JP2016045321A - 光走査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1実施形態にかかる光走査装置について、図1〜図4を参照して説明する。なお、図2は、断面図ではないが、図を見易くするために、部分的にハッチングを示してある。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してミラー駆動配線30の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してミラー駆動配線30の構成を変更すると共に、光走査装置100の駆動方法を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
11、21、31 導電性基材
12、22、32 下地膜
13、23 圧電膜
14 共振走査用電極
20 焦点可変ミラー
24 ミラー用電極
30 ミラー駆動配線
33 非圧電性絶縁膜
34 表層導体層
Claims (6)
- 剛体(1a)および梁部(1b)を有する基板(1)と、
下部導電性層(3a)と層間絶縁膜(3b)および上部導電性層(3c)を含み、前記剛体および前記梁部の上および前記剛体および前記梁部より外側に張り出すように形成された複数層の積層体(3)と、を有し、
前記積層体のうち前記剛体より外側に張り出す部分によって構成されたアクチュエータ部を有すると共に前記剛体および前記梁部の一部の上に形成された共振走査部(10)と、前記積層体のうち前記梁部の残部の上および該梁部より外側に張り出すように形成された部分によって構成された焦点可変ミラー(20)とが、前記複数層の積層体がパターニングされることで形成されてなる光走査装置であって、
前記複数の積層体がパターニングされることで形成され、前記焦点可変ミラーから前記共振走査部を通じて前記共振走査部よりも外側へ引き出された、前記焦点可変ミラーへのミラー駆動用電圧の印加を行うためのミラー駆動配線(30)を有し、
前記共振走査部では前記層間絶縁膜が圧電膜(13)によって構成されており、前記ミラー駆動配線では前記層間絶縁膜が非圧電性絶縁膜(33)によって構成されていることを特徴とする光走査装置。 - 前記ミラー駆動配線のうち、少なくとも前記共振走査部における前記アクチュエータ部内に位置している部分において、前記層間絶縁膜が前記非圧電性絶縁膜によって構成されていることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
- 前記層間絶縁膜は圧電性材料によって構成されており、前記ミラー駆動配線における前記非圧電性絶縁膜とされた部分がイオン注入によって結晶性が破壊されているか、もしくはレーザアニールによって圧電性が劣化させられていることで構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光走査装置。
- 剛体(1a)および梁部(1b)を有する基板(1)と、
下部導電性層(3a)と層間絶縁膜(3b)および上部導電性層(3c)を含み、前記剛体および前記梁部の上および前記剛体および前記梁部より外側に張り出すように形成された複数層の積層体(3)と、を有し、
前記積層体のうち前記剛体より外側に張り出す部分によって構成されたアクチュエータ部を有すると共に前記剛体および前記梁部の一部の上に形成された共振走査部(10)と、前記積層体のうち前記梁部の残部の上および該梁部より外側に張り出すように形成された部分によって構成された焦点可変ミラー(20)とが、前記複数層の積層体がパターニングされることで形成されてなる光走査装置であって、
前記基板は半導体基板で構成され、該半導体基板の上に絶縁膜(2)を介して前記積層体が形成されており、前記半導体基板のうち前記共振走査部の下方に位置する部分に拡散層が形成され、該拡散層によって、前記焦点可変ミラーから前記共振走査部の下方を通じて前記共振走査部よりも外側へ引き出された、前記焦点可変ミラーへのミラー駆動用電圧の印加を行うためのミラー駆動配線(30)が構成されていることを特徴とする光走査装置。 - 前記半導体基板は、前記アクチュエータ部の下方にも前記剛体となる部分よりも薄くされた状態で配置されており、該アクチュエータ部の下方を通過して前記ミラー駆動配線が形成されていることを特徴とする請求項4に記載の光走査装置。
- 剛体(1a)および梁部(1b)を有する基板(1)と、
下部導電性層(3a)と層間絶縁膜(3b)および上部導電性層(3c)を含み、前記剛体および前記梁部の上および前記剛体および前記梁部より外側に張り出すように形成された複数層の積層体(3)と、を有し、
前記積層体のうち前記剛体より外側に張り出す部分によって構成されたアクチュエータ部を有すると共に前記剛体および前記梁部の一部の上に形成された共振走査部(10)と、前記積層体のうち前記梁部の残部の上および該梁部より外側に張り出すように形成された部分によって構成された焦点可変ミラー(20)とが、前記複数層の積層体がパターニングされることで形成されてなる光走査装置であって、
前記複数の積層体がパターニングされることで形成され、前記焦点可変ミラーから前記共振走査部の内部を通じて前記共振走査部よりも外側へ引き出された、前記焦点可変ミラーへのミラー駆動用電圧の印加を行うためのミラー駆動配線(30)を有し、
前記共振走査部および前記ミラー駆動配線における前記層間絶縁膜は圧電膜(13、37)によって構成されており、前記焦点可変ミラーに対して前記ミラー駆動配線を通じてミラー駆動電圧が印加されると共に、前記共振走査部に前記ミラー駆動電圧が前記ミラー駆動配線に印加されることによる前記共振走査部の共振周波数変化を打ち消す逆位相信号を含む共振走査用電圧が印加されることを特徴とする光走査装置。
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