing the heater at both ends, the leg portion is a linear evaporation source, characterized in that it is curved or has a plurality of gaps (gap) for thermal expansion buffer and resistance control Can be provided.

또한, 본 발명은, 상기 도가니 각각은 물질을 담는 포켓;In addition, the present invention, each of the crucible is a pocket containing a material;

상기 포켓 상부의 공간으로 형성하는 완충부; 및A buffer part formed into a space above the pocket; And

상기 완충부 상단에 위치되는 노즐을 포함한 덮개에 노즐 가이드를 노즐 상부에 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원을 제공할 수 있다.It is possible to provide a linear evaporation source, characterized in that the nozzle guide is provided on the nozzle to the cover including the nozzle located on the upper end of the buffer.

또한, 본 발명은, 상기 히터의 삼면을 둘러싸는 제1 리플렉터;In addition, the present invention, the first reflector surrounding the three surfaces of the heater;

상기 히터의 양 측면을 둘러싸는 제2 리플렉터와 제3 리플렉터; 및Second and third reflectors surrounding both sides of the heater; And

상기 히터와 리플렉터 사이의 단락을 방지하도록 상기 히터와 리플렉터 사이에 삽입되는 절연체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원을 제공할 수 있다.
And an insulator inserted between the heater and the reflector to prevent a short circuit between the heater and the reflector.

본 발명에 따르면, 도가니를 히터 안으로 인입/인출될 수 있어, 도가니 교체시 복잡한 분해해체 작업을 요하지 않아 간편하다는 장점이 있다. According to the present invention, the crucible can be pulled in / out into the heater, there is an advantage that it does not require a complicated disassembly operation when replacing the crucible is simple.

또한, 본 발명의 히터는 도가니 가열부 외에 노즐 단부를 가열할 수 있는 노즐 가열부를 구비하여 금속서 증발물이 노즐에서 응결되어 클로깅 되는 현상을 방지할 수 있다. In addition, the heater of the present invention is provided with a nozzle heating portion capable of heating the nozzle end in addition to the crucible heating portion can prevent the phenomenon that the metal vapor evaporates condensed and clogged in the nozzle.

또한, 본 발명의 히터는 타공부, 다리 곡선화, 갭에 의한 경로신장으로 전기저항을 조절할 수 있어 길이가 긴 선형 증발원 전체에 대해 균일한 온도로 가열할 수 있어 대면적 기판에 균일한 품질의 박막을 증착할 수 있다. In addition, the heater of the present invention can control the electrical resistance by the perforation, leg curvature, path elongation by the gap, can be heated to a uniform temperature for the entire long evaporation source of long length to ensure uniform quality of the large area substrate Thin films can be deposited.

도 1은 본 발명의 실시예에 다른 선형 증발원의 분해 사시도 이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 선형 증발원의 사시도 이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 선형 증발원의 조립에 대한 부분 사시도 이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 히터 단면도들과 평면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 히터의 타공부를 보여주는 단면도들이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 히터의 다리부의 구성을 보여주는 단면도들이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 도가니 구성을 보여주는 단면도들과 평면도들이다.
도 8a 및 8b는 본 발명의 실시예에 따른 리플렉터 구성을 보여주는 사시도 이다.
도 9a 내지 9c는 본 발명의 실시예에 따른 리플렉터 변형 실시예를 나타내는 사시도 이다.
도 10a 및 10b는 본 발명의 실시예에 따른 금속 반사판의 배치를 상세히 나타낸 사시도 이다. 1 is an exploded perspective view of a linear evaporation source according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a linear evaporation source according to an embodiment of the present invention.
3 is a partial perspective view of the assembly of a linear evaporation source according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view and a plan view of a heater according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a cross-sectional view showing the perforations of the heater according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view showing the configuration of the leg portion of the heater according to an embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view and a plan view showing a crucible configuration according to an embodiment of the present invention.
8A and 8B are perspective views illustrating a reflector configuration according to an embodiment of the present invention.
9A to 9C are perspective views illustrating a reflector modified embodiment according to the embodiment of the present invention.
10A and 10B are perspective views showing in detail the arrangement of the metal reflector according to the embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 선형 증발원의 분해 사시도 이다. 1 is an exploded perspective view of a linear evaporation source according to the present invention.

전극부(1)는 주울(Jeoul)열 가열방식을 이용하는 히터(4)와 접속되며, 히터(4) 안쪽에 놓여져야 하는 도가니(5)는 히터(4)의 길이 단부의 개구부를 통해 서랍과 같이 인입되고 인출될 수 있어, 교체가 매우 편리하다. 히터(4)의 열을 도가니(5) 가열에 집중할 수 있도록 제1, 제2 및 제3 리플렉터(3, 7, 8)를 설치하며, 전극부(1) 등의 챔버 내 여타 가열에 의한 손상을 막기 위하여 워터 쿨링 재킷(2)을 설치한다. 이러한 선형 증발원의 길이를 길게 하여 대면적 기판에 증착 공정을 실시하여 전면적에 걸쳐 균일한 박막을 얻을 수 있으며, 필요에 따라 상향식이나 하향식으로 구성한다. The electrode part 1 is connected to the heater 4 using the Joule heat heating method, and the crucible 5 to be placed inside the heater 4 is connected to the drawer through the opening at the length end of the heater 4. Withdrawal and withdrawal are very convenient. The first, second and third reflectors 3, 7, 8 are installed to concentrate the heat of the heater 4 to the crucible 5 heating, and damage caused by other heating in the chamber such as the electrode unit 1 Install the water cooling jacket (2) to prevent. The length of the linear evaporation source is increased to perform a deposition process on a large-area substrate to obtain a uniform thin film over the entire area, and may be configured in a bottom-up or top-down manner as necessary.

또한, 상향식 및 하향식 증발원에서, 제 2 및 3 리플렉터(7, 8)는 히터(4)와의 단락 방지를 위한 간격을 두기 위해 고정 핀(10)과 너트를 이용하여 고정되며, 고정 핀(10)의 한쪽은 제2 및 제3 리플렉터(7, 8)에 고정하며 다른 한쪽은 워터 쿨링 재킷(2)에 고정하여 제 2 및 3 리플렉터(7, 8)와 히터(4)의 사이를 띄운다. In addition, in the bottom-up and top-down evaporation sources, the second and third reflectors 7 and 8 are fixed by using the fixing pin 10 and the nut to space the short circuit to prevent the short circuit with the heater 4, and the fixing pin 10 One side of is fixed to the second and third reflectors 7 and 8 and the other side is fixed to the water cooling jacket 2 to float between the second and third reflectors 7 and 8 and the heater 4.

제 1 리플렉터(3)는 워터 쿨링 재킷(2)에 고정하고, 제 1 리플렉터(3)는 단면이 H자 모양이고 양끝은 열린 형태이며, 제 2 및 제 3 리플렉터(7, 8)는 'ㄷ'자 모양이고 양끝은 막혀 있으며 히터(4)와의 단락 방지를 위해 제 2 및 제 3 리플렉터(7, 8)의 양끝의 안쪽부분과 히터(4) 사이에 간격을 두었으며 하향식 구조의 The first reflector 3 is fixed to the water cooling jacket 2, the first reflector 3 is H-shaped in cross section and open at both ends, and the second and third reflectors 7 and 8 are 'The shape is closed and both ends are closed and spaced between the inner part of both ends of the second and third reflectors (7, 8) and the heater (4) to prevent a short circuit with the heater (4)

경우 사이에 절연체를 넣는다.Insert an insulator between the cases.

도 2는 도 1의 선형 증발원을 조립한 사시도 이고, 도 3은 선형 증발원의 조립에 대한 부분 사시도 이다.2 is a perspective view of the assembly of the linear evaporation source of Figure 1, Figure 3 is a partial perspective view of the assembly of the linear evaporation source.

전극부(1)는 히터(4)의 다리부에 고정볼트(9)로 직접 접속되고, 히터(4)의 고정기능과 오믹(Ohmic) 접촉이 가능하며, 오링 실링 구조를 가지는 피크(peek) 재질의 플라스틱 판을 결합한 것으로 구성함이 바람직하다. The electrode part 1 is directly connected to the leg part of the heater 4 by the fixing bolt 9, and the fixing function of the heater 4 and ohmic contact are possible, and the peak has an O-ring sealing structure. It is preferable that the plastic plate made of a material is combined.

제1 리플렉터(3)는 H자 단면 형상을 통해 히터(4)의 삼면을 둘러싸며, 워터 쿨링 재킷(2)에 의한 히터(4) 냉각을 차단하고 히터(4) 발열의 방출을 최후에서 차단한다. 제2 리플렉터(7)는 노즐부분을 덮어 히터(4)의 발열을 반사 및 밀폐시킨다. 제3 리플렉터(8)는 제2 리플렉터(7)와 겹으로 구성되어 동일 기능을 강화하며, 제3 리플렉터(8)와 제2 리플렉터(7) 사이에 탄탈륨(Tantalum) 시이트와 같은 금속 반사판을 보강하여 기능을 더욱 강화할 수 있다. 이들의 상세 구조는 도 8에서 더 상세히 설명될 것이다. The first reflector 3 surrounds the three surfaces of the heater 4 through the H-shaped cross section, blocks the cooling of the heater 4 by the water cooling jacket 2 and finally blocks the emission of the heater 4 heat generation. do. The second reflector 7 covers the nozzle portion to reflect and seal the heat generated by the heater 4. The third reflector 8 is configured to overlap with the second reflector 7 to reinforce the same function, and reinforces a metal reflector plate such as tantalum sheet between the third reflector 8 and the second reflector 7. To further enhance functionality. Their detailed structure will be described in more detail in FIG.

도 4는 히터(4)의 구조를 나타내는 단면도들과 평면도이다. 4 is a sectional view and a plan view showing the structure of the heater 4.

상기 히터(4)는 그라파이트와 같은 도체 재질로 주울열 가열방식이며, 도가니를 물질 분사 플럭스 방향 이외의 모든 면에서 직접 가열한다. The heater 4 is a Joule heat heating method using a conductor material such as graphite, and directly heats the crucible in all aspects other than the material injection flux direction.

상기 히터(4)는 히터 고정부(41)를 양단부 상단에 구비하고 그로부터 아래로 연장된 다리부(42)를 구비하며, 상기 다리부(42)는 전류가 흐르는 경로에 포함되며, 전기저항을 조절하기 위한 구성이다. 히터(4) 내부에 안착 되어야 하는 도가니는 상술한 바와 같이, 도가니 인입부(43)를 통해 인입/인출된다. 이러한 구성은 도가니에 물질을 충진하거나 교체할 경우, 특별히 분해 조립 과정을 요하지 않는 편리성을 제공한다. 또한, 히터(4)는 노즐 부분을 가열하는 노즐 가열부(44)를 포함한다. 도 4의 경우, 하향식 증발원에 대한 경우로, 노즐 가열부(44)는 노즐이 형성되는 아래쪽에 형성되었으나, 상향식의 경우 윗 쪽에 형성된다. 노즐가열부(44)의 단면형상을 도 4의 정단면도에 나타내었으며, 도가니의 노즐부는 상기 노즐가열부(44)에 나란하게 형성되고, 노즐가열부(44)는 물질 플럭스를 간섭하지 않는다. 이러한 구성은 금속물질의 경우 노즐에서 온도가 낮아 응결되는 클로깅(clogging) 현상을 막을 수 있다. The heater 4 is provided with a heater fixing portion 41 on both ends of the upper end and a leg portion 42 extending downward therefrom, the leg portion 42 is included in the current flow path, and the electrical resistance It is a configuration to adjust. As described above, the crucible to be seated in the heater 4 is drawn / drawn through the crucible inlet 43. This configuration offers the convenience of not requiring disassembly and assembly, particularly when filling or replacing materials in the crucible. The heater 4 also includes a nozzle heater 44 for heating the nozzle portion. In the case of FIG. 4, in the case of the top-down evaporation source, the nozzle heating part 44 is formed at the bottom where the nozzle is formed, but is formed at the top in the bottom-up case. The cross-sectional shape of the nozzle heating unit 44 is shown in the front sectional view of FIG. 4, and the nozzle unit of the crucible is formed in parallel with the nozzle heating unit 44, and the nozzle heating unit 44 does not interfere with the material flux. Such a configuration may prevent clogging due to low temperature at the nozzle in the case of a metal material.

도 5와 도 6에는 히터(4)의 전기저항을 조절하기 위한 구성이 나타나있다. 도 5는 히터(4)에 타공부(20, 21, 22)를 두어 전기저항을 조절하는 경우를 나타내며, 히터의 다리부에 타공을 내는 경우(20, 21)와 히터 몸체 자체에 타공을 내는 경우(22)가 있다. 도 6은 다리부(30, 31, 32)에 의한 저항 조절 및 선 팽창 완충 구성이다. 다리부를 곡선화(30)하거나, 곡선화하면서 길이를 단축(31)하거나, 다수의 갭(32)을 형성하여 선팽창 시 이를 완충할 수 있게 하였다. 5 and 6 show a configuration for adjusting the electrical resistance of the heater 4. 5 shows a case in which the perforations 20, 21, 22 are placed on the heater 4 to control the electrical resistance, and when perforations are made in the leg portions of the heater 20 and 21 and perforations are applied to the heater body itself. There is a case (22). 6 is a resistance adjustment and line expansion buffer configuration by the legs (30, 31, 32). The legs were curved 30, shortened the length 31 while curving, or formed a plurality of gaps 32 to cushion them during linear expansion.

도 7은 본 실시예에 들어가는 도가니(5)의 구성을 상세히 나타낸다. Fig. 7 shows the configuration of the crucible 5 in this embodiment in detail.

히터(4)에 인입/인출되는 도가니(5)는 하나 이상으로 구성할 수 있으며, 도 7에서는 다수로 구성하고 있다. 절연체로 된, 다수의 도가니(51, 61)는 격벽과도 같은 스토퍼(53, 63)에 의해 위치고정되며, 물질을 담는 포켓(55, 65)과 노즐을 구비한다. 하향식의 경우, 노즐은 도가니의 포켓(55)과 일체로 구성되고, 덮개(52)로 덮으며, 상향식의 경우, 덮개(62) 안에 노즐이 형성된다. 다수의 도가니(51, 61) 각각은 모두 물질 충진과 노즐 사이에 빈 공간인 완충층(56, 66)을 가지며, 이는 물증발질이 상기 완충층(56, 66)에서 서로 소통되어 균일한 증기압을 형성하게 한다. 노즐에서 분사되는 물질 플럭스의 간섭을 막기 위해, 노즐 가이드(57, 67)를 구비한다. 노즐 가이드(57, 67)의 홀(hole) 사이즈를 위치에 따라 개별적으로 크게 하거나 작게 하여 단부 효과를 최소화한다. 노즐 가이드(57, 67)의 배치간격을 조절하여 단부 효과를 최소화할 수도 있다.One or more crucibles 5 drawn in / out of the heater 4 can be configured, and in FIG. A plurality of crucibles 51, 61, made of insulator, are positioned by stoppers 53, 63, which are like bulkheads, and have pockets 55, 65 and nozzles for containing the material. In the top-down case, the nozzle is integrally formed with the pocket 55 of the crucible, covered by the lid 52, and in the bottom-up case, a nozzle is formed in the lid 62. Each of the plurality of crucibles 51, 61 has buffer layers 56, 66, which are both empty spaces between the material filling and the nozzles, allowing water vaporization to communicate with each other in the buffer layers 56, 66 to form a uniform vapor pressure. do. Nozzle guides 57 and 67 are provided to prevent interference of the material flux emitted from the nozzles. The hole size of the nozzle guides 57, 67 is individually increased or decreased depending on the position to minimize the end effect. It is also possible to minimize the end effect by adjusting the spacing of the nozzle guides (57, 67).

도 8a 및도 8b 및 도 9a 내지 도 9c는 리플렉터들을 나타낸다. 8A and 8B and 9A-9C show reflectors.

리플렉터들은 히터에 대한 보온을 주기능으로 하며, 제1 리플렉터(70)는 그라파이트, Ta, Mo, Nd와 같은 소재의 H 자 단면 구조물로 구성하고, 제2 리플렉터(71)는 하나 이상의 그라파이트 등의 고온 내열재로 구성하며, 제3 리플렉터(72)는 제2 리플렉터(71)와 이중구조를 이룬다. 상기 제1, 제2 및 제3 리플렉터는 기본적으로 히터를 감싸는 구조이며, 히터를 제 2 리플렉터(71)가 우선적으로 감싸며 제 2 리플렉터(71)를 제 3 리플렉터(72)가 감싸고, 제 2 리플렉터(71)와 제 3 리플렉터(72) 사이의 3 면에 금속 반사판(74)이 끼워지며 제 3 리플렉터(72)를 The reflectors have a main function of keeping warm to the heater, the first reflector 70 is composed of H-shaped cross-section structure of the material, such as graphite, Ta, Mo, Nd, the second reflector 71 is one or more graphite The third reflector 72 forms a dual structure with the second reflector 71. The first, second and third reflectors basically have a structure that surrounds the heater, the second reflector 71 first surrounds the heater, the third reflector 72 surrounds the second reflector 71, and the second reflector. The metal reflecting plate 74 is fitted to the three surfaces between the 71 and the third reflector 72, and the third reflector 72 is mounted.

제 1 리플렉터(70)가 감싸며 제 1 리플렉터(70)와 워터 쿨링 재킷 사이의 3 면에 금속 반사판이 끼워지는 구성이다.The first reflector 70 is wrapped and the metal reflector is fitted to three surfaces between the first reflector 70 and the water cooling jacket.

히터와 제2 리플렉터(71) 사이에는 절연체(73)를 두어 단락을 방지한다. An insulator 73 is provided between the heater and the second reflector 71 to prevent a short circuit.

도 9a 내지 도 9c에는 리플렉터들의 변형예를 나타내었다. 9A to 9C show modifications of the reflectors.

도 9a는 제1 리플렉터에 대해 H형 단면구조를 대체하여 제1 리플렉터 상부를 아치형으로 구성한 것이고, 도 9b는 제2 리플렉터에 반달형 함몰부를 만들어 반사효율을 높인 것이고, 도 9c는 제2 리플렉터와 제3 리플렉터의 상단부에 이들을 감싸는 조립체를 더 구비하여 고온에 노출되어 쉽게 부식될 수 있는 부위를 보호한 것이다. 도 9c의 구성은 고가의 탄탈륨 보다 저렴한 소재로 리플렉터들을 만들어도 수명을 연장할 수 있는 장점을 지닌다. FIG. 9A is an arc-shaped upper part of the first reflector instead of the H-shaped cross-sectional structure of the first reflector, and FIG. 9B is a half moon recessed part in the second reflector to increase reflection efficiency, and FIG. 9C is a second reflector and a second reflector. 3 The upper part of the reflector is further provided with an assembly surrounding them to protect the areas that can be easily corroded by exposure to high temperatures. The configuration of FIG. 9C has an advantage of extending the life even if reflectors are made of a material that is cheaper than expensive tantalum.

이와 같이 하여 대면적 기판 용 고온 선형 증발원을 구성할 수 있다. In this manner, a high temperature linear evaporation source for a large area substrate can be configured.

도 10a와 도 10b에서는 금속 반사판(74)의 배치를 알아보기 쉽도록 도시하였다.
10A and 10B, the arrangement of the metal reflector 74 is illustrated for ease of understanding.

본 발명의 구성은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해서 얼마든지 다양한 응용과 변형이 가능함은 자명하다.The configuration of the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it is obvious that various applications and modifications can be made by those skilled in the art.

1: 전극부
2: 워터 쿨링 재킷
3, 70: 제1 리플렉터
4: 히터
5, 55, 65: 도가니
6, 73 : 절연체
7, 71 : 제2 리플렉터
8, 72 : 제3 리플렉터
9: 고정볼트
10: 고정 핀
20, 21, 22: 타공부
30, 31, 32, 42: 다리부
41: 히터 고정부
43: 도가니 인입부
44: 노즐 가열부
52, 62: 덮개
53, 63: 스토퍼
54, 64: 노즐
55, 65: 포켓
56, 66: 완충층
57, 67: 노즐 가이드
74: 금속 반사판1: electrode part
2: water cooling jacket
3, 70: first reflector
4: Heater
5, 55, 65: crucible
6, 73: insulator
7, 71: second reflector
8, 72: 3rd reflector
9: Fixing bolt
10: retaining pin
20, 21, 22: puncher
30, 31, 32, 42: leg
41: heater fixing part
43: crucible entry
44: nozzle heating part
52, 62: cover
53, 63: stopper
54, 64: nozzle
55, 65: pocket
56, 66: buffer layer
57, 67: nozzle guide
74: metal reflector

Claims (1)

히터 몸체 자체에 전원을 연결하여 발열 되게 하는 주울 열 가열방식의 히터; 및
상기 히터 몸체에 서랍의 인입 식으로 장착되고 인출될 수 있으며, 히터 몸체에 안착 되어 히터 몸체에 의해 직접 가열되는 하나 이상의 서랍식 도가니;를 포함하고, 상기 도가니는 교체시, 히터 몸체에 대해 서랍과 같이 인입 및 인출되고 상기 히터는 도가니가 서랍식으로 인입 및 인출될 수 있도록 도가니 인입부를 구비하고, 도가니를 물질 분사 플럭스 방향 이외의 모든 면에서 직접 가열하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.





Joule heat heating heater for connecting the power to the heater body itself to generate heat; And
One or more drawer crucibles mounted on the heater body may be mounted and withdrawn in a drawer, and seated on the heater body and directly heated by the heater body; the crucible may be replaced with a drawer for the heater body when replaced. A linear evaporation source, characterized in that the heater has a crucible inlet so that the crucible can be pulled in and out in a drawer-type manner, and the crucible is directly heated on all sides other than the material injection flux direction.

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