JP2015152924A - 熱吸収抑制のためのフォトマスクブランクおよびフォトマスク - Google Patents
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Abstract
Description
111:透光基板
112:高反射物質層
113:光遮断層
114:フォトレジスト層
Claims (35)
- 透光基板と、
前記透光基板上に配置される高反射物質層と、
前記高反射物質層上に配置される光遮断層とを含むことを特徴とする、フォトマスクブランク。 - 前記高反射物質層は、シリコン(Si)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、ジルコニウム(Zr)、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、白金(Pt)、ルテニウム(Ru)、クロム(Cr)、スズ(Sn)のうちの少なくともいずれか1つを含む物質からなることを特徴とする、請求項1に記載のフォトマスクブランク。
- 前記高反射物質層は、酸素(O)および窒素(N)のうちのいずれか1つの成分を追加的に含むことを特徴とする、請求項2に記載のフォトマスクブランク。
- 前記高反射物質層は、多層構造からなることを特徴とする、請求項1に記載のフォトマスクブランク。
- 前記多層構造は、モリブデン(Mo)層およびシリコン(Si)層が交互に配置される構造を含むことを特徴とする、請求項4に記載のフォトマスクブランク。
- 前記高反射物質層は、照射される光量に対する20%〜90%の反射率を有することを特徴とする、請求項1に記載のフォトマスクブランク。
- 前記高反射物質層は、前記光遮断層の厚さより小さい厚さを有することを特徴とする、請求項1に記載のフォトマスクブランク。
- 前記光遮断層は、クロム(Cr)層を含むことを特徴とする、請求項1に記載のフォトマスクブランク。
- 前記高反射物質層および光遮断層の間に配置される位相反転層をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載のフォトマスクブランク。
- 前記高反射物質層および位相反転層は、50%以下の透過率と、150度〜250度の位相反転率を有することを特徴とする、請求項9に記載のフォトマスクブランク。
- 前記光遮断層上に配置されるフォトレジスト層をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載のフォトマスクブランク。
- 透光基板と、
前記透光基板上に配置され、照射される光量の20%〜90%を反射させる材質からなる光遮断層とを含むことを特徴とする、フォトマスクブランク。 - 透光基板と、
前記透光基板上で前記透光基板の光透過領域を露出させるように配置される高反射物質層パターンと、
前記高反射物質層パターン上に配置される光遮断層パターンとを含むことを特徴とする、フォトマスク。 - 前記高反射物質層パターンは、シリコン(Si)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、ジルコニウム(Zr)、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、白金(Pt)、ルテニウム(Ru)、クロム(Cr)、スズ(Sn)のうちの少なくともいずれか1つを含む物質からなることを特徴とする、請求項13に記載のフォトマスク。
- 前記高反射物質層パターンは、酸素(O)および窒素(N)のうちのいずれか1つの成分を追加的に含むことを特徴とする、請求項14に記載のフォトマスク。
- 前記高反射物質層パターンは、多層構造からなることを特徴とする、請求項13に記載のフォトマスク。
- 前記多層構造は、モリブデン(Mo)層パターンおよびシリコン(Si)層パターンが交互に配置される構造を含むことを特徴とする、請求項16に記載のフォトマスク。
- 前記高反射物質層パターンは、照射される光量に対する20%〜90%の反射率を有することを特徴とする、請求項13に記載のフォトマスク。
- 前記高反射物質層パターンは、前記光遮断層パターンの厚さより小さい厚さを有することを特徴とする、請求項13に記載のフォトマスク。
- 前記光遮断層パターンは、クロム(Cr)層からなることを特徴とする、請求項13に記載のフォトマスク。
- 前記光遮断層パターンおよび高反射物質層パターンの間に配置される位相反転層パターンをさらに含むことを特徴とする、請求項13に記載のフォトマスク。
- 前記高反射物質層パターンおよび位相反転層パターンは、50%以下の透過率と、150度〜250度の位相反転率を有することを特徴とする、請求項21に記載のフォトマスク。
- 透光基板と、
前記透光基板上に配置され、前記透光基板を通して照射される光量の20%〜90%を反射させる材質からなる光遮断層パターンとを含むことを特徴とする、フォトマスク。 - 透光基板と、
前記透光基板上に配置される、相対的に厚い第1光遮断層パターンおよび相対的に薄い第2光遮断層パターンからなる光遮断層パターンとを含み、
前記光遮断層パターンは、フォトリソグラフィ工程によってウエハに転写されることを特徴とする、フォトマスク。 - 前記透光基板は、前記透光基板が露出する光透過領域、および前記光遮断層パターンが配置される光遮断領域を含むことを特徴とする、請求項24に記載のフォトマスク。
- 前記第2光遮断層パターンは、前記光遮断層パターンの内部に配置され、前記第1光遮断層パターンは、前記光遮断層パターンの周縁で前記第2光遮断層パターンを取り囲むように配置されることを特徴とする、請求項24に記載のフォトマスク。
- 前記第2光遮断層パターンは、前記光遮断層パターンの内部で一方向に沿って長く配置されることを特徴とする、請求項24に記載のフォトマスク。
- 前記第2光遮断層パターンは、異なる方向に沿って相互離隔するように配置される、複数個からなることを特徴とする、請求項27に記載のフォトマスク。
- 前記光遮断層パターンの周りに沿って周縁には前記第1光遮断層パターンが配置されることを特徴とする、請求項28に記載のフォトマスク。
- 前記第2光遮断層パターンの厚さは、前記第1光遮断層パターンの厚さの50%〜90%であることを特徴とする、請求項24に記載のフォトマスク。
- 前記第1光遮断層パターンは、前記第1光遮断層パターンに照射される光量の4%〜40%が透過されるようにする厚さを有し、前記第2光遮断層パターンは、前記第2光遮断層パターンに照射される光量の7%〜60%が透過されるようにする厚さを有することを特徴とする、請求項24に記載のフォトマスク。
- 前記第1光遮断層パターンおよび第2光遮断層パターンは、同一の反射率を有することを特徴とする、請求項24に記載のフォトマスク。
- 透光基板と、
前記透光基板上に配置され、内部で前記透光基板を露出させるトレンチセグメントを有する光遮断層パターンとを含み、
前記トレンチセグメントを有する光遮断層パターンは、フォトリソグラフィ工程によってウエハに転写されることを特徴とする、フォトマスク。 - 前記トレンチセグメントは、第1方向に沿って長く配置され、前記第1方向と実質的に垂直な第2方向に沿っては相互離隔するように配置されることを特徴とする、請求項33に記載のフォトマスク。
- 前記第2方向へのトレンチセグメントの幅は、前記トレンチセグメント自体がフォトリソグラフィ過程でウエハに転写されない程度の幅であることを特徴とする、請求項34に記載のフォトマスク。
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