JP2016054253A - ストッカ及びストッカでの移載装置のバックアップ方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 移載装置にトラブルが生じ、あるいはメンテナンスを必要とする場合でも、ストッカの機能が停止しないようにする。
【構成】 ストッカは、物品を搬送する2台の搬送装置と、搬送装置間で共用される共用棚、搬送装置毎の専用棚と、ロードポートとを備えている。ストッカのコントローラは、2台の搬送装置が共に稼働中は、専用棚に物品を保管せずに共用棚を介してロードポート間で物品を搬送し、搬送装置の一方が稼動していない場合に、もしくはメンテナンスに備えて、共用棚から専用棚へ物品を搬送するように、搬送装置を制御する。
【選択図】 図1
Description
この発明はストッカに関し、特にストッカ内の移載装置のバックアップに関する。
半導体製造工場では、フロア間の搬送のため、マストに沿ってフロア間を昇降する移載装置を設けると共に、各フロアに棚とロードポートとを設けた、フロア間搬送用のストッカが用いられている(例えば特許文献1:特開2010-40979)。搬送する物品はFOUP等のキャリアで、半導体ウェハー、レチクル等を収容している。またフロア間搬送用のストッカでは、搬送対象のキャリアを保管できる個数は余り重視されない。
特許文献2(特開2004-277166)は、2台のスタッカークレーンA,Bを備える自動倉庫を開示している。そこでは、スタッカークレーンの走行経路と棚は、スタッカークレーンAの専用スペースと専用棚、スタッカークレーンA,Bの共用スペースと共用棚、及びスタッカークレーンBの専用スペースと専用棚に3区分されている。そしてスタッカークレーンAの専用スペースとスタッカークレーンBの専用スペース間で、物品を搬送する場合、一旦物品を共用棚に収容し、スタッカークレーンが他方の専用スペースに入らないようにする。
特許文献1のフロア間搬送用のストッカでは、移載装置にトラブルが生じ、あるいは移載装置のメンテナンスを行うと、ストッカが停止する。そこで移載装置にトラブルが生じ、あるいはメンテナンスを必要とする場合でも、ストッカの機能が停止しないようにする必要がある。
この発明の課題は、移載装置にトラブルが生じ、あるいはメンテナンスを必要とする場合でも、ストッカの機能が停止しないようにすることにある。
この発明のストッカは、物品を搬送する、少なくとも2台の搬送装置と、
搬送装置間で共用される共用棚で前記物品の保管用のものと、搬送装置毎に設けられている専用棚で前記物品の保管用のものと、
外部との間で前記物品を出し入れするためのロードポートで、少なくとも一方の搬送装置が前記物品を受け渡し自在なものと、
少なくとも2台の搬送装置を制御するコントローラ、とを備え、
コントローラは少なくとも2台の搬送装置を制御して、少なくとも2台の搬送装置が共に稼働中は、専用棚に前記物品を保管せずに、共用棚を介してロードポート間で物品を搬送し、かつ少なくとも2台の搬送装置の一方が稼動していない場合に、もしくは一方の搬送装置のメンテナンスに備えて、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送するようにされている。
搬送装置間で共用される共用棚で前記物品の保管用のものと、搬送装置毎に設けられている専用棚で前記物品の保管用のものと、
外部との間で前記物品を出し入れするためのロードポートで、少なくとも一方の搬送装置が前記物品を受け渡し自在なものと、
少なくとも2台の搬送装置を制御するコントローラ、とを備え、
コントローラは少なくとも2台の搬送装置を制御して、少なくとも2台の搬送装置が共に稼働中は、専用棚に前記物品を保管せずに、共用棚を介してロードポート間で物品を搬送し、かつ少なくとも2台の搬送装置の一方が稼動していない場合に、もしくは一方の搬送装置のメンテナンスに備えて、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送するようにされている。
またこの発明のストッカでの移載装置のバックアップ方法では、
物品を搬送する、少なくとも2台の搬送装置と、
搬送装置間で共用される共用棚で前記物品の保管用のものと、搬送装置毎に設けられている専用棚で前記物品の保管用のものと、
外部との間で前記物品を出し入れするためのロードポートで、少なくとも一方の搬送装置が前記物品を受け渡し自在なものと、
少なくとも2台の搬送装置を制御するコントローラ、とを備えるストッカに対して、
少なくとも2台の搬送装置が共に稼働中は、コントローラの制御により、専用棚を介さずに、共用棚を介してロードポート間で前記物品を搬送し、
かつ少なくとも2台の搬送装置の一方が稼動していない場合に、もしくは一方の搬送装置のメンテナンスに備えて、コントローラの制御により、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送する。
物品を搬送する、少なくとも2台の搬送装置と、
搬送装置間で共用される共用棚で前記物品の保管用のものと、搬送装置毎に設けられている専用棚で前記物品の保管用のものと、
外部との間で前記物品を出し入れするためのロードポートで、少なくとも一方の搬送装置が前記物品を受け渡し自在なものと、
少なくとも2台の搬送装置を制御するコントローラ、とを備えるストッカに対して、
少なくとも2台の搬送装置が共に稼働中は、コントローラの制御により、専用棚を介さずに、共用棚を介してロードポート間で前記物品を搬送し、
かつ少なくとも2台の搬送装置の一方が稼動していない場合に、もしくは一方の搬送装置のメンテナンスに備えて、コントローラの制御により、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送する。
この発明では、一方の搬送装置が稼動していない場合、他方の搬送装置が共用棚を介して物品を搬送できる。ここで専用棚には搬送対象の物品を保管しないので、ダウンした搬送装置のみがアクセス(物品の受け渡し)ができる棚には物品がなく、搬送不能な物品は生じない。なお専用棚には、ストッカの搬送対象となる物品以外の、メンテナンス用の資材、工具等を保管しても良いが、メンテナンス時等に共用棚から物品を移し換えることができるだけの空棚を有するように、専用棚を運用し、専用棚は例えば常時は空棚にしておく。搬送装置のメンテナンスにより、共用棚へのアクセスに制限が生じ、あるいは搬送能力が不足することがある。そこで共用棚から専用棚へ物品を搬送することにより、専用棚を介しての搬送ができるようにする。なお共用棚から専用棚への搬送は、一方の搬送装置が稼動しない場合に必ず実行するのではなく、共用棚が使用不能になる、一方の搬送装置のみでは搬送能力が不足するので、人手でバックアップする、等の場合に行う。
好ましくは、少なくとも2台の搬送装置の一方のメンテナンスに先立って、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送させるように、コントローラが構成されている。メンテナンスを行うと共用棚が使用できない、あるいは一方の搬送装置を停止させるので、搬送能力が不足する等の問題が生じる。そこで予め共用棚から専用棚へ前記物品を搬送することにより、専用棚を介しての物品の搬送を行えるようにする。
例えば実施例1では、少なくとも2台の搬送装置の一方のメンテナンスに先立って、少なくとも2台の搬送装置中の他の搬送装置の専用棚へ、共用棚から前記物品を搬送するように、コントローラが構成されている。実施例1では、搬送装置のメンテナンスではケージ等により作業者を保護し、また他の搬送装置の走行範囲を制限するので、共用棚を使用できなくなる。そこでメンテナンスに先立って、他の搬送装置の専用棚へ共用棚から物品を搬送しておくと、メンテナンス中も物品の一時保管と搬送とを続行できる。
また実施例2では、少なくとも2台の搬送装置の一方のメンテナンスに先立って、メンテナンスを受ける搬送装置側の専用棚へ、前記の一方の搬送装置により共用棚から前記物品を搬送するように、コントローラが構成されている。実施例2ではメンテナンス中も共用棚を使用できるが、搬送能力が不足する。ところでメンテナンスはストッカ内に足場を組んで行われる。そこでメンテナンス用の足場から人手で容易に物品を搬出できる位置の専用棚へ、メンテナンスを受ける搬送装置により事前に物品を移し換えておく。すると、メンテナンス中の搬送能力の不足を補うことができる。
好ましくはストッカは、複数のフロア間で前記物品を搬送すると共に、共用棚に前記物品を一時保管する。このようなフロア間搬送用のストッカでは、物品を保管できる個数よりも、フロア間での物品の搬送能力が重要なので、この発明では2台以上の搬送装置を設けて搬送能力を高める。また保管個数を大きくする必要がないので、共用棚の他に、常時は用いない専用棚を設けることができる。
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
図1,図2は最初の実施例のストッカ2を示し、ストッカ2は2台のスタッカークレーン12,13を備えている。ストッカ2はクリーンルーム内等に設けられ、複数のフロア4,4間で、図示しないFOUP等のキャリアを搬送すると共に一時的に保管する。ストッカ2との間でキャリアを受け渡しするのは、フロア4内を走行する手動台車、無人搬送車、天井走行車等で、天井走行車の走行レールを符号6により示す。また8はストッカ2の駆体で、ストッカ2のメンテナンス等のために、ドア10が設けられている。
スタッカークレーン12,13では、下部の台車15がレール16上を走行し、14は台車15から鉛直に起立するマストである。図示しないキャリアの移載装置を備えている昇降台17が、マスト14に沿って昇降する。例えばマスト14の上部にも台車19が設けられ、上部のレール18に沿って走行するが、上部の台車19とレール18は設けなくても良い。図1での、レール16の走行方向での右側をストッカ2の一端と呼び、レール16での走行方向での左側をストッカ2の他端と呼ぶ。またレール16での、走行方向中央部をストッカ2の中央部と呼ぶ。他端/中央部/一端は、レール16の走行方向に沿っての、水平面内での位置である。
ストッカ2の中央部に、鉛直方向に沿って共用棚20が例えばフロア4毎に設けられ、スタッカークレーン12,13が共にアクセスして、キャリアを受け渡しできる。またストッカ2の一端には、例えばフロア4毎に専用棚22とロードポート24とが設けられ、スタッカークレーン12のみがアクセスできる。逆にストッカ2の他端には、例えばフロア4毎に専用棚23とロードポート25とが設けられ、スタッカークレーン13のみがアクセスできる。なおアクセスするとは、スタッカークレーン12,13がキャリアを移載することをいう。各フロア4毎に、例えば上下にロードポート24,25が設けられ、上方のロードポートは天井走行車用、下方のロードポートは手動台車及び無人搬送車用である。
専用棚22,23の間口数(キャリアを保管できる数)は例えば等しくし、専用棚22,23の間口数は共用棚20の間口数以上とする。また常時は専用棚22,23を空にしておくが、メンテナンス用の資材等を保管しても良い。そして、スタッカークレーン12をメンテナンスする場合には、共用棚20のキャリアを全数専用棚23に収容し、スタッカークレーン13をメンテナンスする場合には、共用棚20のキャリアを全数専用棚22に収容できるようにしておく。なお専用のロードポート24,25の他に、スタッカークレーン12,13が共用するロードポートを設けても良い。30はケージで、例えばスタッカークレーン13をメンテナンスする際に、その周囲を囲って、他方のスタッカークレーン12と作業者との干渉を防止する。スタッカークレーン12をメンテナンスする場合も、同様にその周囲にケージ30を設置する。ケージ30の形状、設置方法等は任意である。
図2のa),b),c)に、ストッカ2の運用を示す。a)に示す常時の運用では、専用棚22,23は使用せずに空とし、スタッカークレーン12は、専用棚22、専用のロードポート24及び共用棚20までの作業エリア32でキャリアを移載する。またスタッカークレーン13は、専用棚23、専用のロードポート25及び共用棚20までの作業エリア33でキャリアを移載する。このようにして、キャリアのフロア間の搬送と保管とを行う。スタッカークレーン12,13間のインターロックは、ストッカのコントローラにより、あるいはスタッカークレーン12,13間の通信により実現する。
一方のスタッカークレーンに故障が生じた場合、あるいは節電のため一方のスタッカークレーンを休止させる場合の運用をb)に示す。ここではスタッカークレーン13を休止させるものとするが、スタッカークレーン12を休止させる場合も同様である。スタッカークレーン13をストッカ2の他端側へ、自動であるいは人手で退避させ、共用棚20から専用棚22とロードポート24とまでの作業エリア32を確保する。そしてスタッカークレーン12が作業エリア32内で作業することにより、ストッカ2の機能を維持する。
スタッカークレーン13をメンテナンスする場合、図1のようにスタッカークレーン13の周囲にケージ30等を設置し、スタッカークレーン12からメンテナンスを行う作業者を保護する。ケージ30の設置に先立ち、例えば図2b)の状態で、共用棚20内のキャリアを全数専用棚22へ移しておく。専用棚22は共用棚20以上の間口数を持ち、原則として空にしておくので、共用棚20からキャリアを全数専用棚22へ移すことができる。この結果、スタッカークレーン12の作業エリア32を、専用棚22からロードポート24までの範囲、即ちストッカ2の一端側に制限して、キャリアの保管とフロア間搬送とを行う。
図2のb)及びc)の状態でも、スタッカークレーン12によりストッカ2の機能を維持できる。これはスタッカークレーン12,13毎の専用棚22,23と専用のロードポート24,25を設け、専用棚22,23の間口数を共用棚20の間口数以上としたためである。ただしa)の状態に比べ、キャリアの搬送能力が低下する。以上のようにして、スタッカークレーン12または13の故障、メンテナンス等に、ストッカ2を休止させずに対処する。特に共用棚20に保管中のキャリアをスタッカークレーンにより搬出できるので、従来のように、ストッカを休止させて内部に足場を組み、人手によりキャリアを搬出する必要がない。
実施例の作用を補足する。1つのフロアのロードポート24,25へ外部から搬入されたキャリアを、直ちに異なるフロアのロードポート24,25へ搬送する場合は、共用棚20を介さずにロードポート24,25間で直接に搬送する。それ以外の場合は、1つのフロアのロードポート24,25へ外部から搬入されたキャリアを、常時及びスタッカークレーン12,13の一方が稼動していない場合は、共用棚20へ搬送する。またスタッカークレーン12,13の一方のメンテナンスの準備中の場合、及びメンテナンスの実行中の場合は、他方のスタッカークレーンの専用棚22または23へ搬送する。
図3〜図5に第2の実施例を示し、図1,図2と同じ符号は同じものを表す。42はストッカで、44はその駆体である。例えば図3の左右方向に沿って一対の垂直移載クレーン46,47が有り、マスト48に沿って、移載装置52を搭載した昇降台50が昇降する。なお移載装置52は特許文献1に記載のもの等を用いる。ストッカ42の内部スペースは、隔壁53によって左右一対の作業スペース54,55に分割され、例えば隔壁53に共用棚56が設けられている。作業スペース54にはクレーン46専用の専用棚58とロードポート60とが設けられ、作業スペース55にはクレーン47専用の専用棚59とロードポート61とが設けられている。また例えば各フロア4毎に、メンテナンス用のドア10が設けられている。
62はFOUP等のキャリアで、ロードポート60,61は例えばスライド棚受64,65を備えて、キャリア62をストッカ42の外部と内部との間でスライドさせる。共用棚56では、クレーン46はキャリア62の扉側から接近し、クレーン47はキャリア62の背面側から接近するので、作業スペース54,55間で、キャリア62の向きが逆になる。そこでクレーン47用のロードポート61のスライド棚受65にターンテーブル66を設けて、キャリア62を180°回転させる。
第2の実施例の作用を示す。常時は、共用棚56と専用のロードポート60,61間で、キャリア62を一対のクレーン46,47により搬送する。一方のクレーンにトラブルが生じても、他方のクレーンは共用棚56を介してキャリア62の搬送を継続できる。
次ぎに、一方のクレーンをメンテナンスする場合、メンテナンスに先立ち、共用棚56からメンテナンスを受ける側のクレーンの専用棚及びロードポートへ、キャリアを搬送しておく。専用棚の中でも、足場からキャリア62を容易に取り出すことができる位置の専用棚を優先し、足場からアクセスしにくい専用棚へはキャリアを保管しないようにする。またこの搬送は、メンテナンスを受ける側のクレーンにより、コントローラ28の制御で実行する。そしてロードポートへ移されたキャリアは、容易に外部から取り出すことができる。またメンテナンスのための足場が組まれると、専用棚からもキャリアを人手で取り出すことができる。このためメンテナンスによる搬送能力の低下を補うことができる。
2 ストッカ
4 フロア
6 天井走行車の走行レール
8 駆体
10 ドア
12,13 スタッカークレーン
14 マスト
15,19 台車
17 昇降台
16,18 レール
20 共用棚
22,23 専用棚
24,25 ロードポート
28 コントローラ
30 ケージ
32,33 作業エリア
42 ストッカ
44 駆体
46,47 垂直移載クレーン
48 マスト
50 昇降台
52 移載装置
53 隔壁
54,55 作業スペース
56 共用棚
58,59 専用棚
60,61 ロードポート
62 キャリア
64,65 スライド棚受
66 ターンテーブル
4 フロア
6 天井走行車の走行レール
8 駆体
10 ドア
12,13 スタッカークレーン
14 マスト
15,19 台車
17 昇降台
16,18 レール
20 共用棚
22,23 専用棚
24,25 ロードポート
28 コントローラ
30 ケージ
32,33 作業エリア
42 ストッカ
44 駆体
46,47 垂直移載クレーン
48 マスト
50 昇降台
52 移載装置
53 隔壁
54,55 作業スペース
56 共用棚
58,59 専用棚
60,61 ロードポート
62 キャリア
64,65 スライド棚受
66 ターンテーブル
Claims (6)
- 物品を搬送する、少なくとも2台の搬送装置と、
搬送装置間で共用される共用棚で前記物品の保管用のものと、搬送装置毎に設けられている専用棚で前記物品の保管用のものと、
外部との間で前記物品を出し入れするためのロードポートで、少なくとも一方の搬送装置が前記物品を受け渡し自在なものと、
少なくとも2台の搬送装置を制御するコントローラ、とを備え、
コントローラは少なくとも2台の搬送装置を制御して、少なくとも2台の搬送装置が共に稼働中は、専用棚に前記物品を保管せずに、共用棚を介してロードポート間で物品を搬送し、かつ少なくとも2台の搬送装置の一方が稼動していない場合に、もしくは一方の搬送装置のメンテナンスに備えて、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送するようにされている、ストッカ。 - 少なくとも2台の搬送装置の一方のメンテナンスに先立って、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送させるように、コントローラが構成されていることを特徴とする、請求項1のストッカ。
- 少なくとも2台の搬送装置の一方のメンテナンスに先立って、少なくとも2台の搬送装置中の他の搬送装置の専用棚へ、共用棚から前記物品を搬送するように、コントローラが構成されていることを特徴とする、請求項2のストッカ。
- 少なくとも2台の搬送装置の一方のメンテナンスに先立って、メンテナンスを受ける専用棚へ、共用棚から前記物品を搬送するように、コントローラが構成されていることを特徴とする、請求項2のストッカ。
- 複数のフロア間で前記物品を搬送すると共に、共用棚に前記物品を一時保管するためのストッカであることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかのストッカ。
- 物品を搬送する、少なくとも2台の搬送装置と、
搬送装置間で共用される共用棚で前記物品の保管用のものと、搬送装置毎に設けられている専用棚で前記物品の保管用のものと、
外部との間で前記物品を出し入れするためのロードポートで、少なくとも一方の搬送装置が前記物品を受け渡し自在なものと、
少なくとも2台の搬送装置を制御するコントローラ、とを備えるストッカに対して、
少なくとも2台の搬送装置が共に稼働中は、コントローラの制御により、専用棚を介さずに、共用棚を介してロードポート間で前記物品を搬送し、
かつ少なくとも2台の搬送装置の一方が稼動していない場合に、もしくは一方の搬送装置のメンテナンスに備えて、コントローラの制御により、共用棚から専用棚へ前記物品を搬送する、ストッカでの移載装置のバックアップ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014180202A JP2016054253A (ja) | 2014-09-04 | 2014-09-04 | ストッカ及びストッカでの移載装置のバックアップ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014180202A JP2016054253A (ja) | 2014-09-04 | 2014-09-04 | ストッカ及びストッカでの移載装置のバックアップ方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016054253A true JP2016054253A (ja) | 2016-04-14 |
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ID=55745240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014180202A Pending JP2016054253A (ja) | 2014-09-04 | 2014-09-04 | ストッカ及びストッカでの移載装置のバックアップ方法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016054253A (ja) |
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2014
- 2014-09-04 JP JP2014180202A patent/JP2016054253A/ja active Pending
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