JP2015134659A - 物品搬送台車 - Google Patents
物品搬送台車 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015134659A JP2015134659A JP2014006065A JP2014006065A JP2015134659A JP 2015134659 A JP2015134659 A JP 2015134659A JP 2014006065 A JP2014006065 A JP 2014006065A JP 2014006065 A JP2014006065 A JP 2014006065A JP 2015134659 A JP2015134659 A JP 2015134659A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- article
- support
- pressing
- height
- interval
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 90
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 4
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67775—Docking arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
- B65G35/06—Mechanical conveyors not otherwise provided for comprising a load-carrier moving along a path, e.g. a closed path, and adapted to be engaged by any one of a series of traction elements spaced along the path
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Special Conveying (AREA)
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
Abstract
【解決手段】走行経路に沿って走行する台車本体13と、物品Wの底面を下方から支持する支持部23と、突出位置及び引退位置に支持部23を水平方向に沿って出退移動させる出退用駆動部と、引退位置の支持部23に支持された物品Wの直上に位置する押圧部15と、支持部23と押圧部15との上下方向での間隔を押圧間隔と離間間隔とに切り換える間隔切換用駆動部と、を備える。
【選択図】図7
Description
前記引退位置の前記支持部に支持された物品の直上に位置する押圧部と、前記引退位置の前記支持部と前記押圧部とを上下方向に接近させて前記支持部に支持された物品に前記押圧部が上方から押圧する押圧間隔と、前記引退位置の前記支持部と前記押圧部とを上下方向に離間させて前記支持部の出退移動を許容する離間間隔と、に前記引退位置の前記支持部と前記押圧部との上下方向での間隔を切り換える間隔切換用駆動部と、を備えている点にある。
また、物品を支持した支持部を引退位置に位置させた状態では、押圧部が物品の真上に位置しているので、間隔切換用駆動部にて支持部と押圧部との間隔を押圧間隔に切り換えることで、押圧部を支持部に支持された物品に対して上方から押圧させることができる。
また、移載対象箇所に物品が存在せず且つ支持部にて物品を支持している状態から、掬い高さの支持部を引退位置から突出位置に突出始動させた後、支持部を掬い高さから降ろし高さに下降させ、その後、支持部を突出位置から引退位置に引退させることで、支持部に支持している物品を移載対象箇所に降ろすことができる。
このように、支持部の出退移動及び昇降移動により移載対象箇所との間で物品を移載できるので、移載対象箇所に物品を支持部に対して載せ降ろしする装置を設ける必要がなく、移載対象箇所の構成の簡素化を図ることができる。
よって、移載用昇降駆動部の他に、支持部と押圧部との間隔を離間間隔と押圧間隔とに切り換える専用の駆動部を設ける必要がなく、支持部を出退移動及び昇降移動させる構成の簡素化を図ることができる。
つまり、支持部と押圧部との間隔を押圧間隔に切り換えるときに弾性部材が弾性変形することで、押圧部は物品に接触することで物品に対して相対的に上方に退避できるので、物品が押圧部に押し付けられることによる押圧部や物品の破損を未然に防止することができる。
また、支持部と押圧部との間隔を押圧間隔に切り換えた状態では、弾性部材の付勢力により押圧部が物品に押圧されているため、物品を支持部にてより安定した状態で支持できる。
図1及び図2に示すように、搬送設備には、走行経路に沿って天井側に配設された走行レール1と、その走行レール1に案内支持されて走行経路に沿って走行自在な物品搬送台車としての天井搬送車2と、走行経路の横側方に設置されて物品Wを保管する保管棚3と、が設けられている。天井搬送車2は、他の箇所から搬送してきた物品Wを保管棚3に搬送し、保管棚3に保管されている物品Wを他の箇所に搬送するように構成されている。
尚、天井搬送車2の走行方向に沿う方向を前後方向、その前後方向と平面視で直交する方向を横幅方向と称する。また、横幅方向の一方を横側方と称して説明する場合がある。
図8は、物品Wの上部と後述する押圧部15とを示す図であるが、図8に示すように、物品Wには、複数枚の基板を収容する収容部5と、この収容部5の上面に連結されて物品Wの上端部に位置するフランジ部7と、が備えられている。ちなみに、本実施形態の天井搬送車2は、収容部5(物品W)の底面を支持する状態で物品Wを搬送する載置支持式の搬送車だが、図示は省略するが、フランジ部7の下面を下方から支持した状態で物品Wを搬送する吊り下げ式の搬送車もあり、物品Wは、このような吊り下げ式の搬送車にて物品Wを吊り下げ支持した状態で搬送できるようになっている。尚、吊り下げ式の搬送車には、フランジ部7に対する支持が外れたときに床面に落下しようとする物品Wを下方から受け止めるために、吊り下げ支持した物品Wの下方に水平方向に移動自在な落下防止体を設けている場合がある。これに対して、載置支持式の搬送車は、物品Wの底面を載置支持して物品Wを下方から受け止めている状態で支持しているため、別途落下防止体を設ける必要がない構成となっている。
図8に示すように、フランジ部7の上面(物品Wの上面)には、下方に凹入する形状に形成された上面凹部8が備えられている。この上面凹部8は、天井搬送車2の押圧部15が嵌合するように、フランジ部7における前後方向の中心で且つ横幅方向の中心に形成されている。
尚、本実施形態では、物品Wは基板として半導体ウェハを収容するFOUPである。
図2及び図9に示すように、保管棚3は、天井搬送車2が走行する走行経路の横側方に、その走行経路に沿って複数設けられている。この保管棚3は、走行経路を走行する天井搬送車2と同じ高さに設けられている。
尚、この複数の保管棚3の夫々が、天井搬送車2の台車本体13に対して横側方に位置する物品移載箇所に相当する。
また、保管支持体10には、物品Wの底面凹部6に係合する保管突起部11が3箇所に備えられている。保管支持体10は、3箇所の保管突起部11を物品Wの底面凹部6に係合させた状態で物品Wを支持することで、物品Wを保管支持体10上における予め設定された保管位置に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
図1及び図2に示すように、天井搬送車2は、天井側に配設された走行レール1に案内支持された状態で走行経路に沿って走行する台車本体13と、保管棚3と自己との間で物品Wを移載する移載装置14と、移載装置14に支持された物品Wに対して上方から押圧する押圧部15と、を備えている。
台車本体13は、走行レール1上を走行経路に沿って走行する走行部17と、走行レール1の下方に位置するように走行部17に吊り下げ支持され且つ移載装置14及び押圧部15を支持する本体部18と、を備えて構成されている。
また、搬送支持体23には、物品Wの底面凹部6に係合する搬送突起部26が3箇所に備えられている。搬送支持体23は、3箇所の搬送突起部26を物品Wの底面凹部6に係合させた状態で物品Wを支持することで、物品Wを搬送支持体23上における予め設定された保管位置に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
そして、移載装置14は、出退用モータ24の駆動により基部27に対して中継部28をスライド移動させることで、先端部29を横幅方向に沿って出退移動させて搬送支持体23を突出位置と引退位置とに出退移動させるように構成されている。
突出位置は、本体部18に対して横側方に位置する保管支持体10に向けて突出させた位置であり、突出位置の搬送支持体23は、本体部18に対して横側方の外部に位置している。また、引退位置は、突出位置から台車本体13側に引退させた位置であり、引退位置の搬送支持体23は、本体部18の内部空間に位置している。
つまり、昇降用モータ25が、引退位置の搬送支持体23と押圧部15との上下方向での間隔を押圧間隔と離間間隔とに切り換える間隔切換用駆動部32を兼用している。
図8に示すように、接触部34は、図8(a)に示す基本位置から下方への移動は規制部材(図示せず)にて規制されており、この規制位置からの上方への移動は、図8(b)に示すように、スプリング35の付勢力に抗して移動可能に構成されている。
接触部34は、下方側ほど小径となる円錐状のものの下端を切り欠いた形状に形成されている。上面凹部8も同様に、下方側ほど小径となる円錐状のものの下端を切り欠いた形状に凹入形成されており、接触部34は、上面凹部8と嵌合する形状に形成されている。
ちなみに、スプリング35が、搬送支持体23と押圧部15との間隔が離間間隔から押圧間隔に切り換わるに伴って搬送支持体23に支持された物品Wに押圧部15が接触することで弾性変形する弾性部材に相当する。
制御装置Hは、搬送対象の保管棚3に対して予め設定された走行停止位置に天井搬送車2を走行移動させるべく、台車本体13(走行用モータ19)の作動を制御するように構成されている。また、制御装置Hは、物品Wを天井搬送車2と保管棚3との間で移載するべく、移載装置14(出退用モータ24及び昇降用モータ25)の作動を制御するように構成されている。
そのため、搬送支持体23に支持されている物品Wは押圧部15にて上方から押圧されており、この後に天井搬送車2を走行移動させるときは、押圧部15にて物品Wを上方から押圧した状態で天井搬送車2を走行移動させることができ、物品Wが搬送支持体23から浮上することを防止できる。
(1)上記実施形態では、移載用昇降駆動部が、スライド体30に対して搬送支持体23を昇降移動させる構成を例示したが、これに限らず、移載用昇降駆動部が、台車本体13に対して移載装置14を昇降移動させる構成でもよい。
具体的には、例えば、移載用昇降駆動部を、台車本体13に対して移載装置14を昇降移動させることで搬送支持体23を降ろし高さH1と掬い高さH2とに昇降するように構成し、間隔切換用駆動部32を、スライド体30に対して搬送支持体23を昇降移動させることで搬送支持体23と押圧部15との間隔を押圧間隔と離間間隔とに切り換えるように構成してもよい。
尚、弾性部材としては、スプリング35の他にゴムや発泡ウレタン等でもよい。
また、物品搬送台車を、天井側に配設された走行レール1に案内支持される天井搬送車2としたが、物品搬送台車を、床面上に配設された走行レールに案内支持される床面搬送車としてもよい。
2 天井搬送車(物品搬送台車)
3 保管棚(移載対象箇所)
13 台車本体
15 押圧部
23 搬送支持体(支持部)
24 出退用モータ(出退用駆動部)
25 昇降用モータ(移載用昇降駆動部)
32 間隔切換用駆動部
35 スプリング(弾性部材)
H1 降ろし高さ
H2 掬い高さ
H3 押圧高さ
W 物品
Claims (4)
- 走行経路に沿って走行する台車本体と、
物品の底面を下方から支持する支持部と、
前記台車本体に対して横側方に位置する移載対象箇所に向けて突出させた突出位置、及び、当該突出位置から前記台車本体側に引退させた引退位置に、前記支持部を水平方向に沿って出退移動させる出退用駆動部と、を備えている物品搬送台車であって、
前記引退位置の前記支持部に支持された物品の直上に位置する押圧部と、
前記引退位置の前記支持部と前記押圧部とを上下方向に接近させて前記支持部に支持された物品に前記押圧部が上方から押圧する押圧間隔と、前記引退位置の前記支持部と前記押圧部とを上下方向に離間させて前記支持部の出退移動を許容する離間間隔と、に前記引退位置の前記支持部と前記押圧部との上下方向での間隔を切り換える間隔切換用駆動部と、を備えている物品搬送台車。 - 前記台車本体が、天井側に配設された走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在に構成され、
前記支持部を掬い高さと当該掬い高さより低い降ろし高さとに昇降させる移載用昇降駆動部と、を備えている請求項1記載の物品搬送台車。 - 前記支持部の高さとして、前記掬い高さより高く且つ前記押圧部との上下方向での間隔が前記押圧間隔となる押圧高さが設定され、
前記掬い高さが、前記押圧部との上下方向での間隔が前記離間間隔となる高さに設定され、
前記移載用昇降駆動部が、前記支持部の高さを前記掬い高さ、降ろし高さ及び押圧高さに昇降させるように構成されて、前記間隔切換用駆動部に兼用されている請求項2記載の物品搬送台車。 - 前記押圧部は、前記支持部と前記押圧部との間隔が前記離間間隔から前記押圧間隔に切り換わるに伴って前記支持部に支持された物品に前記押圧部が接触することで弾性変形する弾性部材を有している請求項1〜3のいずれか1項に記載の物品搬送台車。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014006065A JP6102759B2 (ja) | 2014-01-16 | 2014-01-16 | 物品搬送台車 |
TW103143013A TWI634066B (zh) | 2014-01-16 | 2014-12-10 | 物品搬送台車 |
SG10201500011QA SG10201500011QA (en) | 2014-01-16 | 2015-01-02 | Article transport carriage |
KR1020150002584A KR102319927B1 (ko) | 2014-01-16 | 2015-01-08 | 물품 반송 대차 |
US14/595,719 US9536766B2 (en) | 2014-01-16 | 2015-01-13 | Article transport carriage |
CN201510021768.1A CN104787530B (zh) | 2014-01-16 | 2015-01-16 | 物品输送台车 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014006065A JP6102759B2 (ja) | 2014-01-16 | 2014-01-16 | 物品搬送台車 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015134659A true JP2015134659A (ja) | 2015-07-27 |
JP6102759B2 JP6102759B2 (ja) | 2017-03-29 |
Family
ID=53520733
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014006065A Active JP6102759B2 (ja) | 2014-01-16 | 2014-01-16 | 物品搬送台車 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9536766B2 (ja) |
JP (1) | JP6102759B2 (ja) |
KR (1) | KR102319927B1 (ja) |
CN (1) | CN104787530B (ja) |
SG (1) | SG10201500011QA (ja) |
TW (1) | TWI634066B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019018924A (ja) * | 2017-07-11 | 2019-02-07 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6102759B2 (ja) * | 2014-01-16 | 2017-03-29 | 株式会社ダイフク | 物品搬送台車 |
JP6048686B2 (ja) * | 2014-09-25 | 2016-12-21 | 村田機械株式会社 | 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法 |
JP6435795B2 (ja) * | 2014-11-12 | 2018-12-12 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6460015B2 (ja) * | 2016-03-07 | 2019-01-30 | 株式会社ダイフク | 容器搬送設備 |
JP6809062B2 (ja) * | 2016-09-09 | 2021-01-06 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6702106B2 (ja) * | 2016-09-09 | 2020-05-27 | 株式会社ダイフク | 物品搬送装置 |
JP6586936B2 (ja) * | 2016-09-21 | 2019-10-09 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6987017B2 (ja) * | 2018-05-14 | 2021-12-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 反応管ユニットの搬送方法 |
CN109605423A (zh) * | 2019-01-30 | 2019-04-12 | 上海钛米机器人科技有限公司 | 升降装置及机器人 |
CN111824690B (zh) * | 2019-04-20 | 2023-07-18 | 青岛经济技术开发区海尔热水器有限公司 | 悬挂输送装置 |
US11295973B2 (en) * | 2020-02-11 | 2022-04-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Apparatus and method for automated wafer carrier handling |
KR102330983B1 (ko) * | 2020-02-14 | 2021-11-25 | (주)랩투마켓 | 화물 이송 비히클 |
JP7310713B2 (ja) * | 2020-05-25 | 2023-07-19 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
KR20220060028A (ko) * | 2020-11-02 | 2022-05-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 적재부 및 그것을 포함하는 윈도우 제조 시스템 |
CN115265623A (zh) * | 2022-08-08 | 2022-11-01 | 上海泽丰半导体科技有限公司 | 一种存储针卡定位装置及定位*** |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06156628A (ja) * | 1992-11-17 | 1994-06-03 | Toyota Autom Loom Works Ltd | スタッカクレーン |
JPH06321316A (ja) * | 1993-03-19 | 1994-11-22 | Yamaha Motor Co Ltd | 搬送システム |
JP2008179427A (ja) * | 2007-01-23 | 2008-08-07 | Ihi Corp | 搬送装置 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2627191B2 (ja) * | 1989-06-26 | 1997-07-02 | 株式会社新川 | リードフレーム分離装置 |
US20070092359A1 (en) * | 2002-10-11 | 2007-04-26 | Brooks Automation, Inc. | Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position |
JP2007246272A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-09-27 | Murata Mach Ltd | 操作装置及び搬送システム |
KR100743194B1 (ko) * | 2006-03-22 | 2007-07-27 | 삼성전자주식회사 | 이송시스템 |
TWI324133B (en) * | 2007-10-09 | 2010-05-01 | Au Optronics Corp | A transporting holding apparatus and a depot system incorporating the same |
JP5674041B2 (ja) * | 2011-08-11 | 2015-02-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP5709011B2 (ja) * | 2011-12-26 | 2015-04-30 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
JP5598729B2 (ja) * | 2011-12-26 | 2014-10-01 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
JP5716968B2 (ja) * | 2012-01-04 | 2015-05-13 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
JP5527624B2 (ja) * | 2012-01-05 | 2014-06-18 | 株式会社ダイフク | 保管棚用の不活性ガス注入装置 |
JP5598734B2 (ja) * | 2012-01-06 | 2014-10-01 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
JP6044467B2 (ja) * | 2013-06-26 | 2016-12-14 | 株式会社ダイフク | 保管システム |
JP5884779B2 (ja) * | 2013-06-26 | 2016-03-15 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
JP6102759B2 (ja) * | 2014-01-16 | 2017-03-29 | 株式会社ダイフク | 物品搬送台車 |
-
2014
- 2014-01-16 JP JP2014006065A patent/JP6102759B2/ja active Active
- 2014-12-10 TW TW103143013A patent/TWI634066B/zh active
-
2015
- 2015-01-02 SG SG10201500011QA patent/SG10201500011QA/en unknown
- 2015-01-08 KR KR1020150002584A patent/KR102319927B1/ko active IP Right Grant
- 2015-01-13 US US14/595,719 patent/US9536766B2/en active Active
- 2015-01-16 CN CN201510021768.1A patent/CN104787530B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06156628A (ja) * | 1992-11-17 | 1994-06-03 | Toyota Autom Loom Works Ltd | スタッカクレーン |
JPH06321316A (ja) * | 1993-03-19 | 1994-11-22 | Yamaha Motor Co Ltd | 搬送システム |
JP2008179427A (ja) * | 2007-01-23 | 2008-08-07 | Ihi Corp | 搬送装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019018924A (ja) * | 2017-07-11 | 2019-02-07 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
US11066284B2 (en) | 2017-07-11 | 2021-07-20 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport vehicle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150197400A1 (en) | 2015-07-16 |
US9536766B2 (en) | 2017-01-03 |
TW201532942A (zh) | 2015-09-01 |
CN104787530A (zh) | 2015-07-22 |
TWI634066B (zh) | 2018-09-01 |
JP6102759B2 (ja) | 2017-03-29 |
SG10201500011QA (en) | 2015-08-28 |
KR102319927B1 (ko) | 2021-10-29 |
KR20150085780A (ko) | 2015-07-24 |
CN104787530B (zh) | 2017-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6102759B2 (ja) | 物品搬送台車 | |
TWI660903B (zh) | 物品搬送設備 | |
CN114684519B (zh) | 运送车以及运送设备 | |
JP6171984B2 (ja) | 物品支持装置 | |
KR102276842B1 (ko) | 층간 반송 설비 | |
JP4378656B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
WO2019017294A1 (ja) | 搬送車及び搬送設備(transport vehicle and transport facility) | |
JP2019043753A (ja) | 搬送車、及び、搬送設備 | |
CN107804640B (zh) | 物品搬运装置 | |
CN109415163B (zh) | 输送*** | |
KR102268409B1 (ko) | 용기 반송 설비 | |
CN107055013B (zh) | 物品输送设备 | |
JP2013018611A (ja) | 自動倉庫、自動倉庫の可搬情報提示方法 | |
JP2017202885A (ja) | 搬送装置 | |
JP2008100774A (ja) | 搬送台車及び搬送台車による被搬送物移送方法 | |
JP2007045600A (ja) | 物品収納設備 | |
JP6287514B2 (ja) | 物品搬送装置 | |
US20240034556A1 (en) | Article Storage Facility | |
JP2017195279A (ja) | 容器支持棚 | |
KR20220060485A (ko) | 반송차 | |
JP2015166282A (ja) | ワーク搬出入台車及びワーク搬出入装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161101 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170131 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6102759 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |