JP2016070873A - 多結晶シリコンの表面清浄度評価方法および品質保証方法 - Google Patents
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Abstract
Description
無機元素の分析方法として、多元素を同時に且つ高感度で測定可能なICP質量分析法(ICP−MS法)が広く用いられる。一般的なICP−MS装置では、測定対象試料(検体)の分解溶液(試験液)をプラズマ中に噴霧し、このプラズマ中で生成する測定対象元素のイオン種を、質量分析計で分離して定量がなされる。
従来、多結晶シリコン表面の汚染物は、例えばフッ硝酸混合液により表面を数μm程度エッチングで取り除けば、十分に除去できるものと考えられてきた。
Claims (3)
- 多結晶シリコンの表面清浄度評価方法であって、
多結晶シリコンの表面を酸で溶解して得た抽出液を90℃以下の条件で蒸発乾固させる第1ステップと、
該蒸発乾固後の残留物にフッ酸を添加して90℃以下の条件で再び蒸発乾固させる第2ステップと、
該再度の蒸発乾固後の残留物にフッ酸を添加して90℃以下の条件でもう一度蒸発乾固させる第3のステップと、
前記第3のステップの蒸発乾固で得られた残留物に超純水を加えて試験液とする第4のステップを備え、
前記試験液の質量分析結果に基づいて前記多結晶シリコンの表面のリン(P)濃度を定量して該多結晶シリコンの表面清浄度を評価する方法。 - 多結晶シリコンの表面清浄度評価方法であって、
多結晶シリコンの表面を10μm以上の取り代で酸で溶解して得た抽出液を試験液とし、該試験液の質量分析結果に基づいて前記多結晶シリコンの表面金属濃度を定量して該多結晶シリコンの表面清浄度を評価する方法。 - 請求項1または2に記載の方法で評価した結果に基づき、前記多結晶シリコン表面の清浄度を保証する、多結晶シリコンの品質保証方法。
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