JP2015196232A - 加工装置及び加工システム - Google Patents

Abstract

【課題】テーブルが移動あるいはオシレーションする際のガタツキを低減して、被加工物の加工精度を向上させることができる加工装置及び加工システムを提供する。【解決手段】送りネジ２２に沿って移動するナット２４と、ナット２４によって移動されるとともに上面１１ａにエンドミル１３及び砥石１４が設けられたテーブル１１と、テーブル１１とナット２４との間に介在されてテーブル１１の移動に伴って移動される嵌合部３０と、ナット嵌合部３０とナット２４との間に供給される静圧油とを備える【選択図】図３

Description

本発明は、加工装置及び加工システム、特に、軸体に沿って移動する移動体によってテーブルを移動させる加工装置及び加工システムに関する。

被加工物を加工する際に使用される加工装置は、例えば、加工器具が設けられたテーブルを、被加工物を加工する加工位置と被加工物から離れる退避位置との間で移動させたり、加工器具が設けられたテーブルをオシレーションさせたりしながら、被加工物を加工する装置である（例えば、特許文献１を参照）。この種の加工装置の一例の概略を、図６を用いて説明する。

図示のように、加工装置１００は、例えば、雄ネジとして形成された送りネジ１０２、この送りネジ１０２に螺合する雌ネジとして形成されたナット１０４を備え、ナット１０４に、ブラケット１０６を介してテーブル１１０が取り付けられている。

具体的には、ナット１０４の外側面１０４ａにブラケット１０６が装着され、この状態でナット１０４とブラケット１０６とがボルト１０８によって取り付けられている。ナット１０４に取り付けられたブラケット１０６には、ボルト１１２によってテーブル１１０が取り付けられている。

これにより、図示しないサーボモータによる送りネジ１０２の回転に基づいて、ナット１０４が送りネジ１０２の軸に沿って移動し、ナット１０４の移動とともに、テーブル１１０が加工位置と退避位置との間で移動、あるいはテーブル１１０がオシレーションする。

特開２０１１−１５８０１８公報

ところで、このような加工装置１００にあっては、テーブル１１０の高度な追従性を確保する観点から、一般的に、送りネジ１０２の雄ネジ及びナット１０４の雌ネジの加工精度が高度に要求される。

しかし、送りネジ１０２の雄ネジ及びナット１０４の雌ネジの加工は厄介であることから、例えば、送りネジ１０２の雄ネジの軸中心とナット１０４の雌ネジの軸中心とが軸に対して直交する方向に軸ズレする等、加工精度が低い場合がある。

このように、送りネジ１０２とナット１０４とが軸ズレする等、加工精度が低い場合は、上記の加工装置１００によりテーブル１１０を加工位置と退避位置との間で移動させたり、テーブル１１０をオシレーションさせたりする際に、ナット１０４が送りネジ１０２の軸に対して直交する方向に揺動することから、テーブル１１０の移動あるいはオシレーションの運動精度が低下して、テーブル１１０にガタツキが発生する場合がある。

さらに、送りネジ１０２及びナット１０４の加工精度の低さに起因して、ナット１０４が送りネジ１０２の軸方向に対して揺動する場合は、テーブル１１０の移動あるいはオシレーションの運動精度が低下して、テーブル１１０にガタツキが発生する場合がある。

このように、テーブル１１０の移動あるいはオシレーションの際にガタツキが発生すると、被加工物の加工精度が低下することが想定される。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、テーブルが移動あるいはオシレーションする際のガタツキを低減して、被加工物の加工精度を向上させることができる加工装置及び加工システムを提供することにある。

上記課題を解決するための請求項１に記載の発明による加工装置は、軸体に沿って移動する移動体と、該移動体によって移動され、上面に加工器具が設けられたテーブルと、該テーブルと前記移動体の間に介在されて前記移動体によって前記テーブルとともに移動される中間体と、該中間体と前記移動体との間に供給される静圧油と、を備えることを特徴とする。

この構成によれば、テーブルと移動体との間に介在された中間体が移動体の移動によってテーブルとともに移動し、かつ中間体と移動体との間に供給された静圧油によって移動体が支持されることから、軸体と移動体との軸ズレ等に起因する移動体の軸の直交方向に対する揺動及び軸方向の揺動が抑制される。

従って、加工器具が上面に設けられたテーブルを移動体によって移動させる際に、テーブルにガタツキが発生することが解消される。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の加工装置において、前記移動体と前記中間体との間に静圧油供給間隙が設けられ、該静圧油供給間隙に前記静圧油が常時供給されていることを特徴とする。

この構成によれば、移動体と中間体との間に設けられた静圧油供給間隙に、静圧油が常時供給されていることから、静圧油供給間隙に供給される静圧油による油圧が一定に保持される。

従って、軸体と移動体との軸ズレ等に起因する移動体の軸の直交方向及び軸方向の揺動を、安定して抑制することができる。

請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の加工装置において、前記加工器具は、切削加工器具及び該切削加工器具と加工特性の異なる研磨加工器具であって、該研磨加工器具及び前記切削加工器具が前記テーブルの上面に設けられていることを特徴とする。

この構成によれば、異なる加工特性を有する切削加工器具及び研磨加工器具がテーブルの上面に設けられた加工装置において、軸体と移動体との軸ズレ等に基づく移動体の軸の直交方向及び軸方向の揺動が抑制されることから、この加工装置のテーブルにガタツキが発生することが解消される。

従って、切削加工器具及び研磨加工器具のそれぞれが有する加工特性に応じて、被加工物の加工精度を向上させることができる。

上記課題を解決するための請求項４に記載の発明による加工システムは、請求項１〜３のいずれか１項に記載の加工装置と、該加工装置の近傍に設けられ、軸体に沿って移動する移動体と、該移動体によって移動されるとともに上面に前記加工器具によって加工される被加工物を保持する被加工物保持器具が設けられたテーブルと、該テーブルと前記移動体の間に介在されて前記テーブルとともに移動される中間体と、該中間体と前記移動体との間に供給された静圧油とを有する被加工物保持装置と、を備えることを特徴とする。

この構成によれば、加工装置及び被加工物保持装置のいずれもが、移動体の移動によってテーブルとともに移動する中間体を備え、この中間体と移動体との間に供給された静圧油によって移動体が支持されることから、軸体と移動体との軸ズレ等に起因する移動体の軸の直交方向に対する揺動及び軸方向の揺動が抑制される。

従って、被加工物保持装置において、被加工物保持器具が上面に設けられたテーブルを移動させる際に、テーブルにガタツキが発生することが解消されることから、被加工物が被加工物保持装置によって加工位置に適切に位置決めされる。

一方、加工装置において、加工器具が上面に設けられたテーブルを移動体によって移動させる際にも、テーブルにガタツキが発生することが抑制されることから、加工位置に適切に位置決めされた被加工物に対する加工精度を向上させることができる。

この発明によれば、移動体の移動によってテーブルとともに移動する中間体を備え、この中間体と移動体との間に供給された静圧油によって移動体が支持されることから、軸体と移動体との軸ズレ等に起因する移動体の軸の直交方向に対する揺動及び軸方向の揺動が抑制される。

従って、加工器具が上面に設けられたテーブルを移動体によって移動させる際に、テーブルにガタツキが発生することが解消されることから、被加工物の加工精度を向上させることができる。

本発明の実施の形態に係る加工装置及び加工システムの概略を説明する図である。 同じく、本実施の形態に係る加工装置の概略を説明する図である。 同じく、本実施の形態に係る加工装置の概略を説明する、図２のＡ部の拡大図である。 図３のＢ部の拡大図である。 本実施の形態に係る加工装置で加工される被加工物の概略を説明する図である。 従来の加工装置の概略を説明する図である。

次に、本発明の実施の形態について、図１〜図５に基づいて説明する。

図１は、本実施の形態に係る加工装置及び加工システムの概略を説明する図である。図示のように、加工システム１は、加工装置１０及び被加工物保持装置６０を備える。

加工装置１０は、案内面Ｓ１に沿ってＸ方向に往復移動するテーブル１１、テーブル１１をＸ方向に往復移動させる駆動力を発生するサーボモータ１２を備える。

テーブル１１には、本実施の形態では、被加工物であるワークＷを加工する切削加工器具であるエンドミル１３、このエンドミル１３と選択的に切り替えられるとともにワークＷを加工する加工特性が異なる研磨加工器具である砥石１４が設けられている。

被加工物保持装置６０は、案内面Ｓ２に沿ってＹ方向に往復移動するテーブル６１、テーブル６１をＹ方向に往復移動させる駆動力を発生するサーボモータ６２を備える。

テーブル６１には、ワークＷを保持する被加工物保持器具であるチャック６３、ワークＷの加工により摩耗したエンドミル１３あるいは砥石１４をドレッシングするロータリドレッサ６４が設けられている。

これら加工装置１０及び被加工物保持装置６０はそれぞれ、軸送り機構２０を具備する。この軸送り機構２０に伝達される、サーボモータ１２、６２の駆動力によって、テーブル１１が案内面Ｓ１に沿ってＸ方向に往復移動され、テーブル６１が案内面Ｓ２に沿ってＹ方向に往復移動される。

図２は、本実施の形態に係る加工装置１０の概略を説明する図であり、図３は、図２のＡ部の拡大図である。

なお、被加工物保持装置６０は、加工装置１０が有するエンドミル１３及び砥石１４に代えてチャック６３及びロータリドレッサ６４を有する点において加工装置１０と異なり、その他の構成は加工装置１０と同様の構成を有することから、加工装置１０のみについて説明し、被加工物保持装置６０の説明を省略する。

加工装置１０は、ベース部１５、このベース部１５に軸受ベアリング１６ａ、１６ｂを介して支持される軸送り機構２０を備える。

軸送り機構２０はテーブル１１に連結され、サーボモータ１２の駆動力が軸送り機構２０を介してテーブル１１に伝達され、テーブル１１を案内面Ｓ１に沿ってベース部１５に対して相対的にＸ方向に往復移動させる。

さらに、加工装置１１は、静圧油第１供給部５１及び静圧油第２供給部５２を介して軸送り機構２０に静圧油を供給する静圧油供給部５０を備える。

テーブル１１は、図１で示したエンドミル１３及び砥石１４（図２において図示を省略する）が設けられる上面１１ａ、上面１１ａと反対側に突出する中央突部１１ｂ、及び中央突部１１ｂの下面１１ｃを主要構成として備える。

テーブル１１の中央突部１１ｂの下面１１ｃに対応する上面１１ａには、静圧油第１供給部５１の第１導入部５１ａが穿孔され、この第１導入部５１ａから縮径して穿孔された静圧油第１供給路５１ｂが中央突部１１ｂの下面１１ｃに連続する。

一方、第１導入部５１ａに隣接して静圧油第２供給部５２の第２導入部５２ａが穿孔され、この第２導入部５２ａから縮径して穿孔された静圧油第２供給路５２ｂが中央突部１１ｂの下面１１ｃに連続する。

さらに、テーブル１１の中央突部１１ｂの下面１１ｃに対応する上面１１ａには、上面１１ａから下面１１ｃに向かって貫通する複数のボルト挿通孔１１ｄが穿孔されている。

テーブル１１にはケーシング１７が設けられ、ベース部１５に支持された軸送り機構２０及び軸送り機構２０に連結されたサーボモータ１２が、外部から遮蔽される。

次に、本実施の形態の軸送り機構２０の具体的構成について、図３及び図３のＢ部の拡大図である図４を用いて説明する。なお、本実施の形態では、加工装置１０に設けられた軸送り機構２０について説明する。

図３で示すように、軸送り機構２０は、雄ネジとして形成された軸体である送りネジ２２、送りネジ２２に螺合する雌ネジとして形成されて送りネジ２２の回転に基づいて送りネジ２２の軸に沿って移動する移動体であるナット２４、及びナット２４が嵌合されてナット２４を覆う中間体であるナット嵌合部３０を備える。

送りネジ２２は、本実施の形態では、既存のボールネジによって構成され、サーボモータ１２の駆動力によって回転する。なお、図面の視認性の向上を図るべく、ボールネジの具体的な構造についての図示を省略する。

送りネジ２２に螺合するナット２４は、本実施の形態では、移動体本体であるナット本体２５、及びナット本体２５の外周面２５ｂに嵌合する移動体本体受部であるナット本体受部２７によって形成されている。

ナット本体２５は、送りネジ２２に螺合する雌ネジが形成された内周面２５ａ及びこの内周面２５ａと対向する外周面２５ｂを有して略円筒状に形成され、外周面２５ｂの一端側に、外周面２５ｂから拡径する方向に突出するフランジ２６が形成されている。

このフランジ２６は、ナット本体２５の内周面２５ａと対向する外周面２６ａ、及び外周面２６ａから連続して送りネジ２２の軸方向において互いに対向する第１外側面２６ｂ及び第２外側面２６ｃを備え、その周方向に亘って、第１外側面２６ｂと第２外側面２６ｃとの間で貫通する複数のボルト挿通孔２６ｄが穿孔されている。

ナット本体受部２７は、このナット本体受部２７がナット本体２５の外周面２５ｂに嵌合した状態における送りネジ２２の軸方向において、互いに対向する第１外側面２７ａ及び第２外側面２７ｂを備えるとともに、ナット本体２５の外周面２５ｂに嵌合する内周面２７ｃ及び内周面２７ｃと対向して第１外側面２７ａ及び第２外側面２７ｂと連続する外周面２７ｄを備える。

このナット本体受部２７には、その周方向に亘って、第１外側面２７ａと第２外側面２７ｂとの間で貫通する複数のボルト挿通孔２７ｅが穿孔されている。

ナット本体２５の外周面２５ｂにナット本体受部２７が装着された状態で、かつナット本体２５のフランジ２６に穿孔されたボルト挿通孔２６ｄとナット本体受部２７に穿孔されたボルト挿通孔２７ｅが同軸上で重ね合わせられた状態において、ボルト２８がボルト挿通孔２６ｄ及びボルト挿通孔２７ｅに挿通されて締結され、ナット本体２５とナット本体受部２７とが強固に結合される。

ナット嵌合部３０は、テーブル１１に連結されるブラケット３１、及びブラケット３１に連結されてナット２４を保持する固定部４０を主要構成として備える。

ブラケット３１は、テーブル１１の中央突部１１ｂの下面１１ｃと接合する接合面３２ａが形成された上部３２、上部３２と対向する下部３３、及び上部３２と下部３３とを連続するとともに送りネジ２２及びナット２４をその周方向において遊嵌する側部３４を有して一体的に形成される。

ブラケット３１の上部３２は、接合面３２ａと連続するとともに送りネジ２２の軸方向において互いに対向する上部第１側部３２ｂ及び上部第２側部３２ｃを有する。

ブラケット３１の下部３３は、接合面３２ａと対向する底面３３ａ、底面３３ａと連続するとともに送りネジ２２の軸方向において互いに対向する下部第１側部３３ｂ及び下部第２側部３３ｃを有する。

ブラケット３１の上部３２の接合面３２ａには、テーブル１１の中央突部１１ｂの下面１１ｃと接合した状態で静圧油第１供給路５１ｂと連通する静圧油第１供給路５１ｃが穿孔され、この静圧油第１供給路５１ｃが断面視略Ｌ字状で上部第２側部３２ｃに連続する。

一方、テーブル１１の中央突部１１ｂの下面１１ｃと接合した状態で、静圧油第１供給路５１ｃに隣接して静圧油第２供給路５２ｂと連通する静圧油第２供給路５２ｃが穿孔され、この静圧油第２供給路５２ｃが上部３２から側部３４を介して下部３３の下部第２側部３３ｃに断面視クランク状で連続する。

さらに、ブラケット３１の上部３２の接合面３２ａには、テーブル１１に穿孔された複数のボルト挿通孔１１ｄと同軸上で連続する複数のボルト挿通孔３２ｄが穿孔されている。

一方、固定部４０は、第１固定部４１、第２固定部４２及び第３固定部４３によって構成されている。

第１固定部４１は、ブラケット３１の上部第２側部３２ｃ及び下部第２側部３３ｃと当接する第１外側面４１ａ、この第１外側面４１ａと送りネジ２２の軸方向において対向する第２外側面４１ｂを有する。

さらに、第１固定部４１は、第１外側面４１ａ及び第２外側面４１ｂと連続するとともにナット本体２５の外周面２５ｂと対向する内周面４１ｃ、及び内周面４１ｃと対向するとともに第１外側面４１ａ及び第２外側面４１ｂと連続する外周面４１ｄを有し、円盤状に形成される。

第２外側面４１ｂには、凹状に切り欠かれた静圧ポケット４６が形成される一方、第１外側面４１ａには、ブラケット３１に穿孔された静圧油第１供給路５１ｃと連通する静圧油第１供給路５１ｄが穿孔され、この静圧油第１供給路５１ｄが断面視クランク状で第２外側面４１ｂの静圧ポケット４６に連続する。

第２外側面４１ｂとナット本体受部２７の第１外側面２７ａとは、本実施の形態では、極めて微小な静圧油供給間隙である間隙αを介して対向し、間隙αと第２外側面４１ｂに形成された静圧ポケット４６とが連続する。

さらに、第１外側面４１ａには、ブラケット３１に穿孔された静圧油第２供給路５２ｃと連通する静圧油第２供給路５２ｄが穿孔され、この静圧油第２供給路５２ｄが断面視直線状で第２外側面４１ｂに連続する。

第２固定部４２は、第１固定部４１の第２外側面４１ｂと当接する第１外側面４２ａ、この第１外側面４２ａと送りネジ２２の軸方向において対向する第２外側面４２ｂを有する。

さらに、第２固定部４２は、第１外側面４２ａ及び第２外側面４２ｂと連続するとともにナット受部２７の外周面２７ｄと間隙βを介して対向する内周面４２ｃ、及びこの内周面４２ｃと対向して第１外側面４２ａ及び第２外側面４２ｂと連続する外周面４２ｄを有し、円盤状に形成される。

第１外側面４２ａには、第１固定部４１に穿孔された静圧油第２供給路５２ｄと連通する静圧油第２供給路５２ｅが穿孔され、この静圧油第２供給路５２ｅが断面視直線状で第２外側面４２ｂに連続する。

さらに、第２固定部４２には、その内周面４２ｃと外周面４２ｄとの間で貫通する油排出孔４５が穿孔され、第２固定部４２の内周面４２ｃとナット本体受部２７の外周面２７ｄとの間の静圧油供給間隙である間隙βが、油排出孔４５と連続する。

第３固定部４３は、第２固定部４２の第２外側面４２ｂと当接する第１外側面４３ａ、この第１外側面４３ａと送りネジ２２の軸方向において対向する第２外側面４３ｂを有する。

さらに、第３固定部４３は、第１外側面４３ａ及び第２外側面４３ｂと連続するとともにナット本体２５のフランジ２６の外周面２６ａと微小な間隙を介して対向する内周面４３ｃ、この内周面４３ｃと対向する外周面４３ｄ有し、円盤状に形成される。

第１外側面４３ａには、凹状に切り欠かれた静圧ポケット４６が形成されるとともに、第２固定部４２に穿孔された静圧油第２供給路５２ｅと連通する静圧油第２供給路５２ｆが穿孔され、この静圧油第２供給路５２ｆが断面視略コ字状で静圧ポケット４６に連続する。

第１外側面４３ａとナット本体受部２７の第２外側面２７ｂとは、本実施の形態では、極めて微小な間隙αを介して対向し、間隙αと第１外側面４３ａに形成された静圧ポケット４６とが連続する。

これら第１固定部４１、第２固定部４２及び第３固定部４３には、同軸上で第１固定部４１から第３固定部４３まで連続する図示しないボルト挿通孔が、その周方向に亘って複数、穿孔されている。

ナット本体２５とナット本体受部２７とが結合されてナット２４が構成された状態で、ナット２４を介装して第１固定部４１、第２固定部４２及び第３固定部４３が組み合わせられた状態において、第１固定部４１から第３固定部４３まで連続するボルト挿通孔に、ボルト４７が挿入されて締結される。これによって、固定部４０が形成される。

このとき、第１固定部４１の第２外側面４１ｂとナット本体受部２７の第１外側面２７ａとの間の極めて微小な間隙α、及び第３固定部４３の第１外側面４３ａとナット受部２７の第２外側面２７ｂとの間の極めて微小な間隙αは、本実施の形態では、１０〜１５μｍに設定される。

一方、第２固定部４２の内周面４２ｃとナット本体受部２７の外周面２７ｄとの間の間隙βは、本実施の形態では、１〜２ｍｍに設定される。

ナット２４が介装された状態で、固定部４０の第１固定部４１における第１外側面４１ａと、ブラケット３１の上部３２における上部第２側部３２ｃ及び下部第２側部３３ｃとを当接させて組み合わせて結合させることで、ナット嵌合部３０が構成される。

このナット嵌合部３０は、ブラケット３１の上部３２に形成された接合面３２ａがテーブル１１の中央突部１１ｂの下面１１ｃに重ね合わせられ、テーブル１１に穿孔されたボルト挿通孔１１ｄとブラケット３１に穿孔されたボルト挿通孔３２ｄとが同軸上で連続する。

このボルト挿通孔１１ｄ、３２ｄにボルト１１ｅが挿通されて締結され、テーブル１１にナット嵌合部３０が強固に取り付けられる。一方、ボルト挿通孔１１ｄ、３２ｄにボルト１１ｅが挿通されて締結された後、ボルト挿通孔１１ｄにシール部材１１ｆが嵌装されて閉止される。

このように、テーブル１１にナット嵌合部３０が取り付けられることによって、第１導入部５１ａから静圧油第１供給路５１ｂ〜静圧油第１供給路５１ｄを介して静圧ポケット４６までが連通して、静圧油第１供給部５１が形成される。

一方、第２導入部５２ａから静圧油第２供給路５２ｂ〜静圧油第２供給路５２ｆを介して静圧ポケット４６までが連通して、静圧油第２供給部５２が形成される。

これら静圧油第１供給部５１及び静圧油第２供給部５２を有する静圧油供給部５０に、図示しないオイルポンプによって静圧油が常時供給されることによって、ナット嵌合部３０とナット本体受部２７との間の間隙α及びβに、一定の油圧で静圧油が供給される。

これにより、ナット本体受部２７を介したナット２４が、静圧油が供給された間隙α及びβを介してナット嵌合部３０に嵌合される。

このような軸送り機構２０を有する加工装置１０及び被加工物保持装置６０を具備する加工システム１は、本実施の形態では、図５で示すワークＷを加工する。

このワークＷは、図５で示すように、平面視で環状の外周部Ｗ１及び平面視で略楕円状の内周部Ｗ２を備えたドーナツ状であって、内周部Ｗ２が加工システム１によって切削加工される。

ワークＷは、図１で示した被加工物保持装置６０のチャック６３に保持され、このチャック６３にワークＷが保持された状態で被加工物保持装置６０のテーブル６１が案内面Ｓ２に沿ってＹ方向に移動して、ワークＷが加工位置に位置決めされる。

すなわち、サーボモータ６２の駆動によって送りネジ２２が回転し、この送りネジ２２に螺合するナット２４が送りネジ２２の軸に沿って移動する。このナット２４の移動とともに、ナット２４を保持してテーブル６１に連結されたナット嵌合部３０を介して、テーブル６１がＹ方向に移動する。

このとき、ナット２４のナット本体受部２７は、静圧油が供給された間隙α及びβを介してナット嵌合部３０に保持されることから、ナット本体受部２７を介してナット２４が静圧油に支持される。

従って、間隙αに供給された静圧油によってナット２４が静圧油に支持されて、ナット２４の軸方向の揺動が抑制されるとともに、間隙βに供給された静圧油によってナット２４が静圧油に支持されて、ナット２４の送りネジ２２の軸に対する水平方向の揺動が抑制される。

ワークＷが加工位置に位置決めされた後、加工装置１０のテーブル１１を案内面Ｓ１に沿ってＸ方向に往復移動すなわちオシレーションさせることによって、テーブル１１に設けられたエンドミル１３によりワークＷの内周部Ｗ２が荒削り加工、あるいはエンドミル１３と選択的に切り替えられた砥石１４によりワークＷの内周部Ｗ２が研磨加工される。

すなわち、サーボモータ１２の駆動によって送りネジ２２が回転し、この送りネジ２２に螺合するナット２４が送りネジ２２の軸に沿って移動する。このナット２４の移動とともに、ナット２４が嵌合されてテーブル１１に連結されたナット嵌合部３０を介して、テーブル１１がＸ方向に往復移動する。

このとき、ナット２４のナット本体受部２７は、静圧油が供給された間隙α及びβを介してナット嵌合部３０に嵌合されることから、ナット本体受部２７を介してナット２４が静圧油に支持される。

これにより、間隙αに供給された静圧油によってナット２４が静圧油に支持されて、送りネジ２２とナット２４との軸ズレ等に起因したナット２４の送りネジ２４に対する軸方向の揺動が抑制される。

一方、間隙βに供給された静圧油によってナット２４が静圧油に支持されて、送りネジ２２とナット２４との軸ズレ等に基づいたナット２４の送りネジ２２の軸に対する直交方向の揺動が抑制される。

このとき、間隙α、βには、静圧油が常時供給されていることから、静圧油による油圧が一定に保持される。従って、送りネジ２２とナット２４との軸ズレ等に起因するナット２４の送りネジ２２の軸に対する直交方向及び軸方向の揺動が、安定的に抑制される。

従って、テーブル１１をオシレーションする際に、テーブル１１にガタツキが発生することが低減されることから、エンドミル１３及び砥石１４によるワークＷの内周部Ｗ２の加工精度が向上する。

特に、荒削りするという加工特性を有するエンドミル１３をテーブル１１でオシレーションする際の送りネジ２２及びナット２４の揺動が抑制されて、エンドミル１３によるワークＷの内周部Ｗ２の加工精度が向上する。

一方、研磨加工するという加工特性を有する砥石１４をテーブル１１でオシレーションする際の送りネジ２２及びナット２４の揺動が抑制されて、砥石１４によるワークＷの内周部Ｗ２の加工精度が向上する。

しかも、ワークＷを保持したチャック６３をテーブル１１で加工位置に位置決めする際の送りネジ２２及びナット２４の揺動が抑制されて、ワークＷが加工位置に適切に位置決めされる。

従って、加工位置に適切に位置決めされたワークＷに対する加工精度を向上させることができる。

ナット本体受部２７とナット嵌合部３０との間の間隙α及びβに静圧油を供給する静圧油供給部５０の吐出部分に静圧ポケット４６が形成されていることから、間隙α及びβへの静圧油の供給によって付与される油圧が良好に保持される。

ナット２４は、ナット本体２５及びナット本体受部２７によって構成されることから、既存のナット本体２５であっても、ナット本体受部２７をナット本体２５に設けることによって、ナット２４が、ナット本体受部２７を介してナット嵌合部３０に簡易に嵌合される。従って、軸送り機構２０の汎用性が向上する。

しかも、ナット嵌合部３０は、ナット本体受部２７の第１外側面２７ａ、第２外側面２７ｂ及び外周面２７ｄとそれぞれ対向する第１固定部４１の第２外側面４１ｂ、第３固定部４３の第１外側面４３ａ及び第２固定部４２の内周面４２ｃを有することから、第１外側面２７ａと第２外側面４１ｂとの間の間隙α、第２外側面２７ｂと第１外側面４３ａとの間の間隙α、及び外周面２７ｄと内周面４２ｃとの間の間隙βを簡易な構成で形成することができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されることはなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。上記実施の形態では、加工器具がエンドミル１３及び砥石１４で構成された場合を説明したが、エンドミル１３及び砥石１４に限定されることなく、種々の加工器具を用いることができる。

１ 加工システム
１０ 加工装置
１１ テーブル
１３ エンドミル（切削加工器具）
１４ 砥石（研磨加工器具）
２０ 軸送り機構
２２ 送りネジ（軸体）
２４ ナット（移動体）
２５ ナット本体
２７ ナット本体受部
３０ ナット嵌合部（中間体）
３１ ブラケット
４０ 固定部
４６ 静圧ポケット
５０ 静圧油供給部
５１ 静圧油第１供給部
５２ 静圧油第２供給部
６０ 被加工物保持装置
６１ テーブル
６３ チャック
Ｓ１、Ｓ２ 案内面
Ｗ ワーク（被加工物）
α、β 間隙（静圧油供給間隙）

Claims (4)

1. 軸体に沿って移動する移動体と、
   該移動体によって移動され、上面に加工器具が設けられたテーブルと、
   該テーブルと前記移動体の間に介在されて前記移動体によって前記テーブルとともに移動される中間体と、
   該中間体と前記移動体との間に供給される静圧油と、
   を備えることを特徴とする加工装置。
2. 前記移動体と前記中間体との間に静圧油供給間隙が設けられ、該静圧油供給間隙に前記静圧油が常時供給されていることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
3. 前記加工器具は、
   切削加工器具及び該切削加工器具と加工特性の異なる研磨加工器具であって、
   該研磨加工器具及び前記切削加工器具が前記テーブルの上面に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の加工装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の加工装置と、
   該加工装置の近傍に設けられ、軸体に沿って移動する移動体と、該移動体によって移動されるとともに上面に前記加工器具によって加工される被加工物を保持する被加工物保持器具が設けられたテーブルと、該テーブルと前記移動体の間に介在されて前記テーブルとともに移動される中間体と、該中間体と前記移動体との間に供給された静圧油とを有する被加工物保持装置と、
   を備えることを特徴とする加工システム。

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