JP2016050863A - 光学セル及びその製造方法 - Google Patents
光学セル及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016050863A JP2016050863A JP2014176699A JP2014176699A JP2016050863A JP 2016050863 A JP2016050863 A JP 2016050863A JP 2014176699 A JP2014176699 A JP 2014176699A JP 2014176699 A JP2014176699 A JP 2014176699A JP 2016050863 A JP2016050863 A JP 2016050863A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- optical cell
- pieces
- bonding
- piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Measuring Cells (AREA)
Abstract
Description
試料を中空部に保持し、光を入射面から入れて、前記試料を通った前記光を出射面から出す光学セルにおいて、
前記入射面及び前記出射面となる面を有する複数の水晶片と、
これらの水晶片を原子拡散接合法によって接合する接合材と、
接合された前記複数の水晶片に囲まれることによって形成された前記中空部と、
を備えたことを特徴とする。
本発明に係る光学セルを製造する方法であって、
前記複数の水晶片に前記接合材を形成する工程と、
前記接合材が形成された前記複数の水晶片を前記中空部を形成するように配置する工程と、
前記原子拡散接合法によって前記複数の水晶片を前記接合材を介して接合する工程と、
を含む。以下、「光学セルの製造方法」を単に「製造方法」という。
11 中空部
111 入口
112 出口
12 入射面
13 出射面
21 第一の水晶片
22 第二の水晶片
23 第三の水晶片
24 第四の水晶片
25 接合材
26 隙間
S 試料
P1,P2 光
31 第一の水晶ウェハ
32 第二の水晶ウェハ
33 第三の水晶ウェハ
331 貫通孔
34 切断ライン
40 光学セル(実施形態2)
41 第一の水晶片
42 第二の水晶片
43 溝
51 第一の水晶ウェハ
52 第二の水晶ウェハ
60 光学セル(実施形態3)
61 第一の水晶片
62 第二の水晶片
63 溝
641,642 端面
651 第一の側面
652 第二の側面
653 第三の側面
12’ 入射面
13’ 出射面
P1’,P2’ 光
70 光学セル(実施形態4)
71 第一の水晶片
72 第二の水晶片
73 第三の水晶片
74 第四の水晶片
751,752 端面
761 第一の短側面
762 第二の短側面
771 第一の短側面
772 第二の短側面
Claims (8)
- 試料を中空部に保持し、光を入射面から入れて、前記試料を通った前記光を出射面から出す光学セルにおいて、
前記入射面及び前記出射面となる面を有する複数の水晶片と、
これらの水晶片を原子拡散接合法によって接合する接合材と、
接合された前記複数の水晶片に囲まれることによって形成された前記中空部と、
を備えたことを特徴とする光学セル。 - 前記複数の水晶片は、平板状の第一、第二、第三及び第四の水晶片からなり、
前記第三の水晶片と前記第四の水晶片との間に隙間が生じた状態で、当該第三及び第四の水晶片が前記第一の水晶片と前記第二の水晶片との間に接合されることにより、前記隙間が前記中空部となっている、
請求項1記載の光学セル。 - 前記複数の水晶片は、平板状の第一及び第二の水晶片からなり、
前記第一及び第二の水晶片の少なくとも一方に溝が形成されており、
前記第一の水晶片と前記第二の水晶片とが前記溝を挟んで接合されることにより、前記溝が前記中空部となっている、
請求項1記載の光学セル。 - 前記複数の水晶片は、三角柱状の第一及び第二の水晶片からなり、
これらの第一及び第二の水晶片は、それぞれ、
直角三角形からなる互いに平行な二つの端面と、
前記直角三角形の一方の隣辺を含む第一の側面と、
前記直角三角形の他方の隣辺を含む第二の側面と、
前記直角三角形の斜辺を含む第三の側面とを有し、
前記第三の側面に前記二つの端面を結ぶように溝が形成されており、
前記第一の水晶片と前記第二の水晶片とが前記溝を挟んで接合されることにより、前記溝が前記中空部となっている、
請求項1記載の光学セル。 - 前記複数の水晶片は、直方体状の第一乃至第四の水晶片からなり、
これらの第一乃至第四の水晶片は、それぞれ、
長方形からなる互いに平行な二つの端面と、
前記長方形の短辺を含む第一及び第二の短側面と、
前記長方形の長辺を含む第一及び第二の長側面とを有し、
前記中空部を形成するように、前記第一の水晶片の前記第一の短側面と前記第二の水晶片の前記第一の長側面とが接合され、前記第二の水晶片の前記第一の短側面と前記第三の水晶片の前記第一の長側面とが接合され、前記第三の水晶片の前記第一の短側面と前記第四の水晶片の前記第一の長側面とが接合され、前記第四の水晶片の前記第一の短側面と前記第一の水晶片の前記第一の長側面とが接合された、
請求項1記載の光学セル。 - 請求項1記載の光学セルを製造する方法であって、
前記複数の水晶片に前記接合材を形成する工程と、
前記接合材が形成された前記複数の水晶片を前記中空部を形成するように配置する工程と、
前記原子拡散接合法によって前記複数の水晶片を前記接合材を介して接合する工程と、
を含む光学セルの製造方法。 - 請求項2記載の光学セルを製造する方法であって、
第一、第二及び第三の水晶ウェハを予め用意しておき、
前記第三の水晶ウェハに前記隙間となる貫通孔を形成する工程と、
前記第一及び第二の水晶ウェハの片方の面並びに前記第三の水晶ウェハの両方の面に前記接合材を形成する工程と、
互いの前記接合材が接するように、前記第一の水晶ウェハの上に前記第三の水晶ウェハを重ね、前記第三の水晶ウェハの上に前記第二の水晶ウェハを重ね、前記原子拡散接合法によって前記第一、第二及び第三の水晶ウェハを前記接合材を介して接合する工程と、
接合された前記第一、第二及び第三の水晶ウェハを切り出して前記光学セルを得る工程と、
を含む光学セルの製造方法。 - 請求項3記載の光学セルを製造する方法であって、
第一及び第二の水晶ウェハを予め用意しておき、
前記第一及び第二の水晶ウェハの少なくとも一方に前記溝を形成する工程と、
前記第一及び第二の水晶ウェハの片方の面に前記接合材を形成する工程と、
互いの前記接合材が接するように、前記第一の水晶ウェハの上に前記溝を挟んで前記第二の水晶ウェハを重ね、前記原子拡散接合法によって前記第一及び第二の水晶ウェハを前記接合材を介して接合する工程と、
接合された前記第一及び第二の水晶ウェハを切り出して前記光学セルを得る工程と、
を含む光学セルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014176699A JP6395517B2 (ja) | 2014-09-01 | 2014-09-01 | 光学セルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014176699A JP6395517B2 (ja) | 2014-09-01 | 2014-09-01 | 光学セルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016050863A true JP2016050863A (ja) | 2016-04-11 |
JP6395517B2 JP6395517B2 (ja) | 2018-09-26 |
Family
ID=55658464
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014176699A Active JP6395517B2 (ja) | 2014-09-01 | 2014-09-01 | 光学セルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6395517B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018155935A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 株式会社大真空 | 波長変換素子およびレーザ照射装置 |
JPWO2017213059A1 (ja) * | 2016-06-06 | 2019-06-13 | 国立大学法人名古屋大学 | 水晶振動子を用いたワイドレンジ荷重センサ |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60207038A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-18 | Shimadzu Corp | 液体クロマトグラフ用フロ−セル |
JPH0376151U (ja) * | 1989-11-28 | 1991-07-30 | ||
US6224830B1 (en) * | 1998-01-30 | 2001-05-01 | The Governors Of The University Of Alberta | Absorbance cell for microfluid devices |
WO2008105191A1 (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-04 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | 黒色合成石英ガラス及びその製造方法 |
JP2008207221A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Takehito Shimazu | 常温接合方法 |
JP2008224342A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Rion Co Ltd | フローセル、フローセルの製造方法及び粒子測定装置 |
JP2011187867A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Tohoku Univ | 接合方法および水晶素子 |
JP2012078476A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Kyocera Kinseki Corp | 複合型エタロンフィルタ |
JP2012223792A (ja) * | 2011-04-19 | 2012-11-15 | Musashino Eng:Kk | 原子拡散接合方法及び前記方法で封止されたパッケージ型電子部品 |
JP2013027844A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Kyocera Crystal Device Corp | マイクロリアクター |
JP2013097150A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Kyocera Crystal Device Corp | エタロンフィルタ |
JP2013173654A (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-05 | Ushio Inc | ガラス基板もしくは水晶基板からなるワークの貼り合わせ方法および装置 |
JP2013238738A (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Tohoku Univ | 光学デバイスおよびその製造方法 |
-
2014
- 2014-09-01 JP JP2014176699A patent/JP6395517B2/ja active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60207038A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-18 | Shimadzu Corp | 液体クロマトグラフ用フロ−セル |
JPH0376151U (ja) * | 1989-11-28 | 1991-07-30 | ||
US6224830B1 (en) * | 1998-01-30 | 2001-05-01 | The Governors Of The University Of Alberta | Absorbance cell for microfluid devices |
WO2008105191A1 (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-04 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | 黒色合成石英ガラス及びその製造方法 |
JP2008207221A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Takehito Shimazu | 常温接合方法 |
JP2008224342A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Rion Co Ltd | フローセル、フローセルの製造方法及び粒子測定装置 |
JP2011187867A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Tohoku Univ | 接合方法および水晶素子 |
JP2012078476A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Kyocera Kinseki Corp | 複合型エタロンフィルタ |
JP2012223792A (ja) * | 2011-04-19 | 2012-11-15 | Musashino Eng:Kk | 原子拡散接合方法及び前記方法で封止されたパッケージ型電子部品 |
JP2013027844A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Kyocera Crystal Device Corp | マイクロリアクター |
JP2013097150A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Kyocera Crystal Device Corp | エタロンフィルタ |
JP2013173654A (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-05 | Ushio Inc | ガラス基板もしくは水晶基板からなるワークの貼り合わせ方法および装置 |
JP2013238738A (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Tohoku Univ | 光学デバイスおよびその製造方法 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
"原子拡散接合法を用いたウエハの室温接合とデバイス応用", 精密工学会誌, vol. 第79巻、第8号, JPN7018001623, 2013, JP, pages 710 - 713, ISSN: 0003846617 * |
"金属薄膜を用いた原子拡散接合の開発", まてりあ, vol. 第49巻、第10号, JPN7018001622, 2010, JP, pages 521 - 527, ISSN: 0003846616 * |
須賀唯知: "大気中常温接合の新手法", 科学研究費助成事業研究成果報告書, JPN6018018516, 24 June 2014 (2014-06-24), JP, pages 23246125, ISSN: 0003846618 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2017213059A1 (ja) * | 2016-06-06 | 2019-06-13 | 国立大学法人名古屋大学 | 水晶振動子を用いたワイドレンジ荷重センサ |
JP2018155935A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 株式会社大真空 | 波長変換素子およびレーザ照射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6395517B2 (ja) | 2018-09-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5899513B2 (ja) | 基板製造方法、および改質層形成装置 | |
JP6395517B2 (ja) | 光学セルの製造方法 | |
TWI304137B (ja) | ||
WO2011155314A1 (ja) | ガラス板の切断方法 | |
CN102037386A (zh) | 光学元件及其制造方法 | |
US10620446B1 (en) | Endcap array for optical fibers | |
JP2009237473A (ja) | 偏光子の製造方法 | |
WO2006090646A1 (ja) | 光学ガラスの製造方法,偏光変換素子の製造方法及び偏光変換素子 | |
WO2022104168A3 (en) | Magneto-electrostatic sensing, focusing, and steering of electron beams in vacuum electron devices | |
CN109565141A (zh) | 平面波导型激光装置 | |
JP5543525B2 (ja) | 光学デバイスおよびその製造方法 | |
JPS60158410A (ja) | 光分岐器の作成方法 | |
JP2013539056A (ja) | 寸法が異なる矩形ビーム断面を得るための光インテグレータ | |
JP2012078475A (ja) | エタロンフィルタ | |
TW201603930A (zh) | 雷射結構改良 | |
JP2006220773A (ja) | 光学素子の製造方法 | |
JP2012073413A (ja) | 偏光変換素子及び偏光変換素子の製造方法 | |
JP2006220774A (ja) | 光学素子の製造方法 | |
KR20220130767A (ko) | 기준 표면을 사용한 광자 시스템 컴포넌트의 정렬 | |
CN101464535A (zh) | 一种标准具及其制作方法 | |
JP2023022334A (ja) | 積層体、マイクロ流路チップ及びこれらの製造方法 | |
JP2016150342A (ja) | クラッド鋼材の製造方法、組立スラブ、およびクラッド鋼材の製造装置 | |
JP5617848B2 (ja) | 光学素子の製造方法及びその製造方法に用いる治具 | |
JP2004053580A (ja) | 合成コランダムセル | |
TWI766993B (zh) | 多層脆性材料基板的製作方法及製作系統 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20170512 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170710 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180522 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180718 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180731 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180828 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6395517 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |