JP2015107880A - 天井搬送車の清掃装置 - Google Patents
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Abstract
Description
このような清掃装置に関する従来技術として、天井搬送車の走行経路上に設けられ、清掃手段が、天井搬送車を走行させながら清掃するように構成されたものがある。(例えば、特許文献1参照。)。
クリーンルーム内において移動経路に沿って配設された走行レールに沿って走行自在な天井搬送車に対して空気を噴出させて前記天井搬送車を清掃する清掃手段を備えた天井搬送車の清掃装置であって、
外部空間から遮蔽された遮蔽空間を形成する区画体が設けられ、
前記区画体は、前記天井搬送車が走行移動により前記遮蔽空間に進入自在に構成され、
前記清掃手段は、前記遮蔽空間において走行停止状態の前記天井搬送車に対して清掃作動する点にある。
ルームにおける設置が有利となる。
このように、第1特徴構成によると、クリーンルームでの設置が有利な天井搬送車の清掃装置を提供する。
前記遮蔽空間内の空気を吸入して吸入空気を前記遮蔽空間外に排出するファンとこの排出空気を浄化するフィルタとを備えるファンフィルタユニットが、前記区画体に備えられている点にある。
このように、ファンとフィルタとがユニット化されたファンフィルタユニットを区画体に備える簡素な構成により、天井搬送車の清掃に伴って発生する塵埃が遮蔽空間の外部に飛散することを防止できる。したがって、クリーンルームの汚染防止を図りつつ構成の複雑化を抑制することができる。
前記区画体に、前記天井搬送車が前記遮蔽空間に進入する進入口と前記天井搬送車が前記遮蔽空間から退出する退出口が設けられ、
前記進入口を開放する開状態と閉鎖する閉状態とに切り換え自在な進入口開閉手段と、前記退出口を開放する開状態と閉鎖する閉状態とに切り換え自在な退出口開閉手段と、前記進入口開閉手段及び前記退出口開閉手段の開閉作動並びに前記清掃手段の清掃作動を制御する制御手段と、前記遮蔽空間における塵埃の濃度を計測する塵埃濃度計測手段とが設けられ、
前記制御手段が、前記天井搬送車が前記遮蔽空間に停止した状態で前記進入口開閉手段及び前記退出口開閉手段を前記閉状態とするべく、前記進入口開閉手段及び前記退出口開閉手段の作動を制御し、その後、前記清掃手段の清掃作動を開始させた後、前記塵埃濃度計測手段の計測情報に基づいて、前記遮蔽空間における塵埃の濃度が設定塵埃濃度まで低下すると前記清掃手段の清掃作動を終了させるべく、前記清掃手段の作動を制御するように構成されている点にある。
制御手段は、塵埃濃度検出手段の検出情報に基づいて、遮蔽空間における塵埃の濃度が設定塵埃濃度まで低下すると清掃手段の清掃作動を終了させるので、設定塵埃濃度として天井搬送車に堆積していた塵埃が所望の状態まで清掃できた場合の塵埃濃度を予め設定しておくことで、天井搬送車を所望の状態まで清掃できた段階で清掃手段の作動を停止させることができる。
本特徴構成によると、天井搬送車が所望の清掃状態になるまで確実に清掃手段を作動させることができ、しかも、清掃のために必要以上に天井搬送車を遮蔽空間に停止させて拘束することを防止できる。
なお、清掃手段の作動を停止させた後又は同時若しくは停止させる直前に退出口開閉手段を開状態とすることで、清掃が完了した天井搬送車は遮蔽空間から外部に走行移動して退出することができる。なお、天井搬送車が退出した後は、進入口開閉手段を開状態にし
、退出口開閉手段を閉状態にした待機用開閉状態にて、次の天井搬送車の進入を待機するようにしてもよい。ちなみに、走行経路の端部に清掃装置を設ける場合は、進入口開閉手段及び退出口開閉手段は兼用されることになる。
前記清掃手段が、空気を噴出自在なノズルを、噴出対象箇所を変更自在な状態で複数備えて構成されている点にある。
前記走行レール上を走行する前記天井搬送車が進入自在な筐体を備えて、前記天井搬送車を床側に離脱させる昇降機構を前記筐体内に備えたメンテナンス用の昇降装置が設けられ、
前記遮蔽空間が、前記区画体としての前記筐体により形成され、
前記清掃手段が前記筐体内に設けられている点にある。
図1に示すように、複数の物品処理部1を経由するように設定された設定移動経路に沿って、天井搬送車走行用の走行レール2が天井側に設置されており、設定移動経路に沿って走行する天井搬送車3が走行レール2に案内支持される状態に設けられている。
そして、天井搬送車3は、図外の物品搬入箇所から物品処理部1、物品処理部1から他の物品処理部1、及び、物品処理部1から図外の物品搬出箇所に物品を搬送するように構成されている。上記走行レール2は、クリーンルーム内に設置されており、天井搬送車3は、半導体を複数枚収納自在な基板収納容器を搬送対象物として搬送する
部6が備えられている。昇降部6は、昇降用モータM2(図5(b)参照)にて回転ドラム(図示せず)を正逆方向に回転駆動させてワイヤを巻き取り及び繰り出し操作することにより昇降移動するように構成されている。
また、物品処理部1の載置台に基板収納容器を受け渡す場合は、基板収納容器を支持している実荷状態の天井搬送車3を物品処理部1に対応する目標停止位置に停止させた状態において、基板収納容器が載置台に載置支持されるまで昇降部6を下降移動させた後、一対の把持具7を把持姿勢から解除姿勢に切り換えて基板収納容器に対する把持を解除し、その後、昇降部6を上昇移動させる。
そして、図2に示すように、走行レール昇降装置8には、走行レール2における天井搬送車抜き取り箇所Aに対応する走行レール部分2aが、天井搬送車3を支持した状態で前記走行レール2における走行レール本体2bと連なる搬送車走行用高さ(図2参照)と床面側に下降させた搬送車取出し用高さとに昇降移動自在に設けられている。これにより、天井搬送車抜き取り箇所Aまで走行した天井搬送車3をメンテナンスのために床側に取り出すことができるようになっている。つまり、走行レール昇降装置8は、天井搬送車3を床側に離脱させる昇降機構を備えたメンテナンス用の昇降装置として機能する。
ット12が、天井搬送車3の車体横幅方向に2台並設されている。これらのファンフィルタユニット12は、天井搬送車3を清掃する際に作動し、天井搬送車3が位置する清掃空間Z2内の空気を浄化して外部空間Z1に排出する。
になっている。
ている天井搬送車3、つまり、搬送車走行用高さに位置する走行レール部分2aに支持されている天井搬送車3を検出自在に構成されており、例えば、検出対象範囲に存在する検出対象体までの距離を計測自在な測距式の光センサにて構成することが好ましい。
以上、発明者によってなされた発明を発明の実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。以下、本発明の別実施形態を例示する。
K 区画体
Z1 外部空間
Z2 遮蔽空間
H1 制御手段
2 走行レール
3 天井搬送車
10 昇降機構
12 ファンフィルタユニット
14 筐体
15 進入口、退出口
17 進入口開閉手段、退出口開閉手段
20 ノズル
23 塵埃濃度計測手段
Claims (5)
- クリーンルーム内の天井側に配設された走行レールに沿って走行自在な天井搬送車に対して空気を噴出させて前記天井搬送車を清掃する清掃手段を備えた天井搬送車の清掃装置であって、
外部空間から遮蔽された遮蔽空間を形成する区画体が設けられ、
前記区画体は、前記天井搬送車が走行移動により前記遮蔽空間に進入自在に構成され、
前記清掃手段は、前記遮蔽空間において走行停止状態の前記天井搬送車に対して清掃作動することを特徴とする天井搬送車の清掃装置。 - 前記遮蔽空間内の空気を吸入して吸入空気を前記遮蔽空間外に排出するファンとこの排出空気を浄化するフィルタとを備えるファンフィルタユニットが、前記区画体に備えられている請求項1記載の天井搬送車の清掃装置。
- 前記区画体に、前記天井搬送車が前記遮蔽空間に進入する進入口と前記天井搬送車が前記遮蔽空間から退出する退出口が設けられ、
前記進入口を開放する開状態と閉鎖する閉状態とに切り換え自在な進入口開閉手段と、前記退出口を開放する開状態と閉鎖する閉状態とに切り換え自在な退出口開閉手段と、前記進入口開閉手段及び前記退出口開閉手段の開閉作動並びに前記清掃手段の清掃作動を制御する制御手段と、前記遮蔽空間における塵埃の濃度を計測する塵埃濃度計測手段とが設けられ、
前記制御手段が、前記天井搬送車が前記遮蔽空間に停止した状態で前記進入口開閉手段及び前記退出口開閉手段を前記閉状態とするべく、前記進入口開閉手段及び前記退出口開閉手段の作動を制御し、その後、前記清掃手段の清掃作動を開始させた後、前記塵埃濃度計測手段の計測情報に基づいて、前記遮蔽空間における塵埃の濃度が設定塵埃濃度まで低下すると前記清掃手段の清掃作動を終了させるべく、前記清掃手段の作動を制御するように構成されている請求項2記載の天井搬送車の清掃装置。 - 前記清掃手段が、空気を噴出自在なノズルを噴出対象箇所を変更自在な状態で複数備えて構成されている請求項1〜3のいずれか1項記載の天井搬送車の清掃装置。
- 前記走行レール上を走行する前記天井搬送車が進入自在な筐体を備えて、前記天井搬送車を床側に離脱させる昇降機構を前記筐体内に備えたメンテナンス用の昇降装置が設けられ、
前記遮蔽空間が、前記区画体としての前記筐体により形成され、
前記清掃手段が前記筐体内に設けられている請求項1〜4のいずれか1項記載の天井搬送車の清掃装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190047919A (ko) * | 2017-10-30 | 2019-05-09 | 세메스 주식회사 | 반도체 이송 장치용 세정 장치 |
JPWO2021039105A1 (ja) * | 2019-08-29 | 2021-03-04 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6226318U (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-18 | ||
JPH0218156A (ja) * | 1988-07-06 | 1990-01-22 | Daifuku Co Ltd | 移動体清掃設備 |
JP2006141397A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Hauni Maschinenbau Ag | 搬送要素を無接触清掃する装置と搬送要素の無接触清掃装置によるロッド状物品を輸送及び/又は貯蔵する配列装置 |
JP2008214084A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送システム、搬送車装置、並びに自動清掃装置及び方法 |
JP3153574U (ja) * | 2009-06-29 | 2009-09-10 | フロイント産業株式会社 | コンテナ昇降機構及びコンテナ洗浄装置 |
JP2012009520A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Murata Mach Ltd | 有軌道台車システム |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6226318U (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-18 | ||
JPH0218156A (ja) * | 1988-07-06 | 1990-01-22 | Daifuku Co Ltd | 移動体清掃設備 |
JP2006141397A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Hauni Maschinenbau Ag | 搬送要素を無接触清掃する装置と搬送要素の無接触清掃装置によるロッド状物品を輸送及び/又は貯蔵する配列装置 |
JP2008214084A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送システム、搬送車装置、並びに自動清掃装置及び方法 |
JP3153574U (ja) * | 2009-06-29 | 2009-09-10 | フロイント産業株式会社 | コンテナ昇降機構及びコンテナ洗浄装置 |
JP2012009520A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Murata Mach Ltd | 有軌道台車システム |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190047919A (ko) * | 2017-10-30 | 2019-05-09 | 세메스 주식회사 | 반도체 이송 장치용 세정 장치 |
KR102020235B1 (ko) | 2017-10-30 | 2019-11-04 | 세메스 주식회사 | 반도체 이송 장치용 세정 장치 |
JPWO2021039105A1 (ja) * | 2019-08-29 | 2021-03-04 | ||
WO2021039105A1 (ja) | 2019-08-29 | 2021-03-04 | 村田機械株式会社 | 走行車システム |
CN114269668A (zh) * | 2019-08-29 | 2022-04-01 | 村田机械株式会社 | 行驶车*** |
KR20220051379A (ko) | 2019-08-29 | 2022-04-26 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 주행차 시스템 |
CN114269668B (zh) * | 2019-08-29 | 2023-04-18 | 村田机械株式会社 | 行驶车*** |
JP7276468B2 (ja) | 2019-08-29 | 2023-05-18 | 村田機械株式会社 | 走行車システム |
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