JP2016017768A - センサー素子、センサーデバイス、電子機器および移動体 - Google Patents

Abstract

【課題】小型化しても感度の高いセンサー素子、ならびに、かかるセンサー素子を備えた信頼性の高いセンサーデバイス、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】基部２１と、基部２１からｙ軸方向に沿って両側に延出する検出用振動腕２３、２４と、基部２１からｘ軸方向に沿って両側に延出する連結腕２１１、２１２と、第１連結腕２１１からｙ軸方向に沿って両側に延出する駆動用振動腕２５、２６と、第２連結腕２１２からｙ軸方向に沿って両側に延出する駆動用振動腕２７、２８と、ｙ軸方向において、駆動用振動腕２５〜２８を挟んで並ぶ支持部２２１、２２２と、第１支持部２２１と基部２１とを連結する第１梁部２２３、２２４と、第２支持部２２２と基部２１とを連結する第２梁部２２５、２２６と、を有し、第１支持部２２１は、第１欠損部２２１ｃを備えており、第１検出用振動腕２３の一部が第１欠損部２２１ｃに入り込んでいる。【選択図】図３

Description

本発明は、センサー素子、センサーデバイス、電子機器および移動体に関するものである。

センサー素子としては、例えば、車両における車体制御、カーナビゲーションシステムの自車位置検出、デジタルカメラやビデオカメラ等の振動制御補正（いわゆる手ぶれ補正）等に用いられ、角速度、加速度等の物理量を検出する素子が知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。

特許文献１に記載の振動子は、振動型ジャイロスコープや直線加速度計に用いられるものであって、基部と、基部の周縁部から突出する駆動振動系と、基部の周縁部から突出する検出振動系と、基部の周縁部から突出する固定部と、を備えている。
この振動子では、固定部において支持、固定されている。

一方、特許文献２に記載の振動ジャイロ素子は、基部と、１対の検出用振動腕と、１対の連結腕と、１対の駆動用振動腕と、２対の梁と、１対の支持部と、を備え、支持部を、検出用振動腕の延出する方向であって検出用振動腕の外側でかつ駆動用振動腕同士の間に配置してなる振動ジャイロ素子である。
この振動ジャイロ素子では、１対の支持部において支持、固定されている。

これらの振動子や振動ジャイロ素子は、いずれも角速度を検出するセンサー素子であるが、センサー素子の大型化を抑制した場合、検出用振動腕の配置の関係から、基部や支持部の分だけ検出用振動腕の長さが駆動用振動腕よりも短くならざるを得ない。検出用振動腕の長さが短くなると、検出用振動腕に設けられる検出用電極の面積も小さくせざるを得ず、検出用電極で取得可能な電荷が減少する。その結果、センサー素子の感度の低下を招く。

一方、検出用振動腕の長さを長くすると、その分、センサー素子の大型化が避けられない。

特開２００９−２９４２１８号公報 特開２０１４−０３２２０５号公報

本発明の目的は、小型化しても感度の高いセンサー素子、ならびに、かかるセンサー素子を備えた信頼性の高いセンサーデバイス、電子機器および移動体を提供することにある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。

［適用例１］
本発明のセンサー素子は、互いに直交する２つの方向を第１方向および第２方向とするとき、
基部と、
前記基部から前記第１方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第１検出用振動腕および第２検出用振動腕と、
前記基部から前記第２方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第１連結腕および第２連結腕と、
前記第１連結腕から前記第１方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第１駆動用振動腕および第２駆動用振動腕と、
前記第２連結腕から前記第１方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第３駆動用振動腕および第４駆動用振動腕と、
前記第１方向において、前記第１駆動用振動腕、前記第２駆動用振動腕、前記第３駆動用振動腕および前記第４駆動用振動腕を挟んで並ぶ第１支持部および第２支持部と、
前記第１支持部と前記基部とを連結する第１梁と、
前記第２支持部と前記基部とを連結する第２梁と、
を有し、
前記第１支持部は、その構成材料が部分的に除去された第１欠損部を備えており、前記第１検出用振動腕の一部が前記第１欠損部に入り込んでいることを特徴とする。

これにより、第１検出用振動腕の一部が第１欠損部に入り込んでいる分だけ、第１検出用振動腕の長さを長くすることができるので、小型化しても感度の高いセンサー素子が得られる。

［適用例２］
本発明のセンサー素子では、前記第２支持部は、その構成材料が部分的に除去された第２欠損部を備えており、前記第２検出用振動腕の一部が前記第２欠損部に入り込んでいることが好ましい。

これにより、第２検出用振動腕の一部が第２欠損部に入り込んでいる分だけ、第２検出用振動腕の長さを長くすることができるので、小型化しても感度のより高いセンサー素子が得られる。

［適用例３］
本発明のセンサー素子では、前記第１支持部は、前記第２方向において前記第１欠損部により２つに分離されていることが好ましい。

これにより、センサー素子では、２本の第１梁が比較的高い自由度で変形することが可能になる。このため、センサー素子に衝撃が加わったとき、第１梁がその衝撃を受け流し易くなり、センサー素子の破損や特性劣化の発生をより抑え易くなる。その結果、耐衝撃性に優れたセンサー素子が得られる。

［適用例４］
本発明のセンサー素子では、前記第１支持部は、前記第１方向における長さが長い部分とそれより短い部分とを含んでおり、前記短い部分が前記第１欠損部に対応していることが好ましい。

これにより、第１支持部が応力の影響によって変形するとき、第１支持部全体が変形するため、第１支持部が他の部材と接続されるときの接続状態のバラツキが生じ難くなり、センシング特性の意図しない変化が抑えられる。その結果、目的のセンシング特性を有するセンサー素子が得られる。

［適用例５］
本発明のセンサー素子では、前記第１検出用振動腕の先端は、前記第１方向において、前記第１駆動用振動腕の先端および前記第３駆動用振動腕の先端を境にして前記基部側とは反対側に位置しており、
前記第２検出用振動腕の先端は、前記第１方向において、前記第２駆動用振動腕の先端および前記第４駆動用振動腕の先端を境にして前記基部側とは反対側に位置していることが好ましい。

これにより、検出用振動腕に設けられる検出部の長さを十分に確保するとともに、第１支持部および第２支持部を配置するためのスペースを確保することができる。その結果、センサー素子の高感度化と小型化とを高度に両立させることができる。

［適用例６］
本発明のセンサー素子では、前記第１支持部の前記第２方向における外縁は、前記第１駆動用振動腕の前記第２方向における外縁および前記第３駆動用振動腕の前記第２方向における外縁よりも前記基部側にそれぞれ位置しており、
前記第２支持部の前記第２方向における外縁は、前記第２駆動用振動腕の前記第２方向における外縁および前記第４駆動用振動腕の前記第２方向における外縁よりも前記基部側にそれぞれ位置していることが好ましい。

これにより、検出信号を取り出す検出部の長さを十分に確保するとともに、第１支持部を配置するためのスペースを確保することができる。その結果、センサー素子の高感度化と小型化とを高度に両立させることができる。

［適用例７］
本発明のセンサーデバイスは、本発明のセンサー素子と、前記センサー素子を収納するパッケージと、を備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高いセンサーデバイスが得られる。

［適用例８］
本発明の電子機器は、本発明のセンサーデバイスを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。

［適用例９］
本発明の移動体は、本発明のセンサーデバイスを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。

本発明の第１実施形態に係るセンサーデバイスの概略構成を示す断面図である。 図１に示すセンサーデバイスの平面図である。 図１に示すセンサーデバイスのセンサー素子の平面図である。 図４（ａ）は、図３（ａ）中のＡ−Ａ線断面図、図４（ｂ）は、図３（ａ）中のＢ−Ｂ線断面図、図４（ｃ）は、図３（ｂ）中のＡ−Ａ線断面図、図４（ｄ）は、図３（ｂ）中のＢ−Ｂ線断面図である。 図３に示すセンサー素子の駆動を説明するための平面図である。 本発明の第２実施形態に係るセンサー素子の概略構成を示す平面図である。 本発明のセンサーデバイスを備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。 本発明のセンサーデバイスを備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。 本発明のセンサーデバイスを備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。 本発明の移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。

以下、本発明のセンサー素子、センサーデバイスおよび電子機器を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。

（センサーデバイス）
＜第１実施形態＞
まず、本発明のセンサーデバイス（本発明のセンサー素子を備えるセンサーデバイス）の第１実施形態について説明する。

図１は、本発明の第１実施形態に係るセンサーデバイスの概略構成を示す断面図、図２は、図１に示すセンサーデバイスの平面図、図３は、図１に示すセンサーデバイスのセンサー素子の平面図、図４（ａ）は、図３（ａ）中のＡ−Ａ線断面図、図４（ｂ）は、図３（ａ）中のＢ−Ｂ線断面図、図４（ｃ）は、図３（ｂ）中のＡ−Ａ線断面図、図４（ｄ）は、図３（ｂ）中のＢ−Ｂ線断面図、図５は、図３に示すセンサー素子の駆動を説明するための平面図である。

なお、図１〜５では、説明の便宜上、互いに直交する３軸として、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を図示しており、その図示した矢印の先端側を「＋側」、基端側を「−側」とする。また、以下では、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向」と言い、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向」と言い、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」と言い、＋ｚ側（図１中の上側）を「上」、−ｚ側（図１中の下側）を「下」と言う。

図１および図２に示すセンサーデバイス１は、角速度を検出するジャイロセンサーである。このセンサーデバイス１は、センサー素子（振動素子）２と、ＩＣチップ３と、センサー素子２およびＩＣチップ３を収納するパッケージ９と、を有している。なお、ＩＣチップ３は、省略されていてもよいし、パッケージ９の外部に設けられていてもよい。

（センサー素子）
センサー素子２は、ｚ軸まわりの角速度を検出する「面外検出型」のセンサー素子（振動片）である。このセンサー素子２は、図３に示すように、複数の振動腕を有する振動体２０と、振動体２０の表面に設けられた複数の検出部４１〜４４、複数の駆動部５１〜５８、および複数の端子６１〜６６とを備える。

以下、センサー素子２を構成する各部を順次詳細に説明する。
［振動片］
まず、振動体２０について説明する。
振動体２０は、いわゆるダブルＴ型と呼ばれる構造を有する。

具体的に説明すると、振動体２０は、基部２１と、基部２１を支持する第１支持部２２１および第２支持部２２２と、基部２１から延出する第１検出用振動腕２３および第２検出用振動腕２４と、基部２１から延出する第１連結腕２１１および第２連結腕２１２と、第１連結腕２１１から延出する第１駆動用振動腕２５および第２駆動用振動腕２６と、第２連結腕２１２から延出する第３駆動用振動腕２７および第４駆動用振動腕２８と、第１支持部２２１と基部２１とを連結する第１梁部２２３、２２４と、第２支持部２２２と基部２１とを連結する第２梁部２２５、２２６と、を有する。

また、本実施形態に係る第１支持部２２１は、ｘ軸方向において第１検出用振動腕２３を挟んでおり、かつ、第１検出用振動腕２３を境にして分離している。具体的には、第１固定部２２１ａと第１固定部２２１ｂと欠損部（第１欠損部）２２１ｃとを備えている。そして、第１固定部２２１ａおよび第１固定部２２１ｂは、ｘ軸方向において、欠損部２２１ｃを介して互いに離間している。そして、この欠損部２２１ｃには、第１検出用振動腕２３の一部が入り込むように延伸している。

一方、本実施形態に係る第２支持部２２２は、ｘ軸方向において第２検出用振動腕２４を挟んでおり、かつ、第２検出用振動腕２４を境にして分離している。具体的には、第２固定部２２２ａと第２固定部２２２ｂと欠損部（第２欠損部）２２２ｃとを備えている。そして、第２固定部２２２ａおよび第２固定部２２２ｂは、ｘ軸方向において、欠損部２２２ｃを介して互いに離間している。そして、この欠損部２２２ｃには、第２検出用振動腕２４の一部が入り込むように延伸している。

第１検出用振動腕２３および第２検出用振動腕２４は、基部２１からｙ軸方向（第１方向）に沿って互いに反対側（両側）へ延出している。

第１駆動用振動腕２５および第２駆動用振動腕２６は、第１連結腕２１１の先端部からｙ軸方向に沿って互いに反対側へ延出している。

第３駆動用振動腕２７および第４駆動用振動腕２８は、第２連結腕２１２の先端部からｙ軸方向に沿って互いに反対側へ延出している。

本実施形態では、第１検出用振動腕２３の先端部には、基端部よりも幅が大きい錘部（ハンマーヘッド）２３１が設けられている。同様に、第２検出用振動腕２４の先端部には、錘部２４１が設けられ、第１駆動用振動腕２５の先端部には、錘部２５１が設けられ、第２駆動用振動腕２６の先端部には、錘部２６１が設けられ、第３駆動用振動腕２７の先端部には、錘部２７１が設けられ、第４駆動用振動腕２８の先端部には、錘部２８１が設けられている。このような錘部を設けることにより、センサー素子２を小型化することができる。

このような振動体２０の構成材料としては、所望の振動特性を発揮することができるものであれば、特に限定されず、各種圧電体材料および各種非圧電体材料を用いることができる。

例えば、振動体２０を構成する圧電体材料としては、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が挙げられる。特に、振動体２０を構成する圧電体材料としては水晶（Ｘカット板、ＡＴカット板、Ｚカット板等）が好ましい。水晶で振動体２０を構成すると、振動体２０の振動特性（特に周波数温度特性）を優れたものとすることができる。また、エッチングにより高い寸法精度で振動体２０を形成することができる。

また、振動体２０を構成する非圧電体材料としては、例えば、シリコン、石英等が挙げられる。特に、振動体２０を構成する非圧電体材料としてはシリコンが好ましい。シリコンで振動体２０を構成すると、優れた振動特性を有する振動体２０を比較的安価に実現することができる。また、公知の微細加工技術を用いてエッチングにより高い寸法精度で振動体２０を形成することができる。

振動体２０が非圧電体材料である場合、振動体２０の上面には、図４（ｃ）に示すように、絶縁体層２９が設けられている。これにより、駆動部５１、５２および検出部４１、４２の各部間での短絡を防止することができる。なお、同様に、駆動部５３〜５８および検出部４３、４４においても各部間での短絡を防止することができる。

この絶縁体層２９は、例えば、ＳｉＯ_２（酸化ケイ素）、ＡｌＮ（窒化アルミ）、ＳｉＮ（窒化ケイ素）等で構成されている。また、絶縁体層２９の形成方法としては、特に限定されず、公知の成膜法を用いることができる。例えば、絶縁体層２９をＳｉＯ_２で構成する場合、振動体２０の上面を熱酸化することにより、絶縁体層２９を形成することができる。

［駆動部］
次に、駆動部について説明する。

図３（ａ）は、振動体２０が水晶等の圧電体材料で構成されている場合のセンサー素子２の構成を示す図であり、図３（ｂ）は、振動体２０が非圧電体材料で構成されている場合のセンサー素子２の構成を示す図である。

まず、図３（ａ）に示すセンサー素子２の駆動部について説明する。
図３（ａ）に示すセンサー素子２の駆動部については、互いに同等の構成であるので、以下の説明では、駆動部５１の構成を例に挙げて説明する。

駆動部５１（２本の駆動部５１がｘ軸に沿って並んでいてもよい。）は、第１駆動用振動腕２５上に設けられている励振電極である。駆動部５１は、図３（ａ）のＡ−Ａ線断面図である図４（ａ）に示すように、第１駆動用振動腕２５の両主面にそれぞれ設けた溝の内壁面に密着している。また、第１駆動用振動腕２５の両側面にも、前記励振電極とは極性の異なる励振電極として駆動部５１−１が存在する。
なお、上述の溝については存在しない構成であっても構わない。

そして、これら励振電極に通電することにより、各駆動用振動腕２５〜２８をｘ軸方向に屈曲振動させることができる。

次に、図３（ｂ）に示すセンサー素子２の駆動部について説明する。なお、以下の説明のうち、上述した図３（ａ）についての説明以外の部分は、図３（ａ）に示すセンサー素子２の駆動部にも適用可能である。

駆動部５１、５２は、振動体２０の第１駆動用振動腕２５上に設けられている。また、駆動部５３、５４は、振動体２０の第２駆動用振動腕２６上に設けられている。また、駆動部５５、５６は、振動体２０の第３駆動用振動腕２７上に設けられている。また、駆動部５７、５８は、振動体２０の第４駆動用振動腕２８上に設けられている。

１対の駆動部５１、５２は、通電により第１駆動用振動腕２５をｘ軸方向に屈曲振動させるものである。同様に、１対の駆動部５３、５４は、通電により第２駆動用振動腕２６をｘ軸方向に屈曲振動させるものである。また、１対の駆動部５５、５６は、通電により第３駆動用振動腕２７をｘ軸方向に屈曲振動させるものである。また、１対の駆動部５７、５８は、通電により第４駆動用振動腕２８をｘ軸方向に屈曲振動させるものである。

より具体的に説明すると、１対の駆動部５１、５２は、第１駆動用振動腕２５の幅方向（ｘ軸方向）において、一方側（図３（ｂ）中右側）に駆動部５１が設けられ、他方側（図３（ｂ）中左側）に駆動部５２が設けられている。同様に、１対の駆動部５３、５４は、第２駆動用振動腕２６の幅方向（ｘ軸方向）において、一方側（図３（ｂ）中右側）に駆動部５３が設けられ、他方側（図３（ｂ）中左側）に駆動部５４が設けられている。また、１対の駆動部５５、５６は、第３駆動用振動腕２７の幅方向（ｘ軸方向）において、一方側（図３（ｂ）中右側）に駆動部５５が設けられ、他方側（図３（ｂ）中左側）に駆動部５６が設けられている。また、１対の駆動部５７、５８は、第４駆動用振動腕２８の幅方向（ｘ軸方向）において、一方側（図３（ｂ）中右側）に駆動部５７が設けられ、他方側（図３（ｂ）中左側）に駆動部５８が設けられている。

駆動部５１〜５８は、それぞれ、通電によりｙ軸方向に伸縮するように構成された圧電体素子である。このような駆動部５１、５２は、それぞれ、通電により第１駆動用振動腕２５を駆動振動（ｘ軸方向に屈曲振動）させる。同様に、駆動部５３、５４は、それぞれ、通電により第２駆動用振動腕２６を駆動振動（ｘ軸方向に屈曲振動）させる。また、駆動部５５、５６は、それぞれ、通電により第３駆動用振動腕２７を駆動振動（ｘ軸方向に屈曲振動）させる。また、駆動部５７、５８は、それぞれ、通電により第４駆動用振動腕２８を駆動振動（ｘ軸方向に屈曲振動）させる。

このような駆動部５１〜５８を用いることにより、各駆動用振動腕２５〜２８自体が圧電性を有していなかったり、あるいは、各駆動用振動腕２５〜２８自体が圧電性を有している場合であっても、その分極軸や結晶軸の方向がｘ軸方向での屈曲振動に適していなかったりする場合でも、比較的簡単かつ効率的に、各駆動用振動腕２５〜２８をｘ軸方向に屈曲振動（駆動振動）させることができる。また、各駆動用振動腕２５〜２８の圧電性の有無、分極軸や結晶軸の方向を問わないので、各駆動用振動腕２５〜２８の構成材料の選択の幅が広がる。そのため、所望の振動特性を有する振動体２０を比較的簡単に実現することができる。

以下、駆動部５１、５２の構成について詳細に説明する。なお、駆動部５３〜５８の構成については、駆動部５１、５２と同様である（同様の積層構造を有する）ため、その説明を省略する。

駆動部５１は、図４（ｃ）に示すように、第１駆動用振動腕２５上に、第１の電極層５１１、圧電体層（圧電薄膜）５１２、第２の電極層５１３がこの順で積層されて構成されている。

同様に、駆動部５２は、第１駆動用振動腕２５上に、第１の電極層５２１、圧電体層（圧電薄膜）５２２、第２の電極層５２３がこの順で積層されて構成されている。

第１の電極層５１１、５２１は、それぞれ、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料や、ＩＴＯ、ＺｎＯ等の透明電極材料により形成することができる。

中でも、第１の電極層５１１、５２１の構成材料としては、それぞれ、金を主材料とする金属（金、金合金）または白金を用いるのが好ましく、金を主材料とする金属（特に金）を用いるのがより好ましい。

Ａｕは、導電性に優れ（電気抵抗が小さく）、酸化に対する耐性に優れているため、電極材料として好適である。また、ＡｕはＰｔに比しエッチングにより容易にパターニングすることができる。さらに、第１の電極層５１１、５２１を金または金合金で構成することにより、圧電体層５１２、５２２の配向性を高めることもできる。

また、第１の電極層５１１、５２１の平均厚さは、それぞれ、特に限定されないが、例えば、１ｎｍ以上３００ｎｍ以下程度であるのが好ましく、１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下程度であるのがより好ましい。これにより、第１の電極層５１１、５２１が駆動部５１、５２の駆動特性や第１駆動用振動腕２５の振動特性に悪影響を与えるのを防止しつつ、前述したような第１の電極層５１１、５２１の導電性を優れたものとすることができる。

なお、第１の電極層５１１、５２１と第１駆動用振動腕２５との間には、第１の電極層５１１、５２１が第１駆動用振動腕２５から剥離するのを防止する機能を有する下地層が設けられていてもよい。
かかる下地層は、例えば、Ｔｉ、Ｃｒ等で構成されている。

圧電体層５１２、５２２の構成材料（圧電体材料）としては、それぞれ、例えば、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ_３）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ_２Ｂ_４Ｏ_７）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等が挙げられる。

中でも、圧電体層５１２、５２２の構成材料としては、ＰＺＴを用いるのが好ましい。ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）は、ｃ軸配向性に優れている。そのため、圧電体層５１２、５２２をＰＺＴを主材料として構成することにより、センサー素子２のＣＩ値を低減することができる。また、これらの材料は、反応性スパッタリング法により成膜することができる。

また、圧電体層５１２、５２２の平均厚さは、それぞれ、５０ｎｍ以上３０００ｎｍ以下であるのが好ましく、２００ｎｍ以上２０００ｎｍ以下であるのがより好ましい。これにより、圧電体層５１２、５２２が第１駆動用振動腕２５の振動特性に悪影響を与えるのを防止しつつ、駆動部５１、５２の駆動特性を優れたものとすることができる。

第２の電極層５１３、５２３は、それぞれ、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料やＩＴＯ、ＺｎＯ等の透明電極材料により形成することができる。

また、第２の電極層５１３、５２３の平均厚さは、それぞれ、特に限定されないが、例えば、１ｎｍ以上３００ｎｍ以下程度であるのが好ましく、１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下程度であるのがより好ましい。これにより、第２の電極層５１３、５２３が駆動部５１、５２の駆動特性や第１駆動用振動腕２５の振動特性に悪影響を与えるのを防止しつつ、第２の電極層５１３、５２３の導電性を優れたものとすることができる。

なお、圧電体層５１２と第２の電極層５１３との間には、圧電体層５１２を保護するとともに、第１の電極層５１１と第２の電極層５１３との間の短絡を防止する機能を有する絶縁体層（絶縁性の保護層）が設けられていてもよい。同様に、圧電体層５２２と第２の電極層５２３との間にも、絶縁体層が設けられていてもよい。

かかる絶縁体層は、例えば、ＳｉＯ_２（酸化ケイ素）、ＡｌＮ（窒化アルミ）、ＳｉＮ（窒化ケイ素）等で構成されている。

また、圧電体層５１２と第２の電極層５１３との間には、第２の電極層５１３が圧電体層５１２（上述した絶縁体層を設けた場合には絶縁体層）から剥離するのを防止する機能を有する下地層が設けられていてもよい。同様に、圧電体層５２２と第２の電極層５２３との間にも、下地層が設けられていてもよい。
かかる下地層は、例えば、Ｔｉ、Ｃｒ等で構成されている。

このように構成された駆動部５１においては、第１の電極層５１１と第２の電極層５１３との間に電圧が印加されると、圧電体層５１２にｚ軸方向の電界が生じ、圧電体層５１２がｙ軸方向に伸張または収縮する。同様に、駆動部５２においては、第１の電極層５２１と第２の電極層５２３との間に電圧が印加されると、圧電体層５２２にｚ軸方向の電界が生じ、圧電体層５２２がｙ軸方向に伸張または収縮する。

このとき、駆動部５１、５２のうちの一方の駆動部をｙ軸方向に伸張させたときに他方の駆動部をｙ軸方向に収縮させることにより、第１駆動用振動腕２５をｘ軸方向に屈曲振動させることができる。

同様に、駆動部５３、５４により第２駆動用振動腕２６をｘ軸方向に屈曲振動させることができる。また、駆動部５５、５６により第３駆動用振動腕２７をｘ軸方向に屈曲振動させることができる。また、駆動部５７、５８により第４駆動用振動腕２８をｘ軸方向に屈曲振動させることができる。

このような駆動部５１は、第１の電極層５１１が配線（図示せず）を介して端子６１に電気的に接続され、第２の電極層５１３が配線（図示せず）を介して端子６４に電気的に接続されている。

また、駆動部５２は、第１の電極層５２１が配線（図示せず）を介して端子６４に電気的に接続され、第２の電極層５２３が配線（図示せず）を介して端子６１に電気的に接続されている。

同様に、駆動部５３は、第１の電極層が端子６１に電気的に接続され、第２の電極層が端子６４に電気的に接続され、また、駆動部５４は、第１の電極層が端子６４に電気的に接続され、第２の電極層が端子６１に電気的に接続されている。

また、駆動部５５は、第１の電極層が端子６４に電気的に接続され、第２の電極層が端子６１に電気的に接続され、また、駆動部５６は、第１の電極層が端子６１に電気的に接続され、第２の電極層が端子６４に電気的に接続されている。

また、駆動部５７は、第１の電極層が端子６４に電気的に接続され、第２の電極層が端子６１に電気的に接続され、また、駆動部５８は、第１の電極層が端子６１に電気的に接続され、第２の電極層が端子６４に電気的に接続されている。

［検出部］
次に、検出部について説明する。

まず、図３（ａ）に示すセンサー素子の検出部について説明する。
図３（ａ）に示すセンサー素子２の検出部については、互いに同等の構成であるので、以下の説明では、検出部４１の構成を例に挙げて説明する。

検出部４１（２本の検出部４１がｘ軸に沿って並んでいてもよい。）は、第１検出用振動腕２３上に設けられている検出電極である。検出部４１は、図３（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である図４（ｂ）に示すように、第１検出用振動腕２３の両主面にそれぞれ設けた溝の内壁面に密着している。また、第１検出用振動腕２３の両側面にも、前記検出電極としての検出部４１−１が存在する。
なお、上述の溝については存在しない構成であっても構わない。
そして、これら検出電極によって電荷が検出され、センサーの検出信号が出力される。

次に、図３（ｂ）に示すセンサー素子の検出部について説明する。なお、以下の説明のうち、上述した図３（ａ）についての説明以外の部分は、図３（ａ）に示すセンサー素子２の検出部にも適用可能である。

検出部４１、４２は、それぞれ、前述した振動体２０の第１検出用振動腕２３上に設けられている。また、検出部４３、４４は、それぞれ、振動体２０の第２検出用振動腕２４上に設けられている。

１対の検出部４１、４２は、第１検出用振動腕２３のｘ軸方向での屈曲振動（いわゆる面内振動）を検出するものである。同様に、１対の検出部４３、４４は、第２検出用振動腕２４のｘ軸方向での屈曲振動を検出するものである。

より具体的に説明すると、１対の検出部４１、４２は、第１検出用振動腕２３の幅方向（ｘ軸方向）での一方側（図３（ｂ）中右側）に検出部４１が設けられ、他方側（図３
（ｂ）中左側）に検出部４２が設けられている。同様に、１対の検出部４３、４４は、第２検出用振動腕２４の幅方向（ｘ軸方向）において、一方側（図３（ｂ）中右側）に検出部４３が設けられ、他方側（図３（ｂ）中左側）に検出部４４が設けられている。

検出部４１〜４４は、それぞれ、ｙ軸方向に伸縮することにより電荷を出力するように構成された圧電体素子である。このような検出部４１、４２は、それぞれ、第１検出用振動腕２３の振動（ｘ軸方向での屈曲振動）に伴って電荷を出力する。同様に、検出部４３、４４は、それぞれ、第２検出用振動腕２４の振動（ｘ軸方向での屈曲振動）に伴って電荷を出力する。

このような検出部４１〜４４を用いることにより、各検出用振動腕２３、２４自体が圧電性を有していなかったり、あるいは、各検出用振動腕２３、２４自体が圧電性を有している場合であっても、その分極軸や結晶軸の方向がｘ軸方向での屈曲振動の検出に適していなかったりする場合でも、比較的簡単かつ効率的に、各検出用振動腕２３、２４のｘ軸方向での屈曲振動を検出することができる。また、各検出用振動腕２３、２４の圧電性の有無、分極軸や結晶軸の方向を問わないので、各検出用振動腕２３、２４の構成材料の選択の幅が広がる。そのため、所望の振動特性を有する振動体２０を比較的簡単に実現することができる。

このような検出部４１〜４４、駆動部５１〜５８は、それぞれ、複数の層をｚ軸方向に積層した積層構造を有する圧電体素子である。

以下、検出部４１、４２の構成について詳細に説明する。なお、検出部４３、４４の構成については、検出部４１、４２と同様である（同様の積層構造を有する）ため、その説明を省略する。

検出部４１は、図４（ｄ）に示すように、第１の電極層４１１、第１の電極層４１１に対して第１検出用振動腕２３とは反対側に設けられた第２の電極層４１３、および、第１の電極層４１１と第２の電極層４１３との間に設けられた圧電体層４１２を有する。言い換えると、検出部４１は、第１検出用振動腕２３上に、第１の電極層４１１、圧電体層４１２、第２の電極層４１３がこの順で積層されて構成されている。

同様に、検出部４２は、第１検出用振動腕２３上に、第１の電極層４２１、圧電体層４２２、第２の電極層４２３がこの順で積層されて構成されている。

第１の電極層４１１、４２１は、それぞれ、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料や、ＩＴＯ、ＺｎＯ等の透明電極材料により形成することができる。

中でも、第１の電極層４１１、４２１の構成材料としては、それぞれ、金を主材料とする金属（金、金合金）または白金を用いるのが好ましく、金を主材料とする金属（特に金）を用いるのがより好ましい。

Ａｕは、導電性に優れ（電気抵抗が小さく）、酸化に対する耐性に優れているため、電極材料として好適である。また、ＡｕはＰｔに比しエッチングにより容易にパターニングすることができる。さらに、第１の電極層４１１、４２１を金または金合金で構成することにより、圧電体層４１２、４２２の配向性を高めることもできる。

また、第１の電極層４１１、４２１の平均厚さは、それぞれ、特に限定されないが、例えば、１ｎｍ以上３００ｎｍ以下程度であるのが好ましく、１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下程度であるのがより好ましい。これにより、第１の電極層４１１、４２１が検出部４１、４２の検出特性や第１検出用振動腕２３の振動特性に悪影響を与えるのを防止しつつ、前述したような第１の電極層４１１、４２１の導電性を優れたものとすることができる。

なお、第１の電極層４１１、４２１と第１検出用振動腕２３との間には、第１の電極層４１１、４２１が第１検出用振動腕２３から剥離するのを防止する機能を有する下地層が設けられていてもよい。
かかる下地層は、例えば、Ｔｉ、Ｃｒ等で構成されている。

圧電体層４１２、４２２の構成材料（圧電体材料）としては、それぞれ、例えば、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ_３）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ_２Ｂ_４Ｏ_７）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等が挙げられるが、ＡＩＮ、ＺｎＯを用いるのが好ましい。

中でも、圧電体層４１２、４２２の構成材料としては、それぞれ、ＺｎＯ、ＡｌＮを用いるのが好ましい。ＺｎＯ（酸化亜鉛）やＡｌＮ（窒化アルミニウム）は、誘電率が低い材料であるため、検出での寄生容量を低く抑えることができる。また、これらの材料は、反応性スパッタリング法により成膜することができる。

また、圧電体層４１２、４２２の平均厚さは、それぞれ、５０〜３０００ｎｍであるのが好ましく、２００〜２０００ｎｍであるのがより好ましい。これにより、圧電体層４１２、４２２が第１検出用振動腕２３の振動特性に悪影響を与えるのを防止しつつ、検出部４１、４２の検出特性を優れたものとすることができる。

第２の電極層４１３、４２３は、それぞれ、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料やＩＴＯ、ＺｎＯ等の透明電極材料により形成することができる。

また、第２の電極層４１３、４２３の平均厚さは、それぞれ、特に限定されないが、例えば、１ｎｍ以上３００ｎｍ以下程度であるのが好ましく、１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下程度であるのがより好ましい。これにより、第２の電極層４１３、４２３が検出部４１、４２の検出特性や第１検出用振動腕２３の振動特性に悪影響を与えるのを防止しつつ、第２の電極層４１３、４２３の導電性を優れたものとすることができる。

なお、圧電体層４１２と第２の電極層４１３との間には、圧電体層４１２を保護するとともに、第１の電極層４１１と第２の電極層４１３との間の短絡を防止する機能を有する絶縁体層（絶縁性の保護層）が設けられていてもよい。同様に、圧電体層４２２と第２の電極層４２３との間にも、絶縁体層が設けられていてもよい。

かかる絶縁体層は、例えば、ＳｉＯ_２（酸化ケイ素）、ＡｌＮ（窒化アルミ）、ＳｉＮ（窒化ケイ素）等で構成されている。

また、圧電体層４１２と第２の電極層４１３との間には、第２の電極層４１３が圧電体層４１２（上述した絶縁体層を設けた場合には絶縁体層）から剥離するのを防止する機能を有する下地層が設けられていてもよい。同様に、圧電体層４２２と第２の電極層４２３との間にも、下地層が設けられていてもよい。
かかる下地層は、例えば、Ｔｉ、Ｃｒ等で構成されている。

このような検出部４１、４２は、第１検出用振動腕２３がｘ軸方向に屈曲振動すると、一方の検出部がｙ軸方向に伸張し、他方の検出部がｙ軸方向に収縮し、電荷を出力する。

同様に、検出部４３、４４は、第２検出用振動腕２４がｘ軸方向に屈曲振動すると、一方の検出部がｙ軸方向に伸張し、他方の検出部がｙ軸方向に収縮し、電荷を出力する。

このような検出部４１、４２においては、検出部４１の第２の電極層４１３と検出部４２の第１の電極層４２１とがそれぞれ端子６２に電気的に接続され、また、検出部４１の第１の電極層４１１と検出部４２の第２の電極層４２３とがそれぞれ端子６３に電気的に接続されている。

同様に、図示はしないものの、検出部４３の第２の電極層と検出部４４の第１の電極層とがそれぞれ端子６５に電気的に接続され、また、検出部４３の第１の電極層と検出部４４の第２の電極層とがそれぞれ端子６６に電気的に接続されている。

［支持部］
第１支持部２２１は、第１駆動用振動腕２５および第３駆動用振動腕２７のーｙ側に位置している。一方、第２支持部２２２は、第２駆動用振動腕２６および第４駆動用振動腕２８の＋ｙ側に位置している。すなわち、第１支持部２２１および第２支持部２２２は、第１駆動用振動腕２５、第２駆動用振動腕２６、第３駆動用振動腕２７および第４駆動用振動腕２８を挟んでｙ軸方向に並んでいる。

また、前述したように、第１支持部２２１は、第１固定部２２１ａと第１固定部２２１ｂと欠損部２２１ｃとを備えており、第１固定部２２１ａおよび第１固定部２２１ｂは、ｘ軸方向において、欠損部２２１ｃを介して互いに離間している。そして、この欠損部２２１ｃには、第１検出用振動腕２３の一部が入り込むように延伸している。

その結果、第１固定部２２１ａは、第１駆動用振動腕２５の先端側（−ｙ側）に位置し、第１固定部２２１ｂは、第３駆動用振動腕２７の先端側（−ｙ側）に位置することとなる。

同様に、第２支持部２２２は、第２固定部２２２ａと第２固定部２２２ｂと欠損部２２２ｃとを備えており、第２固定部２２２ａおよび第２固定部２２２ｂは、ｘ軸方向において、欠損部２２２ｃを介して互いに離間している。そして、この欠損部２２２ｃには、第２検出用振動腕２４の一部が入り込むように延伸している。

その結果、第２固定部２２２ａは、第２駆動用振動腕２６の先端側（＋ｙ側）に位置し、第２固定部２２２ｂは、第４駆動用振動腕２８の先端側（＋ｙ側）に位置することとなる。

このように、第１支持部２２１および第２支持部２２２は、欠損部２２１ｃおよび欠損部２２２ｃを備えているため、これらを備えていない場合に比べて、第１検出用振動腕２３および第２検出用振動腕２４をより長く延伸させることができる。このため、本実施形態によれば、振動体２０を大型化させることなく、第１検出用振動腕２３に設けられる検出部４１、４２および第２検出用振動腕２４に設けられる検出部４３、４４の長さをより長くすることができる。その結果、検出部４１〜４４の電極で取得される電荷の量をより多くすることができ、検出信号のＳ／Ｎ比をより高めることができる。よって、本実施形態によれば、小型でかつ感度の高いセンサー素子２を実現することができる。

より具体的には、第１検出用振動腕２３の先端（−ｙ側の端部）は、ｙ軸方向において、第１駆動用振動腕２５の先端および第３駆動用振動腕２７の先端を境にして基部２１側とは反対側（−ｙ側）に位置している。同様に、第２検出用振動腕２４の先端（＋ｙ側の端部）は、ｙ軸方向において、第２駆動用振動腕２６の先端および第４駆動用振動腕２８の先端を境にして基部２１側とは反対側（＋ｙ側）に位置している。

第１検出用振動腕２３および第２検出用振動腕２４が上記のように構成されることで、検出部４１〜４４の長さを十分に確保するとともに、第１支持部２２１および第２支持部２２２を配置するためのスペースを確保することができる。その結果、センサー素子２の高感度化と小型化とを高度に両立させることができる。

なお、本実施形態では、第１検出用振動腕２３の−ｙ側の外縁（先端）と第１支持部２２１の−ｙ側の外縁とが揃っている。同様に、本実施形態では、第２検出用振動腕２４の＋ｙ側の外縁（先端）と第２支持部２２２の＋ｙ側の外縁とが揃っている。

本発明では、必要に応じて、第１検出用振動腕２３および第２検出用振動腕２４が欠損部２２１ｃおよび欠損部２２２ｃを越えてさらに先端方向へ延長されていてもよい。

また、第１支持部２２１のｘ軸方向における外縁および第２支持部２２２のｘ軸方向における外縁は、それぞれ、各駆動用振動腕２５〜２８のｘ軸方向における外縁よりも基部２１側に位置している。具体的には、図３に示す第１固定部２２１ａの＋ｘ側の縁部２２１ａｘは、第１駆動用振動腕２５の錘部２５１の＋ｘ側の縁部２５１ｘよりも−ｘ側に位置している。同様に、図３に示す第１固定部２２１ｂの−ｘ側の縁部２２１ｂｘは、第３駆動用振動腕２７の錘部２７１の−ｘ側の縁部２７１ｘよりも＋ｘ側に位置しており、図３に示す第２固定部２２２ａの＋ｘ側の縁部２２２ａｘは、第２駆動用振動腕２６の錘部２６１の＋ｘ側の縁部２６１ｘよりも−ｘ側に位置しており、図３に示す第２固定部２２２ｂの−ｘ側の縁部２２２ｂｘは、第４駆動用振動腕２８の錘部２８１の−ｘ側の縁部２８１ｘよりも＋ｘ側に位置している。すなわち、第１支持部２２１のｘ軸方向における外縁のうち最も第１検出用振動腕２３から離れている外縁は、第１駆動用振動腕２５の第２方向における外縁および第３駆動用振動腕２７の第２方向における外縁よりも基部２１側に位置しており、第２支持部２２２のｘ軸方向における外縁のうち最も第２検出用振動腕２４から離れている外縁は、第２駆動用振動２６腕の第２方向における外縁および第４駆動用振動腕２８の第２方向における外縁よりも基部２１側に位置している。

第１支持部２２１および第２支持部２２２の形状を上記のように設定することにより、センサー素子２のさらなる小型化を図ることができる。特に、図３に示すセンサー素子２のように平面視で略矩形状をなすものの場合、各検出用振動腕２３、２４の長さを犠牲にすることなく、センサー素子２の対角線の長さを若干短くすることができる。これにより、センサー素子２をパッケージ９に収納する際、スペースをより有効に利用することができる。

また、本実施形態に係る第１支持部２２１は、ｘ軸方向において第１検出用振動腕２３を境にして分離されており、具体的には、第１固定部２２１ａと第１固定部２２１ｂとが欠損部２２１ｃを介して互いに離間している。同様に、本実施形態に係る第２支持部２２２は、第２固定部２２２ａと第２固定部２２２ｂとが欠損部２２２ｃを介して互いに離間している。これにより、本実施形態に係る基部２１は、４つの固定部で支持されることとなる。このようなセンサー素子２は、第１梁部２２３、２２４および第２梁部２２５、２２６が比較的高い自由度で変形することが可能になる。このため、センサー素子２に衝撃が加わったとき、第１梁部２２３、２２４および第２梁部２２５、２２６がその衝撃を受け流し易くなり、センサー素子２の破損や特性劣化の発生をより抑え易くなる。その結果、耐衝撃性に優れたセンサー素子２が得られる。

さらに、本実施形態に係る第１支持部２２１は、第１固定部２２１ａと第１固定部２２１ｂとが互いに離間しており、同様に、第２支持部２２２は、第２固定部２２２ａと第２固定部２２２ｂとが互いに離間しているので、従来に比べてセンサー素子２がとり得る振動モードの絶対数が少なくなる。このため、意図しない振動モードでセンサー素子２が振動する確率を下げることができ、誤作動の発生や検出感度の低下といった不具合を抑制することができる。

なお、欠損部２２１ｃは、第１支持部２２１のうち、その構成材料を部分的に除去してなる部位である。同様に、欠損部２２２ｃは、第２支持部２２２のうち、その構成材料を部分的に除去してなる部位である。ただし、製造時に除去する工程を含んでいる必要はなく、欠損部２２１ｃ、２２２ｃの部分に構成材料が存在しなくなるようにパターニングを施した上で支持部２２１、２２２を形成する場合も含まれる。

また、図３に示す第１固定部２２１ａは、平面視で、ｘ軸方向に長軸をもつ矩形状をなしている。そして、第１固定部２２１ａの−ｘ側の端部に第１梁部２２３が接続されている。一方、図３に示す第１固定部２２１ｂも、平面視で、ｘ軸方向に長軸をもつ矩形状をなしている。そして、第１固定部２２１ｂの＋ｘ側の端部に第１梁部２２４が接続されている。

同様に、図３に示す第２固定部２２２ａは、平面視で、ｘ軸方向に長軸をもつ矩形状をなしている。そして、第２固定部２２２ａの−ｘ側の端部に第２梁部２２５が接続されている。一方、図３に示す第２固定部２２２ｂも、平面視で、ｘ軸方向に長軸をもつ矩形状をなしている。そして、第２固定部２２２ｂの＋ｘ側の端部に第２梁部２２６が接続されている。

支持部と梁部との接続が上記のようになっていることで、第１梁部２２３、２２４および第２梁部２２５、２２６の平面視形状がｙ軸方向に細長い形状になり易くなる。このような形状の梁部は、センサー素子２の駆動振動を安定させ易くなり、センサー素子２のさらなる高感度化に寄与する。また、支持部と梁部との接続箇所において、落下等の衝撃が加わった際に破損の起点となる角部を１か所とすることができるため、破損の可能性を低減することができる。

さらに、第１梁部２２３、２２４のうち、第１支持部２２１側の部分は、平面視において直線状をなしているのが好ましい。同様に、第２梁部２２５、２２６のうち、第２支持部２２２側の部分は、平面視において直線状をなしているのが好ましい。このような形状の梁部は、センサー素子２の駆動振動をより安定化させることに寄与する。なお、この直線状の部分は、第１支持部２２１側または第２支持部２２２側の少なくとも一部に設けられていればよいが、好ましくは、第１梁部２２３、２２４および第２梁部２２５、２２６の全長の半分以上を占めているのが好ましい。これにより、上述した効果がより顕著なものとなる。

加えて、この直線状の部分は、ｙ軸方向と平行であるのが好ましい。これにより、センサー素子２の駆動振動をさらに安定化させることができる。また、駆動用振動腕および検出用振動腕と平行に梁部が形成されていることで、梁部と駆動用振動腕、梁部と駆動用錘部、梁部と検出用振動腕、梁部と検出用錘部のそれぞれのギャップが互いに平行となり、加工形状の安定性が向上し、歩留り良く製造することが可能となる。

なお、図３に示すセンサー素子２では、第１固定部２２１ａの−ｘ側の端部と第１梁部２２３の直線状の部分とで、ｘ軸方向における位置が揃っている。同様に、第１固定部２２１ｂの＋ｘ側の端部と第１梁部２２４の直線状の部分とで、ｘ軸方向における位置が揃っており、第２固定部２２２ａの−ｘ側の端部と第２梁部２２５の直線状の部分とで、ｘ軸方向における位置が揃っており、第２固定部２２２ｂの＋ｘ側の端部と第２梁部２２６の直線状の部分とで、ｘ軸方向における位置が揃っている。

支持部および梁部の形状が上記のようになっていることで、欠損部２２１ｃおよび欠損部２２２ｃのｘ軸方向における長さを十分に確保することができる。このため、第１検出用振動腕２３と第１固定部２２１ａ、２２１ｂとの間に十分な離間距離が確保され、従来に比べて長くなった第１検出用振動腕２３がより大きな振幅で面内振動したときでも、第１検出用振動腕２３と第１固定部２２１ａ、２２１ｂとの接触を防止することができる。同様に、第２検出用振動腕２４と第２固定部２２２ａ、２２２ｂとの間に十分な離間距離が確保され、従来に比べて長くなった第２検出用振動腕２４がより大きな振幅で面内振動したときでも、第２検出用振動腕２４と第２固定部２２２ａ、２２２ｂとの接触を防止することができる。

加えて、センサー素子２に衝撃が加わったときでも、第１検出用振動腕２３と第１固定部２２１ａ、２２１ｂとが接触したり、第２検出用振動腕２４と第２固定部２２２ａ、２２２ｂとが接触したりする確率を下げることができるので、センサー素子２の耐衝撃性を高めることができる。

また、図３に示す第１梁部２２３、２２４は、直線状の部分の他に、ｘ軸方向に平行な部分とｙ軸方向に平行な部分とが交互に接続されてなる屈曲部分を備えている。このような屈曲部分を設けることにより、センサー素子２に加わった衝撃が基部２１に伝搬し難くなる。その結果、センサー素子２の耐衝撃性をより高めることができる。

なお、第１検出用振動腕２３と第１固定部２２１ａとの離間距離Ｌ１は、特に限定されないものの、センサー素子２のｘ軸方向の最大長さをＬ４としたとき、Ｌ４の２％以上１５％以下程度であるのが好ましい。これにより、センサー素子２において十分な振動安定性と耐衝撃性とが確保され、センサー素子２の高感度化および高精度化が図られる。

また、第１固定部２２１ａのｙ軸方向の長さＬ２は、特に限定されないものの、センサー素子２のｙ軸方向の最大長さをＬ５としたとき、Ｌ５の５％以上１５％以下程度であるのが好ましい。これにより、センサー素子２を十分に安定させた状態で支持することができるので、十分な振動安定性と耐衝撃性とが確保され、センサー素子２の高感度化および高精度化が図られる。

さらに、第１固定部２２１ａのｘ軸方向の長さＬ３は、最大長さＬ４の１０％以上４０％以下程度であるのが好ましい。これにより、センサー素子２のさらなる高感度化および高精度化が図られる。

なお、上記では、第１固定部２２１ａについてのみ説明しているが、第１固定部２２１ｂや第２固定部２２２ａ、２２２ｂについても上記と同様の関係が成り立つ。

［端子］
端子６１〜６３は、前述した第１支持部２２１上に設けられている。具体的には、端子６１は、前述した第１固定部２２１ａ上に設けられ、端子６２、６３は、第１固定部２２１ｂ上に設けられている。

一方、端子６４〜６６は、前述した第２支持部２２２上に設けられている。具体的には、端子６４、６５は、前述した第２固定部２２２ａ上に設けられ、端子６６は、第２固定部２２２ｂ上に設けられている。

また、端子６１〜６６および配線（図示せず）等は、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料やＩＴＯ、ＺｎＯ等の透明電極材料により形成することができる。また、これらは、検出部や駆動部と導通しており、例えば、図３（ｂ）の構成であれば、検出部４１〜４４の第１の電極層または第２の電極層や、駆動部５１〜５８の第１の電極層または第２の電極層と同時に一括形成することができる。

このように構成されたセンサー素子２は、次のようにしてｚ軸まわりの角速度ωを検出する。

まず、端子６１と端子６４との間に電圧（駆動信号）を印加することにより、図５（ａ）に示すように、図中矢印Ａに示す方向に、第１駆動用振動腕２５と第３駆動用振動腕２７とを互いに接近・離間するように屈曲振動（駆動振動）させるとともに、第２駆動用振動腕２６と第４駆動用振動腕２８とを上記屈曲振動と同方向に互いに接近・離間するように屈曲振動（駆動振動）させる。

このとき、センサー素子２に角速度が加わらないと、各駆動用振動腕２５、２６と各駆動用振動腕２７、２８とは、中心点（重心Ｇ）を通るｙｚ平面に対して面対称の振動を行っているため、基部２１および各検出用振動腕２３、２４は、ほとんど振動しない。

このように各駆動用振動腕２５〜２８を駆動振動させた状態で、センサー素子２にその重心Ｇを通る法線まわりの角速度ωが加わると、各駆動用振動腕２５〜２８には、それぞれコリオリ力が働く。これにより、図５（ｂ）に示すように、連結腕２１１、２１２が図中矢印Ｂに示す方向に屈曲振動し、これに伴いこの屈曲振動を打ち消すように、各検出用振動腕２３、２４では図中矢印Ｃに示す方向の屈曲振動（検出振動）が励振される。

そして、第１検出用振動腕２３の屈曲振動によって検出部４１、４２に生じた電荷が端子６２、６３から出力される。また、第２検出用振動腕２４の屈曲振動によって検出部４３、４４に生じた電荷が端子６５、６６から出力される。

このように端子６２、６３、６５、６６から出力された電荷に基づいて、センサー素子２に加わった角速度ωを求めることができる。

（ＩＣチップ３）
図１および図２に示すＩＣチップ３は、前述したセンサー素子２を駆動する機能と、センサー素子２からの出力（センサー出力）を検出する機能とを有する電子部品である。

このようなＩＣチップ３は、図示しないが、センサー素子２を駆動する駆動回路と、センサー素子２（より具体的には検出部４１〜４４）からの出力（電荷）を検出する検出回路とを備える。
また、ＩＣチップ３には、複数の接続端子３１が設けられている。

（パッケージ）
パッケージ９は、センサー素子２およびＩＣチップ３を収納するものである。

パッケージ９は、上面に開放する凹部を有するベース９１と、ベース９１の凹部の開口を塞ぐようにベース９１に接合されているリッド（蓋体）９２とを有している。このようなパッケージ９は、その内側に収納空間Ｓを有しており、この収納空間Ｓ内に、センサー素子２およびＩＣチップ３が気密的に収納、設置されている。

また、ベース９１の上面には、複数の内部端子７１および複数の内部端子７２が設けられている。

この複数の内部端子７１には、半田、銀ペースト、導電性接着剤（樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤）などの導電性固定部材８１を介して、センサー素子２の端子６１〜６６が電気的に接続されている。また、この導電性固定部材８１により、センサー素子２がベース９１に対して固定されている。

この複数の内部端子７１は、図示しない配線を介して、複数の内部端子７２に電気的に接続されている。

複数の内部端子７２には、例えばボンディングワイヤーで構成された配線を介して、前述したＩＣチップ３の複数の接続端子３１が電気的に接続されている。

また、ベース９１の上面には、例えばエポキシ樹脂、アクリル樹脂等を含んで構成された接着剤のような接合部材８２により、前述したＩＣチップ３が接合されている。これにより、ＩＣチップ３がベース９１に対して支持・固定されている。

また、図示しないが、ベース９１の下面（パッケージ９の底面）には、センサーデバイス１が組み込まれる機器（外部機器）に実装される際に用いられる複数の外部端子が設けられている。

この複数の外部端子は、図示しない内部配線を介して、前述した内部端子７２に電気的に接続されている。

このような各内部端子７１、７２等は、それぞれ、例えば、タングステン（Ｗ）等のメタライズ層にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）等の被膜をメッキ等により積層した金属被膜からなる。

このようなベース９１には、リッド９２が気密的に接合されている。これにより、パッケージ９内が気密封止されている。

このリッド９２は、例えば、ベース９１と同材料、または、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼等の金属で構成されている。

ベース９１とリッド９２との接合方法としては、特に限定されず、例えば、ろう材、硬化性樹脂等で構成された接着剤による接合方法、シーム溶接、レーザー溶接等の溶接方法等を用いることができる。

かかる接合は、減圧下または不活性ガス雰囲気下で行うことにより、パッケージ９内を減圧状態または不活性ガス封入状態に保持することができる。

以上説明したような第１実施形態に係るセンサーデバイス１は、第１支持部２２１が欠損部２２１ｃを備えているとともに、第２支持部２２２が欠損部２２２ｃを備えている。そして、第１検出用振動腕２３が欠損部２２１ｃに入り込むとともに、第２検出用振動腕２４が欠損部２２２ｃに入り込んでいる。このため、本実施形態によれば、センサー素子２を大型化させることなく、検出部４１〜４４の長さをより長くすることができるので、小型でかつ感度の高いセンサー素子２を実現することができる。
また、このようなセンサー素子２を備えるセンサーデバイス１は、信頼性に優れる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明のセンサー素子の第２実施形態について説明する。

図６は、本発明の第２実施形態に係るセンサー素子の概略構成を示す平面図である。
なお、図６では、説明の便宜上、互いに直交する３軸として、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を図示しており、その図示した矢印の先端側を「＋側」、基端側を「−側」とする。また、以下では、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向」と言い、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向」と言い、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」と言う。

以下、第２実施形態について説明するが、以下の説明では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本発明の第２実施形態に係るセンサー素子２は、第１支持部２２１および第２支持部２２２の構成が異なる以外、第１実施形態に係るセンサー素子２と同様である。

本実施形態に係る第１支持部２２１は、ｘ軸方向において、第１検出用振動腕２３が第１支持部２２１に挟まれている特徴は共通であるが、欠損部２２１ｃを備えているものの、この欠損部２２１ｃは、第１固定部２２１ａと第１固定部２２１ｂとを完全に分離するのではなく、一部が残るように、基部２１側（＋ｙ側）の外縁を基部２１とは反対側（−ｙ側）に後退させてなるものである。なお、このようにして第１固定部２２１ａと第１固定部２２１ｂとを連結する部分は、欠損部２２１ｃの分だけ、第１固定部２２１ａ、２２１ｂよりもｙ軸方向の長さが短い部分であり、これを連結部２２１ｄとする。換言すれば、第１固定部２２１ａおよび第１固定部２２１ｂは、それぞれｙ軸方向の長さが長い部分であり、連結部２２１ｄは、ｙ軸方向の長さが第１固定部２２１ａ、２２１ｂよりも相対的に短い部分である。すなわち、第１支持部２２１は、基部２１側に欠損部２２１ｃである凹部を有し、第１の検出用振動腕２３は前述の凹部内にまで延在しており、第１方向であるｙ軸方向に沿った凹部から第１支持部２２１の外縁までの長さ（連結部２２１ｄのｙ軸方向に沿った長さ）は、凹部のｙ方向に沿った長さよりも短くなっている。

一方、本実施形態に係る第２支持部２２２は、ｘ軸方向において、第２検出用振動腕２４が第２支持部２２２に挟まれている特徴は共通であるが、欠損部２２２ｃを備えているものの、この欠損部２２２ｃは、第２固定部２２２ａと第２固定部２２２ｂとを完全に分離するのではなく、一部が残るように、基部２１側（−ｙ側）の外縁を基部２１とは反対側（＋ｙ側）に後退させてなるものである。なお、このようにして第２固定部２２２ａと第２固定部２２２ｂとを連結する部位は、欠損部２２２ｃの分だけ、第２固定部２２２ａ、２２２ｂよりもｙ軸方向の長さが短い部位であり、これを連結部２２２ｄとする。換言すれば、第２固定部２２２ａおよび第２固定部２２２ｂは、それぞれｙ軸方向の長さが長い部分であり、連結部２２２ｄは、ｙ軸方向の長さが第２固定部２２２ａ、２２２ｂよりも相対的に短い部分である。すなわち、第２支持部２２２は、基部２１側に欠損部２２２ｃである凹部を有し、第２の検出用振動腕２４は前述の凹部内にまで延在しており、第１方向であるｙ軸方向に沿った凹部から第２支持部２２２の外縁までの長さ（連結部２２２ｄのｙ軸方向に沿った長さ）は、凹部のｙ軸方向に沿った長さよりも短くなっている。

このような本実施形態においても、欠損部２２１ｃおよび欠損部２２２ｃを備えていない場合に比べて、第１検出用振動腕２３および第２検出用振動腕２４をより長く延伸させることができる。このため、本実施形態によれば、振動体２０を大型化させることなく、第１検出用振動腕２３に設けられる検出部４１、４２および第２検出用振動腕２４に設けられる検出部４３、４４の長さをより長くすることができる。その結果、検出部４１〜４４の電極で取得される電荷の量をより多くすることができ、検出信号のＳ／Ｎ比をより高めることができる。よって、本実施形態によれば、小型でかつ感度の高いセンサー素子２を実現することができる。

また、本実施形態に係る第１支持部２２１は、第１固定部２２１ａと第１固定部２２１ｂとが連結部２２１ｄを介して互いに連結されている。このため、第１支持部２２１が応力の影響によって変形するとき、第１固定部２２１ａと第１固定部２２１ｂとが連動して第１支持部２２１全体が変形する。

ここで、例えば第１支持部２２１に設けられた端子６１〜６３とベース９１に設けられた内部端子７１とが導電性固定部材８１を介して接続されているとき、接続作業から導電性固定部材８１が化学的に安定するまでの間に一定の期間を要する。このため、接続作業直後と、一定の期間が経過した後とでは、導電性固定部材８１の機械的な状態や電気的な状態が変化することとなり、センサー素子２のセンシング特性が意図せず変化するおそれがある。

これに対し、本実施形態によれば、導電性固定部材８１の状態変化の影響が第１支持部２２１全体の接続状態のバラツキを招き難くなるので、このバラツキに伴うセンシング特性の意図しない変化が抑えられる。これにより、目的のセンシング特性を有するセンサー素子２が得られる。

同様に、本実施形態に係る第２支持部２２２は、第２固定部２２２ａと第２固定部２２２ｂとが連結部２２２ｄを介して互いに連結されている。このため、第２支持部２２２側においても、その変形の影響が基部２１に及び難くなる。このため、目的のセンシング特性を有するセンサー素子２が得られる。
以上のような本実施形態においても、第１実施形態と同様の作用、効果が得られる。

［電子機器］
次いで、本発明のセンサーデバイスを備える電子機器（本発明の電子機器）について、図７〜図９に基づき、詳細に説明する。

図７は、本発明のセンサーデバイスを備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサーとして機能する前述したセンサーデバイス１が内蔵されている。

図８は、本発明のセンサーデバイスを備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサーとして機能する前述したセンサーデバイス１が内蔵されている。

図９は、本発明のセンサーデバイスを備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。

ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。

撮影者が表示部１００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチルカメラ１３００には、ジャイロセンサーとして機能する前述したセンサーデバイス１が内蔵されている。

なお、本発明のセンサーデバイスを備える電子機器は、図７のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図８の携帯電話機、図９のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等に適用することができる。

［移動体］
次に、本発明のセンサーデバイスを備える移動体（本発明の移動体）について説明する。

図１０は、本発明の移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１５００には、ジャイロセンサーとして機能する前述したセンサーデバイス１が搭載されている。センサーデバイス１は、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。

以上、本発明のセンサー素子、センサーデバイスおよび電子機器を図示の各実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明のセンサーデバイスは、前記各実施形態のうち、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。

また、前述した実施形態では、第１支持部と第２支持部の双方が欠損部を備えているが、本発明はかかる形態に限定されず、例えば第２支持部は欠損部を備えていなくてもよい。ただし、第１支持部と第２支持部の双方に欠損部を設けることで、一方のみに欠損部を設ける場合に比べて第１検出用振動腕と第２検出用振動腕の双方をより長くすることができるという利点がある。

また、第１支持部が備える欠損部の形状と第２支持部が備える欠損部の形状とは、互いに異なっていてもよい。例えば、第１支持部が備える欠損部が第１実施形態に係る欠損部と同じであり、第２支持部が備える欠損部が第２実施形態に係る欠損部で同じであるといった形態であってもよい。

また、前述した実施形態では、駆動部が圧電体素子で構成されている場合を説明したが、振動体を圧電体材料で構成した場合、駆動部は、駆動用振動腕に設けられた励振電極で構成されていてもよい。

また、センサー素子が有する駆動用振動腕や検出用振動腕の数は、前述した実施形態のものに限定されず、１本であっても２本以上の任意の本数であってもよい。

１ センサーデバイス
２ センサー素子
３ ＩＣチップ
９ パッケージ
２０ 振動体
２１ 基部
２３ 第１検出用振動腕
２４ 第２検出用振動腕
２５ 第１駆動用振動腕
２６ 第２駆動用振動腕
２７ 第３駆動用振動腕
２８ 第４駆動用振動腕
２９ 絶縁体層
３１ 接続端子
４１ 検出部
４１−１ 検出部
４２ 検出部
４３ 検出部
４４ 検出部
５１ 駆動部
５１−１ 駆動部
５２ 駆動部
５３ 駆動部
５４ 駆動部
５５ 駆動部
５６ 駆動部
５７ 駆動部
５８ 駆動部
６１ 端子
６２ 端子
６３ 端子
６４ 端子
６５ 端子
６６ 端子
７１ 内部端子
７２ 内部端子
８１ 導電性固定部材
８２ 接合部材
９１ ベース
９２ リッド
１００ 表示部
２１１ 第１連結腕
２１２ 第２連結腕
２２１ 第１支持部
２２１ａ 第１固定部
２２１ａｘ 縁部
２２１ｂ 第１固定部
２２１ｂｘ 縁部
２２１ｃ 欠損部
２２１ｄ 連結部
２２２ 第２支持部
２２２ａ 第２固定部
２２２ａｘ 縁部
２２２ｂ 第２固定部
２２２ｂｘ 縁部
２２２ｃ 欠損部
２２２ｄ 連結部
２２３ 第１梁部
２２４ 第１梁部
２２５ 第２梁部
２２６ 第２梁部
２３１ 錘部
２４１ 錘部
２５１ 錘部
２５１ｘ 縁部
２６１ 錘部
２６１ｘ 縁部
２７１ 錘部
２７１ｘ 縁部
２８１ 錘部
２８１ｘ 縁部
４１１ 第１の電極層
４１２ 圧電体層
４１３ 第２の電極層
４２１ 第１の電極層
４２２ 圧電体層
４２３ 第２の電極層
５１１ 第１の電極層
５１２ 圧電体層
５１３ 第２の電極層
５２１ 第１の電極層
５２２ 圧電体層
５２３ 第２の電極層
１１００ パーソナルコンピューター
１１０２ キーボード
１１０４ 本体部
１１０６ 表示ユニット
１２００ 携帯電話機
１２０２ 操作ボタン
１２０４ 受話口
１２０６ 送話口
１３００ ディジタルスチルカメラ
１３０２ ケース
１３０４ 受光ユニット
１３０６ シャッターボタン
１３０８ メモリー
１３１２ ビデオ信号出力端子
１３１４ 入出力端子
１４３０ テレビモニター
１４４０ パーソナルコンピューター
１５００ 自動車
Ｇ 重心
Ｓ 収納空間
ω 角速度

Claims (9)

1. 互いに直交する２つの方向を第１方向および第２方向とするとき、
   基部と、
   前記基部から前記第１方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第１検出用振動腕および第２検出用振動腕と、
   前記基部から前記第２方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第１連結腕および第２連結腕と、
   前記第１連結腕から前記第１方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第１駆動用振動腕および第２駆動用振動腕と、
   前記第２連結腕から前記第１方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第３駆動用振動腕および第４駆動用振動腕と、
   前記第１方向において、前記第１駆動用振動腕、前記第２駆動用振動腕、前記第３駆動用振動腕および前記第４駆動用振動腕を挟んで並ぶ第１支持部および第２支持部と、
   前記第１支持部と前記基部とを連結する第１梁と、
   前記第２支持部と前記基部とを連結する第２梁と、
   を有し、
   前記第１支持部は、その構成材料が部分的に除去された第１欠損部を備えており、前記第１検出用振動腕の一部が前記第１欠損部に入り込んでいることを特徴とするセンサー素子。
2. 前記第２支持部は、その構成材料が部分的に除去された第２欠損部を備えており、前記第２検出用振動腕の一部が前記第２欠損部に入り込んでいる請求項１に記載のセンサー素子。
3. 前記第１支持部は、前記第２方向において前記第１欠損部により２つに分離されている請求項１または２に記載のセンサー素子。
4. 前記第１支持部は、前記第１方向における長さが長い部分とそれより短い部分とを含んでおり、前記短い部分が前記第１欠損部に対応している請求項１または２に記載のセンサー素子。
5. 前記第１検出用振動腕の先端は、前記第１方向において、前記第１駆動用振動腕の先端および前記第３駆動用振動腕の先端を境にして前記基部側とは反対側に位置しており、
   前記第２検出用振動腕の先端は、前記第１方向において、前記第２駆動用振動腕の先端および前記第４駆動用振動腕の先端を境にして前記基部側とは反対側に位置している請求項１ないし４のいずれか１項に記載のセンサー素子。
6. 前記第１支持部の前記第２方向における外縁は、前記第１駆動用振動腕の前記第２方向における外縁および前記第３駆動用振動腕の前記第２方向における外縁よりも前記基部側にそれぞれ位置しており、
   前記第２支持部の前記第２方向における外縁は、前記第２駆動用振動腕の前記第２方向における外縁および前記第４駆動用振動腕の前記第２方向における外縁よりも前記基部側にそれぞれ位置している請求項１ないし５のいずれか１項に記載のセンサー素子。
7. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載のセンサー素子と、前記センサー素子を収納するパッケージと、を備えることを特徴とするセンサーデバイス。
8. 請求項７に記載のセンサーデバイスを備えることを特徴とする電子機器。
9. 請求項７に記載のセンサーデバイスを備えることを特徴とする移動体。

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