JP2016006844A - 溝加工ヘッドの集塵機構及び溝加工装置 - Google Patents
溝加工ヘッドの集塵機構及び溝加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016006844A JP2016006844A JP2014265596A JP2014265596A JP2016006844A JP 2016006844 A JP2016006844 A JP 2016006844A JP 2014265596 A JP2014265596 A JP 2014265596A JP 2014265596 A JP2014265596 A JP 2014265596A JP 2016006844 A JP2016006844 A JP 2016006844A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- groove processing
- head
- tool
- dust collection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/0042—Devices for removing chips
- B23Q11/0046—Devices for removing chips by sucking
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D7/00—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups
- B28D7/02—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups for removing or laying dust, e.g. by spraying liquids; for cooling work
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T83/00—Cutting
- Y10T83/202—With product handling means
- Y10T83/2066—By fluid current
- Y10T83/207—By suction means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】溝加工ヘッドの底面板33のツール32が突出する近傍に吸い込み口を有する集塵フード40を設ける。溝加工ヘッド30を用いて基板Wを溝加工する際に、集塵フード40の空気をダクト34を介してブロア35で吸引する。こうすれば溝加工によって生じる粉塵を基板Wに付着する前に集塵フード40の吸い込み口に吸い込むことができる。
【選択図】図9
Description
11 テーブル
12 カメラ
13 台座
14 支持台
15 ガイド
16 モニタ
17 ブリッジ
18a,18b 支柱
19 ガイドバー
20 ガイド
21 モータ
30 溝加工ヘッド
31 ツールホルダ
32 ツール
33 底面板
34 ダクト
35 集塵機
40,60 集塵フード
41,61 底面板
42〜45 壁面板
46 仕切り部
47〜50 仕切り板
41a,41b,47a,48a 端部
51,52 整流ブロック
Claims (5)
- 溝加工ヘッドと、
前記溝加工ヘッドの下部に設けられた集塵フードと、
前記集塵フードからダクトを介して空気を吸引する集塵機と、を具備する溝加工ヘッドの集塵機構であって、
前記溝加工ヘッドは、刃先を下方にしたツールを保持するツールホルダを有するものであり、
前記集塵フードは、上面が開放された筐体であり、前記溝加工ヘッドのツールを突出させる開口と、前記ツールホルダとの間に一定間隔隔てるように前記開口部から上方に向けて設けられた枠状の仕切り部とを有し、前記ツールの先端が前記開口から下方に突出するように取付けられたものである溝加工ヘッドの集塵機構。 - 前記集塵フードは、前記ヘッドに設けられる吸い込み口を中心とした底面をV字形とした請求項1記載の溝加工ヘッドの集塵機構。
- 前記集塵フードの開口部及び仕切り部は、吸い込み口の端面の
先端が鋭く切り欠かれたものである請求項1又は2記載の溝加工ヘッドの集塵機構。 - 前記集塵フードは、筐体の内側の角に三角柱状の整流ブロックを更に有する請求項1又は2記載の溝加工ヘッドの集塵機構。
- 基板が載置されるテーブルと、
溝加工のためのツールを有するツールホルダが装着される請求項1〜4のいずれか1項記載の溝加工ヘッドの集塵機構と、
前記テーブルと前記溝加工ヘッドとを水平面内で相対的に移動させるための移動手段と、を備え、前記溝加工ヘッドを基板の上面に平行に移動させ、基板上に溝を形成する溝加工装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014265596A JP6443046B2 (ja) | 2014-05-29 | 2014-12-26 | 溝加工ヘッドの集塵機構及び溝加工装置 |
CN201510151662.3A CN105269389B (zh) | 2014-05-29 | 2015-04-01 | 槽加工头的集尘机构及槽加工装置 |
TW104112760A TWI666101B (zh) | 2014-05-29 | 2015-04-21 | 槽加工頭之集塵機構及槽加工裝置 |
US14/699,287 US9673070B2 (en) | 2014-05-29 | 2015-04-29 | Dust collecting mechanism for groove machining head and groove machining apparatus |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014110811 | 2014-05-29 | ||
JP2014110811 | 2014-05-29 | ||
JP2014265596A JP6443046B2 (ja) | 2014-05-29 | 2014-12-26 | 溝加工ヘッドの集塵機構及び溝加工装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018222957A Division JP2019069605A (ja) | 2014-05-29 | 2018-11-29 | 溝加工ヘッドの集塵機構及び溝加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016006844A true JP2016006844A (ja) | 2016-01-14 |
JP6443046B2 JP6443046B2 (ja) | 2018-12-26 |
Family
ID=54702630
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014265596A Active JP6443046B2 (ja) | 2014-05-29 | 2014-12-26 | 溝加工ヘッドの集塵機構及び溝加工装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9673070B2 (ja) |
JP (1) | JP6443046B2 (ja) |
CN (1) | CN105269389B (ja) |
TW (1) | TWI666101B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017205999A (ja) * | 2016-05-16 | 2017-11-24 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性基板スクライバー用粉塵除去装置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN205668186U (zh) * | 2016-05-12 | 2016-11-02 | 东莞市晶研仪器科技有限公司 | 智能bga芯片维修仪器 |
CN106393253B (zh) * | 2016-10-14 | 2019-04-30 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种用于复合材料干切削加工的粉尘监控装置 |
CN107520983B (zh) * | 2017-10-24 | 2019-04-26 | 青岛市市南区市政工程养护建设有限公司 | 一种人行道砖切割防尘装置 |
CN109013561A (zh) * | 2018-06-19 | 2018-12-18 | 中国科学院微电子研究所 | 去除晶圆表面微粒的装置及方法 |
CN111215957B (zh) * | 2020-02-12 | 2021-01-26 | 北京英迈特科贸有限公司 | 一种高效率金属切削机床 |
CN111267257B (zh) * | 2020-04-03 | 2024-07-05 | 宿州学院 | 一种石材加工机用随动式吸尘组件 |
CN112720865A (zh) * | 2020-12-19 | 2021-04-30 | 罗源县西兰乡人民政府 | 一种石材加工用钻孔装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4184226A (en) * | 1976-01-29 | 1980-01-22 | Norbert Loevenich | Apparatus for discharging drilling debris, drilling dust and the like, more particularly during the drilling operation in the case of hand drilling machine |
JPH07276180A (ja) * | 1994-04-04 | 1995-10-24 | Shiyouda Tekko Kk | 工作機用ヘッド部の集塵装置 |
JPH09285939A (ja) * | 1996-04-22 | 1997-11-04 | Shiyouda Tekko Kk | 工作機用ヘッド部の集塵装置 |
JP2004358577A (ja) * | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Hitachi Via Mechanics Ltd | プリント基板加工機 |
JP2010143769A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | カレット除去装置 |
JP2010142671A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 塵埃吸引方法及び塵埃吸引装置 |
JP2010245255A (ja) * | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Shiraitekku:Kk | 太陽電池パネルの製膜スクライブ装置 |
JP2011155151A (ja) * | 2010-01-27 | 2011-08-11 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 薄膜太陽電池用スクライブ装置 |
JP2012030249A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 集塵装置及びこれを用いたレーザ加工装置並びにソーラパネル製造方法 |
JP2013035103A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | 研磨パッド溝加工機及び研磨パッド溝加工方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4738571A (en) * | 1982-09-29 | 1988-04-19 | Olson Eugene T | Routing apparatus with dust extraction system |
JPH09285938A (ja) | 1996-04-22 | 1997-11-04 | Hookosu Kk | 工作機械の切粉吸引装置 |
US5988954A (en) * | 1999-01-12 | 1999-11-23 | The Boeing Company | Vacuum attachment for power tool |
JP4064340B2 (ja) | 2003-12-25 | 2008-03-19 | 昭和シェル石油株式会社 | 集積型薄膜太陽電池の製造方法 |
DE102005009314A1 (de) * | 2005-02-18 | 2006-08-24 | Alfred Kärcher Gmbh & Co. Kg | Bohrschmutzauffanggerät |
JP4993886B2 (ja) * | 2005-09-07 | 2012-08-08 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
US7591615B2 (en) * | 2007-03-09 | 2009-09-22 | Trimont Mfg. Inc | Sheet material cutting machine with vacuum cleaning system |
CN101332570A (zh) * | 2007-06-28 | 2008-12-31 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 机床 |
US8235773B2 (en) * | 2008-08-22 | 2012-08-07 | Idi Precision Machinery Ltd. | Dust-disposal assembly for machine tool |
DE102009000084A1 (de) * | 2009-01-08 | 2010-07-15 | Hilti Aktiengesellschaft | Absaughaube |
US8393939B2 (en) * | 2009-03-31 | 2013-03-12 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Dust collection for an abrasive tool |
US8763617B2 (en) * | 2009-06-24 | 2014-07-01 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Material removal systems and methods utilizing foam |
JP5584030B2 (ja) * | 2010-07-08 | 2014-09-03 | 株式会社マキタ | 集塵装置 |
US8793835B2 (en) * | 2011-04-13 | 2014-08-05 | Jack M. King, JR. | System and method for capturing resultant dust from power tool operation |
JP6000025B2 (ja) * | 2012-08-30 | 2016-09-28 | 株式会社不二製作所 | スクライブ加工方法及びスクライブ加工用のブラスト加工装置 |
CN203738488U (zh) * | 2014-03-31 | 2014-07-30 | 徐州正通人工环境工程有限公司 | 手持式复合类板材切削装置 |
-
2014
- 2014-12-26 JP JP2014265596A patent/JP6443046B2/ja active Active
-
2015
- 2015-04-01 CN CN201510151662.3A patent/CN105269389B/zh active Active
- 2015-04-21 TW TW104112760A patent/TWI666101B/zh not_active IP Right Cessation
- 2015-04-29 US US14/699,287 patent/US9673070B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4184226A (en) * | 1976-01-29 | 1980-01-22 | Norbert Loevenich | Apparatus for discharging drilling debris, drilling dust and the like, more particularly during the drilling operation in the case of hand drilling machine |
JPH07276180A (ja) * | 1994-04-04 | 1995-10-24 | Shiyouda Tekko Kk | 工作機用ヘッド部の集塵装置 |
JPH09285939A (ja) * | 1996-04-22 | 1997-11-04 | Shiyouda Tekko Kk | 工作機用ヘッド部の集塵装置 |
JP2004358577A (ja) * | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Hitachi Via Mechanics Ltd | プリント基板加工機 |
JP2010143769A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | カレット除去装置 |
JP2010142671A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 塵埃吸引方法及び塵埃吸引装置 |
JP2010245255A (ja) * | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Shiraitekku:Kk | 太陽電池パネルの製膜スクライブ装置 |
JP2011155151A (ja) * | 2010-01-27 | 2011-08-11 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 薄膜太陽電池用スクライブ装置 |
JP2012030249A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 集塵装置及びこれを用いたレーザ加工装置並びにソーラパネル製造方法 |
JP2013035103A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | 研磨パッド溝加工機及び研磨パッド溝加工方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017205999A (ja) * | 2016-05-16 | 2017-11-24 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性基板スクライバー用粉塵除去装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105269389A (zh) | 2016-01-27 |
TWI666101B (zh) | 2019-07-21 |
US9673070B2 (en) | 2017-06-06 |
CN105269389B (zh) | 2019-03-22 |
US20150348808A1 (en) | 2015-12-03 |
JP6443046B2 (ja) | 2018-12-26 |
TW201600284A (zh) | 2016-01-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6443046B2 (ja) | 溝加工ヘッドの集塵機構及び溝加工装置 | |
JP2004115356A (ja) | メカニカルスクライブ装置 | |
JP6364789B2 (ja) | スクライブ装置 | |
JP2019069605A (ja) | 溝加工ヘッドの集塵機構及び溝加工装置 | |
CN113510379A (zh) | 一种太阳能电池激光清边机以及清边方法 | |
EP2402111A2 (en) | Thin film removal apparatus | |
TW201839834A (zh) | 切割裝置 | |
JP2007061980A (ja) | 切削加工装置および切削加工方法 | |
JP2012190932A (ja) | 加工装置 | |
JP6282176B2 (ja) | 脆性材料基板の端材分離装置 | |
JP6287548B2 (ja) | 脆性材料基板の端材分離方法及び端材分離装置 | |
JP2012011756A (ja) | 分断装置 | |
JP2010093103A (ja) | 分割加工用治具 | |
JP6406005B2 (ja) | ツールホルダ及び溝加工装置 | |
CN105914164B (zh) | 加工装置 | |
JP6331701B2 (ja) | ツールホルダ及び溝加工装置 | |
JP5422176B2 (ja) | 保持テーブルおよび切削装置 | |
CN103128800A (zh) | 一种用于加工金属薄膜的激光切割机工作台 | |
JP2015046541A (ja) | 切削溝の検出方法 | |
JP2017092362A (ja) | 被加工物の加工方法 | |
JP2014188599A (ja) | 溝加工ツール、及びこれを用いた溝加工装置 | |
JP2016101749A (ja) | 基板加工用ツールのツールホルダ及び基板加工装置 | |
JP2017113826A (ja) | 溝加工装置及び溝加工装置の集塵機の点検方法 | |
JP2011060898A (ja) | ワーク収納カセット | |
JPWO2016084884A1 (ja) | 基板加工用ツール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171130 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20180205 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180803 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180821 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181019 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181030 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181112 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6443046 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |