JP2016001139A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査対象物に検査光を照射する照明装置と、検査光を照射された検査対象物の検査画像を取得する画像取得装置と、検出対象の欠陥部分及び検出対象でない非欠陥部分が正常部分とは識別可能に含まれ且つ欠陥部分と非欠陥部分との識別が困難な検査画像から、非欠陥部分と欠陥部分とが区別された処理画像を作成する画像処理装置とを備える。
【選択図】図1
Description
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。例えば、太陽電池セル以外の、集積回路用半導体基板や液晶基板の検査などにも本発明は適用可能である。
10…照明装置
20…画像取得装置
30…画像処理装置
40…表示装置
50…判定装置
100…検査対象物
Claims (10)
- 検査対象物に検査光を照射する照明装置と、
前記検査光を照射された前記検査対象物の検査画像を取得する画像取得装置と、
検出対象の欠陥部分と検出対象でない非欠陥部分とが正常部分とは識別可能に含まれ且つ前記欠陥部分と前記非欠陥部分との識別が困難な前記検査画像から、前記非欠陥部分と前記欠陥部分とが区別された処理画像を作成する画像処理装置と
を備え、前記処理画像を用いて前記検査対象物の欠陥検査が行われることを特徴とする検査装置。 - 前記画像取得装置が、前記欠陥部分及び前記非欠陥部分が前記正常部分と識別可能な第1の検査画像、及び前記欠陥部分と前記正常部分とが識別されず且つ前記非欠陥部分が前記正常部分と識別可能な第2の検査画像を、前記検査対象物の同一箇所について取得し、
前記画像処理装置が、前記第1の検査画像と前記第2の検査画像とを用いて前記処理画像を作成することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記照明装置が第1の光源及び第2の光源を有し、
前記第1の光源で前記検査対象物を照射した場合に、前記画像取得装置が、前記欠陥部分及び前記非欠陥部分と前記正常部分との輝度が異なる前記第1の検査画像を取得し、
前記第2の光源で前記検査対象物を照射した場合に、前記画像取得装置が、前記欠陥部分と前記正常部分との輝度が同等であり、且つ前記非欠陥部分と前記正常部分との輝度が異なる前記第2の検査画像を取得することを特徴とする請求項2に記載の検査装置。 - 前記画像処理装置が、前記第1の検査画像と前記第2の検査画像の輝度分布の幅及びピークを同等にした後に、前記第1の検査画像と前記第2の検査画像との輝度の減算処理を行って、前記処理画像を作成することを特徴とする請求項3に記載の検査装置。
- 前記非欠陥部分が前記検査対象物の結晶粒界であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の検査装置。
- 検査対象物に検査光を照射する工程と、
前記検査光を照射された前記検査対象物の検査画像を取得する工程と、
検出対象の欠陥部分及び検出対象でない非欠陥部分が正常部分とは識別可能に含まれ且つ前記欠陥部分と前記非欠陥部分との識別が困難な前記検査画像から、前記非欠陥部分と前記欠陥部分とが区別された処理画像を作成する工程と、
前記処理画像を用いて前記検査対象物の欠陥検査を行う工程と
を含むことを特徴とする検査方法。 - 前記検査画像を取得する工程において、前記欠陥部分及び前記非欠陥部分が前記正常部分と識別可能な第1の検査画像、及び前記欠陥部分と前記正常部分とが識別されず且つ前記非欠陥部分が前記正常部分と識別可能な第2の検査画像を、前記検査対象物の同一箇所について取得し、
前記第1の検査画像と前記第2の検査画像とを用いて前記処理画像を作成することを特徴とする請求項6に記載の検査方法。 - 前記検査画像を取得する工程が、
第1の光源で前記検査対象物を照射して、前記欠陥部分及び前記非欠陥部分と前記正常部分との輝度が異なる前記第1の検査画像を取得する段階と、
第2の光源で前記検査対象物を照射して、前記欠陥部分と前記正常部分との輝度が同等であり、且つ前記非欠陥部分と前記正常部分との輝度が異なる前記第2の検査画像を取得する段階と
を含むことを特徴とする請求項7に記載の検査方法。 - 前記第1の検査画像と前記第2の検査画像の輝度分布の幅及びピークを同等にした後に、前記第1の検査画像と前記第2の検査画像との輝度の減算処理を行って前記処理画像を作成することを特徴とする請求項8に記載の検査方法。
- 前記非欠陥部分が前記検査対象物の結晶粒界であることを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項に記載の検査方法。
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