JP2016061729A - 光子検出素子、光子検出装置、及び放射線分析装置 - Google Patents

光子検出素子、光子検出装置、及び放射線分析装置 Download PDF

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寛 太田
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寛 太田
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Go Kawada
剛 河田
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Hideyuki Funaki
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Tsutomu Hasegawa
励 長谷川
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Abstract

【課題】アバランシェフォトダイオードの増倍率の温度特性を容易に補償することができる光子検出素子、光子検出装置、及び放射線分析装置を提供することである。【解決手段】実施形態の光子検出素子は、1つ以上のアバランシェフォトダイオードと、アバランシェフォトダイオードのカソードと外部の電源との間に接続される非線形回路とを有する。非線形回路は、アバランシェフォトダイオードのブレークダウン電圧の温度変化に対する変動を示す第1温度係数に対し、カソードの電位が設定電位となるように定電流駆動された場合の温度変化に対する設定電位の変動を示す第2温度係数が略同じにされている。【選択図】図1

Description

本発明の実施形態は、光子検出素子、光子検出装置、及び放射線分析装置に関する。
医療用途などの高計数下で使用するフォトンカウンティング方式の放射線検出において、放射線光子のエネルギーを正確に求めるには、放射線光子を検出する光子検出用アバランシェフォトダイオード(APD)の光電変換利得を一定にして計測を行う必要がある。
APDは、ブレークダウン電圧よりも高い電圧がアノードカソード間に印加されて、ガイガーモードで動作する。APDの光電変換利得は、ブレークダウン電圧に対して過剰に印加された電圧(オーバー電圧)に比例する。一方で、ブレークダウン電圧は、温度に応じて変動する。そのため、APDは、周辺温度が変動するとオーバー電圧が変動するため、光電変換利得が変動する。よって、APDの光電変換利得を一定にして計測を行うためには、温度変動に関わらずAPDにかかるオーバー電圧を一定にする必要がある。
また、APDの周囲の温度を温度センサによって検出し、CPUを含む周辺回路によってAPDの電源電圧を温度変化に応じて制御するフィードバック制御が知られている。
特開2002−84235号公報
しかしながら、温度に応じてアバランシェフォトダイオードに印加する逆電圧を変化させるためには、温度センサ、温度センサ駆動回路及びバイアス電圧変更回路などが必要となり、構成が複雑になって処理時間も長くなってしまうという問題があった。本発明が解決しようとする課題は、アバランシェフォトダイオードの増倍率の温度特性を容易に補償することができる光子検出素子、光子検出装置、及び放射線分析装置を提供することである。
実施形態の光子検出素子は、1つ以上のアバランシェフォトダイオードと、アバランシェフォトダイオードのカソードと外部の電源との間に接続される非線形回路とを有する。非線形回路は、アバランシェフォトダイオードのブレークダウン電圧の温度変化に対する変動を示す第1温度係数に対し、カソードの電位が設定電位となるように定電流駆動された場合の温度変化に対する設定電位の変動を示す第2温度係数が略同じにされている。
実施形態にかかる光子検出装置の構成を模式的に例示する構成図。 APD及びダイオードの具体的なデバイス構造例を示す図。 実施形態にかかる光子検出装置の第1変形例を示す図。 APD及びダイオードの具体的なデバイス構造例を示す図。 実施形態にかかる光子検出装置の第2変形例を示す図。 実施形態にかかる光子検出素子の具体的な第1構成例を模式的に示す図。 実施形態にかかる光子検出素子の具体的な第2構成例を模式的に示す図。 実施形態にかかる放射線分析装置の構成例を示す構成図。 放射線分析装置における光子検出装置の位置を模式的に示した模式図。
以下に添付図面を参照して、実施形態にかかる光子検出装置100について説明する。
(実施形態)
図1は、実施形態にかかる光子検出装置100の構成を模式的に例示する構成図である。図1に示すように、光子検出装置100は、例えば高電圧レギュレータ(電源)110、電流シンク部112及び光子検出素子120を有する。
高電圧レギュレータ110は、光子検出素子120に対し、逆電圧を降伏電圧以上に設定したガイガーモードで動作するように電圧を印加する。電流シンク部112は、高電圧レギュレータ110によって光子検出素子120の後述する非線形回路(ダイオード122等)を定電流駆動させるように電流を引き込む。電流シンク部112は、抵抗であってもよい。
光子検出素子120は、光子を検出する画素121と、ダイオード(非線形回路)122とを有する。また、光子検出素子120は、高電圧レギュレータ110の出力電圧Vが印加される端子123と、電流シンク部112に対して電流を出力する端子124と、画素121が検出した光子に対応する電流を出力する端子125とが設けられている。
なお、光子検出素子120は、図1において1つの画素121と、1つのダイオード122とを有するように示されているが、図7を用いて後述するように、例えば複数の画素と、複数のダイオードとを有するように構成される。また、ダイオード122は、画素121に含まれるように構成されてもよい。
画素121は、例えば複数のアバランシェフォトダイオード(APD)126と、複数のクエンチング抵抗127とを有し、光子が入射されたAPD126がクエンチング抵抗127を介して出力する電荷量を示すパルスそれぞれを重ねて端子125から出力する。つまり、光子検出素子120は、画素毎に検出した光子数に応じて電流を出力する。
APD126のカソード電位Vは、下式1に示すように高電圧レギュレータ110の出力電圧V及びダイオード122の順方向電圧Vによって決定される。
=V−V ・・・(1)
つまり、ダイオード122は、APD126のカソードと高電圧レギュレータ110の間に接続され、APD126のカソード電位制御用ダイオードとして用いられている。端子125(APD126のアノード側)は、所定の電位Vとなるように電圧が印加されている。
また、ダイオード122の順方向電圧Vは、下式2に示すように、定電流源として動作する電流シンク部112によって引き込むシンク電流Ibにより決定される。
=T×(k/q)×log(I/I+1) ・・・(2)
ここで、Tはダイオードの温度、kはボルツマン定数、qは電荷素量、Iはダイオードの濃度プロファイル等で決定される暗電流である。
また、上式2の温度T以外の定数項をaとすると、順方向電圧Vは温度係数aを有する下式3のように示される。
=a×T ・・・(3)
また、APD126のブレークダウン電圧Vbrは、下式4に示すようにダイオードの温度T、温度0Kにおけるブレークダウン電圧V、温度係数bにより決定される。
br=V+b×T ・・・(4)
そして、ブレークダウン電圧よりも過剰にAPD126に印加されたオーバー電圧Vovは、下式5によって示される。
ov=(V−V)−Vbr=(V−a×T)−V−(V+b×T)
・・・(5)
また、温度が初期値T1からT2に変動したとすると、温度に対するオーバー電圧の変動分ΔVovは、下式6によって示される。
ΔVov
=((V−a×T1)−V−(V+b×T1))−((V−a×T2)−V−(V+b×T2))
=−a×(T1−T2)+b×(T1−T2) ・・・(6)
ここで、ダイオード122の順方向電圧Vの温度係数aと、APD126のブレークダウン電圧の温度係数bが等しければ、温度変動によるオーバー電圧の変動分はキャンセルされるため、APD126のアノードカソード間には常に一定のオーバー電圧が印加される。つまり、APD126のブレークダウン電圧の温度係数bに合わせて、ダイオード122の順方向電圧Vの温度係数aを、濃度プロファイル等の設計により合わせ込むことにより、オーバー電圧の変動分のキャンセルの精度を上げることが可能となる。
図2は、APD126及びダイオード122の具体的なデバイス構造例を示す図である。図2に示すように、APD126は、配線(第1配線層)130を介して、絶縁層131に積層されたポリシリコン132が形成する抵抗(クエンチング抵抗127)がコンタクト133によって接続される。APD126とダイオード122とは、素子分離134によって分離されている。ダイオード122は、積層方向に構成されており、コンタクト133によって配線130に接続される。
図3は、光子検出装置100の第1変形例(光子検出装置100a)を示す図である。図3に示すように、光子検出装置100aは、例えば高電圧レギュレータ110、電流シンク部112及び光子検出素子120aを有する。なお、図3に示した光子検出装置100aの構成部分のうち、光子検出装置100(図1)に示した構成部分と実質的に同じものには、同一の符号が付してある。
光子検出素子120aは、画素121と、直列に接続された複数のダイオード(非線形回路)122aとを有する。光子検出素子120aにおいて、APD126のカソード電位Vは、下式7に示すように高電圧レギュレータ110の出力電圧V及び直列に接続された複数のダイオード122aの順方向電圧Vによって決定される。
=V−n×V ・・・(7)
ここで、nは、直列に接続された複数のダイオード122aの数である。複数のダイオード122aそれぞれの順方向電圧Vは、定電流源として動作する電流シンク部112によって引き込むシンク電流Ibにより決定される。
また、温度が初期値T1からT2に変動したとすると、温度に対するオーバー電圧の変動分ΔVovは、下式8によって示される。
ΔVov
=((V−n×a×T1)−V−(V+b×T1))−((V−n×a×T2)−V−(V+b×T2))
=−a×(T1−T2)+b×(T1−T2) ・・・(8)
ここで、ダイオード122aの順方向電圧Vの温度係数aとダイオード122aの数nとの積と、APD126のブレークダウン電圧の温度係数bが等しければ、温度変動によるオーバー電圧の変動分はキャンセルされるため、APD126のアノードカソード間には常に一定のオーバー電圧が印加される。つまり、APD126のブレークダウン電圧の温度係数bに合わせて、ダイオード122aの数nを設定することにより、オーバー電圧の変動分のキャンセルの精度を上げることが可能となる。
図4は、APD126及びダイオード122aの具体的なデバイス構造例を示す図である。なお、図4に示した構成部分のうち、図2に示した構成部分と実質的に同じものには、同一の符号が付してある。図4に示すように、複数のダイオード122aは、それぞれコンタクト133によって配線130に接続されることにより直列に接続される。
図5は、光子検出装置100の第2変形例(光子検出装置100b)を示す図である。図5に示すように、光子検出装置100bは、例えば高電圧レギュレータ110、電流シンク部112及び光子検出素子120bを有する。なお、図5に示した光子検出装置100bの構成部分のうち、光子検出装置100(図1)に示した構成部分と実質的に同じものには、同一の符号が付してある。
光子検出素子120bは、画素121と、例えば1つのツェナーダイオード(非線形回路)122bとを有する。ツェナーダイオード122bは、カソードがAPD126それぞれのアノードに接続され、高電圧レギュレータ110によって逆方向電圧VRが印加されている。
そして、APD126のブレークダウン電圧の温度変化に対する変動を示す温度係数(第1温度係数)に対し、ツェナーダイオード122bのブレークダウン電圧の温度変化に対する変動を示す温度係数(第2温度係数)は、略同じにされている。つまり、ツェナーダイオード122bは、図1に示したダイオード122よりも少ない電流でAPD126のカソードの電位を定める。なお、略同じとは、例えば、第1温度係数の値を基準として、第2温度係数の値が第1温度係数の値の±30%の範囲内にあることを示すとする。さらに、第2温度係数の値は、第1温度係数の値の±10%の範囲内にあることがより好ましい。もちろん、光子検出素子120bは、第2温度係数の値が上述した範囲内に含まれなくても、APD126の増倍率の温度特性を補償する場合にはこれも許容する。例えば、光子検出素子120bは、使用環境及び許容誤差等に応じて第2温度係数が任意に設定されてもよい。
次に、光子検出素子120(光子検出素子120a、光子検出素子120b)の具体的な構成例について説明する。図6は、光子検出素子120(光子検出素子120a、光子検出素子120b)の具体的な第1構成例を模式的に示す図である。図6に示すように、例えば光子検出素子120は、光子を検出する画素140内に複数の第1セル141と、複数の第2セル142と、TSV(Through Silicon Via)143とを有するように構成される。
第1セル141それぞれは、例えば上述したAPD126を1つ含み、光子を検出する。画素140内の各第1セル141の出力は、いずれもTSV143に接続されている。TSV143は、例えば上述した端子125に接続される。そして、各第1セル141が光子を検出して出力するパルスは重ねられて画素毎にTSV143を介して端子125から電流として出力される。つまり、画素140内における第1セル141の数は、画素当たりのダイナミックレンジに相当する。
第2セル142は、例えば上述したダイオード122(複数のダイオード122a、又はツェナーダイオード122b)を含み、APD126のカソードに接続される。例えば、各第2セル142が含むダイオード122は、各第1セル141が含むAPD126のカソードにそれぞれ一括して接続される。
図7は、光子検出素子120(光子検出素子120a、光子検出素子120b)の具体的な第2構成例を模式的に示す図である。図7に示すように、例えば光子検出素子120は、光子を検出する複数の画素140aを有し、各画素140a内に複数の第1セル141と、1つの第2セル142と、TSV(Through Silicon Via)143とを有するように構成される。なお、図7に示した構成部分のうち、図6に示した構成部分と実質的に同じものには、同一の符号が付してある。
第2セル142は、画素140aごとにAPD126のカソードに接続される。また、全ての第2セル142が全ての画素140aのAPD126のカソードに一括して接続されてもよい。つまり、光子検出素子120は、画素単位でAPD126の温度補償を行うように構成されてもよいし、チップ単位でAPD126の温度補償を行うように構成されてもよい。
このように、光子検出素子120のダイオード122(非線形回路)が、APD126のブレークダウン電圧の温度変化に対する変動を示す温度係数(第1温度係数)に対し、APD126のカソードの電位が設定電位となるように定電流駆動された場合の温度変化に対する設定電位の変動を示す温度係数(第2温度係数)が略同じにされているので、APD126の増倍率の温度特性を容易に補償することができる。具体的には、光子検出素子120、光子検出素子120a及び光子検出素子120bは、外付けの温度測定素子及び電圧制御回路が設けられなくても、APD126の増倍率の温度特性を容易に補償することができる。また、増倍率の補償は、アナログドメインでの電圧制御であるため、高速である。
(実施例)
次に、放射線検出装置でもある光子検出装置100を有する放射線分析装置について説明する。図8は、光子検出装置100を有する放射線分析装置の構成例を示す構成図である。図9は、図8に示した放射線分析装置における光子検出装置100の位置を模式的に示した模式図である。放射線分析装置は、フォトンカウンティングCTを実行可能なX線CT装置である。すなわち、放射線分析装置は、光子検出装置100を備え、フォトンカウンティングによって被検体を透過したX線に由来する光子も計数することにより、SN比の高いX線CT画像データを再構成可能な装置である。
個々の光子は、異なるエネルギーを有する。フォトンカウンティングCTでは、光子のエネルギー値の計測を行なうことにより、X線のエネルギー成分の情報を得ることができる。フォトンカウンティングCTでは、1種類の管電圧でX線を照射することで収集されたデータを複数のエネルギー成分に分けて画像化することができる。
図8に示すように、放射線分析装置は、架台装置10と、寝台装置20と、コンソール装置30とを有する。
架台装置10は、被検体PにX線を照射し、被検体Pを透過したX線を計数する装置であり、X線照射制御部11と、X線発生装置12と、検出器13(光子検出装置100を含む)と、収集部14と、回転フレーム15と、架台駆動部16とを有する。
回転フレーム15は、X線発生装置12と検出器13とを被検体Pを挟んで対向するように支持し、後述する架台駆動部16によって被検体Pを中心した円軌道にて高速に回転する円環状のフレームである。
X線発生装置(放射線源)12は、X線を発生し、発生したX線を被検体Pへ照射する装置であり、X線管12aと、ウェッジ12bと、コリメータ12cとを有する。
X線管12aは、後述するX線発生装置12により供給される高電圧により被検体PにX線ビームを照射する真空管であり、回転フレーム15の回転にともなって、X線ビームを被検体Pに対して照射する。X線管12aは、ファン角及びコーン角を持って広がるX線ビームを発生する。
ウェッジ12bは、X線管12aから曝射されたX線のX線量を調節するためのX線フィルタである。具体的には、ウェッジ12bは、X線管12aから被検体Pへ照射されるX線が、予め定められた分布になるように、X線管12aから曝射されたX線を透過して減衰するフィルタである。
例えば、ウェッジ12bは、所定のターゲット角度や所定の厚みとなるようにアルミニウムを加工したフィルタである。なお、ウェッジは、ウェッジフィルター(wedge filter)や、ボウタイフィルター(bow-tie filter)とも呼ばれる。また、放射線分析装置は、撮影条件に応じて切り替えられる複数種類のウェッジ12bを有する。例えば、後述するX線照射制御部11は、撮影条件に応じてウェッジ12bを切り替える。例えば、X線発生装置12は、2種類のウェッジを有する。
コリメータ12cは、後述するX線照射制御部11の制御により、ウェッジ12bによってX線量が調節されたX線の照射範囲を絞り込むためのスリットである。
X線照射制御部11は、高電圧発生部として、X線管12aに高電圧を供給する装置であり、X線管12aは、X線照射制御部11から供給される高電圧を用いてX線を発生する。X線照射制御部11は、X線管12aに供給する管電圧や管電流を調整することで、被検体Pに対して照射されるX線量を調整する。
また、X線照射制御部11は、ウェッジ12bの切り替えを行なう。また、X線照射制御部11は、コリメータ12cの開口度を調整することにより、X線の照射範囲(ファン角やコーン角)を調整する。なお、放射線分析装置は、複数種類のウェッジを、操作者が手動で切り替えるものであってもよい。
架台駆動部16は、回転フレーム15を回転駆動させることによって、被検体Pを中心とした円軌道上でX線発生装置12と検出器13とを旋回させる。
検出器13は、図9に示した位置に光子検出装置100を備え、X線が入射するごとに、当該X線のエネルギー値を計測可能な信号を出力する。光子検出装置100は、図示しない蛍光体に入射されたX線により発生した光子を複数の画素140によって検出する構成となっている。X線は、例えば、X線管12aから照射され被検体Pを透過したX線である。放射線分析装置は、演算処理を行なうことで、光子検出装置100が検出した放射線のエネルギー値を計測することができる。
収集部14(図8)は、検出器13の出力信号を用いた計数処理の結果である計数情報を収集する。すなわち、収集部14は、検出器13から出力される個々の信号を弁別して、計数情報を収集する。計数情報は、X線管12aから照射され被検体Pを透過したX線が入射するごとに検出器13が出力した個々の信号から収集される情報である。具体的には、検出器13に入射したX線の計数値とエネルギー値とが対応付けられた情報である。収集部14は、収集した計数情報を、コンソール装置30に送信する。
寝台装置20は、被検体Pを載せる装置であり、天板22と、寝台駆動装置21とを有する。天板22は、被検体Pが載置される板であり、寝台駆動装置21は、天板22をZ軸方向へ移動して、被検体Pを回転フレーム15内に移動させる。
なお、架台装置10は、例えば、天板22を移動させながら回転フレーム15を回転させて被検体Pをらせん状にスキャンするヘリカルスキャンを実行する。または、架台装置10は、天板22を移動させた後に被検体Pの位置を固定したままで回転フレーム15を回転させて被検体Pを円軌道にてスキャンするコンベンショナルスキャンを実行する。または、架台装置10は、天板22の位置を一定間隔で移動させてコンベンショナルスキャンを複数のスキャンエリアで行なうステップアンドシュート方式を実行する。
コンソール装置30は、操作者による放射線分析装置の操作を受け付けるとともに、架台装置10によって収集された計数情報を用いてX線CT画像データを再構成する装置である。コンソール装置30は、入力装置31と、表示装置32と、スキャン制御部33と、前処理部34と、投影データ記憶部35と、画像再構成部36と、画像記憶部37と、制御部38とを有する。
入力装置31は、放射線分析装置の操作者が各種指示や各種設定の入力に用いるマウスやキーボード等を有し、操作者から受け付けた指示や設定の情報を、制御部38に転送する。例えば、入力装置31は、操作者から、X線CT画像データの撮影条件や、X線CT画像データを再構成する際の再構成条件や、X線CT画像データに対する画像処理条件等を受け付ける。
表示装置32は、操作者によって参照されるモニタであり、制御部38による制御のもと、X線CT画像データを操作者に表示したり、入力装置31を介して操作者から各種指示や各種設定等を受け付けるためのGUI(Graphical User Interface)を表示したりする。
スキャン制御部33は、後述する制御部38の制御のもと、X線照射制御部11、架台駆動部16、収集部14及び寝台駆動装置21の動作を制御することで、架台装置10における計数情報の収集処理を制御する。
前処理部34は、収集部14から送信された計数情報に対して、対数変換処理、オフセット補正、感度補正、ビームハードニング補正等の補正処理を行なうことで、投影データを生成する。
投影データ記憶部35は、前処理部34により生成された投影データを記憶する。すなわち、投影データ記憶部35は、X線CT画像データを再構成するための投影データ(補正済み計数情報)を記憶する。なお、以下では、投影データを計数情報として記載する場合がある。
画像再構成部36は、投影データ記憶部35が記憶する投影データを用いてX線CT画像データを再構成する。再構成方法としては、種々の方法があり、例えば、逆投影処理が挙げられる。また、逆投影処理としては、例えば、FBP(Filtered Back Projection)法による逆投影処理が挙げられる。また、画像再構成部36は、X線CT画像データに対して各種画像処理を行なうことで、画像データを生成する。画像再構成部36は、再構成したX線CT画像データや、各種画像処理により生成した画像データを画像記憶部37に格納する。
ここで、フォトンカウンティングCTで得られる計数情報から生成された投影データには、被検体Pを透過することで減弱されたX線のエネルギー情報が含まれている。このため、画像再構成部36は、例えば、特定のエネルギー成分のX線CT画像データを再構成することができる。また、画像再構成部36は、例えば、複数のエネルギー成分それぞれのX線CT画像データを再構成することができる。
また、画像再構成部36は、例えば、各エネルギー成分のX線CT画像データの各画素にエネルギー成分に応じた色調を割り当て、エネルギー成分に応じて色分けされた複数のX線CT画像データを生成することができ、更に、これら複数のX線CT画像データを重畳した画像データを生成することができる。
また、画像再構成部36は、物質固有のK吸収端を利用して、当該物質の同定が可能となる画像データを生成することができる。K吸収端の前後では、X線の減弱係数が大きく異なるため、計数値も大きく変化する。例えば、画像再構成部36は、K吸収端より小さいエネルギー領域の計数情報を再構成した画像データと、当該K吸収端より大きいエネルギー領域の計数情報を再構成した画像データとを差分した差分画像データを生成する。例えば、造影剤の主成分のK吸収端を用いて生成された差分画像データは、当該造影剤が存在する領域が主に描出された画像となる。また、画像再構成部36が生成する他の画像データとしては、単色X線画像データや密度画像データ、実効原子番号画像データ等が挙げられる。
制御部38は、架台装置10、寝台装置20及びコンソール装置30の動作を制御することによって、放射線分析装置の全体制御を行う。具体的には、制御部38は、スキャン制御部33を制御することで、架台装置10で行なわれるCTスキャンを制御する。また、制御部38は、前処理部34や、画像再構成部36を制御することで、コンソール装置30における画像再構成処理や画像生成処理を制御する。また、制御部38は、画像記憶部37が記憶する各種画像データを、表示装置32に表示するように制御する。
なお、光子検出装置100は、上述したX線CT装置以外にも用いられる。例えば、光子検出装置100は、X線診断装置、PET(Positron Emission computed Tomography)装置及びSPECT(Single Photon Emission Computed Tomography)装置等の核医学イメージング装置、並びにX線CT装置と核医学イメージング装置とを組み合わせた「PET−CT装置」及び「SPECT−CT装置」等にも用いられる。また、光子検出装置100は、PET装置の受光部として用いられ、MRI(磁気共鳴画像装置)が組み合わされた装置を構成してもよい。
また、本発明のいくつかの実施形態を複数の組み合わせによって説明したが、これらの実施形態は例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規の実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10 架台装置
20 寝台装置
30 コンソール装置
100,100a,100b 光子検出装置
110 高電圧レギュレータ
112 電流シンク部
120,120a,120b 光子検出素子
122,122a ダイオード
122b ツェナーダイオード
126 APD
127 クエンチング抵抗
140,140a 画素
141 第1セル
142 第2セル
143 TSV

Claims (5)

  1. 1つ以上のアバランシェフォトダイオードと、
    前記アバランシェフォトダイオードのカソードと外部の電源との間に接続される非線形回路と、
    を有し、
    前記非線形回路は、
    前記アバランシェフォトダイオードのブレークダウン電圧の温度変化に対する変動を示す第1温度係数に対し、前記カソードの電位が設定電位となるように定電流駆動された場合の温度変化に対する前記設定電位の変動を示す第2温度係数が略同じにされている
    光子検出素子。
  2. 前記非線形回路は、
    前記設定電位がブレークダウン電圧となるように定電流駆動された場合の前記第2温度係数が前記第1温度係数に対して略同じにされた1つ以上のツェナーダイオードを有する
    請求項1に記載の光子検出素子。
  3. 前記非線形回路は、
    順方向電圧が印加される1つ以上のダイオードを有する
    請求項1に記載の光子検出素子。
  4. 前記非線形回路を介して前記カソードに電圧を印加することにより、前記アバランシェフォトダイオードをガイガーモードで動作させる電源と、
    前記電源により前記非線形回路を定電流駆動させるように電流を引き込む電流シンク部と、
    請求項1に記載の光子検出素子と、
    を有する光子検出装置。
  5. 放射線源と、
    前記放射線源が放射した放射線に起因する光子を検出する請求項4に記載の光子検出装置と、
    を有する放射線分析装置。
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