JP2015233101A5 - - Google Patents
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Description
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのインプリント装置は、モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、前記インプリント材を前記基板に向けてそれぞれ吐出する複数の吐出口を有し、各吐出口から前記インプリント材を吐出することによって前記基板上に前記インプリント材を供給する供給部と、前記供給部から前記基板上に供給される前記インプリント材の前記基板上における配置を示す配置情報に従って、各吐出口からの前記インプリント材の吐出を制御する制御部と、を含み、前記制御部は、前記配置情報に従って前記基板上に実際に供給された前記インプリント材の総量に関する情報に基づいて、各吐出口から一回の吐出で吐出されるインプリント材の理想体積と前記供給部から前記基板上に供給されるインプリント材の吐出数との積が前記情報における前記インプリント材の総量に近づくように前記配置情報を更新する、ことを特徴とする。
供給部7は、インプリント材6を収容するタンク7aと、タンク7aに収容されたインプリント材6を基板に供給するディスペンサ7bとを含みうる。ディスペンサ7bは、インプリント材6の液滴を基板4に向けてそれぞれ吐出する複数のノズル7cを有する。供給部7は、基板4と供給部7とが相対的に移動している状態で各ノズル7cからインプリント材6の液滴を吐出させることにより、基板上にインプリント材6を供給する。例えば、複数のノズル7c(吐出口)がY方向に沿って配列している場合、各ノズル7cからインプリント材6の液滴を基板4に供給する工程は、複数のノズル7cの配列方向と異なる方向(例えばX方向)に基板4が移動している状態で行われる。このとき、各ノズル7cにおける液滴の吐出または非吐出(吐出のタイミング)は、基板上に供給させるインプリント材6の液滴の基板上における配置を示すマップ(配置情報)に従って制御部8により制御される。マップは、モールド1のパターン領域1aに形成された凹凸のパターンの設計情報、および各ノズル7cから吐出される各液滴の理想体積に基づいて制御部8によって事前に作成される。各ノズル7cから吐出される各液滴の理想体積とは、各ノズル7cに製造誤差や目詰まりなどの異常が生じていない状態において各ノズル7cから吐出されるべき各液滴の体積のことを示す。
Claims (13)
- モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記インプリント材を前記基板に向けてそれぞれ吐出する複数の吐出口を有し、各吐出口から前記インプリント材を吐出することによって前記基板上に前記インプリント材を供給する供給部と、
前記供給部から前記基板上に供給される前記インプリント材の前記基板上における配置を示す配置情報に従って、各吐出口からの前記インプリント材の吐出を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記配置情報に従って前記基板上に実際に供給された前記インプリント材の総量に関する情報に基づいて、各吐出口から一回の吐出で吐出されるインプリント材の理想体積と前記供給部から前記基板上に供給されるインプリント材の吐出数との積が前記情報における前記インプリント材の総量に近づくように前記配置情報を更新する、ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記制御部は、前記情報における前記インプリント材の総量から前記理想体積と前記配置情報におけるインプリント材の吐出数とを除することによって係数を決定し、前記係数を用いて前記配置情報を更新する、ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記供給部から前記基板上に供給されるインプリント材の吐出数が前記配置情報におけるインプリント材の吐出数に前記係数を乗じた数になるように前記配置情報を更新する、ことを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、複数の配置情報の各々に従って前記インプリント材を基板上に供給することによって取得された複数の情報を用いて前記係数を決定し、
前記複数の情報は、前記複数の配置情報のうち第1配置情報に従って基板上に実際に供給された前記インプリント材の体積に関する第1供給情報と、前記複数の配置情報のうち第2配置情報に従って基板上に実際に供給された前記インプリント材の体積に関する第2供給情報とを含み、
前記第1配置情報におけるインプリント材の吐出数および前記第2配置情報におけるインプリント材の吐出数は互いに異なる、ことを特徴とする請求項2又は3に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記第1配置情報に従って基板上に供給され且つ第1モールドを用いて成形された前記インプリント材の膜厚に基づいて前記第1供給情報を取得し、前記第2配置情報に従って基板上に供給され且つ第2モールドを用いて成形された前記インプリント材の膜厚に基づいて前記第2供給情報を取得し、
前記第1モールドおよび第2モールドは、凹凸のパターンをそれぞれ含み、前記凹凸のパターンにおける凹部の深さが互いに異なる、ことを特徴とする請求項4に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記第1配置情報に従って基板上に供給され且つ第3モールドを用いて成形された前記インプリント材の膜厚に基づいて前記第1供給情報を取得し、前記第2配置情報に従って基板上に供給され且つ前記第3モールドを用いて成形された前記インプリント材の膜厚に基づいて前記第2供給情報を取得する、ことを特徴とする請求項4に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記係数を決定するために用いられた配置情報とは異なる第4配置情報を、前記第4配置情報におけるインプリント材の吐出数が、前記理想体積とモールドのパターンの設計情報とに基づいて求められるインプリント材の吐出数に前記係数を乗じた数になるように作成する、ことを特徴とする請求項2乃至6のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記配置情報に従って前記基板上に供給され且つ前記モールドを用いて成形された前記インプリント材の膜厚と前記モールドのパターンの設計情報に基づいて前記情報を取得する、ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記配置情報は、前記理想体積と前記モールドのパターンの設計情報とに基づいて作成されている、ことを特徴とする請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 基板に供給され且つモールドを用いて成形されたインプリント材の膜厚を計測する計測部を更に含む、ことを特徴とする請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記インプリント材を前記基板に向けてそれぞれ吐出する複数の吐出口を有し、各吐出口からインプリント材を吐出することによって前記基板上に前記インプリント材を供給する供給部と、
前記供給部から前記基板上に供給される前記インプリント材の前記基板上における配置を示す配置情報に従って、各吐出口からの前記インプリント材の吐出を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記配置情報に従って前記基板上に実際に供給された前記インプリント材の総量に関する情報に基づいて、各吐出口から一回の吐出で吐出されるインプリント材の理想体積と前記配置情報におけるインプリント材の吐出数とを前記情報における前記インプリント材の総量から除することによって係数を決定し、
前記係数を決定するために用いられた配置情報とは異なる配置情報を、前記異なる配置情報におけるインプリント材の吐出数が、前記理想体積とモールドのパターンの設計情報とに基づいて求められるインプリント材の吐出数に前記係数を乗じた数になるように作成する、ことを特徴とするインプリント装置。 - モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント方法であって、
前記インプリント材を前記基板に向けてそれぞれ吐出する複数の吐出口を用い、前記基板上に供給されるインプリント材の前記基板上における配置を示す配置情報に従って、各吐出口からインプリント材を吐出させる吐出工程と、
前記配置情報に従って前記基板上に実際に供給された前記インプリント材の体積に関する情報に基づいて、各吐出口から一回の吐出で吐出されるインプリント材の理想体積および前記配置情報におけるインプリント材の吐出数から決定される前記インプリント材の総量が前記情報における前記体積に近づくように前記配置情報を更新する更新工程と、
を含むことを特徴とするインプリント方法。 - 請求項1乃至11のうちいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて基板にインプリント材のパターンを形成する形成工程と、
前記形成工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する加工工程と、を有し、
該加工工程により加工された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
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