JP2016058964A - 弾性波デバイス - Google Patents
弾性波デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016058964A JP2016058964A JP2014185443A JP2014185443A JP2016058964A JP 2016058964 A JP2016058964 A JP 2016058964A JP 2014185443 A JP2014185443 A JP 2014185443A JP 2014185443 A JP2014185443 A JP 2014185443A JP 2016058964 A JP2016058964 A JP 2016058964A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- inductor
- substrate
- wave element
- insulating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 70
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- 239000010408 film Substances 0.000 description 69
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
12 弾性波素子
18 空隙
20 絶縁基板
22 インダクタ
22a、22b コイル
32、34、36 絶縁膜
40 バンプ
Claims (7)
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板の上面に形成されたインダクタと、
下面に弾性波素子が形成され、前記弾性波素子が前記インダクタに対向し、前記弾性波素子と前記インダクタとの間に空隙が形成されるように、前記絶縁基板上に搭載された素子基板と、
前記弾性波素子の下面および前記インダクタの上面の少なくとも一方に形成された絶縁膜と、
を具備することを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記絶縁膜は、前記インダクタの上面に形成され、前記弾性波素子の下面には形成されていないことを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記弾性波素子は、前記素子基板の下面に形成された電極指を有するIDTを備え、前記絶縁膜は、前記IDTの下面に形成され、前記電極指間の前記素子基板の下面には形成されていないことを特徴とする請求項1または2記載の弾性波デバイス。
- 前記インダクタは、前記絶縁基板の上面に形成された金属膜により形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記インダクタは、スパイラルインダクタであることを特徴とする請求項4記載の弾性波デバイス。
- 前記インダクタは、前記絶縁基板上に形成された第1コイルと、前記第1コイル上に空隙を介し形成された第2コイルと、を含むことを特徴とする請求項5記載の弾性波デバイス。
- 前記インダクタは、前記弾性波素子に電気的に接続されたバランに含まれることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014185443A JP6310371B2 (ja) | 2014-09-11 | 2014-09-11 | 弾性波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014185443A JP6310371B2 (ja) | 2014-09-11 | 2014-09-11 | 弾性波デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016058964A true JP2016058964A (ja) | 2016-04-21 |
JP6310371B2 JP6310371B2 (ja) | 2018-04-11 |
Family
ID=55758998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014185443A Active JP6310371B2 (ja) | 2014-09-11 | 2014-09-11 | 弾性波デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6310371B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018093389A (ja) * | 2016-12-05 | 2018-06-14 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品 |
JP2018207045A (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-27 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10145171A (ja) * | 1996-11-11 | 1998-05-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表面弾性波素子およびその製造方法 |
JP2001345673A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
JP2005065050A (ja) * | 2003-08-18 | 2005-03-10 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子、弾性表面波素子の製造方法および電子機器 |
JP2008060342A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Fujitsu Ltd | 電子部品モジュールおよび電子部品モジュール製造方法 |
JP2008546207A (ja) * | 2005-06-07 | 2008-12-18 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 電気的素子および製造方法 |
JP2010041141A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Fujitsu Ltd | フィルタ、分波器、および通信機器 |
US20100091473A1 (en) * | 2007-04-30 | 2010-04-15 | Juergen Kiwitt | Electrical Component |
JP2015181262A (ja) * | 2012-01-30 | 2015-10-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
-
2014
- 2014-09-11 JP JP2014185443A patent/JP6310371B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10145171A (ja) * | 1996-11-11 | 1998-05-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表面弾性波素子およびその製造方法 |
JP2001345673A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
JP2005065050A (ja) * | 2003-08-18 | 2005-03-10 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子、弾性表面波素子の製造方法および電子機器 |
JP2008546207A (ja) * | 2005-06-07 | 2008-12-18 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 電気的素子および製造方法 |
JP2008060342A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Fujitsu Ltd | 電子部品モジュールおよび電子部品モジュール製造方法 |
US20100091473A1 (en) * | 2007-04-30 | 2010-04-15 | Juergen Kiwitt | Electrical Component |
JP2010526456A (ja) * | 2007-04-30 | 2010-07-29 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 電気部品 |
JP2010041141A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Fujitsu Ltd | フィルタ、分波器、および通信機器 |
JP2015181262A (ja) * | 2012-01-30 | 2015-10-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018093389A (ja) * | 2016-12-05 | 2018-06-14 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品 |
US10659003B2 (en) | 2016-12-05 | 2020-05-19 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Electronic component with two substrates enclosing functional element and insulating film therein |
JP2018207045A (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-27 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品 |
US11569019B2 (en) | 2017-06-08 | 2023-01-31 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Electronic component |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6310371B2 (ja) | 2018-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6556663B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
US9917569B2 (en) | High-frequency module | |
US9385686B2 (en) | Acoustic wave device | |
JP6242597B2 (ja) | 弾性波デバイス及びその製造方法 | |
JP7117828B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP2018093388A (ja) | フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP5991785B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP5177516B2 (ja) | 電子部品 | |
JP6472945B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP2017188807A (ja) | 弾性波デバイス | |
US10069476B2 (en) | Multiplexer and module | |
US11569019B2 (en) | Electronic component | |
US10659003B2 (en) | Electronic component with two substrates enclosing functional element and insulating film therein | |
JP6368091B2 (ja) | モジュール | |
JP2014082609A (ja) | 弾性波デバイス及びその設計方法 | |
JP2000209061A (ja) | 弾性表面波素子および弾性表面波装置 | |
JP6310371B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP6934322B2 (ja) | 電子部品 | |
US11264968B2 (en) | High-frequency device and multiplexer | |
JP5038452B2 (ja) | 弾性表面波装置および通信装置 | |
US20140197915A1 (en) | Electronic component | |
CN114696781A (zh) | 弹性波装置及模块 | |
JP6253306B2 (ja) | 電子デバイス | |
JP2020182128A (ja) | 高周波デバイスおよびマルチプレクサ | |
JP6348701B2 (ja) | モジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171212 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180227 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180316 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6310371 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |