JP2015524358A5

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Info

Publication number: JP2015524358A5
Application number: JP2015525533A
Authority: JP
Filing date: 2013-07-31
Publication date: 2016-09-23
Anticipated expiration: 2033-07-31

Claims

第１の研磨要素と、
第２の研磨要素と、
第１主表面及び第２主表面を有する弾性要素と、
キャリアと、を備え、
前記第１の研磨要素及び前記第２の研磨要素が、第１主表面及び第２主表面をそれぞれ備え、
前記第１の研磨要素及び前記第２の研磨要素の少なくとも前記第１主表面が、複数の精密に成形された構造部を備え、
前記研磨要素が、実質的に無機のモノリシック構造を備える、研磨物品。
前記無機のモノリシック構造が、９９重量％の炭化物セラミックスである、請求項１に記載の研磨物品。
精密に成形された構造部を有する前記第１の要素及び前記第２の要素のそれぞれが、前記構造部高さの約２０％未満の構造部不均一性を有する、請求項１に記載の研磨物品。
研磨物品を作製する方法であって、
第１の研磨要素及び第２の研磨要素を準備する工程であって、前記第１の研磨要素及び前記第２の研磨要素のそれぞれが、第１主表面及び第２主表面を備え、少なくとも前記第１主表面が、複数の精密に成形された構造部を備える工程と、
前記第１の研磨要素及び前記第２の研磨要素の前記第１主表面を、位置合わせプレートと接触させて定置する工程と、
第１主表面及び第２主表面を有する弾性要素を準備する工程と、
前記弾性要素の前記第１主表面を、前記研磨要素の前記第２主表面に固定する工程と、
締結要素を準備する工程と、
前記締結要素によって、前記弾性要素の前記第２主表面をキャリアに固定する工程と、を含み、
Ｄ_０の共通の最大設計構造部高さを有する、全ての前記研磨要素上の構造部の集合的グループが、前記構造部高さの約２０％未満の非共平面性を有する、方法。
第１の研磨要素と、
第２の研磨要素と、
第１主表面及び第２主表面を有する弾性要素と、
キャリアと、を備え、
前記第１の研磨要素及び前記第２の研磨要素が、第１主表面及び第２主表面をそれぞれ備え、
前記第１の研磨要素及び前記第２の研磨要素の少なくとも前記第１主表面が、ダイヤモンドコーティングを有する、複数の精密に成形された構造部を備え、
前記研磨要素が、実質的に無機のモノリシック構造を備える、研磨物品。
前記ダイヤモンドコーティングが、ダイヤモンド、ドープダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素、ダイヤモンド状ガラス、多結晶ダイヤモンド、微結晶ダイヤモンド、ナノ結晶ダイヤモンド、及びこれらの組み合わせのうちの１つから選択される、請求項５に記載の研磨物品。