JP2003158164A - キャリア受け渡し方法及びクリーンルームのキャリア搬入搬出部 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一般環境を挟んで設けられたクリーンルーム
間で、搬送対象物を収容して搬送車等で搬送されるキャ
リアを、簡単な構成でキャリアの環境をクリーンに保っ
たまま、クリーンルーム内とクリーンルーム外との間で
受け渡す。 【解決手段】 キャリア14の出し入れ口14ａを密閉可能
な扉28を備えたキャリア搬送容器24を使用する。クリー
ンルーム11の壁12に設けられた開口部15ａ，15ｂのクリ
ーンルーム側の開口端を密閉可能なスライドドア16をク
リーンルーム側から開閉可能に設ける。扉28を閉じた状
態でキャリア搬送容器24の扉28側で、開口部15ａ，15ｂ
の一般環境側開口端を閉塞し、スライドドア16を閉じた
状態で、噴射ノズル18からクリーンエアを所定時間噴射
する。その後、スライドドア16及び扉28をクリーンルー
ム側から開き、キャリア搬送容器24内からキャリア14の
取り出し、あるいはキャリア搬送容器24内にキャリア14
を収容する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、キャリア受け渡し
方法及びクリーンルームのキャリア搬入搬出部に関す
る。詳しくは清浄度の低い一般環境を挟んで設けられた
複数のクリーンルーム間で、例えば液晶用ガラス基板を
収容したキャリアを搬送する際に、クリーンルーム内と
一般環境との間でキャリアを受け渡すのに好適なキャリ
ア受け渡し方法及びクリーンルームのキャリア搬入搬出
部に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶装置や半導体装置を製造す
る場合、全ての作業がクリーンルーム内で行われる。し
かし、工場における製造工程の増設を図る際に、製造工
程を複数の離れた室に分けざるを得ない場合がある。そ
の際、各室をクリーンルームと同じ清浄度の通路で連結
すれば問題はない。しかし、両室の距離が離れている場
合、通路全体をクリーンルームと同じ清浄度に保つに
は、増設のコストが大きくなる。そこで、清浄環境下で
取り扱われるべき搬送対象物をあるクリーンルームから
他のクリーンルームに、一般環境を通過して運ぶことが
要求される。

【０００３】このとき、搬送対象物は搬送容器内に密閉
された状態で搬送車に搭載されて、一般環境下を搬送さ
れる。そのため、搬送対象物を一般環境とクリーンルー
ムとの間で受け渡す際に、一般環境を通過した搬送車及
び搬送容器に付着した塵埃等がクリーンルーム内に侵入
するのをできるだけ防止した状態で受け渡す必要があ
る。

【０００４】従来、特開２００１−１４４１５８号公報
には、クリーンルーム側のドアと同時に開閉できるドア
を備えた搬送車（コンテナ）を使用して、搬送対象物を
収納したケースを搬送することが開示されている。この
場合、前記ケースは搬送車内に設けられた棚に載置され
た状態で搬送され、搬送車は一般環境からクリーンルー
ム内に設けられたシャワー室に導入され、エアーシャワ
ー室で所定時間エアーシャワー洗浄を受ける。その後、
クリーンルームのドアと搬送車のドアが連結される位置
まで移動された後、両ドアがクリーンルーム側に開か
れ、ケースが取り出される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、特開２００
１−１４４１５８号公報に開示された装置では、ケース
を搬送する搬送車全体をエアーシャワー室で所定時間エ
アーシャワー洗浄を行う必要がある。そのため、エアー
シャワーに必要なエアー消費量が多くなるとともに、エ
アーシャワーの時間も長くかかるという問題がある。特
に近年、液晶基板の製造に使用するガラス基板が大型化
しており、四角形状のガラス基板の一辺が１ｍのものも
あり、ガラス基板を収納するカセット及びカセットの搬
送に使用する搬送車も大型化しており、前記の問題がよ
り顕著になる。

【０００６】本発明は、前記の問題に鑑みてなされたも
のであって、その第１の目的は、清浄度の低い一般環境
を挟んで設けられた複数のクリーンルーム間で、搬送対
象物を収容して搬送車等で搬送されるキャリア（例え
ば、カセット）を、簡単な構成でキャリアの環境をクリ
ーンに保ったまま、クリーンルーム内とクリーンルーム
外との間で受け渡すことができるキャリアの受け渡し方
法を提供することにある。また、第２の目的は前記受け
渡し方法を実施するのに好適なクリーンルームのキャリ
ア搬入搬出部を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記第１の目的を達成す
るため、請求項１に記載の発明は、密閉可能な扉を備え
たキャリア搬送容器を使用して、被搬送物を収納するキ
ャリアを、一般環境中を経てクリーンルーム間で搬送す
る際の一般環境とクリーンルームと間のキャリア受け渡
し方法である。前記クリーンルームの壁に設けられたキ
ャリア搬入搬出用開口部のクリーンルーム側の開口端を
密閉可能な開口部用扉をクリーンルーム側から開閉可能
に設け、前記キャリア搬送容器の扉をクリーンルーム側
から開閉可能な状態で前記キャリア搬入搬出用開口部に
対向させる。その状態で、前記キャリア搬入搬出用開口
部の一般環境側開口端をキャリア搬送容器の一部で閉塞
し、前記開口部用扉を閉じた状態で、前記キャリア搬入
搬出用開口部と対応するキャリア搬送容器の部分に気体
を所定時間噴射する。その後、前記開口部用扉及びキャ
リア搬送容器の扉をクリーンルーム側から開き、キャリ
ア搬送容器内からキャリアの取り出し、あるいはキャリ
ア搬送容器内にキャリアを収容する。

【０００８】従って、この発明の方法では、被搬送物
（搬送対象物）はキャリアに収容されて、キャリア搬送
容器により一般環境に晒されずに一般環境中を搬送され
る。そして、キャリア搬送容器の扉を開くのに先だっ
て、キャリア搬入搬出用開口部を介してクリーンルーム
と対応する部分が、所定時間気体の噴射を受けて、一般
環境下でその表面に付着した塵埃等が洗浄される。従っ
て、クリーンルームの開口部用扉及びキャリア搬送容器
の扉を開いて、キャリア搬送容器内からキャリアの取り
出し、あるいはキャリア搬送容器内へのキャリアの収容
を行う際にも、キャリアはクリーンな環境内を移動す
る。その結果、簡単な構成でキャリアの環境をクリーン
に保ったまま、クリーンルーム内とクリーンルーム外と
の間でキャリアを受け渡すことができる。

【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、前記キャリア搬送容器は前記扉が設け
られた一面が前記気体の噴射を受ける。従って、この発
明の方法では、気体の噴射を受ける面積が少なくなり、
洗浄用気体の消費量が少なくなるとともに、噴射時間を
短縮できる。

【００１０】請求項３に記載の発明は、請求項１又は請
求項２に記載の発明において、前記開口部用扉は、前記
キャリア搬送容器が前記キャリア搬入搬出用開口部の一
般環境側開口端を閉塞した後、前記気体の噴射が終了す
るまでは開放不能に構成されている。従って、この発明
の方法では、キャリア搬送容器の気体による洗浄が終了
する前に、扉を開くことによりクリーンルーム内に塵埃
等が侵入するのを防止できる。

【００１１】第２の目的を達成するため、請求項４に記
載の発明は、被搬送物を収納可能なキャリアを一般環境
からクリーンルーム内へ出し入れ可能とするため、クリ
ーンルームの壁にキャリア搬入搬出用開口部と、該キャ
リア搬入搬出用開口部のクリーンルーム側の開口端を密
閉可能、かつクリーンルーム側から開閉可能な扉とが設
けられる。また、前記キャリア搬入搬出開口部の一般環
境側開口端に向かって気体を噴射可能な噴射ノズルを備
える。

【００１２】この発明では、被搬送物を収納するキャリ
アの出し入れ口を密閉可能な扉を備えたキャリア搬送容
器を使用することで、請求項１に記載の発明の方法を実
施できる。

【００１３】

【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）以下、本発
明を被搬送物（搬送対象物）としての液晶用ガラス基板
の搬送に使用するキャリアの受け渡しに具体化した第１
の実施の形態を図１〜図６に従って説明する。

【００１４】図１はクリーンルームと一般環境を区画す
る壁の部分の模式断面図、図２は一般環境側から見た模
式斜視図、図３はクリーンルーム側から見た模式斜視図
を示す。図４は昇降装置の平面図、図５はキャリア搬入
搬出用開口部を一般環境側から見た図、図６は昇降装置
の側面図である。

【００１５】図１に示すように、クリーンルーム１１は
壁１２により一般環境１３側と区画されている。壁１２
にはガラス基板用キャリア１４（以下、単にキャリアと
称す）を一般環境１３からクリーンルーム１１内へ出し
入れ可能とするキャリア搬入搬出用開口部としての開口
部１５ａ，１５ｂが形成されている。

【００１６】開口部１５ａ，１５ｂは近接して２個設け
られている。図３に示すように、壁１２のクリーンルー
ム１１側には、各開口部１５ａ，１５ｂのクリーンルー
ム１１側の開口端をそれぞれ密閉可能、かつクリーンル
ーム１１側から開閉可能な開口部用扉としてのスライド
ドア１６が２個設けられている。各スライドドア１６は
レール１７に沿って独立にスライド可能に構成され、開
口部１５ａ，１５ｂと対向する閉鎖位置では、パッキン
１６ａ（図１に図示）を壁面に押圧して開口端を密閉可
能に構成されている。

【００１７】各開口部１５ａ，１５ｂの周縁部には気体
としてのクリーンエアを、開口部１５ａ，１５ｂの一般
環境１３側開口端に向かって噴射可能な噴射ノズル１８
が設けられている。噴射ノズル１８はクリーンエアを斜
め下方に向けて噴射するように配設されている。壁１２
の開口部１５ａ，１５ｂの下方位置には空間１９が設け
られ、空間１９内には空間１９を一般環境１３側に連通
させるとともにフィルタ２０を備えた窓２１（図５に図
示）が設けられている。また、空間１９内には空間１９
内のエアを窓２１から排出するためのファン装置２２が
設けられている。ファン装置２２は噴射ノズル１８から
クリーンエアが噴射される際に駆動され、噴射されたエ
アを窓２１から排気するようになっている。

【００１８】図１及び図２に示すように、壁１２の一般
環境１３側には各開口部１５ａ，１５ｂと対応する位置
に昇降装置（シザーリフト）２３が配設されている。な
お、図２では一方の昇降装置２３のみ図示している。図
６に示すように、昇降装置２３は図示しない他のクリー
ンルームとの間でのキャリア１４の搬送に使用するキャ
リア搬送容器２４を載置する載置部２５を備え、載置部
２５がパンタグラフ機構２６により昇降可能に構成され
ている。載置部２５上には多数のローラ２５ａ（図１，
２等に図示）が、壁１２と平行に延びるように配設され
ている。図５に示すように、載置部２５の左右両側には
キャリア搬送容器２４を開口部１５ａ，１５ｂの所定位
置と対向するように案内するガイド部２５ｂが設けられ
ている。

【００１９】載置部２５は、キャリア搬送容器２４が開
口部１５ａ，１５ｂと対向する位置と、キャリア搬送容
器２４をクリーンルーム１１と他のクリーンルームとの
間で搬送するための無人搬送車２７（ＡＧＶ）の荷台２
７ａと対応する位置との間を昇降可能になっている。無
人搬送車２７の荷台２７ａには、多数のローラ２７ｂが
無人搬送車２７の前後方向（図１の紙面と垂直方向）と
平行に配設されている。無人搬送車２７は図示しない誘
導線に沿って、クリーンルーム１１と他のクリーンルー
ムとの間を走行し、昇降装置２３と対応するキャリア搬
送容器２４の積み卸し位置では、図１に示すように側面
が昇降装置２３と対応する位置で停止するようになって
いる。その状態において、下降位置に配置された載置部
２５と荷台２７ａとの間で、キャリア搬送容器２４のロ
ーラ２５ａ，２７ｂを介した移動が可能になっている。

【００２０】キャリア搬送容器２４は、四角箱状に形成
され、一面にキャリア１４の出し入れ口を２４ａを有
し、該出し入れ口２４ａを密閉可能な扉２８を備えてい
る。扉２８は、キャリア搬送容器２４の扉２８側が開口
部１５ａ，１５ｂを閉塞した状態で、クリーンルーム１
１側から開閉可能に構成されている。

【００２１】キャリア搬送容器２４には、扉２８が配設
された側の外周部に、開口部１５ａ，１５ｂの周縁部と
対向可能な鍔部（フランジ）２９ａが設けられ、内周部
には扉２８の内面と対向可能な鍔部２９ｂが突設されて
いる。鍔部２９ａ，２９ｂには四角環状のパッキン３０
ａ，３０ｂが装備されている。そして、パッキン３０ａ
が鍔部２９ａを介して壁１２に押圧された状態で、キャ
リア搬送容器２４と鍔部２９ａにより開口部１５ａ，１
５ｂの一般環境側の開口端が密閉されるようになってい
る。また、パッキン３０ｂは扉２８が閉じた状態で、扉
２８の内面に押圧されて、鍔部２９ｂと扉２８によって
挟持され、出し入れ口２４ａを扉２８が密閉可能になっ
ている。

【００２２】図２及び図５に示すように、壁１２の一般
環境１３側には、各開口部１５ａ，１５ｂの左右両側
に、キャリア搬送容器２４の鍔部２９ａと係合して鍔部
２９ａを壁１２側へ付勢する付勢手段としての付勢装置
３１が設けられている。付勢装置３１は上下方向に延設
された回転軸３２と、回転軸３２の上部側及び下部側に
それぞれ固定されたフック３３と、エアシリンダ３４
（以下、単にシリンダ３４と称す）とを備えている。回
転軸３２は、その上端がシリンダ３４のピストンロッド
に作動連結されて、シリンダ３４の駆動により正逆回動
可能になっている。なお、図２ではシリンダ３４の図示
を省略している。

【００２３】フック３３は、シリンダ３４の駆動によ
り、壁１２に対してほぼ直角となる待機位置と、載置部
２５上に載置されたキャリア搬送容器２４の鍔部２９ａ
に係合して鍔部２９ａを壁１２側に押圧付勢する作用位
置とに回転軸３２を介して回動されるようになってい
る。シリンダ３４は壁１２に設けられたスイッチ３５
ａ，３５ｂ（図５にのみ図示）の操作で正転駆動あるい
は逆転駆動可能に構成されている。ここで、シリンダ３
４の正転駆動とはフック３３が鍔部２９ａを壁１２側に
押圧付勢する方向へ回転軸３２を回動させる駆動を意味
し、逆転駆動とはフック３３が鍔部２９ａとの係合を解
除する方向へ回転軸３２を回動させる駆動を意味する。
シリンダ３４はスイッチ３５ａの押圧操作により、正転
駆動されてフック３３を作用位置側へ回動させ、スイッ
チ３５ｂの押圧操作により、逆転駆動されてフック３３
を待機位置へ回動させる。

【００２４】噴射ノズル１８は、該噴射ノズル１８が配
置された開口部１５ａ，１５ｂのスライドドア１６が閉
じられ、キャリア搬送容器２４の鍔部２９ａが所定範囲
の押圧力で壁１２に押圧された状態で作動可能に構成さ
れている。また、スライドドア１６は、キャリア搬送容
器２４が開口部１５ａ，１５ｂの一般環境１３側開口端
を閉塞した後、噴射ノズル１８のクリーンエアの噴射が
終了するまでは、開放不能に構成されている。

【００２５】壁１２には、クリーンルーム１１側の各開
口部１５ａ，１５ｂの上方にそれぞれランプ３６ａ，３
６ｂが配設され、一般環境１３側の各開口部１５ａ，１
５ｂの上方にそれぞれランプ３７ａ，３７ｂが配設され
ている。一方のランプ３６ａ，３７ａは赤色に、他方の
ランプ３６ｂ，３７ｂは緑色に点灯する。ランプ３６ａ
は、クリーンルーム１１のスライドドア１６の開放禁止
の状態、例えば、噴射ノズル１８からのクリーンエア噴
射中や、付勢装置３１のフック３３が待機位置にある状
態で点灯されるように構成されている。ランプ３７ａ
は、異常表示灯であり、何らかの異常時に点灯されるよ
うに構成されている。また、ランプ３６ｂはスライドド
ア１６を開放してよい状態のときに点灯され、ランプ３
７ｂは開口部１５ａ，１５ｂの一般環境側開口端を密閉
する位置に配置されたキャリア搬送容器２４を移動させ
てよいときに点灯されるように構成されている。

【００２６】次に前記のように構成されたキャリア搬入
搬出部を備えたクリーンルーム１１内と一般環境１３と
の間でのキャリア１４の受け渡し方法について説明す
る。先ず、クリーンルーム１１への搬入を例に説明す
る。

【００２７】キャリア１４は、キャリア搬送容器２４に
収容された状態で無人搬送車２７の荷台２７ａに搭載さ
れ、無人搬送車２７により一般環境１３中を搬送され
る。搬送中はキャリア搬送容器２４の扉２８が密閉され
ているため、キャリア１４は一般環境に晒されずに一般
環境中を搬送される。そして、図１に示すように、無人
搬送車２７が昇降装置２３と対応する位置で停止する
と、作業者Ｗ１は、荷台２７ａ上のキャリア搬送容器２
４を、下降位置に配置された昇降装置２３の載置部２５
上に移動させる。このとき、キャリア搬送容器２４は荷
台２７ａ上のローラ２７ｂ及び載置部２５上のローラ２
５ａ上を移動するため、荷台２７ａ上から載置部２５上
に簡単に移載される。

【００２８】次に昇降装置２３が駆動されて載置部２５
が上昇位置へ移動され、キャリア搬送容器２４は扉２８
が開口部１５ａと対向する状態となる。この状態では、
キャリア搬送容器２４は壁１２から離れているため、キ
ャリア搬送容器２４の鍔部２９ａはフック３３と係合不
能な位置にある。次に作業者Ｗ１は、鍔部２９ａがフッ
ク３３と係合可能な位置までキャリア搬送容器２４を壁
１２側へ移動させる。そして、その状態でスイッチ３５
ａが押圧操作される。

【００２９】スイッチ３５ａの操作により、シリンダ３
４が駆動されてフック３３が待機位置から作用位置へ回
動される。そして、フック３３の回動途中から鍔部２９
ａがフック３３と係合し、フック３３の回動終了時には
鍔部２９ａは所定の押圧力で壁１２側へ付勢された状態
に保持され、パッキン３０ａが壁１２と鍔部２９ａとの
間に挟持されて開口部１５ａの一般環境側開口端がキャ
リア搬送容器２４により密閉される。

【００３０】シリンダ３４の正転駆動が完了すると、次
に噴射ノズル１８が作動され、クリーンエアが開口部１
５ａの一般環境側開口端に向かって所定時間噴射され
る。また、噴射ノズル１８の作動と同時にファン装置２
２が駆動され、噴射ノズル１８の作動停止後、ファン装
置２２も駆動が停止される。噴射ノズル１８から噴射さ
れるクリーンエアにより、開口部１５ａ内に配置された
キャリア搬送容器２４の表面から、一般環境下でその表
面に付着した塵埃等が洗浄される。洗浄後のエアはファ
ン装置２２の作用により、窓２１から一般環境１３へ排
気される。噴射ノズル１８の作動が終了すると、ランプ
３６ｂが点灯される。

【００３１】クリーンルーム１１内の作業者Ｗ２はラン
プ３６ｂが点灯すると、開口部１５ａからのキャリア１
４の受け入れ（搬入）が必要な状態であると認識し、ラ
ンプ３７ｂが点灯すると、開口部１５ｂからのキャリア
１４の受け渡し（搬出）が必要な状態であると認識す
る。受け入れ作業（搬入作業）が必要な場合は、図３に
示すように、スライドドア１６及び扉２８を順次開いた
後、作業者Ｗ２は手動台車３８（ＭＧＶ）を開口部１５
ａの近くへ移動させる。そして、キャリア搬送容器２４
内からキャリア１４を引き出して、手動台車３８の載置
部３８ａ上に載置する。次に、扉２８及びスライドドア
１６を順次閉鎖した後、図示しない閉鎖確認スイッチを
操作する。その後、手動台車３８によりキャリア１４を
クリーンルーム１１内の所定位置へ搬送する。

【００３２】クリーンルーム１１側で前記閉鎖確認スイ
ッチが操作されると、開口部１５ａに対応するランプ３
７ｂが点灯する。一般環境１３側の作業者Ｗ１は、ラン
プ３７ｂの点灯を確認すると、その開口部１５ａと対応
するスイッチ３５ｂを操作する。スイッチ３５ｂの操作
により、シリンダ３４が逆転駆動されてフック３３が待
機位置へ回動され、キャリア搬送容器２４が移動可能な
状態となる。作業者Ｗ１はキャリア搬送容器２４をすぐ
に、他のクリーンルームから当該クリーンルーム１１へ
のキャリア１４の搬送に使用する場合は、キャリア搬送
容器２４を載置部２５の下降に支障を来さない位置まで
壁１２から離れた位置へ移動させる。そして、昇降装置
２３を駆動させて、載置部２５を下降位置に移動させた
後、キャリア搬送容器２４を載置部２５上から荷台２７
ａ上に移動させた後、無人搬送車２７の発進スイッチを
操作する。無人搬送車２７はキャリア搬送容器２４を他
のクリーンルームへと搬送する。

【００３３】次にクリーンルーム１１からのキャリア１
４の搬出について説明する。キャリア１４がクリーンル
ーム１１へ受け渡されたキャリア搬送容器２４を利用し
て、クリーンルーム１１からキャリア１４を搬出する場
合は、開口部１５ａと対応する昇降装置２３上から開口
部１５ｂと対応する昇降装置２３上へキャリア搬送容器
２４を移動させる。この移動は、前記と同様にしてキャ
リア搬送容器２４を無人搬送車２７の荷台２７ａ上に移
動させた後、無人搬送車２７を開口部１５ｂに対応する
昇降装置２３と対向する位置に移動させる。そして、空
のキャリア搬送容器２４を前記と同様にして、開口部１
５ｂの一般環境側開口端に近接した位置に配置した後、
スイッチ３５ａを操作する。これにより、前記と同様に
して、キャリア搬送容器２４の鍔部２９ａがフック３３
により壁１２に押圧付勢されて開口端が密閉されるとと
もに、クリーンエアの噴射が行われる。そして、キャリ
ア搬送容器２４は、クリーンルーム１１側からスライド
ドア１６及び扉２８を開放可能な状態で待機する。

【００３４】受け渡し作業（搬出作業）が必要な場合
は、前記と同様にスライドドア１６及び扉２８を順次開
いた後、作業者Ｗ２はキャリア１４を載置部３８ａ上に
載置した手動台車３８を開口部１５ｂの近くへ移動させ
る。そして、手動台車３８の載置部３８ａ上のキャリア
１４を開口部１５ｂからキャリア搬送容器２４内へ押し
入れる。次に扉２８及びスライドドア１６を順次閉じた
後、図示しない閉鎖確認スイッチを操作する。クリーン
ルーム１１側で前記閉鎖確認スイッチが操作されると、
開口部１５ｂに対応するランプ３７ｂが点灯する。一般
環境１３側の作業者Ｗ１は、ランプ３７ｂの点灯を確認
すると、前記と同様にして、キャリア搬送容器２４を無
人搬送車２７の荷台２７ａ上に搭載した後、無人搬送車
２７を発進させる。

【００３５】この実施の形態では以下の効果を有する。 （１） 一般環境１３とクリーンルーム１１とを区画す
る壁１２に、キャリア搬入搬出用の開口部１５ａ，１５
ｂを設け、該開口部１５ａ，１５ｂのクリーンルーム側
開口端を密閉可能、かつクリーンルーム１１側から開閉
可能なスライドドア１６を設けた。そして、開口部１５
ａ，１５ｂの一般環境側に向かってクリーンエアを噴射
する噴射ノズル１８を設けた。従って、従来技術と異な
り、無人搬送車２７及びキャリア搬送容器２４全体をク
リーンエアで洗浄せずに、キャリア搬送容器２４のキャ
リア１４が移動する開口部１５ａ，１５ｂに面する部分
のみをクリーンエアで洗浄するだけで、キャリア１４の
環境をクリーンに保ったまま、クリーンルーム１１内と
クリーンルーム１１外との間でキャリア１４の受け渡し
を行うことができる。その結果、従来技術に比較して、
簡単な構成となり、コストを低下できる。

【００３６】（２） キャリア搬送容器２４は扉２８が
設けられた一面がクリーンエアの噴射を受ける。従っ
て、クリーンエアの噴射を受ける面積が少なくなり、ク
リーンエアの消費量が少なくなるとともに、洗浄に必要
な噴射時間を短縮できる。その結果、ランニングコスト
（クリーンエア使用コスト）を低減できるとともに、受
け渡しに必要な時間を短縮できる。

【００３７】（３） スライドドア１６は、キャリア搬
送容器２４が開口部１５ａ，１５ｂの一般環境側開口端
を閉塞した後、クリーンエアの噴射が終了するまでは開
放不能に構成されている。従って、キャリア搬送容器２
４のクリーンエアによる洗浄が終了する前に、スライド
ドア１６を開くことによりクリーンルーム１１内に塵埃
等が侵入するのを防止できる。

【００３８】（４） キャリア搬送容器２４の扉２８側
に鍔部２９ａが設けられるとともに、鍔部２９ａと壁１
２との間にパッキン３０ａが介在する状態でキャリア搬
送容器２４が壁１２側へ押圧付勢される。従って、開口
部１５ａ，１５ｂの一般環境側開口端を確実に密閉する
ことができる。

【００３９】（５） キャリア搬送容器２４は開口部１
５ａ，１５ｂを閉鎖する際、付勢装置３１により壁１２
側へ押圧され、鍔部２９ａがパッキン３０ａを壁１２に
押し付けた状態に保持される。従って、開口部１５ａ，
１５ｂの一般環境側開口端を確実に密閉することが容易
になる。

【００４０】（６） 付勢装置３１は鍔部２９ａと係合
可能なフック３３を有する回転軸３２をシリンダ３４で
回動させる構成のため、キャリア搬送容器２４を容易に
所定の押圧力で壁１２側へ付勢することができる。

【００４１】（７） スライドドア１６の開放やキャリ
ア搬送容器２４の移動が禁止された状態か、許容された
状態かを作業者Ｗ１，Ｗ２に報知するランプ３６ａ，３
６ｂ，３７ａ，３７ｂが設けられている。従って、作業
者Ｗ１，Ｗ２は作業が可能か否かを容易に判断できる。

【００４２】（８） 無人搬送車２７によりキャリア搬
送容器２４が一般環境１３中を搬送されるため、作業者
Ｗ１が手動台車でキャリア搬送容器２４を搬送する必要
がない。

【００４３】（９） ２個の開口部１５ａ，１５ｂが設
けられているため、作業者Ｗ１，Ｗ２は作業がやり易く
なる。 （１０） 開口部１５ａ，１５ｂと対応する位置に昇降
装置２３が設けられているため、作業者Ｗ１，Ｗ２がキ
ャリア搬送容器２４を取り扱い易い高さで扱うのが容易
になる。

【００４４】（第２の実施の形態）次に第２の実施の形
態を図７に従って説明する。この実施の形態では一般環
境１３でキャリア搬送容器２４を無人搬送車２７に代え
て手動台車で搬送する点と、昇降装置２３がない点が前
記実施の形態と大きく異なっている。なお、前記実施の
形態と同一部分は同一符号を付して詳しい説明を省略す
る。

【００４５】手動台車としてのハンドリフト３９は、キ
ャリア搬送容器２４を載置した状態で昇降可能なフォー
ク４０を備えている。フォーク４０はキャリア搬送容器
２４を開口部１５ａ，１５ｂと対向する高さまで上昇可
能に構成されている。

【００４６】そして、この実施の形態では、キャリア１
４は、キャリア搬送容器２４に収容された状態でハンド
リフト３９のフォーク４０上に載置され、作業者Ｗ１に
よりハンドリフト３９が押されて一般環境１３中を搬送
される。例えば、クリーンルーム１１にキャリア１４を
搬入する際は、図６に示すように、ハンドリフト３９の
フォーク４０が上昇位置に配置されてキャリア搬送容器
２４が開口部１５ａと対向する状態で、キャリア搬送容
器２４の鍔部２９ａがフック３３と係合可能な開口部１
５ａ近傍位置に配置される。また、キャリア１４を搬出
する場合は開口部１５ｂ近傍位置に配置される。この場
合、ハンドリフト３９を開口部１５ａ，１５ｂと対応す
る所定位置に案内するガイド部を設けるのが好ましい。

【００４７】その状態で作業者Ｗ１は、スイッチ３５ａ
を押圧操作する。スイッチ３５ａの操作により、前記実
施の形態と同様に、シリンダ３４が駆動されてフック３
３が待機位置から作用位置へ回動され、パッキン３０ａ
が壁１２と鍔部２９ａとの間に挟持されて開口部１５ａ
の一般環境側開口端がキャリア搬送容器２４により密閉
される。そして、前記実施の形態と同様にクリーンエア
が噴射された後、スライドドア１６及び扉２８が開かれ
て、キャリア１４がクリーンルーム１１内に搬入され
る。

【００４８】この実施の形態では前記実施の形態の
（１）〜（７）及び（９）の効果を有する他に次の効果
を有する。 （１１） 無人搬送車２７に代えてハンドリフト３９で
キャリア搬送容器２４を搬送するため、開口部１５ａ，
１５ｂと対応する位置に昇降装置２３を設置する必要が
ない。その結果、一般環境１３の開口部１５ａ，１５ｂ
と対応する位置の空間を有効に利用できる。また、無人
搬送車２７で搬送する場合に比較して低コストになると
ともに、搬送経路の自由度が大きくなる。

【００４９】実施の形態は前記に限定されるものではな
く、例えば、次のように具体化してもよい。 ○ 付勢装置３１はシリンダ３４で回転軸３２を回動す
る構成に限らず、手動操作で回転軸３２を回動してフッ
ク３３を待機位置と作用位置とに移動させる構成として
もよい。

【００５０】〇 鍔部２９ａと係合するフック３３を回
動させて鍔部２９ａを壁１２側に付勢する構成に限ら
ず、エアシリンダ等のアクチュエータでキャリア搬送容
器２４を壁１２側へ押圧付勢する構成としてもよい。

【００５１】○ スイッチ３５ａを操作することによ
り、シリンダ３４が正転駆動された後、噴射ノズル１８
が作動される構成に代えて、シリンダ３４の駆動スイッ
チと、噴射ノズル１８の作動スイッチとを別々に設けて
もよい。

【００５２】〇 開口部１５ａ，１５ｂを搬入用と、搬
出用とに区別して、例えば、一方の開口部１５ａを搬入
用に、他方の開口部１５ｂを搬出用として、キャリア１
４の搬入及び搬出を行うようにしてもよい。

【００５３】〇 開口部を１個にしたり、あるいは３個
以上設けてもよい。 〇 無人搬送車２７を設けずに手動台車でキャリア搬送
容器２４を搬送する場合、ハンドリフト３９に代えて、
昇降不能な載置部を備えた手動台車を使用し、キャリア
搬送容器２４を昇降装置２３を使用して開口部１５ａ，
１５ｂと対向する上昇位置に配置させるようにしてもよ
い。

【００５４】〇 クリーンルーム１１の異常表示灯とし
てのランプ３６ａと、スライドドア１６を開放してよい
状態のときに点灯されるランプ３６ｂとの両方を設けず
に、いずれか一方を設けてもよい。

【００５５】〇 一般環境側開口端を密閉する位置に配
置されたキャリア搬送容器２４の移動を許容する状態の
ときに点灯されるランプ３７ｂと、異常表示灯としての
ランプ３７ａとの両方を設けずに、いずれか一方を設け
てもよい。

【００５６】〇 キャリア１４はガラス基板以外の物体
の搬送に使用してもよい。前記実施の形態から把握され
る技術的思想（発明）について、以下に記載する。

【００５７】（１） 請求項４に記載の発明において、
前記キャリア搬入搬出開口部の一般環境側の開口端は、
前記キャリアの出し入れ口を密閉可能な扉が設けられた
キャリア搬送容器の該扉が設けられた側で密閉可能に構
成され、前記一般環境側の開口端が前記キャリア搬送容
器で密閉された状態で前記噴射ノズルから気体が噴射可
能に構成されている。

【００５８】（２） 請求項４又は（１）に記載の発明
において、前記キャリア搬送容器には前記扉が設けられ
た側に、前記キャリア搬入搬出開口部の周縁部と対向可
能な鍔部が設けられ、前記キャリア搬入搬出開口部が設
けられた壁の一般環境側の開口端の周縁及び前記鍔部の
いずれか一方に環状のパッキンが設けられている。

【００５９】（３） （２）に記載の発明において、前
記壁には前記キャリア搬送容器の鍔部と係合して鍔部を
壁側へ付勢する付勢手段が設けられている。 （４） 請求項４又は（１）に記載の発明において、前
記キャリア搬入搬出開口部と対応する一般環境側には、
前記キャリア搬送容器を載置する載置部が、該キャリア
搬送容器をその扉が前記キャリア搬入搬出開口部と対向
する受け渡し位置と、それより下方の位置とに昇降可能
な昇降装置が設けられている。

【００６０】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜請求項
３に記載の発明によれば、清浄度の低い一般環境を挟ん
で設けられた複数のクリーンルーム間で、搬送対象物を
収容して搬送車等で搬送されるキャリアを、簡単な構成
でキャリアの環境をクリーンに保ったまま、クリーンル
ーム内とクリーンルーム外との間で受け渡すことができ
る。請求項４に記載の発明によれば、請求項１〜請求項
３に記載の発明の方法を実施するのに適している。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１の実施の形態のキャリア搬入搬出部の付
近の模式断面図。

【図２】 同じく一般環境側の模式斜視図。

【図３】 同じくクリーンルーム側の模式斜視図。

【図４】 昇降装置の平面図。

【図５】 キャリア搬入搬出部の概略正面図。

【図６】 昇降装置及び付勢装置の概略側面図。

【図７】 第２の実施の形態のキャリア搬入搬出部の付
近の模式断面図。

【符号の説明】

１１…クリーンルーム、１２…壁、１３…一般環境、１
４…キャリア、１５ａ，１５ｂ…開口部、１６…開口部
用扉としてのスライドドア、１８…噴射ノズル、２４…
キャリア搬送容器、２４ａ…出し入れ口、２８…扉。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｄ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 密閉可能な扉を備えたキャリア搬送容器
   を使用して、被搬送物を収納するキャリアを、一般環境
   中を経てクリーンルーム間で搬送する際の一般環境とク
   リーンルームと間のキャリア受け渡し方法であって、 前記クリーンルームの壁に設けられたキャリア搬入搬出
   用開口部のクリーンルーム側の開口端を密閉可能な開口
   部用扉をクリーンルーム側から開閉可能に設け、前記キ
   ャリア搬送容器の扉をクリーンルーム側から開閉可能な
   状態で前記キャリア搬入搬出用開口部に対向させるとと
   もに前記キャリア搬入搬出用開口部の一般環境側開口端
   をキャリア搬送容器の一部で閉塞し、前記開口部用扉を
   閉じた状態で、前記キャリア搬入搬出用開口部と対応す
   るキャリア搬送容器の部分に気体を所定時間噴射した
   後、前記開口部用扉及びキャリア搬送容器の扉をクリー
   ンルーム側から開き、キャリア搬送容器内からキャリア
   の取り出し、あるいはキャリア搬送容器内にキャリアを
   収容するキャリア受け渡し方法。
2. 【請求項２】 前記キャリア搬送容器は前記扉が設けら
   れた一面が前記気体の噴射を受ける請求項１に記載のキ
   ャリア受け渡し方法。
3. 【請求項３】 前記開口部用扉は、前記キャリア搬送容
   器が前記キャリア搬入搬出用開口部の一般環境側開口端
   を閉塞した後、前記気体の噴射が終了するまでは開放不
   能に構成されている請求項１又は請求項２に記載のキャ
   リア受け渡し方法。
4. 【請求項４】 被搬送物を収納可能なキャリアを一般環
   境からクリーンルーム内へ出し入れ可能とするため、ク
   リーンルームの壁に設けられたキャリア搬入搬出用開口
   部と、 前記キャリア搬入搬出開口部のクリーンルーム側の開口
   端を密閉可能、かつクリーンルーム側から開閉可能な扉
   と、 前記キャリア搬入搬出開口部の一般環境側開口端に向か
   って気体を噴射可能な噴射ノズルとを備えたクリーンル
   ームのキャリア搬入搬出部。