JP2015196232A - Processing device, and processing system - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a processing device and a processing system enabled to improve the working precision of a workpiece by reducing a the backlash at the time when a table moves or oscillates.SOLUTION: A processing device comprises: a nut 24 for moving along a feed screw 22; a table 11 moved by the nut 24 and provided on an upper face 11a with an end mill 13 and a grindstone 14; a fitting part 30 interposed between the table 11 and the nut 24 and moved by the movement of the table 11; and hydrostatic oil adapted to be fed between the nut fitting part 30 and the nut 24.

Description

本発明は、加工装置及び加工システム、特に、軸体に沿って移動する移動体によってテーブルを移動させる加工装置及び加工システムに関する。   The present invention relates to a machining apparatus and a machining system, and more particularly to a machining apparatus and a machining system that move a table by a moving body that moves along a shaft body.

被加工物を加工する際に使用される加工装置は、例えば、加工器具が設けられたテーブルを、被加工物を加工する加工位置と被加工物から離れる退避位置との間で移動させたり、加工器具が設けられたテーブルをオシレーションさせたりしながら、被加工物を加工する装置である（例えば、特許文献１を参照）。この種の加工装置の一例の概略を、図６を用いて説明する。   A processing device used when processing a workpiece, for example, moves a table provided with a processing tool between a processing position for processing the workpiece and a retracted position away from the workpiece, It is an apparatus for processing a workpiece while oscillating a table provided with a processing tool (see, for example, Patent Document 1). An outline of an example of this type of processing apparatus will be described with reference to FIG.

図示のように、加工装置１００は、例えば、雄ネジとして形成された送りネジ１０２、この送りネジ１０２に螺合する雌ネジとして形成されたナット１０４を備え、ナット１０４に、ブラケット１０６を介してテーブル１１０が取り付けられている。   As illustrated, the processing apparatus 100 includes, for example, a feed screw 102 formed as a male screw and a nut 104 formed as a female screw that is screwed to the feed screw 102, and the nut 104 is connected to a nut 106 via a bracket 106. A table 110 is attached.

具体的には、ナット１０４の外側面１０４ａにブラケット１０６が装着され、この状態でナット１０４とブラケット１０６とがボルト１０８によって取り付けられている。ナット１０４に取り付けられたブラケット１０６には、ボルト１１２によってテーブル１１０が取り付けられている。   Specifically, the bracket 106 is attached to the outer side surface 104a of the nut 104, and the nut 104 and the bracket 106 are attached by bolts 108 in this state. A table 110 is attached to the bracket 106 attached to the nut 104 by a bolt 112.

これにより、図示しないサーボモータによる送りネジ１０２の回転に基づいて、ナット１０４が送りネジ１０２の軸に沿って移動し、ナット１０４の移動とともに、テーブル１１０が加工位置と退避位置との間で移動、あるいはテーブル１１０がオシレーションする。   As a result, the nut 104 moves along the axis of the feed screw 102 based on the rotation of the feed screw 102 by a servo motor (not shown), and the table 110 moves between the machining position and the retracted position as the nut 104 moves. Or the table 110 oscillates.

特開２０１１−１５８０１８公報JP 2011-158018 A

ところで、このような加工装置１００にあっては、テーブル１１０の高度な追従性を確保する観点から、一般的に、送りネジ１０２の雄ネジ及びナット１０４の雌ネジの加工精度が高度に要求される。   By the way, such a processing apparatus 100 generally requires a high degree of processing accuracy of the male screw of the feed screw 102 and the female screw of the nut 104 from the viewpoint of ensuring high followability of the table 110. The

しかし、送りネジ１０２の雄ネジ及びナット１０４の雌ネジの加工は厄介であることから、例えば、送りネジ１０２の雄ネジの軸中心とナット１０４の雌ネジの軸中心とが軸に対して直交する方向に軸ズレする等、加工精度が低い場合がある。   However, since the machining of the male screw of the feed screw 102 and the female screw of the nut 104 is troublesome, for example, the axial center of the male screw of the feed screw 102 and the axial center of the female screw of the nut 104 are orthogonal to the axis. In some cases, the machining accuracy is low, such as axial misalignment.

このように、送りネジ１０２とナット１０４とが軸ズレする等、加工精度が低い場合は、上記の加工装置１００によりテーブル１１０を加工位置と退避位置との間で移動させたり、テーブル１１０をオシレーションさせたりする際に、ナット１０４が送りネジ１０２の軸に対して直交する方向に揺動することから、テーブル１１０の移動あるいはオシレーションの運動精度が低下して、テーブル１１０にガタツキが発生する場合がある。   As described above, when the machining accuracy is low, such as when the feed screw 102 and the nut 104 are misaligned, the table 110 is moved between the machining position and the retracted position by the above-described machining apparatus 100, or the table 110 is oscillated. Since the nut 104 swings in a direction perpendicular to the axis of the feed screw 102 when the operation is performed, the movement accuracy of the table 110 is reduced, and the table 110 is rattled. There is a case.

さらに、送りネジ１０２及びナット１０４の加工精度の低さに起因して、ナット１０４が送りネジ１０２の軸方向に対して揺動する場合は、テーブル１１０の移動あるいはオシレーションの運動精度が低下して、テーブル１１０にガタツキが発生する場合がある。   Further, when the nut 104 swings with respect to the axial direction of the feed screw 102 due to low processing accuracy of the feed screw 102 and the nut 104, the movement accuracy of the table 110 or the oscillation decreases. As a result, rattling may occur in the table 110.

このように、テーブル１１０の移動あるいはオシレーションの際にガタツキが発生すると、被加工物の加工精度が低下することが想定される。   As described above, when rattling occurs during the movement or oscillation of the table 110, it is assumed that the machining accuracy of the workpiece is lowered.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、テーブルが移動あるいはオシレーションする際のガタツキを低減して、被加工物の加工精度を向上させることができる加工装置及び加工システムを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to reduce the backlash when the table moves or oscillates and to improve the processing accuracy of the workpiece. To provide a system.

上記課題を解決するための請求項１に記載の発明による加工装置は、軸体に沿って移動する移動体と、該移動体によって移動され、上面に加工器具が設けられたテーブルと、該テーブルと前記移動体の間に介在されて前記移動体によって前記テーブルとともに移動される中間体と、該中間体と前記移動体との間に供給される静圧油と、を備えることを特徴とする。   The processing apparatus according to the first aspect of the present invention for solving the above-described problem includes a moving body that moves along a shaft body, a table that is moved by the moving body and has a processing tool provided on an upper surface thereof, and the table. And an intermediate body that is interposed between the movable body and moved together with the table by the movable body, and a hydrostatic oil that is supplied between the intermediate body and the movable body. .

この構成によれば、テーブルと移動体との間に介在された中間体が移動体の移動によってテーブルとともに移動し、かつ中間体と移動体との間に供給された静圧油によって移動体が支持されることから、軸体と移動体との軸ズレ等に起因する移動体の軸の直交方向に対する揺動及び軸方向の揺動が抑制される。   According to this configuration, the intermediate body interposed between the table and the moving body moves together with the table by the movement of the moving body, and the moving body is moved by the static pressure oil supplied between the intermediate body and the moving body. Since it is supported, the swinging of the moving body relative to the orthogonal direction of the shaft and the swinging in the axial direction due to the axial displacement of the shaft and the moving body are suppressed.

従って、加工器具が上面に設けられたテーブルを移動体によって移動させる際に、テーブルにガタツキが発生することが解消される。   Therefore, when the table on which the processing tool is provided is moved by the moving body, the occurrence of rattling in the table is eliminated.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の加工装置において、前記移動体と前記中間体との間に静圧油供給間隙が設けられ、該静圧油供給間隙に前記静圧油が常時供給されていることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the processing apparatus according to the first aspect, a static pressure oil supply gap is provided between the movable body and the intermediate body, and the static pressure oil is provided in the static pressure oil supply gap. Is always supplied.

この構成によれば、移動体と中間体との間に設けられた静圧油供給間隙に、静圧油が常時供給されていることから、静圧油供給間隙に供給される静圧油による油圧が一定に保持される。   According to this configuration, since the static pressure oil is constantly supplied to the static pressure oil supply gap provided between the moving body and the intermediate body, the static pressure oil supplied to the static pressure oil supply gap Hydraulic pressure is kept constant.

従って、軸体と移動体との軸ズレ等に起因する移動体の軸の直交方向及び軸方向の揺動を、安定して抑制することができる。   Therefore, it is possible to stably suppress the swinging of the axis of the moving body in the orthogonal direction and the axial direction due to the axial displacement of the shaft body and the moving body.

請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の加工装置において、前記加工器具は、切削加工器具及び該切削加工器具と加工特性の異なる研磨加工器具であって、該研磨加工器具及び前記切削加工器具が前記テーブルの上面に設けられていることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the processing apparatus according to the first or second aspect, the processing tool is a cutting tool and a polishing tool having different processing characteristics from the cutting tool, and the polishing tool And the cutting tool is provided on the upper surface of the table.

この構成によれば、異なる加工特性を有する切削加工器具及び研磨加工器具がテーブルの上面に設けられた加工装置において、軸体と移動体との軸ズレ等に基づく移動体の軸の直交方向及び軸方向の揺動が抑制されることから、この加工装置のテーブルにガタツキが発生することが解消される。   According to this configuration, in the processing apparatus in which the cutting tool and the polishing tool having different processing characteristics are provided on the upper surface of the table, the orthogonal direction of the axis of the moving body based on the axial deviation of the shaft body and the moving body, and the like Since the swinging in the axial direction is suppressed, the occurrence of rattling in the table of this processing apparatus is eliminated.

従って、切削加工器具及び研磨加工器具のそれぞれが有する加工特性に応じて、被加工物の加工精度を向上させることができる。   Therefore, the processing accuracy of the workpiece can be improved according to the processing characteristics of each of the cutting tool and the polishing tool.

上記課題を解決するための請求項４に記載の発明による加工システムは、請求項１〜３のいずれか１項に記載の加工装置と、該加工装置の近傍に設けられ、軸体に沿って移動する移動体と、該移動体によって移動されるとともに上面に前記加工器具によって加工される被加工物を保持する被加工物保持器具が設けられたテーブルと、該テーブルと前記移動体の間に介在されて前記テーブルとともに移動される中間体と、該中間体と前記移動体との間に供給された静圧油とを有する被加工物保持装置と、を備えることを特徴とする。   A machining system according to a fourth aspect of the present invention for solving the above-mentioned problem is provided in the vicinity of the machining apparatus according to any one of the first to third aspects and the machining apparatus, along a shaft body. A moving body, a table provided with a workpiece holding tool which is moved by the moving body and holds a workpiece processed by the processing tool on an upper surface, and the table and the moving body between A workpiece holding device having an intermediate body that is interposed and moved together with the table, and a hydrostatic oil supplied between the intermediate body and the movable body.

この構成によれば、加工装置及び被加工物保持装置のいずれもが、移動体の移動によってテーブルとともに移動する中間体を備え、この中間体と移動体との間に供給された静圧油によって移動体が支持されることから、軸体と移動体との軸ズレ等に起因する移動体の軸の直交方向に対する揺動及び軸方向の揺動が抑制される。   According to this configuration, both the processing apparatus and the workpiece holding apparatus include the intermediate body that moves together with the table by the movement of the moving body, and the hydrostatic oil supplied between the intermediate body and the moving body Since the moving body is supported, the swinging of the shaft of the moving body with respect to the orthogonal direction and the swinging in the axial direction due to the axial displacement of the shaft body and the moving body are suppressed.

従って、被加工物保持装置において、被加工物保持器具が上面に設けられたテーブルを移動させる際に、テーブルにガタツキが発生することが解消されることから、被加工物が被加工物保持装置によって加工位置に適切に位置決めされる。   Therefore, in the workpiece holding device, when the workpiece holding device moves the table provided on the upper surface, it is possible to eliminate the occurrence of rattling in the table, so that the workpiece is the workpiece holding device. Is appropriately positioned at the processing position.

一方、加工装置において、加工器具が上面に設けられたテーブルを移動体によって移動させる際にも、テーブルにガタツキが発生することが抑制されることから、加工位置に適切に位置決めされた被加工物に対する加工精度を向上させることができる。   On the other hand, in the processing apparatus, when the table having the processing tool provided on the upper surface is moved by the moving body, the occurrence of rattling in the table is suppressed, so that the workpiece appropriately positioned at the processing position. Machining accuracy can be improved.

この発明によれば、移動体の移動によってテーブルとともに移動する中間体を備え、この中間体と移動体との間に供給された静圧油によって移動体が支持されることから、軸体と移動体との軸ズレ等に起因する移動体の軸の直交方向に対する揺動及び軸方向の揺動が抑制される。   According to this invention, the intermediate body that moves together with the table by the movement of the moving body is provided, and the moving body is supported by the hydrostatic oil supplied between the intermediate body and the moving body. Oscillation with respect to the orthogonal direction of the axis of the moving body and axial oscillation caused by axial deviation from the body and the like are suppressed.

従って、加工器具が上面に設けられたテーブルを移動体によって移動させる際に、テーブルにガタツキが発生することが解消されることから、被加工物の加工精度を向上させることができる。   Therefore, when the table with the processing tool provided on the upper surface is moved by the moving body, the occurrence of rattling in the table is eliminated, so that the processing accuracy of the workpiece can be improved.

本発明の実施の形態に係る加工装置及び加工システムの概略を説明する図である。It is a figure explaining the outline of the processing device and processing system concerning an embodiment of the invention. 同じく、本実施の形態に係る加工装置の概略を説明する図である。Similarly, it is a figure explaining the outline of the processing device concerning this embodiment. 同じく、本実施の形態に係る加工装置の概略を説明する、図２のＡ部の拡大図である。Similarly, it is an enlarged view of a portion A in FIG. 2 for explaining the outline of the processing apparatus according to the present embodiment. 図３のＢ部の拡大図である。It is an enlarged view of the B section of FIG. 本実施の形態に係る加工装置で加工される被加工物の概略を説明する図である。It is a figure explaining the outline of the to-be-processed object processed with the processing apparatus which concerns on this Embodiment. 従来の加工装置の概略を説明する図である。It is a figure explaining the outline of the conventional processing apparatus.

次に、本発明の実施の形態について、図１〜図５に基づいて説明する。   Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

図１は、本実施の形態に係る加工装置及び加工システムの概略を説明する図である。図示のように、加工システム１は、加工装置１０及び被加工物保持装置６０を備える。   FIG. 1 is a diagram for explaining the outline of a processing apparatus and a processing system according to the present embodiment. As illustrated, the processing system 1 includes a processing device 10 and a workpiece holding device 60.

加工装置１０は、案内面Ｓ１に沿ってＸ方向に往復移動するテーブル１１、テーブル１１をＸ方向に往復移動させる駆動力を発生するサーボモータ１２を備える。   The processing apparatus 10 includes a table 11 that reciprocates in the X direction along the guide surface S1, and a servo motor 12 that generates a driving force for reciprocating the table 11 in the X direction.

テーブル１１には、本実施の形態では、被加工物であるワークＷを加工する切削加工器具であるエンドミル１３、このエンドミル１３と選択的に切り替えられるとともにワークＷを加工する加工特性が異なる研磨加工器具である砥石１４が設けられている。   In this embodiment, the table 11 includes an end mill 13 that is a cutting tool for processing the workpiece W that is a workpiece, and a polishing process that is selectively switched to the end mill 13 and has different processing characteristics for processing the workpiece W. A grindstone 14 which is a tool is provided.

被加工物保持装置６０は、案内面Ｓ２に沿ってＹ方向に往復移動するテーブル６１、テーブル６１をＹ方向に往復移動させる駆動力を発生するサーボモータ６２を備える。   The workpiece holding device 60 includes a table 61 that reciprocates in the Y direction along the guide surface S2, and a servo motor 62 that generates a driving force for reciprocating the table 61 in the Y direction.

テーブル６１には、ワークＷを保持する被加工物保持器具であるチャック６３、ワークＷの加工により摩耗したエンドミル１３あるいは砥石１４をドレッシングするロータリドレッサ６４が設けられている。   The table 61 is provided with a chuck 63 which is a workpiece holding device for holding the workpiece W, and a rotary dresser 64 for dressing the end mill 13 or the grindstone 14 worn by the processing of the workpiece W.

これら加工装置１０及び被加工物保持装置６０はそれぞれ、軸送り機構２０を具備する。この軸送り機構２０に伝達される、サーボモータ１２、６２の駆動力によって、テーブル１１が案内面Ｓ１に沿ってＸ方向に往復移動され、テーブル６１が案内面Ｓ２に沿ってＹ方向に往復移動される。   Each of the processing device 10 and the workpiece holding device 60 includes a shaft feed mechanism 20. The table 11 is reciprocated in the X direction along the guide surface S1 and the table 61 is reciprocated in the Y direction along the guide surface S2 by the driving force of the servo motors 12 and 62 transmitted to the shaft feed mechanism 20. Is done.

図２は、本実施の形態に係る加工装置１０の概略を説明する図であり、図３は、図２のＡ部の拡大図である。   FIG. 2 is a diagram for explaining the outline of the processing apparatus 10 according to the present embodiment, and FIG. 3 is an enlarged view of a portion A in FIG.

なお、被加工物保持装置６０は、加工装置１０が有するエンドミル１３及び砥石１４に代えてチャック６３及びロータリドレッサ６４を有する点において加工装置１０と異なり、その他の構成は加工装置１０と同様の構成を有することから、加工装置１０のみについて説明し、被加工物保持装置６０の説明を省略する。   The workpiece holding device 60 is different from the processing device 10 in that it has a chuck 63 and a rotary dresser 64 in place of the end mill 13 and the grindstone 14 of the processing device 10, and other configurations are the same as those of the processing device 10. Therefore, only the processing apparatus 10 will be described, and the description of the workpiece holding apparatus 60 will be omitted.

加工装置１０は、ベース部１５、このベース部１５に軸受ベアリング１６ａ、１６ｂを介して支持される軸送り機構２０を備える。   The processing apparatus 10 includes a base portion 15 and a shaft feed mechanism 20 supported on the base portion 15 via bearing bearings 16a and 16b.

軸送り機構２０はテーブル１１に連結され、サーボモータ１２の駆動力が軸送り機構２０を介してテーブル１１に伝達され、テーブル１１を案内面Ｓ１に沿ってベース部１５に対して相対的にＸ方向に往復移動させる。   The shaft feed mechanism 20 is connected to the table 11, and the driving force of the servo motor 12 is transmitted to the table 11 via the shaft feed mechanism 20, and the table 11 is moved relative to the base portion 15 along the guide surface S1. Move back and forth in the direction.

さらに、加工装置１１は、静圧油第１供給部５１及び静圧油第２供給部５２を介して軸送り機構２０に静圧油を供給する静圧油供給部５０を備える。   Furthermore, the processing apparatus 11 includes a hydrostatic oil supply unit 50 that supplies hydrostatic oil to the shaft feed mechanism 20 via the hydrostatic oil first supply unit 51 and the hydrostatic oil second supply unit 52.

テーブル１１は、図１で示したエンドミル１３及び砥石１４（図２において図示を省略する）が設けられる上面１１ａ、上面１１ａと反対側に突出する中央突部１１ｂ、及び中央突部１１ｂの下面１１ｃを主要構成として備える。   The table 11 includes an upper surface 11a on which the end mill 13 and the grindstone 14 (not shown in FIG. 2) shown in FIG. 1 are provided, a central protrusion 11b that protrudes opposite to the upper surface 11a, and a lower surface 11c of the central protrusion 11b. As a main component.

テーブル１１の中央突部１１ｂの下面１１ｃに対応する上面１１ａには、静圧油第１供給部５１の第１導入部５１ａが穿孔され、この第１導入部５１ａから縮径して穿孔された静圧油第１供給路５１ｂが中央突部１１ｂの下面１１ｃに連続する。   The upper surface 11a corresponding to the lower surface 11c of the central protrusion 11b of the table 11 is perforated with the first introduction part 51a of the hydrostatic oil first supply part 51, and the first introduction part 51a has a reduced diameter and is perforated. The static pressure oil first supply path 51b continues to the lower surface 11c of the central protrusion 11b.

一方、第１導入部５１ａに隣接して静圧油第２供給部５２の第２導入部５２ａが穿孔され、この第２導入部５２ａから縮径して穿孔された静圧油第２供給路５２ｂが中央突部１１ｂの下面１１ｃに連続する。   On the other hand, the second introduction part 52a of the static pressure oil second supply part 52 is perforated adjacent to the first introduction part 51a, and the static pressure oil second supply path is formed by reducing the diameter from the second introduction part 52a. 52b continues to the lower surface 11c of the central protrusion 11b.

さらに、テーブル１１の中央突部１１ｂの下面１１ｃに対応する上面１１ａには、上面１１ａから下面１１ｃに向かって貫通する複数のボルト挿通孔１１ｄが穿孔されている。   Further, a plurality of bolt insertion holes 11d penetrating from the upper surface 11a toward the lower surface 11c are drilled in the upper surface 11a corresponding to the lower surface 11c of the central protrusion 11b of the table 11.

テーブル１１にはケーシング１７が設けられ、ベース部１５に支持された軸送り機構２０及び軸送り機構２０に連結されたサーボモータ１２が、外部から遮蔽される。   A casing 17 is provided on the table 11, and the shaft feed mechanism 20 supported by the base portion 15 and the servo motor 12 coupled to the shaft feed mechanism 20 are shielded from the outside.

次に、本実施の形態の軸送り機構２０の具体的構成について、図３及び図３のＢ部の拡大図である図４を用いて説明する。なお、本実施の形態では、加工装置１０に設けられた軸送り機構２０について説明する。   Next, a specific configuration of the shaft feed mechanism 20 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. 4 which is an enlarged view of a portion B in FIG. 3 and FIG. In the present embodiment, the shaft feeding mechanism 20 provided in the machining apparatus 10 will be described.

図３で示すように、軸送り機構２０は、雄ネジとして形成された軸体である送りネジ２２、送りネジ２２に螺合する雌ネジとして形成されて送りネジ２２の回転に基づいて送りネジ２２の軸に沿って移動する移動体であるナット２４、及びナット２４が嵌合されてナット２４を覆う中間体であるナット嵌合部３０を備える。   As shown in FIG. 3, the shaft feed mechanism 20 is formed as a feed screw 22 that is a shaft body formed as a male screw and a female screw that is screwed to the feed screw 22, and is based on the rotation of the feed screw 22. And a nut fitting portion 30 that is an intermediate body that covers the nut 24 when the nut 24 is fitted.

送りネジ２２は、本実施の形態では、既存のボールネジによって構成され、サーボモータ１２の駆動力によって回転する。なお、図面の視認性の向上を図るべく、ボールネジの具体的な構造についての図示を省略する。   In the present embodiment, the feed screw 22 is configured by an existing ball screw and is rotated by the driving force of the servo motor 12. Note that illustration of a specific structure of the ball screw is omitted in order to improve the visibility of the drawing.

送りネジ２２に螺合するナット２４は、本実施の形態では、移動体本体であるナット本体２５、及びナット本体２５の外周面２５ｂに嵌合する移動体本体受部であるナット本体受部２７によって形成されている。   In this embodiment, the nut 24 that is screwed into the feed screw 22 is a nut body 25 that is a moving body, and a nut body receiving portion 27 that is a moving body receiving portion that is fitted to the outer peripheral surface 25b of the nut body 25. Is formed by.

ナット本体２５は、送りネジ２２に螺合する雌ネジが形成された内周面２５ａ及びこの内周面２５ａと対向する外周面２５ｂを有して略円筒状に形成され、外周面２５ｂの一端側に、外周面２５ｂから拡径する方向に突出するフランジ２６が形成されている。   The nut body 25 is formed in a substantially cylindrical shape having an inner peripheral surface 25a on which a female screw to be screwed to the feed screw 22 is formed and an outer peripheral surface 25b facing the inner peripheral surface 25a, and one end of the outer peripheral surface 25b. On the side, a flange 26 protruding in the direction of expanding the diameter from the outer peripheral surface 25b is formed.

このフランジ２６は、ナット本体２５の内周面２５ａと対向する外周面２６ａ、及び外周面２６ａから連続して送りネジ２２の軸方向において互いに対向する第１外側面２６ｂ及び第２外側面２６ｃを備え、その周方向に亘って、第１外側面２６ｂと第２外側面２６ｃとの間で貫通する複数のボルト挿通孔２６ｄが穿孔されている。   The flange 26 includes an outer peripheral surface 26a facing the inner peripheral surface 25a of the nut body 25, and a first outer surface 26b and a second outer surface 26c facing each other in the axial direction of the feed screw 22 continuously from the outer peripheral surface 26a. A plurality of bolt insertion holes 26d penetrating between the first outer side surface 26b and the second outer side surface 26c are formed in the circumferential direction.

ナット本体受部２７は、このナット本体受部２７がナット本体２５の外周面２５ｂに嵌合した状態における送りネジ２２の軸方向において、互いに対向する第１外側面２７ａ及び第２外側面２７ｂを備えるとともに、ナット本体２５の外周面２５ｂに嵌合する内周面２７ｃ及び内周面２７ｃと対向して第１外側面２７ａ及び第２外側面２７ｂと連続する外周面２７ｄを備える。   The nut body receiving portion 27 includes a first outer surface 27 a and a second outer surface 27 b that are opposed to each other in the axial direction of the feed screw 22 in a state where the nut body receiving portion 27 is fitted to the outer peripheral surface 25 b of the nut body 25. In addition, an outer peripheral surface 27d that is engaged with the outer peripheral surface 25b of the nut body 25 and that is opposed to the inner peripheral surface 27c and the inner peripheral surface 27c is continuous with the first outer surface 27a and the second outer surface 27b.

このナット本体受部２７には、その周方向に亘って、第１外側面２７ａと第２外側面２７ｂとの間で貫通する複数のボルト挿通孔２７ｅが穿孔されている。   A plurality of bolt insertion holes 27e penetrating the nut main body receiving portion 27 between the first outer side surface 27a and the second outer side surface 27b are formed in the circumferential direction.

ナット本体２５の外周面２５ｂにナット本体受部２７が装着された状態で、かつナット本体２５のフランジ２６に穿孔されたボルト挿通孔２６ｄとナット本体受部２７に穿孔されたボルト挿通孔２７ｅが同軸上で重ね合わせられた状態において、ボルト２８がボルト挿通孔２６ｄ及びボルト挿通孔２７ｅに挿通されて締結され、ナット本体２５とナット本体受部２７とが強固に結合される。   A bolt insertion hole 26d drilled in the flange 26 of the nut body 25 and a bolt insertion hole 27e drilled in the nut body reception part 27 in a state where the nut body receiving part 27 is mounted on the outer peripheral surface 25b of the nut body 25. In the state of being overlapped on the same axis, the bolt 28 is inserted into the bolt insertion hole 26d and the bolt insertion hole 27e and fastened, and the nut main body 25 and the nut main body receiving portion 27 are firmly coupled.

ナット嵌合部３０は、テーブル１１に連結されるブラケット３１、及びブラケット３１に連結されてナット２４を保持する固定部４０を主要構成として備える。   The nut fitting portion 30 includes a bracket 31 connected to the table 11 and a fixing portion 40 connected to the bracket 31 and holding the nut 24 as main components.

ブラケット３１は、テーブル１１の中央突部１１ｂの下面１１ｃと接合する接合面３２ａが形成された上部３２、上部３２と対向する下部３３、及び上部３２と下部３３とを連続するとともに送りネジ２２及びナット２４をその周方向において遊嵌する側部３４を有して一体的に形成される。   The bracket 31 includes an upper part 32 formed with a joining surface 32a joined to the lower surface 11c of the central protrusion 11b of the table 11, a lower part 33 facing the upper part 32, and an upper part 32 and a lower part 33, and a feed screw 22 and The nut 24 is integrally formed with a side portion 34 in which the nut 24 is loosely fitted in the circumferential direction.

ブラケット３１の上部３２は、接合面３２ａと連続するとともに送りネジ２２の軸方向において互いに対向する上部第１側部３２ｂ及び上部第２側部３２ｃを有する。   The upper part 32 of the bracket 31 has an upper first side part 32b and an upper second side part 32c that are continuous with the joint surface 32a and face each other in the axial direction of the feed screw 22.

ブラケット３１の下部３３は、接合面３２ａと対向する底面３３ａ、底面３３ａと連続するとともに送りネジ２２の軸方向において互いに対向する下部第１側部３３ｂ及び下部第２側部３３ｃを有する。   The lower portion 33 of the bracket 31 includes a bottom surface 33a facing the joining surface 32a, a bottom first side portion 33b and a bottom second side portion 33c that are continuous with the bottom surface 33a and face each other in the axial direction of the feed screw 22.

ブラケット３１の上部３２の接合面３２ａには、テーブル１１の中央突部１１ｂの下面１１ｃと接合した状態で静圧油第１供給路５１ｂと連通する静圧油第１供給路５１ｃが穿孔され、この静圧油第１供給路５１ｃが断面視略Ｌ字状で上部第２側部３２ｃに連続する。   The joint surface 32a of the upper part 32 of the bracket 31 is perforated with a hydrostatic oil first supply passage 51c communicating with the hydrostatic oil first supply passage 51b in a state joined to the lower surface 11c of the central protrusion 11b of the table 11. This static pressure oil first supply passage 51c is substantially L-shaped in cross section and continues to the upper second side portion 32c.

一方、テーブル１１の中央突部１１ｂの下面１１ｃと接合した状態で、静圧油第１供給路５１ｃに隣接して静圧油第２供給路５２ｂと連通する静圧油第２供給路５２ｃが穿孔され、この静圧油第２供給路５２ｃが上部３２から側部３４を介して下部３３の下部第２側部３３ｃに断面視クランク状で連続する。   On the other hand, a static pressure oil second supply path 52c that is adjacent to the static pressure oil first supply path 51c and communicates with the static pressure oil second supply path 52b in a state of being joined to the lower surface 11c of the central protrusion 11b of the table 11. The hydrostatic oil second supply passage 52c continues from the upper portion 32 through the side portion 34 to the lower second side portion 33c of the lower portion 33 in a crank shape in cross section.

さらに、ブラケット３１の上部３２の接合面３２ａには、テーブル１１に穿孔された複数のボルト挿通孔１１ｄと同軸上で連続する複数のボルト挿通孔３２ｄが穿孔されている。   Further, a plurality of bolt insertion holes 32 d that are coaxially continuous with the plurality of bolt insertion holes 11 d drilled in the table 11 are drilled in the joint surface 32 a of the upper portion 32 of the bracket 31.

一方、固定部４０は、第１固定部４１、第２固定部４２及び第３固定部４３によって構成されている。   On the other hand, the fixing part 40 is constituted by a first fixing part 41, a second fixing part 42 and a third fixing part 43.

第１固定部４１は、ブラケット３１の上部第２側部３２ｃ及び下部第２側部３３ｃと当接する第１外側面４１ａ、この第１外側面４１ａと送りネジ２２の軸方向において対向する第２外側面４１ｂを有する。   The first fixing portion 41 includes a first outer surface 41 a that contacts the upper second side portion 32 c and the lower second side portion 33 c of the bracket 31, and a second outer surface 41 a that opposes the first outer surface 41 a in the axial direction of the feed screw 22. It has an outer side surface 41b.

さらに、第１固定部４１は、第１外側面４１ａ及び第２外側面４１ｂと連続するとともにナット本体２５の外周面２５ｂと対向する内周面４１ｃ、及び内周面４１ｃと対向するとともに第１外側面４１ａ及び第２外側面４１ｂと連続する外周面４１ｄを有し、円盤状に形成される。   Further, the first fixing portion 41 is continuous with the first outer surface 41a and the second outer surface 41b and is opposed to the inner circumferential surface 41c and the inner circumferential surface 41c facing the outer circumferential surface 25b of the nut body 25 and the first fixing portion 41. It has an outer peripheral surface 41d continuous with the outer side surface 41a and the second outer side surface 41b, and is formed in a disc shape.

第２外側面４１ｂには、凹状に切り欠かれた静圧ポケット４６が形成される一方、第１外側面４１ａには、ブラケット３１に穿孔された静圧油第１供給路５１ｃと連通する静圧油第１供給路５１ｄが穿孔され、この静圧油第１供給路５１ｄが断面視クランク状で第２外側面４１ｂの静圧ポケット４６に連続する。   The second outer side surface 41b is formed with a recessed static pressure pocket 46, while the first outer side surface 41a is connected to a static pressure oil first supply passage 51c drilled in the bracket 31. The pressure oil first supply passage 51d is perforated, and the static pressure oil first supply passage 51d has a crank shape in cross section and continues to the static pressure pocket 46 of the second outer surface 41b.

第２外側面４１ｂとナット本体受部２７の第１外側面２７ａとは、本実施の形態では、極めて微小な静圧油供給間隙である間隙αを介して対向し、間隙αと第２外側面４１ｂに形成された静圧ポケット４６とが連続する。   In the present embodiment, the second outer surface 41b and the first outer surface 27a of the nut main body receiving portion 27 face each other via a gap α that is a very small hydrostatic oil supply gap, and the gap α and the second outer surface 27a are opposed to each other. The static pressure pocket 46 formed on the side surface 41b is continuous.

さらに、第１外側面４１ａには、ブラケット３１に穿孔された静圧油第２供給路５２ｃと連通する静圧油第２供給路５２ｄが穿孔され、この静圧油第２供給路５２ｄが断面視直線状で第２外側面４１ｂに連続する。   Further, a static pressure oil second supply path 52d communicating with the static pressure oil second supply path 52c drilled in the bracket 31 is drilled in the first outer surface 41a, and the static pressure oil second supply path 52d has a cross section. It is a line of sight and continues to the second outer surface 41b.

第２固定部４２は、第１固定部４１の第２外側面４１ｂと当接する第１外側面４２ａ、この第１外側面４２ａと送りネジ２２の軸方向において対向する第２外側面４２ｂを有する。   The second fixing portion 42 includes a first outer surface 42 a that contacts the second outer surface 41 b of the first fixing portion 41, and a second outer surface 42 b that opposes the first outer surface 42 a in the axial direction of the feed screw 22. .

さらに、第２固定部４２は、第１外側面４２ａ及び第２外側面４２ｂと連続するとともにナット受部２７の外周面２７ｄと間隙βを介して対向する内周面４２ｃ、及びこの内周面４２ｃと対向して第１外側面４２ａ及び第２外側面４２ｂと連続する外周面４２ｄを有し、円盤状に形成される。   Further, the second fixing portion 42 is continuous with the first outer surface 42a and the second outer surface 42b, and is opposed to the outer peripheral surface 27d of the nut receiving portion 27 via the gap β, and the inner peripheral surface. The outer peripheral surface 42d which continues to the 1st outer surface 42a and the 2nd outer surface 42b facing 42c, and is formed in a disk shape.

第１外側面４２ａには、第１固定部４１に穿孔された静圧油第２供給路５２ｄと連通する静圧油第２供給路５２ｅが穿孔され、この静圧油第２供給路５２ｅが断面視直線状で第２外側面４２ｂに連続する。   A hydrostatic oil second supply path 52e communicating with the hydrostatic oil second supply path 52d drilled in the first fixing portion 41 is drilled in the first outer surface 42a, and the hydrostatic oil second supply path 52e is formed in the first outer surface 42a. It is continuous with the second outer surface 42b in a straight line shape in cross section.

さらに、第２固定部４２には、その内周面４２ｃと外周面４２ｄとの間で貫通する油排出孔４５が穿孔され、第２固定部４２の内周面４２ｃとナット本体受部２７の外周面２７ｄとの間の静圧油供給間隙である間隙βが、油排出孔４５と連続する。   Further, the second fixing portion 42 is provided with an oil discharge hole 45 penetrating between the inner peripheral surface 42c and the outer peripheral surface 42d, so that the inner peripheral surface 42c of the second fixing portion 42 and the nut body receiving portion 27 A gap β that is a static pressure oil supply gap between the outer peripheral surface 27 d and the oil discharge hole 45 is continuous.

第３固定部４３は、第２固定部４２の第２外側面４２ｂと当接する第１外側面４３ａ、この第１外側面４３ａと送りネジ２２の軸方向において対向する第２外側面４３ｂを有する。   The third fixing portion 43 has a first outer surface 43 a that contacts the second outer surface 42 b of the second fixing portion 42, and a second outer surface 43 b that opposes the first outer surface 43 a in the axial direction of the feed screw 22. .

さらに、第３固定部４３は、第１外側面４３ａ及び第２外側面４３ｂと連続するとともにナット本体２５のフランジ２６の外周面２６ａと微小な間隙を介して対向する内周面４３ｃ、この内周面４３ｃと対向する外周面４３ｄ有し、円盤状に形成される。   Further, the third fixing portion 43 is an inner peripheral surface 43c that is continuous with the first outer surface 43a and the second outer surface 43b and faces the outer peripheral surface 26a of the flange 26 of the nut body 25 via a minute gap. The outer peripheral surface 43d is opposed to the peripheral surface 43c and is formed in a disc shape.

第１外側面４３ａには、凹状に切り欠かれた静圧ポケット４６が形成されるとともに、第２固定部４２に穿孔された静圧油第２供給路５２ｅと連通する静圧油第２供給路５２ｆが穿孔され、この静圧油第２供給路５２ｆが断面視略コ字状で静圧ポケット４６に連続する。   The first outer side surface 43a is formed with a static pressure pocket 46 cut out in a concave shape, and a second hydrostatic oil supply that communicates with the second hydrostatic oil supply passage 52e drilled in the second fixing portion 42. The passage 52f is perforated, and the static pressure oil second supply passage 52f is substantially U-shaped in cross section and continues to the static pressure pocket 46.

第１外側面４３ａとナット本体受部２７の第２外側面２７ｂとは、本実施の形態では、極めて微小な間隙αを介して対向し、間隙αと第１外側面４３ａに形成された静圧ポケット４６とが連続する。   In the present embodiment, the first outer surface 43a and the second outer surface 27b of the nut body receiving portion 27 face each other with a very small gap α, and the static α formed on the gap α and the first outer surface 43a. The pressure pocket 46 continues.

これら第１固定部４１、第２固定部４２及び第３固定部４３には、同軸上で第１固定部４１から第３固定部４３まで連続する図示しないボルト挿通孔が、その周方向に亘って複数、穿孔されている。   The first fixing portion 41, the second fixing portion 42, and the third fixing portion 43 have bolt insertion holes (not shown) that are coaxially continuous from the first fixing portion 41 to the third fixing portion 43 in the circumferential direction. Are perforated.

ナット本体２５とナット本体受部２７とが結合されてナット２４が構成された状態で、ナット２４を介装して第１固定部４１、第２固定部４２及び第３固定部４３が組み合わせられた状態において、第１固定部４１から第３固定部４３まで連続するボルト挿通孔に、ボルト４７が挿入されて締結される。これによって、固定部４０が形成される。   In a state where the nut body 25 and the nut body receiving portion 27 are joined to form the nut 24, the first fixing portion 41, the second fixing portion 42, and the third fixing portion 43 are combined via the nut 24. In this state, a bolt 47 is inserted into a bolt insertion hole continuous from the first fixing portion 41 to the third fixing portion 43 and fastened. Thereby, the fixing portion 40 is formed.

このとき、第１固定部４１の第２外側面４１ｂとナット本体受部２７の第１外側面２７ａとの間の極めて微小な間隙α、及び第３固定部４３の第１外側面４３ａとナット受部２７の第２外側面２７ｂとの間の極めて微小な間隙αは、本実施の形態では、１０〜１５μｍに設定される。   At this time, a very small gap α between the second outer surface 41b of the first fixing portion 41 and the first outer surface 27a of the nut body receiving portion 27, and the first outer surface 43a of the third fixing portion 43 and the nut. In the present embodiment, an extremely minute gap α between the receiving portion 27 and the second outer side surface 27b is set to 10 to 15 μm.

一方、第２固定部４２の内周面４２ｃとナット本体受部２７の外周面２７ｄとの間の間隙βは、本実施の形態では、１〜２ｍｍに設定される。   On the other hand, the gap β between the inner peripheral surface 42c of the second fixed portion 42 and the outer peripheral surface 27d of the nut body receiving portion 27 is set to 1 to 2 mm in the present embodiment.

ナット２４が介装された状態で、固定部４０の第１固定部４１における第１外側面４１ａと、ブラケット３１の上部３２における上部第２側部３２ｃ及び下部第２側部３３ｃとを当接させて組み合わせて結合させることで、ナット嵌合部３０が構成される。   With the nut 24 interposed, the first outer surface 41a of the first fixing portion 41 of the fixing portion 40 and the upper second side portion 32c and the lower second side portion 33c of the upper portion 32 of the bracket 31 are brought into contact with each other. The nut fitting part 30 is comprised by making it combine and couple | bond together.

このナット嵌合部３０は、ブラケット３１の上部３２に形成された接合面３２ａがテーブル１１の中央突部１１ｂの下面１１ｃに重ね合わせられ、テーブル１１に穿孔されたボルト挿通孔１１ｄとブラケット３１に穿孔されたボルト挿通孔３２ｄとが同軸上で連続する。   In the nut fitting portion 30, the joint surface 32 a formed on the upper portion 32 of the bracket 31 is overlapped with the lower surface 11 c of the central protrusion 11 b of the table 11, and the bolt insertion hole 11 d and the bracket 31 are perforated in the table 11. The perforated bolt insertion hole 32d continues coaxially.

このボルト挿通孔１１ｄ、３２ｄにボルト１１ｅが挿通されて締結され、テーブル１１にナット嵌合部３０が強固に取り付けられる。一方、ボルト挿通孔１１ｄ、３２ｄにボルト１１ｅが挿通されて締結された後、ボルト挿通孔１１ｄにシール部材１１ｆが嵌装されて閉止される。   The bolt 11e is inserted into the bolt insertion holes 11d and 32d and fastened, and the nut fitting portion 30 is firmly attached to the table 11. On the other hand, after the bolt 11e is inserted into the bolt insertion holes 11d and 32d and fastened, the seal member 11f is fitted into the bolt insertion hole 11d and closed.

このように、テーブル１１にナット嵌合部３０が取り付けられることによって、第１導入部５１ａから静圧油第１供給路５１ｂ〜静圧油第１供給路５１ｄを介して静圧ポケット４６までが連通して、静圧油第１供給部５１が形成される。   Thus, by attaching the nut fitting part 30 to the table 11, from the 1st introducing | transducing part 51a to the static pressure pocket 46 via the static pressure oil 1st supply path 51b-the static pressure oil 1st supply path 51d. A first hydrostatic oil supply unit 51 is formed in communication.

一方、第２導入部５２ａから静圧油第２供給路５２ｂ〜静圧油第２供給路５２ｆを介して静圧ポケット４６までが連通して、静圧油第２供給部５２が形成される。   On the other hand, the static pressure oil second supply part 52 is formed by communication from the second introduction part 52a to the static pressure pocket 46 through the static pressure oil second supply path 52b to the static pressure oil second supply path 52f. .

これら静圧油第１供給部５１及び静圧油第２供給部５２を有する静圧油供給部５０に、図示しないオイルポンプによって静圧油が常時供給されることによって、ナット嵌合部３０とナット本体受部２７との間の間隙α及びβに、一定の油圧で静圧油が供給される。   The static pressure oil supply unit 50 having the static pressure oil first supply unit 51 and the static pressure oil second supply unit 52 is always supplied with a static pressure oil by an oil pump (not shown), whereby the nut fitting unit 30 and Hydrostatic oil is supplied to the gaps α and β between the nut main body receiving portion 27 at a constant hydraulic pressure.

これにより、ナット本体受部２７を介したナット２４が、静圧油が供給された間隙α及びβを介してナット嵌合部３０に嵌合される。   Thereby, the nut 24 via the nut main body receiving part 27 is fitted to the nut fitting part 30 via the gaps α and β to which the static pressure oil is supplied.

このような軸送り機構２０を有する加工装置１０及び被加工物保持装置６０を具備する加工システム１は、本実施の形態では、図５で示すワークＷを加工する。   In the present embodiment, the processing system 1 including the processing apparatus 10 having the shaft feed mechanism 20 and the workpiece holding apparatus 60 processes the workpiece W shown in FIG.

このワークＷは、図５で示すように、平面視で環状の外周部Ｗ１及び平面視で略楕円状の内周部Ｗ２を備えたドーナツ状であって、内周部Ｗ２が加工システム１によって切削加工される。   As shown in FIG. 5, the workpiece W has a donut shape having an annular outer peripheral portion W <b> 1 in a plan view and an inner peripheral portion W <b> 2 having a substantially elliptical shape in a plan view. It is cut.

ワークＷは、図１で示した被加工物保持装置６０のチャック６３に保持され、このチャック６３にワークＷが保持された状態で被加工物保持装置６０のテーブル６１が案内面Ｓ２に沿ってＹ方向に移動して、ワークＷが加工位置に位置決めされる。   The workpiece W is held by the chuck 63 of the workpiece holding device 60 shown in FIG. 1, and the table 61 of the workpiece holding device 60 is moved along the guide surface S2 while the workpiece W is held by the chuck 63. Moving in the Y direction, the workpiece W is positioned at the machining position.

すなわち、サーボモータ６２の駆動によって送りネジ２２が回転し、この送りネジ２２に螺合するナット２４が送りネジ２２の軸に沿って移動する。このナット２４の移動とともに、ナット２４を保持してテーブル６１に連結されたナット嵌合部３０を介して、テーブル６１がＹ方向に移動する。   That is, the feed screw 22 is rotated by the drive of the servo motor 62, and the nut 24 screwed to the feed screw 22 moves along the axis of the feed screw 22. Along with the movement of the nut 24, the table 61 moves in the Y direction via the nut fitting portion 30 that holds the nut 24 and is connected to the table 61.

このとき、ナット２４のナット本体受部２７は、静圧油が供給された間隙α及びβを介してナット嵌合部３０に保持されることから、ナット本体受部２７を介してナット２４が静圧油に支持される。   At this time, the nut body receiving portion 27 of the nut 24 is held by the nut fitting portion 30 via the gaps α and β to which the hydrostatic oil is supplied. Supported by hydrostatic oil.

従って、間隙αに供給された静圧油によってナット２４が静圧油に支持されて、ナット２４の軸方向の揺動が抑制されるとともに、間隙βに供給された静圧油によってナット２４が静圧油に支持されて、ナット２４の送りネジ２２の軸に対する水平方向の揺動が抑制される。   Therefore, the nut 24 is supported by the hydrostatic oil supplied to the gap α, and the axial oscillation of the nut 24 is suppressed, and the nut 24 is pushed by the hydrostatic oil supplied to the gap β. Supported by the hydrostatic oil, the horizontal swing of the nut 24 with respect to the axis of the feed screw 22 is suppressed.

ワークＷが加工位置に位置決めされた後、加工装置１０のテーブル１１を案内面Ｓ１に沿ってＸ方向に往復移動すなわちオシレーションさせることによって、テーブル１１に設けられたエンドミル１３によりワークＷの内周部Ｗ２が荒削り加工、あるいはエンドミル１３と選択的に切り替えられた砥石１４によりワークＷの内周部Ｗ２が研磨加工される。   After the workpiece W is positioned at the machining position, the table 11 of the machining apparatus 10 is reciprocated or oscillated in the X direction along the guide surface S1, so that the inner circumference of the workpiece W is provided by the end mill 13 provided on the table 11. The inner peripheral portion W2 of the workpiece W is polished by the roughing processing of the portion W2 or the grindstone 14 selectively switched to the end mill 13.

すなわち、サーボモータ１２の駆動によって送りネジ２２が回転し、この送りネジ２２に螺合するナット２４が送りネジ２２の軸に沿って移動する。このナット２４の移動とともに、ナット２４が嵌合されてテーブル１１に連結されたナット嵌合部３０を介して、テーブル１１がＸ方向に往復移動する。   That is, the feed screw 22 is rotated by the drive of the servo motor 12, and the nut 24 screwed to the feed screw 22 moves along the axis of the feed screw 22. Along with the movement of the nut 24, the table 11 reciprocates in the X direction via a nut fitting portion 30 fitted to the nut 24 and connected to the table 11.

このとき、ナット２４のナット本体受部２７は、静圧油が供給された間隙α及びβを介してナット嵌合部３０に嵌合されることから、ナット本体受部２７を介してナット２４が静圧油に支持される。   At this time, the nut main body receiving portion 27 of the nut 24 is fitted to the nut fitting portion 30 via the gaps α and β to which the hydrostatic oil is supplied. Is supported by hydrostatic oil.

これにより、間隙αに供給された静圧油によってナット２４が静圧油に支持されて、送りネジ２２とナット２４との軸ズレ等に起因したナット２４の送りネジ２４に対する軸方向の揺動が抑制される。   As a result, the nut 24 is supported by the hydrostatic oil supplied to the gap α, and the nut 24 oscillates in the axial direction with respect to the feed screw 24 due to axial misalignment between the feed screw 22 and the nut 24. Is suppressed.

一方、間隙βに供給された静圧油によってナット２４が静圧油に支持されて、送りネジ２２とナット２４との軸ズレ等に基づいたナット２４の送りネジ２２の軸に対する直交方向の揺動が抑制される。   On the other hand, the nut 24 is supported by the hydrostatic oil supplied to the gap β, and the nut 24 swings in the direction perpendicular to the axis of the feed screw 22 based on the axial displacement of the feed screw 22 and the nut 24. The movement is suppressed.

このとき、間隙α、βには、静圧油が常時供給されていることから、静圧油による油圧が一定に保持される。従って、送りネジ２２とナット２４との軸ズレ等に起因するナット２４の送りネジ２２の軸に対する直交方向及び軸方向の揺動が、安定的に抑制される。   At this time, since the static pressure oil is always supplied to the gaps α and β, the hydraulic pressure by the static pressure oil is kept constant. Therefore, the swinging of the nut 24 in the direction orthogonal to the axis of the feed screw 22 and the axial direction due to the axial displacement of the feed screw 22 and the nut 24 or the like is stably suppressed.

従って、テーブル１１をオシレーションする際に、テーブル１１にガタツキが発生することが低減されることから、エンドミル１３及び砥石１４によるワークＷの内周部Ｗ２の加工精度が向上する。   Therefore, when the table 11 is oscillated, the occurrence of rattling in the table 11 is reduced, so that the processing accuracy of the inner peripheral portion W2 of the workpiece W by the end mill 13 and the grindstone 14 is improved.

特に、荒削りするという加工特性を有するエンドミル１３をテーブル１１でオシレーションする際の送りネジ２２及びナット２４の揺動が抑制されて、エンドミル１３によるワークＷの内周部Ｗ２の加工精度が向上する。   In particular, the oscillation of the feed screw 22 and the nut 24 when the end mill 13 having the machining characteristic of roughing is oscillated by the table 11 is suppressed, and the machining accuracy of the inner peripheral portion W2 of the workpiece W by the end mill 13 is improved. .

一方、研磨加工するという加工特性を有する砥石１４をテーブル１１でオシレーションする際の送りネジ２２及びナット２４の揺動が抑制されて、砥石１４によるワークＷの内周部Ｗ２の加工精度が向上する。   On the other hand, the rocking of the feed screw 22 and the nut 24 when the grindstone 14 having the processing characteristic of polishing is oscillated by the table 11 is suppressed, and the processing accuracy of the inner peripheral portion W2 of the workpiece W by the grindstone 14 is improved. To do.

しかも、ワークＷを保持したチャック６３をテーブル１１で加工位置に位置決めする際の送りネジ２２及びナット２４の揺動が抑制されて、ワークＷが加工位置に適切に位置決めされる。   In addition, the swing of the feed screw 22 and the nut 24 when the chuck 63 holding the workpiece W is positioned at the machining position by the table 11 is suppressed, and the workpiece W is appropriately positioned at the machining position.

従って、加工位置に適切に位置決めされたワークＷに対する加工精度を向上させることができる。   Therefore, it is possible to improve the processing accuracy for the workpiece W appropriately positioned at the processing position.

ナット本体受部２７とナット嵌合部３０との間の間隙α及びβに静圧油を供給する静圧油供給部５０の吐出部分に静圧ポケット４６が形成されていることから、間隙α及びβへの静圧油の供給によって付与される油圧が良好に保持される。   Since the static pressure pocket 46 is formed in the discharge portion of the static pressure oil supply unit 50 that supplies the static pressure oil to the gaps α and β between the nut body receiving portion 27 and the nut fitting portion 30, the gap α And the hydraulic pressure applied by the supply of hydrostatic oil to β is well maintained.

ナット２４は、ナット本体２５及びナット本体受部２７によって構成されることから、既存のナット本体２５であっても、ナット本体受部２７をナット本体２５に設けることによって、ナット２４が、ナット本体受部２７を介してナット嵌合部３０に簡易に嵌合される。従って、軸送り機構２０の汎用性が向上する。   Since the nut 24 is configured by the nut body 25 and the nut body receiving portion 27, even if the nut body 25 is an existing nut body 25, the nut 24 is provided by providing the nut body receiving portion 27 in the nut body 25. It is easily fitted to the nut fitting part 30 via the receiving part 27. Therefore, the versatility of the shaft feed mechanism 20 is improved.

しかも、ナット嵌合部３０は、ナット本体受部２７の第１外側面２７ａ、第２外側面２７ｂ及び外周面２７ｄとそれぞれ対向する第１固定部４１の第２外側面４１ｂ、第３固定部４３の第１外側面４３ａ及び第２固定部４２の内周面４２ｃを有することから、第１外側面２７ａと第２外側面４１ｂとの間の間隙α、第２外側面２７ｂと第１外側面４３ａとの間の間隙α、及び外周面２７ｄと内周面４２ｃとの間の間隙βを簡易な構成で形成することができる。   In addition, the nut fitting portion 30 includes the second outer surface 41b of the first fixing portion 41 and the third fixing portion that face the first outer surface 27a, the second outer surface 27b, and the outer peripheral surface 27d of the nut body receiving portion 27, respectively. 43, and the inner peripheral surface 42c of the second fixing portion 42, the gap α between the first outer surface 27a and the second outer surface 41b, the second outer surface 27b and the first outer surface. The gap α between the side surface 43a and the gap β between the outer peripheral surface 27d and the inner peripheral surface 42c can be formed with a simple configuration.

なお、本発明は上記実施の形態に限定されることはなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。上記実施の形態では、加工器具がエンドミル１３及び砥石１４で構成された場合を説明したが、エンドミル１３及び砥石１４に限定されることなく、種々の加工器具を用いることができる。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the meaning of invention. Although the said embodiment demonstrated the case where the processing tool was comprised with the end mill 13 and the grindstone 14, it is not limited to the end mill 13 and the grindstone 14, A various processing tool can be used.

１ 加工システム
１０ 加工装置
１１ テーブル
１３ エンドミル（切削加工器具）
１４ 砥石（研磨加工器具）
２０ 軸送り機構
２２ 送りネジ（軸体）
２４ ナット（移動体）
２５ ナット本体
２７ ナット本体受部
３０ ナット嵌合部（中間体）
３１ ブラケット
４０ 固定部
４６ 静圧ポケット
５０ 静圧油供給部
５１ 静圧油第１供給部
５２ 静圧油第２供給部
６０ 被加工物保持装置
６１ テーブル
６３ チャック
Ｓ１、Ｓ２ 案内面
Ｗ ワーク（被加工物）
α、β 間隙（静圧油供給間隙） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Processing system 10 Processing apparatus 11 Table 13 End mill (Cutting tool)
14 Grinding wheel (abrasive tool)
20 Axis feed mechanism 22 Feed screw (shaft body)
24 Nut (moving body)
25 Nut body 27 Nut body receiving part 30 Nut fitting part (intermediate body)
31 Bracket 40 Fixed portion 46 Static pressure pocket 50 Static pressure oil supply portion 51 Static pressure oil first supply portion 52 Static pressure oil second supply portion 60 Workpiece holding device 61 Table 63 Chuck S1, S2 Guide surface W Workpiece Workpiece)
α, β gap (hydrostatic oil supply gap)

Claims (4)

軸体に沿って移動する移動体と、
該移動体によって移動され、上面に加工器具が設けられたテーブルと、
該テーブルと前記移動体の間に介在されて前記移動体によって前記テーブルとともに移動される中間体と、
該中間体と前記移動体との間に供給される静圧油と、
を備えることを特徴とする加工装置。 A moving body that moves along the axis;
A table that is moved by the moving body and has a processing tool provided on the upper surface;
An intermediate body interposed between the table and the moving body and moved together with the table by the moving body;
Hydrostatic oil supplied between the intermediate and the moving body;
A processing apparatus comprising: 前記移動体と前記中間体との間に静圧油供給間隙が設けられ、該静圧油供給間隙に前記静圧油が常時供給されていることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。   The processing apparatus according to claim 1, wherein a hydrostatic oil supply gap is provided between the movable body and the intermediate body, and the hydrostatic oil is constantly supplied to the hydrostatic oil supply gap. . 前記加工器具は、
切削加工器具及び該切削加工器具と加工特性の異なる研磨加工器具であって、
該研磨加工器具及び前記切削加工器具が前記テーブルの上面に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の加工装置。 The processing tool is:
A cutting tool and a polishing tool having different processing characteristics from the cutting tool,
The processing apparatus according to claim 1, wherein the polishing tool and the cutting tool are provided on an upper surface of the table. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の加工装置と、
該加工装置の近傍に設けられ、軸体に沿って移動する移動体と、該移動体によって移動されるとともに上面に前記加工器具によって加工される被加工物を保持する被加工物保持器具が設けられたテーブルと、該テーブルと前記移動体の間に介在されて前記テーブルとともに移動される中間体と、該中間体と前記移動体との間に供給された静圧油とを有する被加工物保持装置と、
を備えることを特徴とする加工システム。 The processing apparatus according to any one of claims 1 to 3,
Provided in the vicinity of the processing apparatus is a moving body that moves along the shaft, and a workpiece holding tool that holds the workpiece that is moved by the moving body and that is processed by the processing tool on the upper surface. A workpiece having an intermediate table, an intermediate body interposed between the table and the movable body and moved together with the table, and a hydrostatic oil supplied between the intermediate body and the movable body A holding device;
A processing system comprising:

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