JP2016054253A - Stocker and backup method of transfer device in stocker - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the function of a stocker from stopping, even when a trouble occurs in a transfer device or maintenance is required.CONSTITUTION: A stocker includes two carrier devices for carrying articles, a common shelf shared by the carrier devices, a dedicated shelf for each carrier device, and a load port. A stocker controller controls the carrier devices to carry an article between the load ports via the common shelf without preserving the article in the dedicated shelf, when two carrier devices are operating, and to carry an article from the common shelf to the dedicated shelf, when one of the carrier devices is not operating, or in preparation for maintenance.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

この発明はストッカに関し、特にストッカ内の移載装置のバックアップに関する。   The present invention relates to a stocker, and more particularly to backup of a transfer device in the stocker.

半導体製造工場では、フロア間の搬送のため、マストに沿ってフロア間を昇降する移載装置を設けると共に、各フロアに棚とロードポートとを設けた、フロア間搬送用のストッカが用いられている（例えば特許文献１：特開2010-40979）。搬送する物品はFOUP等のキャリアで、半導体ウェハー、レチクル等を収容している。またフロア間搬送用のストッカでは、搬送対象のキャリアを保管できる個数は余り重視されない。   In a semiconductor manufacturing factory, a transfer device for raising and lowering between floors along a mast is provided for transport between floors, and a stocker for transporting between floors, in which a shelf and a load port are provided on each floor, is used. (For example, Patent Document 1: JP 2010-40979). The goods to be transported are carriers such as FOUP, and contain semiconductor wafers, reticles, and the like. Further, in the stocker for transporting between floors, the number of transportable carriers that can be stored is not so important.

特許文献２（特開2004-277166）は、２台のスタッカークレーンＡ，Ｂを備える自動倉庫を開示している。そこでは、スタッカークレーンの走行経路と棚は、スタッカークレーンＡの専用スペースと専用棚、スタッカークレーンＡ，Ｂの共用スペースと共用棚、及びスタッカークレーンＢの専用スペースと専用棚に３区分されている。そしてスタッカークレーンＡの専用スペースとスタッカークレーンＢの専用スペース間で、物品を搬送する場合、一旦物品を共用棚に収容し、スタッカークレーンが他方の専用スペースに入らないようにする。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-277166 discloses an automatic warehouse including two stacker cranes A and B. There, the travel path and shelves of the stacker crane are divided into three sections: a dedicated space and a dedicated shelf for the stacker crane A, a shared space and a shared shelf for the stacker cranes A and B, and a dedicated space and a dedicated shelf for the stacker crane B. . When the article is transported between the dedicated space of the stacker crane A and the dedicated space of the stacker crane B, the article is temporarily stored in a shared shelf so that the stacker crane does not enter the other dedicated space.

特開2010-40979JP2010-40979 特開2004-277166JP2004-277166

特許文献１のフロア間搬送用のストッカでは、移載装置にトラブルが生じ、あるいは移載装置のメンテナンスを行うと、ストッカが停止する。そこで移載装置にトラブルが生じ、あるいはメンテナンスを必要とする場合でも、ストッカの機能が停止しないようにする必要がある。   In the stocker for transporting between floors of Patent Document 1, when the trouble occurs in the transfer device or maintenance of the transfer device is performed, the stocker stops. Therefore, even when trouble occurs in the transfer apparatus or maintenance is required, it is necessary to prevent the stocker function from stopping.

この発明の課題は、移載装置にトラブルが生じ、あるいはメンテナンスを必要とする場合でも、ストッカの機能が停止しないようにすることにある。   An object of the present invention is to prevent the function of a stocker from stopping even when a trouble occurs in a transfer apparatus or maintenance is required.

この発明のストッカは、物品を搬送する、少なくとも２台の搬送装置と、
搬送装置間で共用される共用棚で前記物品の保管用のものと、搬送装置毎に設けられている専用棚で前記物品の保管用のものと、
外部との間で前記物品を出し入れするためのロードポートで、少なくとも一方の搬送装置が前記物品を受け渡し自在なものと、
少なくとも２台の搬送装置を制御するコントローラ、とを備え、
コントローラは少なくとも２台の搬送装置を制御して、少なくとも２台の搬送装置が共に稼働中は、専用棚に前記物品を保管せずに、共用棚を介してロードポート間で物品を搬送し、かつ少なくとも２台の搬送装置の一方が稼動していない場合に、もしくは一方の搬送装置のメンテナンスに備えて、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送するようにされている。 The stocker of the present invention comprises at least two transport devices for transporting articles,
A shared shelf shared between transport devices for storing the articles, and a dedicated shelf provided for each transport device for storing the articles,
A load port for taking in and out the article to and from the outside, at least one of which is capable of delivering the article;
A controller for controlling at least two transport devices,
The controller controls at least two transport devices, and when the at least two transport devices are operating together, the goods are transported between the load ports via the common shelf without storing the goods on the dedicated shelf. In addition, when one of the at least two transport apparatuses is not operating, or in preparation for maintenance of one of the transport apparatuses, the article is transported from the shared shelf to the dedicated shelf.

またこの発明のストッカでの移載装置のバックアップ方法では、
物品を搬送する、少なくとも２台の搬送装置と、
搬送装置間で共用される共用棚で前記物品の保管用のものと、搬送装置毎に設けられている専用棚で前記物品の保管用のものと、
外部との間で前記物品を出し入れするためのロードポートで、少なくとも一方の搬送装置が前記物品を受け渡し自在なものと、
少なくとも２台の搬送装置を制御するコントローラ、とを備えるストッカに対して、
少なくとも２台の搬送装置が共に稼働中は、コントローラの制御により、専用棚を介さずに、共用棚を介してロードポート間で前記物品を搬送し、
かつ少なくとも２台の搬送装置の一方が稼動していない場合に、もしくは一方の搬送装置のメンテナンスに備えて、コントローラの制御により、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送する。 In the backup method of the transfer device in the stocker of the present invention
At least two transport devices for transporting articles;
A shared shelf shared between transport devices for storing the articles, and a dedicated shelf provided for each transport device for storing the articles,
A load port for taking in and out the article to and from the outside, at least one of which is capable of delivering the article;
For a stocker comprising a controller for controlling at least two transport devices,
While at least two transfer devices are operating together, the article is transferred between the load ports via the shared shelf, not via the dedicated shelf, under the control of the controller,
In addition, when one of the at least two transport apparatuses is not in operation, or in preparation for maintenance of one of the transport apparatuses, the article is transported from the shared shelf to the dedicated shelf under the control of the controller.

この発明では、一方の搬送装置が稼動していない場合、他方の搬送装置が共用棚を介して物品を搬送できる。ここで専用棚には搬送対象の物品を保管しないので、ダウンした搬送装置のみがアクセス（物品の受け渡し）ができる棚には物品がなく、搬送不能な物品は生じない。なお専用棚には、ストッカの搬送対象となる物品以外の、メンテナンス用の資材、工具等を保管しても良いが、メンテナンス時等に共用棚から物品を移し換えることができるだけの空棚を有するように、専用棚を運用し、専用棚は例えば常時は空棚にしておく。搬送装置のメンテナンスにより、共用棚へのアクセスに制限が生じ、あるいは搬送能力が不足することがある。そこで共用棚から専用棚へ物品を搬送することにより、専用棚を介しての搬送ができるようにする。なお共用棚から専用棚への搬送は、一方の搬送装置が稼動しない場合に必ず実行するのではなく、共用棚が使用不能になる、一方の搬送装置のみでは搬送能力が不足するので、人手でバックアップする、等の場合に行う。   In this invention, when one conveyance apparatus is not operating, the other conveyance apparatus can convey the article via the shared shelf. Here, since the articles to be transported are not stored in the dedicated shelves, there are no articles on the shelves that can be accessed (delivery of articles) by only the transport apparatus that has been down, and no articles that cannot be transported are generated. The dedicated shelves may store maintenance materials, tools, etc. in addition to the articles to be transported by the stocker, but they have empty shelves that can transfer articles from the shared shelves during maintenance. Thus, a dedicated shelf is operated, and the dedicated shelf is always an empty shelf, for example. Due to maintenance of the transport device, access to the shared shelf may be restricted, or the transport capability may be insufficient. Therefore, by transporting articles from the shared shelf to the dedicated shelf, it can be transported through the dedicated shelf. Transport from the shared shelf to the dedicated shelf is not always performed when one of the transport devices is not in operation, but the shared shelf becomes unusable. Since only one transport device has insufficient transport capacity, This is done when backing up.

好ましくは、少なくとも２台の搬送装置の一方のメンテナンスに先立って、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送させるように、コントローラが構成されている。メンテナンスを行うと共用棚が使用できない、あるいは一方の搬送装置を停止させるので、搬送能力が不足する等の問題が生じる。そこで予め共用棚から専用棚へ前記物品を搬送することにより、専用棚を介しての物品の搬送を行えるようにする。   Preferably, the controller is configured to transport the article from the shared shelf to the dedicated shelf prior to maintenance of one of the at least two transport devices. When maintenance is performed, the shared shelf cannot be used, or one of the transfer devices is stopped, which causes problems such as insufficient transfer capability. Therefore, by conveying the article from the shared shelf to the dedicated shelf in advance, the article can be conveyed through the dedicated shelf.

例えば実施例１では、少なくとも２台の搬送装置の一方のメンテナンスに先立って、少なくとも２台の搬送装置中の他の搬送装置の専用棚へ、共用棚から前記物品を搬送するように、コントローラが構成されている。実施例１では、搬送装置のメンテナンスではケージ等により作業者を保護し、また他の搬送装置の走行範囲を制限するので、共用棚を使用できなくなる。そこでメンテナンスに先立って、他の搬送装置の専用棚へ共用棚から物品を搬送しておくと、メンテナンス中も物品の一時保管と搬送とを続行できる。   For example, in the first embodiment, prior to the maintenance of one of the at least two transfer apparatuses, the controller is configured to transfer the article from the shared shelf to the dedicated shelf of the other transfer apparatus in the at least two transfer apparatuses. It is configured. In the first embodiment, the maintenance of the transfer device protects the worker with a cage or the like and restricts the traveling range of other transfer devices, so that the shared shelf cannot be used. Therefore, prior to maintenance, if articles are transported from a shared shelf to a dedicated shelf of another transport device, temporary storage and transport of the articles can be continued even during maintenance.

また実施例２では、少なくとも２台の搬送装置の一方のメンテナンスに先立って、メンテナンスを受ける搬送装置側の専用棚へ、前記の一方の搬送装置により共用棚から前記物品を搬送するように、コントローラが構成されている。実施例２ではメンテナンス中も共用棚を使用できるが、搬送能力が不足する。ところでメンテナンスはストッカ内に足場を組んで行われる。そこでメンテナンス用の足場から人手で容易に物品を搬出できる位置の専用棚へ、メンテナンスを受ける搬送装置により事前に物品を移し換えておく。すると、メンテナンス中の搬送能力の不足を補うことができる。   In the second embodiment, prior to the maintenance of one of the at least two transport apparatuses, the controller is configured to transport the article from the shared shelf to the dedicated shelf on the transport apparatus side that receives the maintenance by the one transport apparatus. Is configured. In the second embodiment, the shared shelf can be used during the maintenance, but the carrying capacity is insufficient. By the way, maintenance is performed with a scaffold in the stocker. Therefore, the articles are transferred beforehand from the maintenance scaffold to a dedicated shelf at a position where the articles can be easily carried out manually by a conveyance device that receives maintenance. Then, it is possible to make up for a shortage of conveyance capacity during maintenance.

好ましくはストッカは、複数のフロア間で前記物品を搬送すると共に、共用棚に前記物品を一時保管する。このようなフロア間搬送用のストッカでは、物品を保管できる個数よりも、フロア間での物品の搬送能力が重要なので、この発明では２台以上の搬送装置を設けて搬送能力を高める。また保管個数を大きくする必要がないので、共用棚の他に、常時は用いない専用棚を設けることができる。   Preferably, the stocker conveys the article between a plurality of floors and temporarily stores the article on a common shelf. In such a stocker for transporting between floors, the transport capacity of articles between floors is more important than the number of articles that can be stored. Therefore, in the present invention, two or more transport devices are provided to increase the transport capacity. Further, since it is not necessary to increase the number of stored items, a dedicated shelf that is not used at all times can be provided in addition to the shared shelf.

第１の実施例のストッカの鉛直方向断面図Vertical sectional view of the stocker of the first embodiment 第１の実施例でのストッカの運用を示す図で、a)は常時の運用を、b)は左側の移載装置を使用しない運用を、c)は左側の移載装置をメンテナンスする際の運用を示す。FIG. 5 is a diagram showing the operation of the stocker in the first embodiment, in which a) is a normal operation, b) an operation without using the left transfer device, and c) a maintenance operation for the left transfer device. Indicates operation. 第２の実施例のストッカの鉛直方向断面図Vertical sectional view of the stocker of the second embodiment 図３のIV−IV方向水平断面図IV-IV horizontal cross-sectional view of FIG. 図３のV−V方向水平断面図V-V direction horizontal sectional view of Fig. 3

以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。   In the following, an optimum embodiment for carrying out the present invention will be shown. The scope of the present invention should be determined according to the understanding of those skilled in the art based on the description of the scope of the claims, taking into account the description of the specification and well-known techniques in this field.

図１，図２は最初の実施例のストッカ２を示し、ストッカ２は２台のスタッカークレーン１２，１３を備えている。ストッカ２はクリーンルーム内等に設けられ、複数のフロア４，４間で、図示しないFOUP等のキャリアを搬送すると共に一時的に保管する。ストッカ２との間でキャリアを受け渡しするのは、フロア４内を走行する手動台車、無人搬送車、天井走行車等で、天井走行車の走行レールを符号６により示す。また８はストッカ２の駆体で、ストッカ２のメンテナンス等のために、ドア１０が設けられている。   1 and 2 show a stocker 2 of the first embodiment, and the stocker 2 includes two stacker cranes 12 and 13. The stocker 2 is provided in a clean room or the like, and transports a carrier such as a FOUP (not shown) between the plurality of floors 4 and 4 and temporarily stores it. Carriers are handed over to and from the stocker 2 such as manual carts, automatic guided vehicles, and overhead traveling vehicles that travel on the floor 4. Reference numeral 8 denotes a stocker 2 body, and a door 10 is provided for maintenance of the stocker 2 and the like.

スタッカークレーン１２，１３では、下部の台車１５がレール１６上を走行し、１４は台車１５から鉛直に起立するマストである。図示しないキャリアの移載装置を備えている昇降台１７が、マスト１４に沿って昇降する。例えばマスト１４の上部にも台車１９が設けられ、上部のレール１８に沿って走行するが、上部の台車１９とレール１８は設けなくても良い。図１での、レール１６の走行方向での右側をストッカ２の一端と呼び、レール１６での走行方向での左側をストッカ２の他端と呼ぶ。またレール１６での、走行方向中央部をストッカ２の中央部と呼ぶ。他端／中央部／一端は、レール１６の走行方向に沿っての、水平面内での位置である。   In the stacker cranes 12 and 13, the lower carriage 15 travels on the rail 16, and 14 is a mast that stands vertically from the carriage 15. A lifting platform 17 provided with a carrier transfer device (not shown) moves up and down along the mast 14. For example, a carriage 19 is also provided on the top of the mast 14 and travels along the upper rail 18. However, the upper carriage 19 and the rail 18 may not be provided. In FIG. 1, the right side of the rail 16 in the traveling direction is called one end of the stocker 2, and the left side of the rail 16 in the traveling direction is called the other end of the stocker 2. Further, the central portion of the rail 16 in the traveling direction is referred to as the central portion of the stocker 2. The other end / center portion / one end is a position in the horizontal plane along the traveling direction of the rail 16.

ストッカ２の中央部に、鉛直方向に沿って共用棚２０が例えばフロア４毎に設けられ、スタッカークレーン１２，１３が共にアクセスして、キャリアを受け渡しできる。またストッカ２の一端には、例えばフロア４毎に専用棚２２とロードポート２４とが設けられ、スタッカークレーン１２のみがアクセスできる。逆にストッカ２の他端には、例えばフロア４毎に専用棚２３とロードポート２５とが設けられ、スタッカークレーン１３のみがアクセスできる。なおアクセスするとは、スタッカークレーン１２，１３がキャリアを移載することをいう。各フロア４毎に、例えば上下にロードポート２４，２５が設けられ、上方のロードポートは天井走行車用、下方のロードポートは手動台車及び無人搬送車用である。   A common shelf 20 is provided in the center of the stocker 2 along the vertical direction, for example, for each floor 4, and the stacker cranes 12 and 13 can access together to deliver the carrier. Further, at one end of the stocker 2, for example, a dedicated shelf 22 and a load port 24 are provided for each floor 4, and only the stacker crane 12 can access. On the contrary, the other end of the stocker 2 is provided with a dedicated shelf 23 and a load port 25 for each floor 4, for example, and can be accessed only by the stacker crane 13. “Accessing” means that the stacker cranes 12 and 13 transfer the carrier. For each floor 4, for example, load ports 24 and 25 are provided above and below, the upper load port is for overhead traveling vehicles, and the lower load port is for manual carts and automatic guided vehicles.

専用棚２２，２３の間口数（キャリアを保管できる数）は例えば等しくし、専用棚２２，２３の間口数は共用棚２０の間口数以上とする。また常時は専用棚２２，２３を空にしておくが、メンテナンス用の資材等を保管しても良い。そして、スタッカークレーン１２をメンテナンスする場合には、共用棚２０のキャリアを全数専用棚２３に収容し、スタッカークレーン１３をメンテナンスする場合には、共用棚２０のキャリアを全数専用棚２２に収容できるようにしておく。なお専用のロードポート２４，２５の他に、スタッカークレーン１２，１３が共用するロードポートを設けても良い。３０はケージで、例えばスタッカークレーン１３をメンテナンスする際に、その周囲を囲って、他方のスタッカークレーン１２と作業者との干渉を防止する。スタッカークレーン１２をメンテナンスする場合も、同様にその周囲にケージ３０を設置する。ケージ３０の形状、設置方法等は任意である。   For example, the number of units of the dedicated shelves 22 and 23 (the number of carriers that can be stored) is made equal, and the number of units of the dedicated shelves 22 and 23 is equal to or greater than the number of units of the shared shelf 20. The dedicated shelves 22 and 23 are always emptied, but maintenance materials and the like may be stored. When maintaining the stacker crane 12, all the carriers of the shared shelf 20 are accommodated in the dedicated shelves 23. When maintaining the stacker crane 13, the carriers of the shared shelves 20 can be accommodated in the exclusive shelves 22. Keep it. In addition to the dedicated load ports 24 and 25, a load port shared by the stacker cranes 12 and 13 may be provided. Reference numeral 30 denotes a cage which, for example, surrounds the stacker crane 13 when maintaining the stacker crane 13 and prevents interference between the other stacker crane 12 and an operator. Similarly, when the stacker crane 12 is maintained, the cage 30 is installed around it. The shape and installation method of the cage 30 are arbitrary.

図２のa),b),c)に、ストッカ２の運用を示す。a)に示す常時の運用では、専用棚２２，２３は使用せずに空とし、スタッカークレーン１２は、専用棚２２、専用のロードポート２４及び共用棚２０までの作業エリア３２でキャリアを移載する。またスタッカークレーン１３は、専用棚２３、専用のロードポート２５及び共用棚２０までの作業エリア３３でキャリアを移載する。このようにして、キャリアのフロア間の搬送と保管とを行う。スタッカークレーン１２，１３間のインターロックは、ストッカのコントローラにより、あるいはスタッカークレーン１２，１３間の通信により実現する。   The operation of the stocker 2 is shown in a), b) and c) of FIG. In the regular operation shown in a), the dedicated shelves 22 and 23 are not used and are emptied, and the stacker crane 12 transfers the carrier in the work area 32 to the dedicated shelf 22, the dedicated load port 24 and the shared shelf 20. To do. Further, the stacker crane 13 transfers the carrier in the work area 33 to the dedicated shelf 23, the dedicated load port 25 and the shared shelf 20. In this way, the carrier is transported and stored between the floors. The interlock between the stacker cranes 12 and 13 is realized by a controller of the stocker or by communication between the stacker cranes 12 and 13.

一方のスタッカークレーンに故障が生じた場合、あるいは節電のため一方のスタッカークレーンを休止させる場合の運用をb)に示す。ここではスタッカークレーン１３を休止させるものとするが、スタッカークレーン１２を休止させる場合も同様である。スタッカークレーン１３をストッカ２の他端側へ、自動であるいは人手で退避させ、共用棚２０から専用棚２２とロードポート２４とまでの作業エリア３２を確保する。そしてスタッカークレーン１２が作業エリア３２内で作業することにより、ストッカ２の機能を維持する。   Operation when one of the stacker cranes fails or when one of the stacker cranes is stopped to save power is shown in b). Here, the stacker crane 13 is paused, but the same applies when the stacker crane 12 is paused. The stacker crane 13 is automatically or manually retracted to the other end side of the stocker 2 to secure a work area 32 from the shared shelf 20 to the dedicated shelf 22 and the load port 24. The stacker crane 12 works in the work area 32, so that the function of the stocker 2 is maintained.

スタッカークレーン１３をメンテナンスする場合、図１のようにスタッカークレーン１３の周囲にケージ３０等を設置し、スタッカークレーン１２からメンテナンスを行う作業者を保護する。ケージ３０の設置に先立ち、例えば図２b)の状態で、共用棚２０内のキャリアを全数専用棚２２へ移しておく。専用棚２２は共用棚２０以上の間口数を持ち、原則として空にしておくので、共用棚２０からキャリアを全数専用棚２２へ移すことができる。この結果、スタッカークレーン１２の作業エリア３２を、専用棚２２からロードポート２４までの範囲、即ちストッカ２の一端側に制限して、キャリアの保管とフロア間搬送とを行う。   When maintaining the stacker crane 13, as shown in FIG. 1, a cage 30 or the like is installed around the stacker crane 13 to protect an operator who performs maintenance from the stacker crane 12. Prior to installation of the cage 30, all carriers in the shared shelf 20 are moved to the dedicated shelf 22 in the state shown in FIG. Since the dedicated shelves 22 have the number of common shelves 20 or more and are emptied in principle, all the carriers can be transferred from the shared shelves 20 to the dedicated shelves 22. As a result, the work area 32 of the stacker crane 12 is limited to the range from the dedicated shelf 22 to the load port 24, that is, one end side of the stocker 2, and the carrier is stored and transported between the floors.

図２のb)及びc)の状態でも、スタッカークレーン１２によりストッカ２の機能を維持できる。これはスタッカークレーン１２，１３毎の専用棚２２，２３と専用のロードポート２４，２５を設け、専用棚２２，２３の間口数を共用棚２０の間口数以上としたためである。ただしa)の状態に比べ、キャリアの搬送能力が低下する。以上のようにして、スタッカークレーン１２または１３の故障、メンテナンス等に、ストッカ２を休止させずに対処する。特に共用棚２０に保管中のキャリアをスタッカークレーンにより搬出できるので、従来のように、ストッカを休止させて内部に足場を組み、人手によりキャリアを搬出する必要がない。   The function of the stocker 2 can be maintained by the stacker crane 12 even in the states of b) and c) of FIG. This is because the dedicated shelves 22 and 23 for each stacker crane 12 and 13 and the dedicated load ports 24 and 25 are provided, and the number of the dedicated shelves 22 and 23 is set to be equal to or greater than the number of the shared shelves 20. However, the carrier carrying capability is reduced as compared with the state a). As described above, the stocker 2 is dealt with for failure, maintenance or the like of the stacker crane 12 or 13 without stopping the stocker 2. In particular, since the carrier being stored in the common shelf 20 can be carried out by a stacker crane, it is not necessary to stop the stocker and assemble a scaffold inside and carry out the carrier manually as in the prior art.

実施例の作用を補足する。１つのフロアのロードポート２４，２５へ外部から搬入されたキャリアを、直ちに異なるフロアのロードポート２４，２５へ搬送する場合は、共用棚２０を介さずにロードポート２４，２５間で直接に搬送する。それ以外の場合は、１つのフロアのロードポート２４，２５へ外部から搬入されたキャリアを、常時及びスタッカークレーン１２，１３の一方が稼動していない場合は、共用棚２０へ搬送する。またスタッカークレーン１２，１３の一方のメンテナンスの準備中の場合、及びメンテナンスの実行中の場合は、他方のスタッカークレーンの専用棚２２または２３へ搬送する。   The operation of the embodiment will be supplemented. When a carrier that has been brought into the load ports 24 and 25 on one floor from the outside is immediately transported to the load ports 24 and 25 on different floors, it is directly transported between the load ports 24 and 25 without using the common shelf 20. To do. In other cases, the carrier carried into the load ports 24 and 25 on one floor from the outside is conveyed to the common shelf 20 at all times and when one of the stacker cranes 12 and 13 is not operating. Further, when one of the stacker cranes 12 and 13 is being prepared for maintenance and when maintenance is being performed, the stacker cranes 12 and 13 are transported to the dedicated shelf 22 or 23 of the other stacker crane.

図３〜図５に第２の実施例を示し、図１，図２と同じ符号は同じものを表す。４２はストッカで、４４はその駆体である。例えば図３の左右方向に沿って一対の垂直移載クレーン４６，４７が有り、マスト４８に沿って、移載装置５２を搭載した昇降台５０が昇降する。なお移載装置５２は特許文献１に記載のもの等を用いる。ストッカ４２の内部スペースは、隔壁５３によって左右一対の作業スペース５４，５５に分割され、例えば隔壁５３に共用棚５６が設けられている。作業スペース５４にはクレーン４６専用の専用棚５８とロードポート６０とが設けられ、作業スペース５５にはクレーン４７専用の専用棚５９とロードポート６１とが設けられている。また例えば各フロア４毎に、メンテナンス用のドア１０が設けられている。   3 to 5 show a second embodiment, and the same reference numerals as those in FIGS. 1 and 2 denote the same components. 42 is a stocker, and 44 is the main body. For example, there are a pair of vertical transfer cranes 46, 47 along the left-right direction in FIG. 3, and a lifting platform 50 on which the transfer device 52 is mounted moves up and down along the mast 48. In addition, the transfer apparatus 52 uses the thing of patent document 1, etc. The internal space of the stocker 42 is divided into a pair of left and right work spaces 54 and 55 by a partition wall 53. For example, a shared shelf 56 is provided on the partition wall 53. The work space 54 is provided with a dedicated shelf 58 and a load port 60 dedicated to the crane 46, and the work space 55 is provided with a dedicated shelf 59 and a load port 61 dedicated to the crane 47. Further, for example, a maintenance door 10 is provided for each floor 4.

６２はFOUP等のキャリアで、ロードポート６０，６１は例えばスライド棚受６４，６５を備えて、キャリア６２をストッカ４２の外部と内部との間でスライドさせる。共用棚５６では、クレーン４６はキャリア６２の扉側から接近し、クレーン４７はキャリア６２の背面側から接近するので、作業スペース５４，５５間で、キャリア６２の向きが逆になる。そこでクレーン４７用のロードポート６１のスライド棚受６５にターンテーブル６６を設けて、キャリア６２を１８０°回転させる。   Reference numeral 62 denotes a carrier such as FOUP, and the load ports 60 and 61 include, for example, slide shelf holders 64 and 65, and the carrier 62 is slid between the outside and the inside of the stocker 42. In the shared shelf 56, the crane 46 approaches from the door side of the carrier 62, and the crane 47 approaches from the back side of the carrier 62, so the direction of the carrier 62 is reversed between the work spaces 54 and 55. Therefore, a turntable 66 is provided on the slide shelf holder 65 of the load port 61 for the crane 47, and the carrier 62 is rotated by 180 °.

第２の実施例の作用を示す。常時は、共用棚５６と専用のロードポート６０，６１間で、キャリア６２を一対のクレーン４６，４７により搬送する。一方のクレーンにトラブルが生じても、他方のクレーンは共用棚５６を介してキャリア６２の搬送を継続できる。   The operation of the second embodiment will be described. Normally, the carrier 62 is transported by the pair of cranes 46 and 47 between the shared shelf 56 and the dedicated load ports 60 and 61. Even if a problem occurs in one crane, the other crane can continue to transport the carrier 62 via the shared shelf 56.

次ぎに、一方のクレーンをメンテナンスする場合、メンテナンスに先立ち、共用棚５６からメンテナンスを受ける側のクレーンの専用棚及びロードポートへ、キャリアを搬送しておく。専用棚の中でも、足場からキャリア６２を容易に取り出すことができる位置の専用棚を優先し、足場からアクセスしにくい専用棚へはキャリアを保管しないようにする。またこの搬送は、メンテナンスを受ける側のクレーンにより、コントローラ２８の制御で実行する。そしてロードポートへ移されたキャリアは、容易に外部から取り出すことができる。またメンテナンスのための足場が組まれると、専用棚からもキャリアを人手で取り出すことができる。このためメンテナンスによる搬送能力の低下を補うことができる。   Next, when one of the cranes is maintained, prior to the maintenance, the carrier is transported from the shared shelf 56 to the dedicated shelf and load port of the crane receiving the maintenance. Among the dedicated shelves, priority is given to a dedicated shelf at a position where the carrier 62 can be easily taken out from the scaffold, and the carrier is not stored in a dedicated shelf that is difficult to access from the scaffold. This conveyance is executed under the control of the controller 28 by the crane on the maintenance side. The carrier moved to the load port can be easily taken out from the outside. If a scaffold for maintenance is built, the carrier can be manually removed from the dedicated shelf. For this reason, it is possible to compensate for a decrease in the conveyance capacity due to maintenance.

２ ストッカ
４ フロア
６ 天井走行車の走行レール
８ 駆体
１０ ドア
１２，１３ スタッカークレーン
１４ マスト
１５，１９ 台車
１７ 昇降台
１６，１８ レール
２０ 共用棚
２２，２３ 専用棚
２４，２５ ロードポート
２８ コントローラ
３０ ケージ
３２，３３ 作業エリア
４２ ストッカ
４４ 駆体
４６，４７ 垂直移載クレーン
４８ マスト
５０ 昇降台
５２ 移載装置
５３ 隔壁
５４，５５ 作業スペース
５６ 共用棚
５８，５９ 専用棚
６０，６１ ロードポート
６２ キャリア
６４，６５ スライド棚受
６６ ターンテーブル 2 Stocker 4 Floor 6 Traveling rail of overhead traveling vehicle 8 Drive unit 10 Door 12, 13 Stacker crane 14 Mast 15, 19 Cart 17 Lifting platform 16, 18 Rail 20 Shared shelf 22, 23 Dedicated shelf 24, 25 Load port 28 Controller 30 Cage 32, 33 Work area 42 Stocker 44 Drive 46, 47 Vertical transfer crane 48 Mast 50 Lift platform 52 Transfer device 53 Bulkhead 54, 55 Work space 56 Common shelf 58, 59 Dedicated shelf 60, 61 Load port 62 Carrier 64 , 65 Slide shelf holder 66 Turntable

Claims (6)

物品を搬送する、少なくとも２台の搬送装置と、
搬送装置間で共用される共用棚で前記物品の保管用のものと、搬送装置毎に設けられている専用棚で前記物品の保管用のものと、
外部との間で前記物品を出し入れするためのロードポートで、少なくとも一方の搬送装置が前記物品を受け渡し自在なものと、
少なくとも２台の搬送装置を制御するコントローラ、とを備え、
コントローラは少なくとも２台の搬送装置を制御して、少なくとも２台の搬送装置が共に稼働中は、専用棚に前記物品を保管せずに、共用棚を介してロードポート間で物品を搬送し、かつ少なくとも２台の搬送装置の一方が稼動していない場合に、もしくは一方の搬送装置のメンテナンスに備えて、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送するようにされている、ストッカ。 At least two transport devices for transporting articles;
A shared shelf shared between transport devices for storing the articles, and a dedicated shelf provided for each transport device for storing the articles,
A load port for taking in and out the article to and from the outside, at least one of which is capable of delivering the article;
A controller for controlling at least two transport devices,
The controller controls at least two transport devices, and when the at least two transport devices are operating together, the goods are transported between the load ports via the common shelf without storing the goods on the dedicated shelf. A stocker configured to transport the article from a shared shelf to a dedicated shelf when one of at least two transport devices is not in operation or in preparation for maintenance of one of the transport devices. 少なくとも２台の搬送装置の一方のメンテナンスに先立って、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送させるように、コントローラが構成されていることを特徴とする、請求項１のストッカ。   The stocker according to claim 1, wherein a controller is configured to transport the article from a shared shelf to a dedicated shelf prior to maintenance of one of the at least two transport devices. 少なくとも２台の搬送装置の一方のメンテナンスに先立って、少なくとも２台の搬送装置中の他の搬送装置の専用棚へ、共用棚から前記物品を搬送するように、コントローラが構成されていることを特徴とする、請求項２のストッカ。   Prior to maintenance of one of the at least two transport devices, the controller is configured to transport the article from the shared shelf to a dedicated shelf of another transport device in the at least two transport devices. The stocker according to claim 2, wherein the stocker is characterized. 少なくとも２台の搬送装置の一方のメンテナンスに先立って、メンテナンスを受ける専用棚へ、共用棚から前記物品を搬送するように、コントローラが構成されていることを特徴とする、請求項２のストッカ。   The stocker according to claim 2, wherein the controller is configured to transport the article from the shared shelf to a dedicated shelf to be maintained prior to maintenance of one of the at least two transport devices. 複数のフロア間で前記物品を搬送すると共に、共用棚に前記物品を一時保管するためのストッカであることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかのストッカ。   The stocker according to any one of claims 1 to 4, wherein the stocker is a stocker for transporting the article between a plurality of floors and temporarily storing the article on a common shelf. 物品を搬送する、少なくとも２台の搬送装置と、
搬送装置間で共用される共用棚で前記物品の保管用のものと、搬送装置毎に設けられている専用棚で前記物品の保管用のものと、
外部との間で前記物品を出し入れするためのロードポートで、少なくとも一方の搬送装置が前記物品を受け渡し自在なものと、
少なくとも２台の搬送装置を制御するコントローラ、とを備えるストッカに対して、
少なくとも２台の搬送装置が共に稼働中は、コントローラの制御により、専用棚を介さずに、共用棚を介してロードポート間で前記物品を搬送し、
かつ少なくとも２台の搬送装置の一方が稼動していない場合に、もしくは一方の搬送装置のメンテナンスに備えて、コントローラの制御により、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送する、ストッカでの移載装置のバックアップ方法。 At least two transport devices for transporting articles;
A shared shelf shared between transport devices for storing the articles, and a dedicated shelf provided for each transport device for storing the articles,
A load port for taking in and out the article to and from the outside, at least one of which is capable of delivering the article;
For a stocker comprising a controller for controlling at least two transport devices,
While at least two transfer devices are operating together, the article is transferred between the load ports via the shared shelf, not via the dedicated shelf, under the control of the controller,
In addition, when one of the at least two transport apparatuses is not in operation, or in preparation for maintenance of one of the transport apparatuses, the article is transferred from the shared shelf to the dedicated shelf under the control of the controller. Device backup method.

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