JP2015147374A - 液体吐出ヘッド、および記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】吐出ばらつきを低減することができる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔８、複数の吐出孔８と個別に接続された複数の第１流路１２、第１流路１２に個別に接続された複数の加圧室１０、および複数の加圧室に共通して接続された第２流路、を備える流路部材４と、複数の加圧室１０内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部３０と、を備え、複数の第１流路１２に共通して連通する第１連通室７が設けられており、複数の第１流路１２を取り囲むように第１連通室７が配置されている。
【選択図】図４

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、および記録装置に関する。

従来、液体吐出ヘッドとして、例えば、複数の吐出孔、複数の吐出孔と個別に接続された第１流路、第１流路に個別に接続された複数の加圧室、および複数の加圧室に共通して接続された第２流路を備える流路部材と、複数の加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを備えるものが知られている。また、液体吐出ヘッドとして、複数の吐出孔、複数の吐出孔と個別に接続された第１流路、第１流路に個別に接続された複数の加圧室、複数の加圧室に共通して接続された第２流路、複数の加圧室と第２流路とに個別に接続された第４流路を備える流路部材と、複数の加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを備えるものも知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２−２５０５０３号公報

しかしながら、特許文献１に記載された液体吐出ヘッドでは、複数の吐出孔ごとに設けられた第１流路の圧力および流量がばらつく可能性がある。また、複数の加圧室ごとに設けられた第４流路の圧力および流量がばらつく可能性がある。

本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、複数の該吐出孔と個別に接続された複数の第１流路、該第１流路に個別に接続された複数の加圧室、および複数の該加圧室に共通して接続された第２流路を備える流路部材と、複数の前記加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを備えている。また、複数の前記第１流路に共通して連通する第１連通室が設けられている。また、複数の前記第１流路を取り囲むように前記第１連通室が配置されている。

本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、複数の該吐出孔と個別に接続された複数の第１流路、該第１流路に接続された複数の加圧室、複数の該加圧室に共通して接続された第２流路、複数の前記加圧室と前記第２流路とに個別に接続された複数の第４流路を備える流路部材と、複数の前記加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを備えている。また、複数の前記第４流路を取り囲むように前記第２連通室が配置されている。

本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする。

本発明の液体吐出ヘッドによれば、第１流路における圧力および流量のばらつきを、流路抵抗の小さな第１連通室により相対的に小さくすることができ、吐出のばらつきの少ない液体吐出ヘッドを提供することができる。

本発明の液体吐出ヘッドによれば、第４流路における圧力および流量のばらつきを、流
路抵抗の小さな第２連通室により相対的に小さくすることができ、吐出のばらつきの少ない液体吐出ヘッドを提供することができる。

第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。 図１に示す液体吐出ヘッドを示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。 図２に示す液体吐出ヘッドの平面図である。 （ａ）は図３に示す吐出ユニットの一部を抜粋して示す斜視図、（ｂ）は図４（ａ）に示すＩ−Ｉ線断面図である。 図２に示す吐出ユニットの一部を抜粋して示す分解斜視図である。 （ａ）は第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成するサーキュレータプレートの一部を抜粋して示す拡大斜視図、（ｂ）は図６（ａ）に示すＩＩ−ＩＩ線断面図である。 （ａ）は第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成するサーキュレータプレートの一部を抜粋して示す拡大斜視図、（ｂ）はサーキュレータプレートの平面図である。 第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する吐出ユニットの一部を抜粋して示す分解斜視図である。 （ａ）は図８に示す吐出ユニットの一部を抜粋して示す斜視図、（ｂ）は図９（ａ）に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。 第５の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する吐出ユニットの一部を抜粋して示す分解斜視図である。 （ａ）は図１０に示す吐出ユニットの一部を抜粋して示す斜視図、（ｂ）は図１１（ａ）に示すＩＶ−ＩＶ線断面図である。

＜第１の実施形態＞
図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置である（カラーインクジェット）プリンタ１の概略の側面図である。図１（ｂ）は、プリンタ１の概略の平面図である。なお、図面に示すＸは第１方向を示し、図面に示すＹは第２方向を示し、図面に示すＺは第３方向を示しており、以下同様である。

プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐを搬送ローラ８０ａから搬送ローラ８０ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して第２方向Ｙに相対的に移動させる。そのため、第２方向Ｙは印刷用紙Ｐの搬送方向となっている。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、液体吐出ヘッド２から記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。本発明の記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの第１方向Ｘに往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。

プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行するように平板状の（ヘッド搭載）フレーム７０が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されている。液体吐出ヘッド２の液体を吐出する部位は、印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐ
との間の距離は、例えば０．５〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

液体吐出ヘッド２は、第１方向Ｘに細長い長尺形状を有している。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、第１方向Ｘに沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は３の液体吐出ヘッド２と第２方向Ｙにずれた位置で、３つ液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。また、第１方向Ｘと第２方向Ｙに対して直交する方向を第３方向Ｚとしている。

液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、第１方向Ｘに繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、第２方向Ｙに沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体（インク）が供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。

プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッドの群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数、あるいはヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッドの群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度（搬送速度）を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、第２方向Ｙにずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

プリンタ１は、印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０ｂは、搬送ローラ８２ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、７５ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。

記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、布、あるいはタイル等の建築材料でもよい。また、プリンタ１を、印刷用紙Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどにしてもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部８
８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１の各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

次に、本発明の一実施形態の液体吐出ヘッド２について図２〜５を用いて説明する。なお、本実施形態では、第１流路を部分流路１２、第２流路を共通供給流路５、第３流路を共通循環流路３および個別循環流路９、第４流路を個別供給流路１４として説明する。

図２に示すように、液体吐出ヘッド２は、３つの吐出ユニット２ａと、３つの供給ユニット２ｂとを備えている。吐出ユニット２ａは、供給ユニット２ｂの下方に配置され一体化されており、供給ユニット２ｂから吐出ユニット２ａに液体を供給している。そして、一体化された吐出ユニット２ａおよび供給ユニット２ｂは、第２方向Ｙに配列されている。

供給ユニット２ｂは、図２，３に示すように、共通供給流路５と、共通循環流路３とを内部に備えている。共通供給流路５は、第１方向Ｘに長く形成されており、共通供給流路５に連通した開口５ａを備えている。開口５ａは、第１方向Ｘの一方の端部に配置されている。この開口５ａを介して、液体が外部から供給ユニット２ｂに供給される。

共通供給流路５は、供給ユニット２ｂの上部の全域にわたって設けられている。そのため、共通供給流路５の容積が大きくすることができ、共通供給流路５の内部に生じる流路抵抗を小さくすることができる。

共通循環流路３は、共通供給流路５の下方に配置されており、第２方向Ｙにおける両端部に配置されている。共通循環流路３は、第１方向Ｘに長く形成されており、共通循環流路３に連通した開口３ａを備えている。開口３ａは、第１方向Ｘの他方の端部に配置されている。この開口３ａにより吐出ユニット２ａから回収した液体を外部へ送出する。

そのため、外部から供給された液体は、共通供給流路５の開口５ａから供給ユニット２ｂに供給され、共通供給流路５から吐出ユニット２ａに液体が供給される。吐出ユニット２ａに供給された液体は、その大部分がノズル８（図５参照）から吐出され、吐出されなかった液体の一部が、共通循環流路３に回収される。そして、回収された液体は、共通循環流路３の開口３ａを介して外部に送出される。

供給ユニット２ｂは、共通供給流路５の開口５ａが第１方向Ｘの一方の端部に配置されており、共通循環流路３の開口３ａが第１方向Ｘの他方の端部に配置されている。そのため、液体吐出ヘッド２に供給された液体は、液体吐出ヘッド２の内部の全体を通過して回収されることとなる。それゆえ、液体吐出ヘッド２の内部に、液体が滞留する可能性を低減することができる。

なお、液体吐出ヘッド２は、複数の吐出ユニット２ａに共通した１つの供給ユニット２ｂのみを備えていてもよい。すなわち、３つの吐出ユニット２ａ上に、３つの吐出ユニット２ａにまたがるように設けられた共通供給流路５を備える１つの供給ユニット２ｂを配置してもよい。その場合、供給ユニット２ｂが、隣り合う吐出ユニット２ａの間に共通循環流路３を備え、隣り合う吐出ユニット２ａが共通して使用する構成にすればよい。

また、共通循環流路３から外部へ液体を送出せず、共通循環流路３から共通供給流路５に液体を供給してもよい。その場合、共通供給流路５に連通するように開口３ａを設けれ
ばよい。

また、液体吐出ヘッド２は、吐出ユニット２ａおよび供給ユニット２ｂ以外に他の部材を備えていてもよい。例えば、吐出ユニット２ａおよび供給ユニット２ｂを覆う金属製の筺体を備えていてもよく、吐出ユニット２ａを保護するカバー部材を備えていてもよい。

図２に示すように、吐出ユニット２ａは、アクチュエータ基板２１と、信号伝達部９２と、流路部材４とを備えている。吐出ユニット２ａは、流路部材４上にアクチュエータ基板２１が載置されており、アクチュエータ基板２１上に信号伝達部９２が載置される構成となっている。

信号伝達部９２は、アクチュエータ基板２１に電気的に接続されており、変位素子３０の駆動を制御する電気信号を供給している。信号伝達部９２は、第１方向Ｘに延びるように設けられており、アクチュエータ基板２１の略全面を覆うように配置されている。そして、信号伝達部９２は、第１方向Ｘの両端部にて供給ユニット２ｂから引き出されており、外部に電気的に接続されている。信号伝達部９２としては、ＦＰＣ（Flexible Printed
Circuit）を例示することができる。なお、図４，５では信号伝達部９２の図示を省略して示しており、図８〜１１においても同様である。

流路部材４は、内部に複数の流路を備えており、供給ユニット２ｂ（図２参照）から供給された液体を吐出孔８に送出している。流路部材４は、加圧室面４−２の第２方向Ｙの両端部に複数の孔が設けられており、供給ユニット２ｂから供給された液体を流路部材４の内部に導入している。また、流路部材４は、加圧室面４−２の第２方向Ｙの中央部に複数の加圧室１０が設けられており、複数の加圧室１０を覆うように圧電アクチュエータ２１が載置されている。

流路部材４は、複数の吐出孔８と、複数の部分流路１２と、複数の加圧室１０と、複数のアパーチャ６と、複数の個別供給流路１４と、複数の個別循環流路９と、第１連通室７とを備えている。

吐出孔８は、流路部材４の第１方向Ｘおよび第２方向Ｙにより形成される吐出孔面４−１に複数設けられており、吐出孔８から吐出された液体が、印刷用紙Ｐ（図１参照）に塗布されることにより印画を行っている。吐出孔８は、マトリクス状に配置することが好ましい。

部分流路１２は、吐出孔８と加圧室１０とを接続しており、加圧室１０の下方に向けて、第３方向Ｚに延びるように設けられている。加圧室１０は吐出孔８に対応して個別に設けられており、部分流路１２も吐出孔８に対応して個別に設けられている。部分流路１２は、加圧室１０から加圧された液体を吐出孔８に供給する機能を有している。なお、第３方向Ｚは、プレート４ａ〜４ｅ（図４参照）の積層方向である。

図４（ｂ）に示すように、流路部材４は、吐出孔８の中心軸と、部分流路１２の中心軸と、加圧室１０の中心軸とが、第３方向Ｚに一直線上に並ぶように、吐出孔８、部分流路１２、および加圧室１０が形成されている。そのため、加圧部（変位素子３０）により加圧室１０に与えられた圧力を液体の吐出に効率よく変換することができる。

つまり、液体吐出ヘッド２は、信号伝達部９２の信号に伴い、加圧室１０が変位素子３０により加圧されると、加圧室１０が第３方向Ｚに押圧され、圧力波が部分流路１２の内部を伝播して吐出孔８に到達し、第３方向Ｚに吐出を行っている。そのため、吐出孔８の中心軸と、部分流路１２の中心軸と、加圧室１０の中心軸とが第３方向Ｚに一直線上に並
ぶように、吐出孔８、部分流路１２、および加圧室１０を配置することにより、圧力波の伝播方向と液体の吐出方向とを同一にすることができ、液体を効率よく吐出することができる。

個別供給流路１４は、加圧室１０と共通供給流路５とを接続しており、吐出ユニット２ａと供給ユニット２ｂとに連通している。そのため、流路部材４の加圧室面４−２に設けられた孔を介して供給ユニット２ｂと流路部材４とが接続されている。個別供給流路１４は、流路部材４の加圧室面４−２から第３方向Ｚに延びるように設けられ、途中で第２方向Ｙに沿うように加圧室１０の下方まで延びており、加圧室１０の下方から加圧室１０に向けて第３方向Ｚに延びている。個別供給流路１４は、加圧室１０に対して個別に設けられており、流路部材４の第２方向Ｙにおける両端部において第１方向Ｘに配列されている。

また、個別供給流路１４は、流路部材４に形成された部位にアパーチャ６が設けられている。アパーチャ６は、第２方向Ｙに沿って延びるように形成されており、アパーチャ６の端部は加圧室１０の下方に配置されている。アパーチャ６は、個別供給流路１４の断面積よりも小さい断面積を有している。そのため、個別供給流路１４よりも流路抵抗が大きくなっており、加圧室１０が加圧された際に生じた圧力波が、個別供給流路１４に伝わりにくくなり、部分流路１２に流れやすい構成となる。

また、複数のアパーチャ６は、同程度の流路抵抗を備える必要があり、アパーチャ６の容積は略均一とされている。そのため、図５に示すように、アパーチャ６の第２方向Ｙにおける長さが略均一な構成となっている。

加圧室１０は、平面視して、円形状をなしており、下方にアパーチャ６と部分流路１２とが配置されている。加圧室１０は、隣り合う加圧室１０同士が互い違いになるように、千鳥状に配置されている。それにより、加圧室１０を密に配置することができ、流路部材４のスペースを有効に利用することができる。

第１連通室７は、複数の部分流路１２に共通して連通するように設けられており、第１方向Ｘと第２方向Ｙとにより形成される平面に広がるように設けられている。第１連通室７は、複数の部分流路１２を取り囲むように配置されており、第１連通室７と複数の部分流路１２とは、流路を介さず直接連通している。

第１連通室７は、個別循環流路９と接続するための回収部７ａを備えている。回収部７ａは、第２方向Ｙの両端部に配置されており、第１方向Ｘに間隔をあけて複数設けられている。回収部７ａの上方には、個別循環流路９が形成されており、第１連通室７内の液体は、回収部７ａを通って個別循環流路９に送出される。回収部７ａが、第２方向Ｙの両端部に配置されているため、第１連通室７の第２方向Ｙにおける中央部の流速を、第１方向Ｘにおいて均一に近づけることができる。

個別循環流路９は、共通循環流路３と第１連通室７とを接続しており、吐出ユニット２ａと供給ユニット２ｂに連通するように設けられている。そのため、流路部材４の加圧室面４−２に設けられた孔を介して供給ユニット２ｂと流路部材４とが接続されている。個別循環流路９は、流路部材４の第２方向Ｙにおける両端部において第１方向Ｘに配列されている。

そして、流路部材４は、個別供給流路１４を形成する孔と、個別循環流路９を形成する孔とが、第１方向Ｘに交互に配置されている。

外部から液体吐出ヘッド２に供給された液体は、開口５ａを介して供給ユニット２ｂの共通供給流路５に供給される。共通供給流路５に供給された液体は、第１方向Ｘに沿って流れる間に、液体の一部が第１方向Ｘに複数設けられた個別供給流路１４にそれぞれ送出される。

個別供給流路１４に供給された液体は、第３方向Ｚの下方に向けて流れた後、アパーチャ６によって第２方向Ｙに沿って流される。アパーチャ６を流れた液体は、加圧室１０の下方にまで送出される。加圧室１０の下方に送出された液体は、個別供給流路１４を第３方向Ｚの上方に向けて流れ、加圧室１０に供給される。

加圧室１０に供給された液体は、加圧部３０により加圧され第３方向Ｚの下方に向けて部分流路１２を送出される。吐出孔８に供給された液体の多くは、吐出孔８から第３方向Ｚに吐出される。吐出孔８に供給された液体の一部は、第１連通室７にて回収され、第2
方向Ｙにおける両端部に設けられた回収部７ａを介して個別循環流路９に供給される。個別循環流路９に供給された液体は、第３方向Ｚの上方へ向けて送出され、個別循環流路９に接続された共通循環流路３に回収される。共通循環流路３に回収された液体は、共通循環流路３を第１方向Ｘに沿って流され、開口３ａを介して液体は外部へ回収されることとなる。なお、共通循環流路３では、第１方向Ｘに沿って複数設けられた個別循環流路９からそれぞれ液体を回収している。

図４（ｂ）に示すように、圧電アクチュエータ基板２１は、流路部材４の加圧室面４−２上に載置されている。圧電アクチュエータ基板２１は、第２方向Ｙの中央部に配置され、加圧室１０を形成する開口を封止するように載置されている。

圧電アクチュエータ基板２１は、圧電セラミック層２１ａ，２１ｂと、個別電極２５と、共通電極２４とを備えている。

圧電アクチュエータ基板２１は、圧電セラミック層２１ａと、共通電極２４と、圧電セラミック層２１ｂと、個別電極２５とがこの順に積層されており、共通電極２４と個別電極２５とに挟持された領域が、変位素子３０として機能している。

圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極２５がそれぞれ形成されている。個別電極２５は、個別電極本体２５ａと、引出電極２５ｂとを備えている。個別電極本体２５ａは、平面視して、加圧室１０より一回り小さく形成されており、加圧室１０と略相似な円形状をなしている。引出電極２５ｂは、第１方向Ｘあるいは第２方向Ｙに向けて個別電極本体２５ａから引き出されている。個別電極２５は、各加圧室１０に対応して個別に複数設けられている。

また、圧電アクチュエータ基板２１の上面には、共通電極２４とビアホールを介して電気的に接続されている共通電極用表面電極（不図示）が形成されている。共通電極用表面電極と共通電極２４とは、圧電セラミック層２１ｂに配置されたビアホール（不図示）内の導体を通じて、電気的に接続される。

圧電アクチュエータ基板２１の上面には、信号伝達部９２が、電気的に接続される。圧電アクチュエータ基板２１と信号伝達部９２との電気的な接続は、例えば、引出電極２５ｂおよび共通電極用表面電極上に半田バンプを設け、半田バンプを介して行えばよい。共通電極２４は、例えば、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料により形成され、個別電極２５は、例えば、Ａｕ系などの金属材料により形成されている。共通電極２４と個別電極２５とを同様の金属材料により形成してもよい。

共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に第１方向Ｘと第２方向Ｙにより形成される面の全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の全域にわたって形成されている。共通電極２４の厚さは２μｍ程度とすることができる。

共通電極２４は、共通電極用表面電極と圧電セラミック層２１ａを貫通して形成されたビアホールを介して繋がっている。そのため、共通電極用表面電極は、接地され、グランド電位に保持されている。

圧電セラミック層２１ａの個別電極２５と共通電極２４とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極２５に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子３０となっている。より具体的には、個別電極２５を共通電極２４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ａに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。

この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部８８（図１参照）により個別電極２５を共通電極２４に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層２１ａの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ｂは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。

図４，５に示すように、流路部材４は、複数のプレートが第３方向Ｚに積層されて形成されている。流路部材４は、上からキャビティプレート４ａ、アパーチャプレート４ｂ、ベースプレート４ｃ、サーキュレータプレート４ｄ、およびノズルプレート４ｅが配置されている。

各プレート４ａ〜４ｅには多数の孔が形成されている。各プレート４ａ〜４ｅの厚さは１０〜３００μｍ程度であると孔の形成精度を高くできる。そのため、流路部材４の厚さは、５００μｍ〜２ｍｍ程度であることが好ましい。各プレート４ａ〜４ｅは、これらの孔が互いに連通して各種流路を構成するように、位置合わせして積層されている。

キャビティプレート４ａは、第１孔４ａ１と、第２孔４ａ２と、第３孔４ａ３とが設けられている。第１孔４ａ１、第２孔４ａ２、および第３孔４ａ３は貫通孔として形成されている。第１孔４ａ１、第２孔４ａ２、および第３孔４ａ３は、打ち抜き加工、あるいはエッチングにより形成されている。

第１孔４ａ１は、加圧室１０を形成する孔である。第２孔４ａ２は、個別供給流路１４を形成する孔である。第３孔４ａ３は、個別循環流路９を形成する孔である。第２孔４ａ２は第２方向Ｙに２列設けられており、各列の第２孔４ａ２が千鳥状に配置されている。第２方向Ｙの両端に位置する第２孔４ａ２同士の間に第３孔４ａ３が配置されている。

アパーチャプレート４ｂは、第２孔４ｂ２と、第３孔４ｂ３と、第４孔４ｂ４と、第５孔４ｂ５とを備えている。第３孔４ｂ３、および第４孔４ｂ４は貫通孔として形成されている。第２孔４ｂ２、および第５孔４ｂ５は、アパーチャプレート４ｂを貫通しないように溝形状に形成されている。第２孔４ｂ２、第３孔４ｂ３、第４孔４ｂ４、および第５孔４ｂ５は、エッチングにより形成されている。具体的には、第３孔４ｂ３、および第４孔４ｂ４は貫通するようにエッチングされ、第２孔４ｂ２、および第５孔４ｂ５は、貫通しないようにハーフエッチングにより形成されている。

第２孔４ｂ２は、個別供給流路１４を形成する孔である。第３孔４ｂ３は、個別循環流路９を形成する孔である。第４孔４ｂ４は、部分流路１２を形成する孔である。第５孔４ｂ５は、アパーチャ６を形成する孔であり、第２方向にＹの延びるように溝状に設けられている。

第２孔４ｂ２は、キャビティプレート４ａの第２孔４ａ２の下方に配置されている。第３孔４ｂ３は、キャビティプレート４ａの第３孔４ａ３の下方に配置されている。第４孔４ｂ４は、キャビティプレート４ａの第１孔４ａ１の下方に配置されている。第５孔４ｂ５は、一端部が第２孔４ｂ２に接続され、他端部が、キャビティプレート４ａの第１孔４ａ１の下方に配置されている。

ベースプレート４ｃは、第３孔４ｃ３と、第４孔４ｃ４とを備えている。第３孔４ｃ３、および第４孔４ｃ４は貫通孔として形成されている。第３孔４ｃ３、および第４孔４ｃ４は、打ち抜き加工、あるいはエッチングにより形成されている。

第３孔４ｃ３は、個別循環流路９を形成する孔である。第４孔４ｃ４は、部分流路１２を形成する孔である。第３孔４ｃ３は、アパーチャプレート４ｂの第３孔４ｂ３の下方に配置されている。第４孔４ｃ４は、アパーチャプレート４ｂの第４孔４ｂ４の下方に配置されている。

サーキュレータプレート４ｄは、第４孔４ｄ４と、第６孔４ｄ６とを備えている。第４孔４ｄ４は、貫通孔として設けられている。第６孔４ｄ６はサーキュレータプレート４ｄを貫通しないように設けられている。第４孔４ｄ４、および第６孔４ｄ６は、エッチングにより形成されている。

第４孔４ｄ４は、部分流路１２を形成する孔である。第６孔４ｄ６は、主に第１連通室７を形成する孔である。第４孔４ｄ４は、平面視して、第６孔４ｄ６内に設けられており、ベースプレート４ｃの第４孔４ｃ４の下方に配置されている。

そのため、詳細には、第６孔４ｄ６のうち、第４孔４ｄ４上に位置する部分は、部分流路１２を形成しており、第４孔４ｄ４上以外に位置する部分は、第１連通室７を形成している。その結果、流路部材４は、部分流路１２が流路を介さずに直接第１連通室７と連通する構成となる。

第６孔４ｄ６は、平面視して略矩形状の開口部４ｄ６ａと、開口部４ｄ６ａから第２方向Ｙに向けてのびる延伸部４ｄ６ｂを備えている。開口部４ｄ６ａは、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに延びるように設けられており、サーキュレータプレート４ｄの略全面にわたって設けられている。延伸部４ｄ６ｂは、回収部７ａを形成している。延伸部４ｄ６ｂは、ベースプレート４ｃの第３孔４ｃ３の下方に配置されている。

そのため、詳細には、第６孔４ｄ６のうち、延伸部４ｄ６ｂに位置する部分は、個別循環流路９を形成しており、開口部４ｄ６ａに位置する部分は、第１連通室７を形成している。以下、第１連通室７は、開口部４ｄ６ａのうち第４孔４ｄ４上以外に位置する領域として説明する。

開口部４ｂ６ａの第３方向Ｚの厚みは、０．０３〜０．５ｍｍであることが好ましい。それにより、第１連通室７の容積を確保することができる。

ノズルプレート４ｅは、第４孔４ｅ４を備えている。第４孔４ｅ４は、貫通孔として設
けられている。第４孔４ｅ４は、部分流路１２を形成する孔である。第４孔４ｅ４は、サーキュレータプレート４ｄの第４孔４ｄ４の下方に配置されている。

そして、これらのプレート４ａ〜４ｅを積層して、各プレート４ａ〜４ｅを接着剤により接着することにより流路部材４を形成している。そのため、吐出ユニット２ａに形成された個別供給流路１４は、第２孔４ａ２，４ｂ２、および第５孔４ｂ２により形成されている。また、加圧室１０は、第１孔４ａ１により形成されている。部分流路１２は、第４孔４ｂ４，４ｃ４，４ｄ４，４ｅ４と、第６孔４ｄ６のうち第４孔４ｄ４上に位置する部位とにより形成されている。個別循環流路９は、第３孔４ａ３，４ｂ３，４ｃ３と、第６孔４ｄ６の延伸部４ｄ６ｂとにより形成されている。

流路部材４は、複数の部分流路１２に共通して連通する第１連通室７を備えており、第１連通室７が部分流路１２を取り囲むように配置される構成を有している。そのため、部分流路１２における圧力および流量のばらつきを、圧力および流量の小さな第１連通室７により相対的に小さくすることができ、吐出のばらつきの少ない液体吐出ヘッド２とすることができる。

つまり、液体吐出ヘッド２は、加圧室ごとに個別に接続される個別流路が、部分流路１２、個別供給流路１４、および個別循環流路９により構成されている。また、個別流路に共通して接続される共通流路が、共通供給流路５および共通循環流路３に加えて第１連通室７により構成されることとなる。

それにより、共通流路の容積を大きくすることができ、共通流路自体の流路抵抗を小さくすることができる。その結果、個別流路の圧力および流量にばらつきが生じた場合においても、共通流路の流路抵抗が小さくなることにより、個別流路の圧力および流量のばらつきを相対的に小さくすることができる。それゆえ、液体吐出ヘッド２に吐出のばらつきが生じる可能性を低減することができる。

なお、個別流路とは、加圧室１０ごとに個別に独立して設けられた流路であり、共通流路とは、個別流路に共通して接続された流路である。

また、第１連通室７が複数の部分流路１２を取り囲むように設けられている。そのため、第１連通室７が吐出ユニット２ａに形成されることとなる。その結果、供給ユニット２ｂを大きくすることなく、共通流路の容積を大きくすることができ、共通流路の流路抵抗を小さくすることができる。

また、第１連通室７が部分流路１２を取り囲むように配置されている。そのため、部分流路１２が流路を介さずに直接第１連通室７と連通する構成となっている。言い換えると、第１連通室７のうち、ベースプレート４ｃの第４孔４ｃ４と、ノズルプレート４ｅの第４孔４ｅ４との間に位置する領域が、部分流路１２として構成されている。

部分流路１２は、加圧室１０ごとに設けられているため、部分流路１２もマトリックス状に設けられており、平面視して、部分流路１２同士の間の空間について従来は有効活用できていなかったが、液体吐出ヘッド２は、部分流路１２同士の間の空間に第１連通室７が形成される構成となっている。そのため、部分流路１２同士の間の空間を利用して、共通流路の圧力および流量を小さくすることができ、吐出のばらつきの低減した液体吐出ヘッド２とすることができる。

さらにまた、第１連通室７が部分流路１２に連通するように、加圧室１０と吐出孔８との間に形成されることにより、液体の吐出量に応じて、サーキュレータプレート４ｄの第
６孔４ｄ６を構成する部位が変形することができ、第１連通室７をダンパとして機能させることができる。

また、流路部材４は、複数の部分流路１２に共通して連通する第１連通室７を備えており、第１連通室７が部分流路１２を取り囲むように配置されている。そのため、部分流路１２が、流路を介さずに直接第１連通室７と連通することとなる。それにより、部分流路１２の途中に、流路抵抗の大きな第１連通室７と流路を介さずに連通することができ、部分流路１２の圧力および流量に生じるばらつきを低減することができる。

すなわち、部分流路１２は、加圧室１０に対応して個別に設けられるため、部分流路１２ごとに圧力および流量にばらつきが生じる可能性があるが、部分流路１２の途中に共通して連通する第１連通室７を設けることにより、部分流路１２の圧力および流量のばらつきを、第１連通室７の大きな流路抵抗により相対的に小さくすることができる。そして、部分流路１２が、流路を介さずに第１連通室７に連通されることにより、部分流路１２の圧力および流量が大きくなることを抑えることができる。その結果、部分流路１２の圧力および流量のばらつきを低減することができる。

また、第１連通室７の流路抵抗が、部分流路１２の流路抵抗よりも大きいことが好ましく、第１連通室７の流路抵抗が、部分流路１２の流路抵抗の１／１０〜１／１００であることが好ましい。それにより、個別流路の流路抵抗のばらつきを、第１連通室７により相対的に小さくすることができる。また、第１連通室７の流路抵抗が、部分流路１２の流路抵抗の１／５０〜１／１００であることがさらに好ましい。それにより、個別流路の圧力および流量のばらつきをさらに相対的に小さくすることができる。

また、吐出ユニット２ａは、第１連通室１２から液体を回収する個別循環流路９を備えている。そのため、液体が流路部材４の内部を循環する構成となり、各種の流路内で液体が滞留する可能性を低減することができ、液体に含まれる顔料が吐出孔８につまる可能性を低減することができる。

特に、吐出ユニット２ａは、部分流路１２から液体の一部を回収し液体を循環させている。そのため、吐出孔８に近い部位である部分流路１２の液体の流動を行うことができる。その結果、吐出孔８に顔料のつまりが生じる可能性を低減することができる。

また、個別供給流路１４と個別循環流路９とが、第１方向Ｘに交互に配列されている。そのため、加圧室１０を最適配置しつつ、個別供給流路１４と個別循環流路９とをコンパクトに配置することができる。その結果、吐出ユニット２ａを小型化することができる。

つまり、加圧室１０を千鳥配置とすることにより、限られた空間において、スペースを有効的に活用し、少ない面積で密に加圧室１０を設けることができる。そして、複数のアパーチャ６は、圧力および流量にばらつきが出ないように、同程度の流路の容積が必要とされるため、第２方向Ｙの長さは略均一な長さとされる。その結果、アパーチャ６も千鳥配置となり、個別供給流路１４も千鳥配置となる。そのため、第１方向Ｘに隣り合う個別供給流路１４の間の空間がデッドスペースとなるが、吐出ユニット２ａは、デッドスペースに個別循環流路９を配置することにより、スペースを有効活用することができ、吐出ユニット２ａの小型化を図ることができる。

なお、吐出ユニット２ａでは、流路部材４をプレート積層により形成する例を示したがこれに限定されるものではない。例えば、３Ｄ印刷により作製してもよい。

＜第２の実施形態＞
図６を用いて液体吐出ヘッド１０２について説明する。液体吐出ヘッド１０２は、サーキュレータプレート１０４ｄの構成が液体吐出ヘッド２と異なっている。なお、液体吐出ヘッド２と同一の部材については同一の符号を付し、説明を省略する。また、図６（ｂ）においては、ベースプレート４ｃ、サーキュレータプレート１０４ｄ、およびノズルプレート４ｅのみを示している。

サーキュレータプレート１０４ｄは、第４孔４ｄ４と、第６孔４ｄ６と、保持部１１とを備えている。保持部１１は、第６孔４ｄ６の開口部４ｄ６ａに形成されており、開口部４ｄ６ａから第３方向Ｚに突出している。第４孔４ｄ４、第６孔４ｄ６、および保持部１１は、エッチングにより形成されている。

保持部１１は、平面視して半円形状をなしており、第１連通室７の部分流路１２以外の領域に複数設けられている。保持部１１は第４孔４ｄ４に対応して設けられており、言い換えると、部分流路１２に対応して設けられており、部分流路１２の周囲に配置されている。保持部１１の第３方向Ｚの長さは、０．０３〜０．５ｍｍであることが好ましい。

このように、第１連通室７の部分流路１２以外の領域に保持部１１を設けることにより、部分流路１２を確保することができる。すなわち、部分流路１２は、第１連通室７と流路を隔てずに設けられており、第１連通室７の一部の空間に部分流路１２が形成されている。そのため、液体吐出ヘッド１０２の駆動の際の熱により、流路部材４が熱膨張して変形した場合に、部分流路１２に位置ずれが生じる場合、あるいは流路部材４に第３方向Ｚに外力が生じて部分流路１２が変形し、部分流路１２の流れを確保できない可能性がある。

これに対して、液体吐出ヘッド１０２は、保持部１１が部分流路１２の周囲に配置されており、保持部１１が第３方向Ｚの高さを確保している。それにより、保持部１１が第３方向Ｚのつぶれを抑えることができ、部分流路１２が塞がれる可能性を低減することができる。

また、ベースプレート４ｃとサーキュレータプレート１０４ｄとの接触が保持部１１によって支えられることとなる。そのため、第１連通室７の第３方向Ｚの高さがばらつく可能性を低減することができ、第１連通室７の容積の第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに対するばらつきを小さくすることができる。その結果、部分流路１２の周囲に位置する第１連通室７の圧力および流量を均一に近づけることができ、部分流路１２の圧力および流量のばらつきをさらに小さくすることができる。

保持部１１は、平面視して、第１連通室７の全領域に対して１〜５０％の領域に設けることが好ましい。言い換えると、保持部１１の第１連通室７における平面視面積占有率は、１〜５０％であることが好ましい。それにより、部分流路１２を確保しつつ、第１連通室７の容積を確保することができる。

なお、保持部１１を部分流路１２に対応して複数設けた例を示したが、第１連通室７に１つのみ設けてもよい。その場合は、保持部１１を第１方向Ｘにおける中央部、かつ第２方向Ｙにおける中央部に配置することが好ましい。また、保持部１１が、平面視して、半円形状をなしている例を示したが、これに限定されるものではなく、矩形上、円形状、あるいは楕円形状であってもよい。

＜第３の実施形態＞
図７を用いて第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド２０２について説明する。液体吐出ヘッド２０２は、サーキュレータプレート２０４ｄの構成が液体吐出ヘッド２と異なって
おり、その他の点は同一である。

サーキュレータプレート２０４ｄは、第４孔４ｄ４と、第６孔４ｄ６と、一対の保持部２１１とを備えている。一対の保持部２１１は第１方向Ｘに間隔をあけて配置されており、一対の保持部２１１によって保持流路２１３が形成されている。一対の保持部２１１の間隔は、部分流路１２の径と略同一の長さとなっている。

一対の保持部２１１は、平面視して、それぞれ半円形状をなしており、一対の保持部２１１全体で略円形状をなしている。保持部２１１は、加圧室１０の下方に配置されており、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに広がるように複数設けられている。

この一対の保持部２１１の平面視面積は、加圧室１０（図４参照）の平面視面積よりも大きいことが好ましく、円形状の加圧室１０と一対の保持部２１１とが同心円状に配置されることが好ましい。それにより、加圧室１０の下方に、加圧室１０よりも大きな保持部２１１が配置されることとなり、加圧室１０の下方の剛性を高めることができる。そのため、加圧室１０の変位が小さくなる可能性を低減することができる。

保持流路２１３は、一対の保持部２１１により形成されており、部分流路１２と第１連通室７とを接続している。保持流路２１３は、部分流路１２から第２方向Ｙの一方側および他方側に引き出されている。そのため、本実施形態において第１連通室７は、開口部６ｄ６ａのうち第４孔４ｄ４と、保持流路２１３とを除いた領域により形成されている。

保持流路２１３の第１方向Ｘの長さは、部分流路１２と略同様の３０〜６００μｍであり、保持流路２１３の第２方向Ｙの長さは、３０〜６００μｍである。それにより、保持流路２１３の流路抵抗を第１連通室７の流路抵抗に比べて非常に大きくすることができる。

液体吐出ヘッド２０２は、第１連通室７の部分流路１２以外の領域に保持部２１３が部分流路１２ごとに設けられており、保持部２１３が部分流路１２から第１連通室７に液体を供給する保持流路２１３を形成する構成を有している。そのため、第１連通室７と第３方向Ｚにおいて同じ高さに位置する部分流路１２につぶれが生じる可能性をさらに抑えることができる。それにより、液体吐出ヘッド２０２の吐出に不具合が生じる可能性を低減することができる。

液体吐出ヘッド２０２は、隣り合う保持流路２１３同士が第１方向Ｘにずれて配置されている。その結果、一方の保持部２１１に対応する部分流路１２を流れる液体と、他方の保持部２１１に対応する部分流路１２を流れる液体とが干渉しあう可能性を低減することができる。

さらには、液体吐出ヘッド２０２は、第２方向Ｙに隣り合う保持流路２１３同士が対向していない構成を有している。そのため、一方の保持部２１１と他方の保持部２１１とが隣り合っていた場合に、一方の保持部２１１の保持流路２１３から流れ出た液体が、他方の保持部２１１の保持流路２１３に流れ込む可能性をさらに低減することができる。

なお、保持流路２１３が第２方向Ｙに沿って延びる形状を示したが、第１方向Ｘに沿って延びていてもよく、その他の方向に沿って延びていてもよい。また、保持部２１１ごとに保持流路２１１の向きを異なるようにしてもよい。

また、保持部２１１が一対の半円形上の保持部により形成された例を示したがこれに限定されるものではなく、保持部２１１の一部に保持流路２１３が形成されていてもよい。
例えば、平面視して、Ｃの字状の保持部２１１でもよい。

＜第４の実施形態＞
図８，９を用いて第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド３０２について説明する。液体吐出ヘッド３０２は、キャビティプレート３０４ａ、およびアパーチャプレート３０４ｂの構成が異なっており、その他の構成は液体吐出ヘッド２と同様である。それゆえ、本実施形態においては、第３流路である個別循環流路を備えない構成となる。

キャビティプレート３０４ａは、第１孔４ａ１と、第２孔３０４ａ２と、第３孔４ａ３とが設けられている。第１孔４ａ１、第２孔３０４ａ２、および第３孔４ａ３は貫通孔として形成されている。第２孔３０４ａ２は、個別供給流路１４を形成する孔であり、第２方向Ｙに１列のみ設けられている。第２孔３０４ａと第３孔４ａ３とは、第２方向Ｙの両端部において、交互に一列に配列されている。

アパーチャプレート３０４ｂは、第３孔３０４ｂ３と、第４孔３０４ｂ４と、アパーチャ形成部材３１５と、第７孔３０４ｂ７とを備えている。第３孔３０４ｂ３と、第４孔３０４ｂ４とは貫通するように設けられており、第７孔３０４ｂ７は、貫通しないように設けられている。第７孔３０４ｂ７は第２連通室５０を形成する。

第３孔３０４ｂ３は、キャビティプレート３０４ａの第３孔３０４ａ３と、ベースプレート４ｃの第３孔４ｃ３との間に配置されている。第４孔３０４ｂ４は、キャビティプレート３０４ａの第１孔４ａ１と、ベースプレート４ｃの第４孔４ｃ４との間に配置されている。第７孔３０４ｂ７は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに延びるように設けられており、アパーチャプレート３０４ｂの略全面にわたって設けられている。

第７孔３０４ｂ７に、第３孔３０４ｂ３と、第４孔３０４ｂ４と、アパーチャ形成部材３１５とが形成されている。第３孔３０４ｂ３の周囲には仕切り３１８が設けられており、仕切り３１８によって第３孔３０４ｂ３と第７孔３０４ｂ７とが仕切られている。それにより、個別循環流路９と第２連通室５０とが仕切られている。

第４孔３０４ｂ４の周囲にはアパーチャ形成部材３１５が設けられており、アパーチャ形成部材３１５によって第４孔３０４ｂ４と第７孔３０４ｂ７とが仕切られている。それにより、部分流路１２と第２連通室５０とが仕切られている。

アパーチャ形成部材３１５は、アパーチャ形成部３１６と切欠部３１７とを備えている。アパーチャ形成部３１６は、第３方向Ｚに突出しており、平面視して中央が円形にくり抜かれた略円形状をなしている。アパーチャ形成部３１６の外形は、加圧室１０の内径と略同一に形成されている。切欠部３１７は、アパーチャ形成部３１６の外周の一部を切り欠くように形成されている。

図９（ｂ）に示すように、加圧室１０の下方にアパーチャ形成部材３１５が配置されている。そして、アパーチャ形成部材３１５の切欠部３１７によって第２連通室５０と加圧室１０とは連通されており、この切欠部３１７により形成される個別供給流路３１４が、アパーチャ３０６となっている。

供給ユニット３０２ａに供給された液体は、流路部材４の加圧室面４−２に設けられた孔から流路部材４に供給される。個別供給流路３１４に供給された液体は、第３方向Ｚの下方に向けて流されて、第２連通室５０に送出される。第２連通室５０に供給された液体は、第２連通室５０に複数設けられたアパーチャ形成部材３１５により形成されたアパーチャ３０６を通って第３方向Ｚの上方に向けて流され加圧室１０へ送出される。加圧室１
０以降の液体の流れは液体吐出ヘッド２と同様である。

そのため、本実施形態において、個別流路は、アパーチャ３０６を含む個別供給流路３１４、および個別循環流路９となり、共通流路は、共通供給流路５、第２連通室５０、第１連通室７、および共通循環流路３となる。

液体吐出ヘッド３０２は、アパーチャ３０６に共通して連通する第２連通室５０が設けられており、アパーチャ３０６を取り囲むように第２連通室５０が配置されている。そのため、アパーチャ３０６における圧力および流量のばらつきを、流路抵抗の小さな第２連通室５０により相対的に小さくすることができ、吐出のばらつきの少ない液体吐出ヘッド３０２とすることができる。

すなわち、第２連通室５０を設けることにより、共通流路の容積を大きくすることができ、共通流路自体の流路抵抗を小さくすることができる。その結果、アパーチャ３０６の圧力および流量のばらつきにより、個別流路の圧力および流量にばらつきが生じた場合においても、共通流路が流路抵抗の小さくなることにより、個別流路の圧力および流量のばらつきを相対的に小さくすることができる。それゆえ、液体吐出ヘッド３０２に吐出のばらつきが生じる可能性を低減することができる。

また、第２連通室５０がアパーチャ３０６を取り囲むように配置されている。そのため、アパーチャ３０６が流路を介さずに直接第２連通室５０と連通する構成となっている。言い換えると、第２連通室５０のうち、アパーチャプレート３０４ｂのアパーチャ形成部材３１５の切欠部３１７に位置する領域が、アパーチャ３０６として構成されている。

そのため、液体吐出ヘッド３０２は、アパーチャ３０６同士の間の空間に第２連通室５０が形成される構成となっている。それゆえ、アパーチャ３０６同士の間の空間を利用して、共通流路の流路抵抗を小さくすることができ、吐出のばらつきの低減した液体吐出ヘッド３０２とすることができる。

なお、アパーチャ形成部材３１６の外形の平面視面積が、加圧室１０の平面視面積よりも小さくてもよい。その場合、加圧室１０と、アパーチャ形成部材３１６との位置決めを容易に行うことができる。

＜第５の実施形態＞
図１０，１１を用いて第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド４０２について説明する。液体吐出ヘッド４０２は、サーキュレータプレート４ｄ（図８参照）を備えていない点で、液体吐出ヘッド３０２と構成が異なっている。

液体吐出ヘッド４０２は、流路部材４０４が、キャビティプレート４０２ａと、アパーチャプレート４０４ｂと、ベースプレート４０４ｃと、ノズルプレート４ｅとを備えている。そのため、流路部材４０４は、共通供給流路３１４と、アパーチャ３０６と、第２連通室５０と、加圧室１０と、部分流路１２と、吐出孔８とを備えている。

また、キャビティプレート４０４ａが第３孔３０４ａ３（図８参照）を備えていない点で、キャビティプレート３０４ａと構成が異なっている。また、アパーチャプレート４０４ｂが、第３孔３０４ｂ３（図８参照）および仕切り３１７（図８参照）を備えていない点で、アパーチャプレート３０４ｂと構成が異なっている。また、ベースプレート４０４ｄが、第３孔４ｄ３（図８参照）を備えていない点で、ベースプレート４ｄと構成が異なっている。

このように、流路部材４０４が第１連通室７（図４参照）を備えずに、第２連通室５０のみを備えていても、共通流路の流路抵抗を第２連通室５０の分だけ小さくすることができる。それにより、個別流路の圧力および流量のばらつきを相対的に小さくすることができ、吐出ばらつきの低減した液体吐出ヘッド４０２とすることができる。

また、第２連通室５０の流路抵抗が、アパーチャ３０６の流路抵抗よりも小さいことが好ましく、第２連通室５０の流路抵抗が、アパーチャ３０６の流路抵抗の１／１０〜１／１００であることが好ましい。それにより、個別流路の圧力および流量のばらつきを、第２連通室５０により相対的に小さくすることができる。また、第２連通室５０の流路抵抗が、アパーチャ３０６の流路抵抗の１／５０〜１／１００であることがさらに好ましい。それにより、個別流路の圧力および流量のばらつきをさらに相対的に小さくすることができる。

以上、第１〜第５の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、第１の実施形態である液体吐出ヘッド２を用いたプリンタ１を示したが、これに限定されるものではなく、他の実施形態に係る液体吐出ヘッド２をプリンタ１に用いてもよい。また、複数の実施形態を適宜組み合わせてもよい。

また、加圧部として、加圧室１０を圧電アクチュエータの圧電変形によりを加圧する例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、加圧室１０ごとに発熱部を設け、発熱部の熱により加圧室１０の内部の液体を加熱し、液体の熱膨張により加圧する加圧部としてもよい。

１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・吐出ユニット
２ｂ・・・供給ユニット
３・・・共通循環流路
４・・・流路部材
４ａ・・・キャビティプレート
４ｂ・・・アパーチャプレート
４ｃ・・・ベースプレート
４ｄ・・・サーキュレータプレート
４ｅ・・・ノズルプレート
４−１・・・吐出孔面
４−２・・・加圧室面
５・・・共通供給流路
５ａ・・・（共通供給流路の）開口
６・・・アパーチャ
７・・・第１連通室
８・・・吐出孔
９・・・個別循環流路
１０・・・加圧室
１１・・・保持部
１２・・・個別供給流路
１３・・・保持流路
１４・・・個別供給流路
１５・・・第２連通室
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２４・・・共通電極
２５・・・個別電極
２５ａ・・・個別電極本体
２５ｂ・・・引出電極
３０・・・変位素子（加圧部）
５０・・・第２連通室
７０・・・（ヘッド搭載）フレーム
７２・・・ヘッド群
８０ａ・・・給紙ローラ
８０ｂ・・・回収ローラ
８２ａ・・・ガイドローラ
８２ｂ・・・搬送ローラ
８８・・・制御部
９２・・・信号伝達部
Ｐ・・・印刷用紙

Claims (13)

1. 複数の吐出孔、
   複数の該吐出孔と個別に接続された複数の第１流路、
   該第１流路に個別に接続された複数の加圧室、および
   複数の該加圧室に共通して接続された第２流路、を備える流路部材と、
   複数の前記加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備え、
   複数の前記第１流路に共通して連通する第１連通室が設けられており、複数の前記第１流路を取り囲むように前記第１連通室が配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第１連通室の流路抵抗が、前記第１流路の流路抵抗よりも小さい、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１連通室の流路抵抗が、前記第１流路の流路抵抗の１／１０〜１／１００である、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１連通室の前記第１流路以外の領域に、前記第１流路を保持するための保持部が設けられている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１連通室から前記液体を回収する第３流路をさらに備える、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１連通室の前記第１流路以外の領域に、前記第１流路を保持するための保持部が前記第１流路ごとに設けられており、
   該保持部が前記第１流路から前記第１連通室に液体を供給する保持流路を形成している、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 隣り合う前記保持流路同士が一方方向にずれて配置されている、請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第２流路と複数の前記加圧室とに個別に接続された複数の第４流路をさらに備え、
   前記流路部材が一方方向に長く形成されており、
   複数の前記第３流路と複数の前記第４流路とが、一方方向に交互に配列されている、請求項５乃至７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 複数の前記第４流路に共通して連通する第２連通室が設けられており、複数の前記第４流路を取り囲むように前記第２連通室が配置されている、請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
10. 複数の吐出孔、
    複数の該吐出孔と個別に接続された複数の第１流路、
    該第１流路に個別に接続された複数の加圧室、
    複数の該加圧室に共通して接続された第２流路、および
    複数の前記加圧室と前記第２流路とに個別に接続された複数の第４流路、を備える流路部材と、
    複数の前記加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備え、
    複数の前記第４流路に共通して連通する第２連通室が設けられており、前記第４流路を取り囲むように前記第２連通室が配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
11. 前記第２連通室の流路抵抗が、前記第４流路の流路抵抗よりも小さい、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記第２連通室の流路抵抗が、前記第４流路の流路抵抗の１／１０〜１／１００である、請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
13. 請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
    記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、
    前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする記録装置。

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