JP2016035977A5 - ローラーインプリント用モールドとインプリント方法およびワイヤーグリッド偏光子とその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 14
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 11
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims description 8
- 238000002788 crimping Methods 0.000 claims 6
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
Description
このような目的を達成するために、本発明のローラーインプリント用モールドは、可撓性を有する基材と、該基材の一の面に設定された主パターン領域と計測パターン領域、を有し、前記主パターン領域には、ライン形状の主凸パターンあるいは主凹パターンが所望のスペースを介して複数配列され構成された主パターンが位置し、前記計測パターン領域には、ライン形状の単位凸パターンあるいは単位凹パターンが所望のスペースを介して複数配列され構成された計測パターンが位置し、個々の前記単位凸パターン、個々の前記単位凹パターンは、光学顕微鏡による観察が不可能であるが、前記計測パターンは、前記光学顕微鏡により観察可能な部位を有し、前記主パターンのライン方向と、前記計測パターンのライン方向とが等しいような構成とした。
本発明の他の態様として、前記主パターンを構成するライン形状の主凸パターンあるいは主凹パターンのライン幅と、前記計測パターンを構成するライン形状の単位凸パターンあるいは単位凹パターンのライン幅とが等しいような構成とした。
本発明の他の態様として、前記計測パターン領域は、前記主パターン領域の外郭線の内側に位置する領域を少なくとも有するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記計測パターン領域は、前記主パターン領域の外郭線の内側に位置する領域を少なくとも有するような構成とした。
本発明のインプリント方法は、一方の面に凹凸構造を有する可撓性のローラーインプリント用モールドの前記凹凸構造を有する面を、前記凹凸構造が形成されていない面からローラーで加圧することにより、転写基板の一方の面に位置する被成形樹脂層に圧着させる圧着工程と、前記ローラーインプリント用モールドに圧着させた前記被成形樹脂層を硬化させることにより前記凹凸構造が転写された転写樹脂層とする硬化工程と、前記転写樹脂層と前記ローラーインプリント用モールドを引き離すことにより、前記転写樹脂層であるパターン構造体を前記転写基板上に位置させた状態とする離型工程と、を有し、前記ローラーインプリント用モールドは、上述の本発明のローラーインプリント用モールドを使用し、前記圧着工程では、前記ローラーインプリント用モールドの前記主パターンのライン方向に沿って、前記ローラーインプリント用モールドを前記被成形樹脂層に圧着させるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記離型工程では、前記ローラーインプリント用モールドの前記主パターンのライン方向に沿って、前記転写樹脂層と前記ローラーインプリント用モールドとを引き離すような構成とした。
本発明のワイヤーグリッド偏光子は、透明基板と、該透明基板の一の面に位置するワイヤーグリッド材料層と、該ワイヤーグリッド材料層に設定されたワイヤーグリッド領域と計測パターン領域と、を有し、前記ワイヤーグリッド材料層の前記ワイヤーグリッド領域には、ライン形状の主開口部が所望のスペースを介して複数配列され構成されたワイヤーグリッドが位置し、前記ワイヤーグリッド材料層の前記計測パターン領域には、ライン形状の単位開口部が所望のスペースを介して複数配列され構成された計測パターンが位置し、個々の前記単位開口部は、光学顕微鏡による観察が不可能であるが、前記計測パターンは、前記光学顕微鏡により観察可能な部位を有し、前記主開口部のライン方向と、前記単位開口部のライン方向とが等しく、また、前記主開口部のライン幅と、前記単位開口部のライン幅とが等しいような構成とした。
本発明の他の態様として、前記計測パターン領域は、前記ワイヤーグリッド領域の外郭線の内側に位置する領域を少なくとも有するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記計測パターン領域は、前記ワイヤーグリッド領域の外郭線の内側に位置する領域を少なくとも有するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記ワイヤーグリッド領域と前記計測パターン領域との距離が100μm以下であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記単位開口部の中心線と、該中心線の延長上に位置する前記主開口部の中心線との位置ずれが、前記単位開口部のライン幅の半分未満であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記単位開口部の中心線と、該中心線の延長上に位置する前記主開口部の中心線との位置ずれが、前記単位開口部のライン幅の半分未満であるような構成とした。
本発明のワイヤーグリッド偏光子の製造方法は、一方の面に凹凸構造を有する可撓性のローラーインプリント用モールドの前記凹凸構造を有する面を、前記凹凸構造が形成されていない面からローラーで加圧することにより、一の面にワイヤーグリッド材料層を備える透明基板の該ワイヤーグリッド材料層上に位置するエッチングレジスト層に圧着させる圧着工程と、前記ローラーインプリント用モールドに圧着させた前記エッチングレジスト層を硬化させることにより前記凹凸構造が転写されたレジストパターン層とする硬化工程と、前記レジストパターン層と前記ローラーインプリント用モールドを引き離す離型工程と、前記レジストパターン層をエッチングマスクとして前記ワイヤーグリッド材料層をエッチングすることにより、ワイヤーグリッドを構成するライン形状の主開口部と、計測パターンを構成するライン形状の単位開口部を形成するエッチング工程と、を有し、前記ローラーインプリント用モールドは、請求項2に記載のローラーインプリント用モールドを使用し、前記圧着工程では、前記ローラーインプリント用モールドの前記主パターンのライン方向に沿って、前記ローラーインプリント用モールドを前記エッチングレジスト層に圧着させ、前記離型工程では、前記ローラーインプリント用モールドの前記主パターンのライン方向に沿って、前記レジストパターン層と前記ローラーインプリント用モールドを引き離すような構成とした。
上述のインプリント用モールドは例示であり、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。上述の実施形態では、ライン形状の単位凸パターンが所望のスペースを介して複数配列され構成された計測パターンの外形形状が十字形状であるが、この計測パターンの外形形状は、十字形状に限定されるものではない。例えば、図10に示されるように、矢印Bで示される方向に延設されたライン形状の単位凸パターン48aを所望のスペースを介して複数配列し、同じく矢印Bで示される方向に延設されたライン形状の単位凸パターン48bを所望のスペースを介して複数配列し、この2種の単位凸パターンにより、計測パターン47の外形形状が口形状に構成されたものであってもよい。また、図11に示すように、矢印Bで示される方向に延設され、かつ、切欠きが多数設けられたライン形状の単位凸パターン58aを所望のスペースを介して複数配列し、同じく矢印Bで示される方向に延設され、かつ、切欠きが多数設けられたライン形状の単位凸パターン58bを所望のスペースを介して複数配列し、この2種の単位凸パターンにより、計測パターン57の外形形状が十字形状に構成されたものであってもよい。尚、図10、図11では、単位凸パターン48a,48b、単位凸パターン58a,58bには斜線を付して示している。
Claims (13)
- 可撓性を有する基材と、該基材の一の面に設定された主パターン領域と計測パターン領域、を有し、
前記主パターン領域には、ライン形状の主凸パターンあるいは主凹パターンが所望のスペースを介して複数配列され構成された主パターンが位置し、
前記計測パターン領域には、ライン形状の単位凸パターンあるいは単位凹パターンが所望のスペースを介して複数配列され構成された計測パターンが位置し、個々の前記単位凸パターン、個々の前記単位凹パターンは、光学顕微鏡による観察が不可能であるが、前記計測パターンは、前記光学顕微鏡により観察可能な部位を有し、
前記主パターンのライン方向と、前記計測パターンのライン方向とが等しいことを特徴とするローラーインプリント用モールド。 - 前記主パターンを構成するライン形状の主凸パターンあるいは主凹パターンのライン幅と、前記計測パターンを構成するライン形状の単位凸パターンあるいは単位凹パターンのライン幅とが等しいことを特徴とする請求項1に記載のローラーインプリント用モールド。
- 前記計測パターン領域は、前記主パターン領域の外郭線の内側に位置する領域を少なくとも有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のローラーインプリント用モールド。
- 前記主パターン領域と前記計測パターン領域との距離が100μm以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のローラーインプリント用モールド。
- 前記計測パターンを構成するライン形状の単位凸パターンあるいは単位凹パターンの中心線と、該中心線の延長線上に位置する前記主パターンを構成するライン形状の主凸パターンあるいは主凹パターンの中心線との位置ずれが、前記計測パターンを構成するライン形状の単位凸パターンあるいは単位凹パターンのライン幅の半分未満であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のローラーインプリント用モールド。
- 前記基材は、樹脂フィルムであることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のローラーインプリント用モールド。
- 一方の面に凹凸構造を有する可撓性のローラーインプリント用モールドの前記凹凸構造を有する面を、前記凹凸構造が形成されていない面からローラーで加圧することにより、転写基板の一方の面に位置する被成形樹脂層に圧着させる圧着工程と、
前記ローラーインプリント用モールドに圧着させた前記被成形樹脂層を硬化させることにより前記凹凸構造が転写された転写樹脂層とする硬化工程と、
前記転写樹脂層と前記ローラーインプリント用モールドを引き離すことにより、前記転写樹脂層であるパターン構造体を前記転写基板上に位置させた状態とする離型工程と、を有し、
前記ローラーインプリント用モールドは、請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のローラーインプリント用モールドを使用し、前記圧着工程では、前記ローラーインプリント用モールドの前記主パターンのライン方向に沿って、前記ローラーインプリント用モールドを前記被成形樹脂層に圧着させることを特徴とするインプリント方法。 - 前記離型工程では、前記ローラーインプリント用モールドの前記主パターンのライン方向に沿って、前記転写樹脂層と前記ローラーインプリント用モールドとを引き離すことを特徴とする請求項7に記載のインプリント方法。
- 透明基板と、該透明基板の一の面に位置するワイヤーグリッド材料層と、該ワイヤーグリッド材料層に設定されたワイヤーグリッド領域と計測パターン領域と、を有し、
前記ワイヤーグリッド材料層の前記ワイヤーグリッド領域には、ライン形状の主開口部が所望のスペースを介して複数配列され構成されたワイヤーグリッドが位置し、
前記ワイヤーグリッド材料層の前記計測パターン領域には、ライン形状の単位開口部が所望のスペースを介して複数配列され構成された計測パターンが位置し、個々の前記単位開口部は、光学顕微鏡による観察が不可能であるが、前記計測パターンは、前記光学顕微鏡により観察可能な部位を有し、
前記主開口部のライン方向と、前記単位開口部のライン方向とが等しく、また、前記主開口部のライン幅と、前記単位開口部のライン幅とが等しいことを特徴とするワイヤーグリッド偏光子。 - 前記計測パターン領域は、前記ワイヤーグリッド領域の外郭線の内側に位置する領域を少なくとも有することを特徴とする請求項9に記載のワイヤーグリッド偏光子。
- 前記ワイヤーグリッド領域と前記計測パターン領域との距離が100μm以下であることを特徴とする請求項9または請求項10に記載のワイヤーグリッド偏光子。
- 前記単位開口部の中心線と、該中心線の延長上に位置する前記主開口部の中心線との位置ずれが、前記単位開口部のライン幅の半分未満であることを特徴とする請求項9乃至請求項11のいずれかに記載のワイヤーグリッド偏光子。
- 一方の面に凹凸構造を有する可撓性のローラーインプリント用モールドの前記凹凸構造を有する面を、前記凹凸構造が形成されていない面からローラーで加圧することにより、一の面にワイヤーグリッド材料層を備える透明基板の該ワイヤーグリッド材料層上に位置するエッチングレジスト層に圧着させる圧着工程と、
前記ローラーインプリント用モールドに圧着させた前記エッチングレジスト層を硬化させることにより前記凹凸構造が転写されたレジストパターン層とする硬化工程と、
前記レジストパターン層と前記ローラーインプリント用モールドを引き離す離型工程と、
前記レジストパターン層をエッチングマスクとして前記ワイヤーグリッド材料層をエッチングすることにより、ワイヤーグリッドを構成するライン形状の主開口部と、計測パターンを構成するライン形状の単位開口部を形成するエッチング工程と、を有し、
前記ローラーインプリント用モールドは、請求項2に記載のローラーインプリント用モールドを使用し、
前記圧着工程では、前記ローラーインプリント用モールドの前記主パターンのライン方向に沿って、前記ローラーインプリント用モールドを前記エッチングレジスト層に圧着させ、前記離型工程では、前記ローラーインプリント用モールドの前記主パターンのライン方向に沿って、前記レジストパターン層と前記ローラーインプリント用モールドを引き離すことを特徴とするワイヤーグリッド偏光子の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014158418A JP6076946B2 (ja) | 2014-08-04 | 2014-08-04 | ローラーインプリント用モールドとインプリント方法およびワイヤーグリッド偏光子とその製造方法 |
PCT/JP2015/071599 WO2016021475A1 (ja) | 2014-08-04 | 2015-07-30 | インプリント用モールドとインプリント方法およびワイヤーグリッド偏光子とその製造方法 |
KR1020177005514A KR20170038872A (ko) | 2014-08-04 | 2015-07-30 | 임프린트용 몰드와 임프린트 방법 및 와이어 그리드 편광자와 그 제조 방법 |
US15/501,629 US10088617B2 (en) | 2014-08-04 | 2015-07-30 | Imprint mold, imprint method, wire grid polarizer, and method for manufacturing wire grid polarizer |
TW104125111A TW201609355A (zh) | 2014-08-04 | 2015-08-03 | 壓印用模具及壓印方法以及線柵偏光元件及其製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014158418A JP6076946B2 (ja) | 2014-08-04 | 2014-08-04 | ローラーインプリント用モールドとインプリント方法およびワイヤーグリッド偏光子とその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016205725A Division JP2017034276A (ja) | 2016-10-20 | 2016-10-20 | インプリント用モールドとインプリント方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016035977A JP2016035977A (ja) | 2016-03-17 |
JP2016035977A5 true JP2016035977A5 (ja) | 2016-05-19 |
JP6076946B2 JP6076946B2 (ja) | 2017-02-08 |
Family
ID=55263744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014158418A Active JP6076946B2 (ja) | 2014-08-04 | 2014-08-04 | ローラーインプリント用モールドとインプリント方法およびワイヤーグリッド偏光子とその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10088617B2 (ja) |
JP (1) | JP6076946B2 (ja) |
KR (1) | KR20170038872A (ja) |
TW (1) | TW201609355A (ja) |
WO (1) | WO2016021475A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180009825A (ko) * | 2016-07-19 | 2018-01-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 롤 타입 임프린트 마스터 몰드, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 임프린트 방법 |
KR20180035985A (ko) * | 2016-09-29 | 2018-04-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 와이어 그리드 편광자 제조용 마스터 몰드, 와이어 그리드 편광자 및 이를 제조하는 방법 및 와이어 그리드 편광자를 포함하는 표시 장치 |
JP7037729B2 (ja) * | 2018-09-21 | 2022-03-17 | 日本電気硝子株式会社 | フレキシブルモールドの製造方法、フレキシブルモールド用の基材、及び光学部品の製造方法 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001274073A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-05 | Toshiba Corp | 重ね合わせ露光方法及び露光システム |
JP2003066229A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Kyocera Corp | 縞状偏光子 |
JP2006100619A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2006215230A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Nikon Corp | 光学部品及びその製造方法 |
KR101300866B1 (ko) * | 2005-03-09 | 2013-08-27 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 정합 상태로 된 양면형의 패터닝된 웨브를 제조하는 장치및 방법 |
JP4290177B2 (ja) * | 2005-06-08 | 2009-07-01 | キヤノン株式会社 | モールド、アライメント方法、パターン形成装置、パターン転写装置、及びチップの製造方法 |
US8906282B2 (en) * | 2005-07-06 | 2014-12-09 | Nanyang Technological University | Micro-structured and nano-structured surfaces on biodegradable polymers |
JP2007035768A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Toshiba Corp | 合わせずれ検査用マークの形成方法及び半導体装置の製造方法 |
US8202075B2 (en) * | 2005-08-12 | 2012-06-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and imprint method |
JP4795214B2 (ja) | 2006-12-07 | 2011-10-19 | チェイル インダストリーズ インコーポレイテッド | ワイヤーグリッド偏光子及びその製造方法 |
JP5088369B2 (ja) * | 2007-05-18 | 2012-12-05 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | インプリント方法 |
JP2009004028A (ja) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Fujifilm Corp | モールド構造体の検査方法、モールド構造体、モールド原盤、及び磁気記録媒体 |
KR101530734B1 (ko) * | 2007-10-05 | 2015-06-22 | 가부시키가이샤 니콘 | 표시디바이스의 결함검출방법 및 표시디바이스의 결함검출장치 |
JP5347617B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2013-11-20 | 東レ株式会社 | 微細形状転写シートの製造方法及び製造装置 |
JP4968165B2 (ja) | 2008-04-24 | 2012-07-04 | ウシオ電機株式会社 | 光配向用偏光光照射装置 |
JP2010278041A (ja) | 2009-05-26 | 2010-12-09 | Toshiba Corp | インプリント用テンプレートの形成方法およびこのテンプレートを用いたインプリント方法 |
JP2011061025A (ja) | 2009-09-10 | 2011-03-24 | Toshiba Corp | デバイス製造方法 |
JP5464980B2 (ja) * | 2009-11-18 | 2014-04-09 | 旭化成株式会社 | 感光性樹脂積層体 |
JP5451450B2 (ja) * | 2010-02-24 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及びそのテンプレート並びに物品の製造方法 |
JP5697407B2 (ja) | 2010-11-11 | 2015-04-08 | 旭化成株式会社 | 感光性樹脂積層体 |
JP2012114158A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Toshiba Corp | インプリント方法およびインプリント装置 |
JP2012203294A (ja) | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Ushio Inc | 偏光素子ユニットおよび偏光光照射装置 |
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US20150064057A1 (en) * | 2013-08-29 | 2015-03-05 | The Regents Of The University Of California | Methods for producing nio nanoparticle thin films and patterning of ni conductors by nio reductive sintering and laser ablation |
US9155201B2 (en) * | 2013-12-03 | 2015-10-06 | Eastman Kodak Company | Preparation of articles with conductive micro-wire pattern |
JP2015170709A (ja) * | 2014-03-06 | 2015-09-28 | 株式会社東芝 | パターン形成方法およびパターン形成システム |
-
2014
- 2014-08-04 JP JP2014158418A patent/JP6076946B2/ja active Active
-
2015
- 2015-07-30 KR KR1020177005514A patent/KR20170038872A/ko unknown
- 2015-07-30 US US15/501,629 patent/US10088617B2/en active Active
- 2015-07-30 WO PCT/JP2015/071599 patent/WO2016021475A1/ja active Application Filing
- 2015-08-03 TW TW104125111A patent/TW201609355A/zh unknown
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