JP2003158164A - キャリア受け渡し方法及びクリーンルームのキャリア搬入搬出部 - Google Patents
キャリア受け渡し方法及びクリーンルームのキャリア搬入搬出部Info
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- JP2003158164A JP2003158164A JP2001354575A JP2001354575A JP2003158164A JP 2003158164 A JP2003158164 A JP 2003158164A JP 2001354575 A JP2001354575 A JP 2001354575A JP 2001354575 A JP2001354575 A JP 2001354575A JP 2003158164 A JP2003158164 A JP 2003158164A
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- Japan
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- carrier
- clean room
- opening
- door
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- Ventilation (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 一般環境を挟んで設けられたクリーンルーム
間で、搬送対象物を収容して搬送車等で搬送されるキャ
リアを、簡単な構成でキャリアの環境をクリーンに保っ
たまま、クリーンルーム内とクリーンルーム外との間で
受け渡す。 【解決手段】 キャリア14の出し入れ口14aを密閉可能
な扉28を備えたキャリア搬送容器24を使用する。クリー
ンルーム11の壁12に設けられた開口部15a,15bのクリ
ーンルーム側の開口端を密閉可能なスライドドア16をク
リーンルーム側から開閉可能に設ける。扉28を閉じた状
態でキャリア搬送容器24の扉28側で、開口部15a,15b
の一般環境側開口端を閉塞し、スライドドア16を閉じた
状態で、噴射ノズル18からクリーンエアを所定時間噴射
する。その後、スライドドア16及び扉28をクリーンルー
ム側から開き、キャリア搬送容器24内からキャリア14の
取り出し、あるいはキャリア搬送容器24内にキャリア14
を収容する。
間で、搬送対象物を収容して搬送車等で搬送されるキャ
リアを、簡単な構成でキャリアの環境をクリーンに保っ
たまま、クリーンルーム内とクリーンルーム外との間で
受け渡す。 【解決手段】 キャリア14の出し入れ口14aを密閉可能
な扉28を備えたキャリア搬送容器24を使用する。クリー
ンルーム11の壁12に設けられた開口部15a,15bのクリ
ーンルーム側の開口端を密閉可能なスライドドア16をク
リーンルーム側から開閉可能に設ける。扉28を閉じた状
態でキャリア搬送容器24の扉28側で、開口部15a,15b
の一般環境側開口端を閉塞し、スライドドア16を閉じた
状態で、噴射ノズル18からクリーンエアを所定時間噴射
する。その後、スライドドア16及び扉28をクリーンルー
ム側から開き、キャリア搬送容器24内からキャリア14の
取り出し、あるいはキャリア搬送容器24内にキャリア14
を収容する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、キャリア受け渡し
方法及びクリーンルームのキャリア搬入搬出部に関す
る。詳しくは清浄度の低い一般環境を挟んで設けられた
複数のクリーンルーム間で、例えば液晶用ガラス基板を
収容したキャリアを搬送する際に、クリーンルーム内と
一般環境との間でキャリアを受け渡すのに好適なキャリ
ア受け渡し方法及びクリーンルームのキャリア搬入搬出
部に関するものである。
方法及びクリーンルームのキャリア搬入搬出部に関す
る。詳しくは清浄度の低い一般環境を挟んで設けられた
複数のクリーンルーム間で、例えば液晶用ガラス基板を
収容したキャリアを搬送する際に、クリーンルーム内と
一般環境との間でキャリアを受け渡すのに好適なキャリ
ア受け渡し方法及びクリーンルームのキャリア搬入搬出
部に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、液晶装置や半導体装置を製造す
る場合、全ての作業がクリーンルーム内で行われる。し
かし、工場における製造工程の増設を図る際に、製造工
程を複数の離れた室に分けざるを得ない場合がある。そ
の際、各室をクリーンルームと同じ清浄度の通路で連結
すれば問題はない。しかし、両室の距離が離れている場
合、通路全体をクリーンルームと同じ清浄度に保つに
は、増設のコストが大きくなる。そこで、清浄環境下で
取り扱われるべき搬送対象物をあるクリーンルームから
他のクリーンルームに、一般環境を通過して運ぶことが
要求される。
る場合、全ての作業がクリーンルーム内で行われる。し
かし、工場における製造工程の増設を図る際に、製造工
程を複数の離れた室に分けざるを得ない場合がある。そ
の際、各室をクリーンルームと同じ清浄度の通路で連結
すれば問題はない。しかし、両室の距離が離れている場
合、通路全体をクリーンルームと同じ清浄度に保つに
は、増設のコストが大きくなる。そこで、清浄環境下で
取り扱われるべき搬送対象物をあるクリーンルームから
他のクリーンルームに、一般環境を通過して運ぶことが
要求される。
【0003】このとき、搬送対象物は搬送容器内に密閉
された状態で搬送車に搭載されて、一般環境下を搬送さ
れる。そのため、搬送対象物を一般環境とクリーンルー
ムとの間で受け渡す際に、一般環境を通過した搬送車及
び搬送容器に付着した塵埃等がクリーンルーム内に侵入
するのをできるだけ防止した状態で受け渡す必要があ
る。
された状態で搬送車に搭載されて、一般環境下を搬送さ
れる。そのため、搬送対象物を一般環境とクリーンルー
ムとの間で受け渡す際に、一般環境を通過した搬送車及
び搬送容器に付着した塵埃等がクリーンルーム内に侵入
するのをできるだけ防止した状態で受け渡す必要があ
る。
【0004】従来、特開2001−144158号公報
には、クリーンルーム側のドアと同時に開閉できるドア
を備えた搬送車(コンテナ)を使用して、搬送対象物を
収納したケースを搬送することが開示されている。この
場合、前記ケースは搬送車内に設けられた棚に載置され
た状態で搬送され、搬送車は一般環境からクリーンルー
ム内に設けられたシャワー室に導入され、エアーシャワ
ー室で所定時間エアーシャワー洗浄を受ける。その後、
クリーンルームのドアと搬送車のドアが連結される位置
まで移動された後、両ドアがクリーンルーム側に開か
れ、ケースが取り出される。
には、クリーンルーム側のドアと同時に開閉できるドア
を備えた搬送車(コンテナ)を使用して、搬送対象物を
収納したケースを搬送することが開示されている。この
場合、前記ケースは搬送車内に設けられた棚に載置され
た状態で搬送され、搬送車は一般環境からクリーンルー
ム内に設けられたシャワー室に導入され、エアーシャワ
ー室で所定時間エアーシャワー洗浄を受ける。その後、
クリーンルームのドアと搬送車のドアが連結される位置
まで移動された後、両ドアがクリーンルーム側に開か
れ、ケースが取り出される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、特開200
1−144158号公報に開示された装置では、ケース
を搬送する搬送車全体をエアーシャワー室で所定時間エ
アーシャワー洗浄を行う必要がある。そのため、エアー
シャワーに必要なエアー消費量が多くなるとともに、エ
アーシャワーの時間も長くかかるという問題がある。特
に近年、液晶基板の製造に使用するガラス基板が大型化
しており、四角形状のガラス基板の一辺が1mのものも
あり、ガラス基板を収納するカセット及びカセットの搬
送に使用する搬送車も大型化しており、前記の問題がよ
り顕著になる。
1−144158号公報に開示された装置では、ケース
を搬送する搬送車全体をエアーシャワー室で所定時間エ
アーシャワー洗浄を行う必要がある。そのため、エアー
シャワーに必要なエアー消費量が多くなるとともに、エ
アーシャワーの時間も長くかかるという問題がある。特
に近年、液晶基板の製造に使用するガラス基板が大型化
しており、四角形状のガラス基板の一辺が1mのものも
あり、ガラス基板を収納するカセット及びカセットの搬
送に使用する搬送車も大型化しており、前記の問題がよ
り顕著になる。
【0006】本発明は、前記の問題に鑑みてなされたも
のであって、その第1の目的は、清浄度の低い一般環境
を挟んで設けられた複数のクリーンルーム間で、搬送対
象物を収容して搬送車等で搬送されるキャリア(例え
ば、カセット)を、簡単な構成でキャリアの環境をクリ
ーンに保ったまま、クリーンルーム内とクリーンルーム
外との間で受け渡すことができるキャリアの受け渡し方
法を提供することにある。また、第2の目的は前記受け
渡し方法を実施するのに好適なクリーンルームのキャリ
ア搬入搬出部を提供することにある。
のであって、その第1の目的は、清浄度の低い一般環境
を挟んで設けられた複数のクリーンルーム間で、搬送対
象物を収容して搬送車等で搬送されるキャリア(例え
ば、カセット)を、簡単な構成でキャリアの環境をクリ
ーンに保ったまま、クリーンルーム内とクリーンルーム
外との間で受け渡すことができるキャリアの受け渡し方
法を提供することにある。また、第2の目的は前記受け
渡し方法を実施するのに好適なクリーンルームのキャリ
ア搬入搬出部を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記第1の目的を達成す
るため、請求項1に記載の発明は、密閉可能な扉を備え
たキャリア搬送容器を使用して、被搬送物を収納するキ
ャリアを、一般環境中を経てクリーンルーム間で搬送す
る際の一般環境とクリーンルームと間のキャリア受け渡
し方法である。前記クリーンルームの壁に設けられたキ
ャリア搬入搬出用開口部のクリーンルーム側の開口端を
密閉可能な開口部用扉をクリーンルーム側から開閉可能
に設け、前記キャリア搬送容器の扉をクリーンルーム側
から開閉可能な状態で前記キャリア搬入搬出用開口部に
対向させる。その状態で、前記キャリア搬入搬出用開口
部の一般環境側開口端をキャリア搬送容器の一部で閉塞
し、前記開口部用扉を閉じた状態で、前記キャリア搬入
搬出用開口部と対応するキャリア搬送容器の部分に気体
を所定時間噴射する。その後、前記開口部用扉及びキャ
リア搬送容器の扉をクリーンルーム側から開き、キャリ
ア搬送容器内からキャリアの取り出し、あるいはキャリ
ア搬送容器内にキャリアを収容する。
るため、請求項1に記載の発明は、密閉可能な扉を備え
たキャリア搬送容器を使用して、被搬送物を収納するキ
ャリアを、一般環境中を経てクリーンルーム間で搬送す
る際の一般環境とクリーンルームと間のキャリア受け渡
し方法である。前記クリーンルームの壁に設けられたキ
ャリア搬入搬出用開口部のクリーンルーム側の開口端を
密閉可能な開口部用扉をクリーンルーム側から開閉可能
に設け、前記キャリア搬送容器の扉をクリーンルーム側
から開閉可能な状態で前記キャリア搬入搬出用開口部に
対向させる。その状態で、前記キャリア搬入搬出用開口
部の一般環境側開口端をキャリア搬送容器の一部で閉塞
し、前記開口部用扉を閉じた状態で、前記キャリア搬入
搬出用開口部と対応するキャリア搬送容器の部分に気体
を所定時間噴射する。その後、前記開口部用扉及びキャ
リア搬送容器の扉をクリーンルーム側から開き、キャリ
ア搬送容器内からキャリアの取り出し、あるいはキャリ
ア搬送容器内にキャリアを収容する。
【0008】従って、この発明の方法では、被搬送物
(搬送対象物)はキャリアに収容されて、キャリア搬送
容器により一般環境に晒されずに一般環境中を搬送され
る。そして、キャリア搬送容器の扉を開くのに先だっ
て、キャリア搬入搬出用開口部を介してクリーンルーム
と対応する部分が、所定時間気体の噴射を受けて、一般
環境下でその表面に付着した塵埃等が洗浄される。従っ
て、クリーンルームの開口部用扉及びキャリア搬送容器
の扉を開いて、キャリア搬送容器内からキャリアの取り
出し、あるいはキャリア搬送容器内へのキャリアの収容
を行う際にも、キャリアはクリーンな環境内を移動す
る。その結果、簡単な構成でキャリアの環境をクリーン
に保ったまま、クリーンルーム内とクリーンルーム外と
の間でキャリアを受け渡すことができる。
(搬送対象物)はキャリアに収容されて、キャリア搬送
容器により一般環境に晒されずに一般環境中を搬送され
る。そして、キャリア搬送容器の扉を開くのに先だっ
て、キャリア搬入搬出用開口部を介してクリーンルーム
と対応する部分が、所定時間気体の噴射を受けて、一般
環境下でその表面に付着した塵埃等が洗浄される。従っ
て、クリーンルームの開口部用扉及びキャリア搬送容器
の扉を開いて、キャリア搬送容器内からキャリアの取り
出し、あるいはキャリア搬送容器内へのキャリアの収容
を行う際にも、キャリアはクリーンな環境内を移動す
る。その結果、簡単な構成でキャリアの環境をクリーン
に保ったまま、クリーンルーム内とクリーンルーム外と
の間でキャリアを受け渡すことができる。
【0009】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の発明において、前記キャリア搬送容器は前記扉が設け
られた一面が前記気体の噴射を受ける。従って、この発
明の方法では、気体の噴射を受ける面積が少なくなり、
洗浄用気体の消費量が少なくなるとともに、噴射時間を
短縮できる。
の発明において、前記キャリア搬送容器は前記扉が設け
られた一面が前記気体の噴射を受ける。従って、この発
明の方法では、気体の噴射を受ける面積が少なくなり、
洗浄用気体の消費量が少なくなるとともに、噴射時間を
短縮できる。
【0010】請求項3に記載の発明は、請求項1又は請
求項2に記載の発明において、前記開口部用扉は、前記
キャリア搬送容器が前記キャリア搬入搬出用開口部の一
般環境側開口端を閉塞した後、前記気体の噴射が終了す
るまでは開放不能に構成されている。従って、この発明
の方法では、キャリア搬送容器の気体による洗浄が終了
する前に、扉を開くことによりクリーンルーム内に塵埃
等が侵入するのを防止できる。
求項2に記載の発明において、前記開口部用扉は、前記
キャリア搬送容器が前記キャリア搬入搬出用開口部の一
般環境側開口端を閉塞した後、前記気体の噴射が終了す
るまでは開放不能に構成されている。従って、この発明
の方法では、キャリア搬送容器の気体による洗浄が終了
する前に、扉を開くことによりクリーンルーム内に塵埃
等が侵入するのを防止できる。
【0011】第2の目的を達成するため、請求項4に記
載の発明は、被搬送物を収納可能なキャリアを一般環境
からクリーンルーム内へ出し入れ可能とするため、クリ
ーンルームの壁にキャリア搬入搬出用開口部と、該キャ
リア搬入搬出用開口部のクリーンルーム側の開口端を密
閉可能、かつクリーンルーム側から開閉可能な扉とが設
けられる。また、前記キャリア搬入搬出開口部の一般環
境側開口端に向かって気体を噴射可能な噴射ノズルを備
える。
載の発明は、被搬送物を収納可能なキャリアを一般環境
からクリーンルーム内へ出し入れ可能とするため、クリ
ーンルームの壁にキャリア搬入搬出用開口部と、該キャ
リア搬入搬出用開口部のクリーンルーム側の開口端を密
閉可能、かつクリーンルーム側から開閉可能な扉とが設
けられる。また、前記キャリア搬入搬出開口部の一般環
境側開口端に向かって気体を噴射可能な噴射ノズルを備
える。
【0012】この発明では、被搬送物を収納するキャリ
アの出し入れ口を密閉可能な扉を備えたキャリア搬送容
器を使用することで、請求項1に記載の発明の方法を実
施できる。
アの出し入れ口を密閉可能な扉を備えたキャリア搬送容
器を使用することで、請求項1に記載の発明の方法を実
施できる。
【0013】
【発明の実施の形態】(第1の実施の形態)以下、本発
明を被搬送物(搬送対象物)としての液晶用ガラス基板
の搬送に使用するキャリアの受け渡しに具体化した第1
の実施の形態を図1〜図6に従って説明する。
明を被搬送物(搬送対象物)としての液晶用ガラス基板
の搬送に使用するキャリアの受け渡しに具体化した第1
の実施の形態を図1〜図6に従って説明する。
【0014】図1はクリーンルームと一般環境を区画す
る壁の部分の模式断面図、図2は一般環境側から見た模
式斜視図、図3はクリーンルーム側から見た模式斜視図
を示す。図4は昇降装置の平面図、図5はキャリア搬入
搬出用開口部を一般環境側から見た図、図6は昇降装置
の側面図である。
る壁の部分の模式断面図、図2は一般環境側から見た模
式斜視図、図3はクリーンルーム側から見た模式斜視図
を示す。図4は昇降装置の平面図、図5はキャリア搬入
搬出用開口部を一般環境側から見た図、図6は昇降装置
の側面図である。
【0015】図1に示すように、クリーンルーム11は
壁12により一般環境13側と区画されている。壁12
にはガラス基板用キャリア14(以下、単にキャリアと
称す)を一般環境13からクリーンルーム11内へ出し
入れ可能とするキャリア搬入搬出用開口部としての開口
部15a,15bが形成されている。
壁12により一般環境13側と区画されている。壁12
にはガラス基板用キャリア14(以下、単にキャリアと
称す)を一般環境13からクリーンルーム11内へ出し
入れ可能とするキャリア搬入搬出用開口部としての開口
部15a,15bが形成されている。
【0016】開口部15a,15bは近接して2個設け
られている。図3に示すように、壁12のクリーンルー
ム11側には、各開口部15a,15bのクリーンルー
ム11側の開口端をそれぞれ密閉可能、かつクリーンル
ーム11側から開閉可能な開口部用扉としてのスライド
ドア16が2個設けられている。各スライドドア16は
レール17に沿って独立にスライド可能に構成され、開
口部15a,15bと対向する閉鎖位置では、パッキン
16a(図1に図示)を壁面に押圧して開口端を密閉可
能に構成されている。
られている。図3に示すように、壁12のクリーンルー
ム11側には、各開口部15a,15bのクリーンルー
ム11側の開口端をそれぞれ密閉可能、かつクリーンル
ーム11側から開閉可能な開口部用扉としてのスライド
ドア16が2個設けられている。各スライドドア16は
レール17に沿って独立にスライド可能に構成され、開
口部15a,15bと対向する閉鎖位置では、パッキン
16a(図1に図示)を壁面に押圧して開口端を密閉可
能に構成されている。
【0017】各開口部15a,15bの周縁部には気体
としてのクリーンエアを、開口部15a,15bの一般
環境13側開口端に向かって噴射可能な噴射ノズル18
が設けられている。噴射ノズル18はクリーンエアを斜
め下方に向けて噴射するように配設されている。壁12
の開口部15a,15bの下方位置には空間19が設け
られ、空間19内には空間19を一般環境13側に連通
させるとともにフィルタ20を備えた窓21(図5に図
示)が設けられている。また、空間19内には空間19
内のエアを窓21から排出するためのファン装置22が
設けられている。ファン装置22は噴射ノズル18から
クリーンエアが噴射される際に駆動され、噴射されたエ
アを窓21から排気するようになっている。
としてのクリーンエアを、開口部15a,15bの一般
環境13側開口端に向かって噴射可能な噴射ノズル18
が設けられている。噴射ノズル18はクリーンエアを斜
め下方に向けて噴射するように配設されている。壁12
の開口部15a,15bの下方位置には空間19が設け
られ、空間19内には空間19を一般環境13側に連通
させるとともにフィルタ20を備えた窓21(図5に図
示)が設けられている。また、空間19内には空間19
内のエアを窓21から排出するためのファン装置22が
設けられている。ファン装置22は噴射ノズル18から
クリーンエアが噴射される際に駆動され、噴射されたエ
アを窓21から排気するようになっている。
【0018】図1及び図2に示すように、壁12の一般
環境13側には各開口部15a,15bと対応する位置
に昇降装置(シザーリフト)23が配設されている。な
お、図2では一方の昇降装置23のみ図示している。図
6に示すように、昇降装置23は図示しない他のクリー
ンルームとの間でのキャリア14の搬送に使用するキャ
リア搬送容器24を載置する載置部25を備え、載置部
25がパンタグラフ機構26により昇降可能に構成され
ている。載置部25上には多数のローラ25a(図1,
2等に図示)が、壁12と平行に延びるように配設され
ている。図5に示すように、載置部25の左右両側には
キャリア搬送容器24を開口部15a,15bの所定位
置と対向するように案内するガイド部25bが設けられ
ている。
環境13側には各開口部15a,15bと対応する位置
に昇降装置(シザーリフト)23が配設されている。な
お、図2では一方の昇降装置23のみ図示している。図
6に示すように、昇降装置23は図示しない他のクリー
ンルームとの間でのキャリア14の搬送に使用するキャ
リア搬送容器24を載置する載置部25を備え、載置部
25がパンタグラフ機構26により昇降可能に構成され
ている。載置部25上には多数のローラ25a(図1,
2等に図示)が、壁12と平行に延びるように配設され
ている。図5に示すように、載置部25の左右両側には
キャリア搬送容器24を開口部15a,15bの所定位
置と対向するように案内するガイド部25bが設けられ
ている。
【0019】載置部25は、キャリア搬送容器24が開
口部15a,15bと対向する位置と、キャリア搬送容
器24をクリーンルーム11と他のクリーンルームとの
間で搬送するための無人搬送車27(AGV)の荷台2
7aと対応する位置との間を昇降可能になっている。無
人搬送車27の荷台27aには、多数のローラ27bが
無人搬送車27の前後方向(図1の紙面と垂直方向)と
平行に配設されている。無人搬送車27は図示しない誘
導線に沿って、クリーンルーム11と他のクリーンルー
ムとの間を走行し、昇降装置23と対応するキャリア搬
送容器24の積み卸し位置では、図1に示すように側面
が昇降装置23と対応する位置で停止するようになって
いる。その状態において、下降位置に配置された載置部
25と荷台27aとの間で、キャリア搬送容器24のロ
ーラ25a,27bを介した移動が可能になっている。
口部15a,15bと対向する位置と、キャリア搬送容
器24をクリーンルーム11と他のクリーンルームとの
間で搬送するための無人搬送車27(AGV)の荷台2
7aと対応する位置との間を昇降可能になっている。無
人搬送車27の荷台27aには、多数のローラ27bが
無人搬送車27の前後方向(図1の紙面と垂直方向)と
平行に配設されている。無人搬送車27は図示しない誘
導線に沿って、クリーンルーム11と他のクリーンルー
ムとの間を走行し、昇降装置23と対応するキャリア搬
送容器24の積み卸し位置では、図1に示すように側面
が昇降装置23と対応する位置で停止するようになって
いる。その状態において、下降位置に配置された載置部
25と荷台27aとの間で、キャリア搬送容器24のロ
ーラ25a,27bを介した移動が可能になっている。
【0020】キャリア搬送容器24は、四角箱状に形成
され、一面にキャリア14の出し入れ口を24aを有
し、該出し入れ口24aを密閉可能な扉28を備えてい
る。扉28は、キャリア搬送容器24の扉28側が開口
部15a,15bを閉塞した状態で、クリーンルーム1
1側から開閉可能に構成されている。
され、一面にキャリア14の出し入れ口を24aを有
し、該出し入れ口24aを密閉可能な扉28を備えてい
る。扉28は、キャリア搬送容器24の扉28側が開口
部15a,15bを閉塞した状態で、クリーンルーム1
1側から開閉可能に構成されている。
【0021】キャリア搬送容器24には、扉28が配設
された側の外周部に、開口部15a,15bの周縁部と
対向可能な鍔部(フランジ)29aが設けられ、内周部
には扉28の内面と対向可能な鍔部29bが突設されて
いる。鍔部29a,29bには四角環状のパッキン30
a,30bが装備されている。そして、パッキン30a
が鍔部29aを介して壁12に押圧された状態で、キャ
リア搬送容器24と鍔部29aにより開口部15a,1
5bの一般環境側の開口端が密閉されるようになってい
る。また、パッキン30bは扉28が閉じた状態で、扉
28の内面に押圧されて、鍔部29bと扉28によって
挟持され、出し入れ口24aを扉28が密閉可能になっ
ている。
された側の外周部に、開口部15a,15bの周縁部と
対向可能な鍔部(フランジ)29aが設けられ、内周部
には扉28の内面と対向可能な鍔部29bが突設されて
いる。鍔部29a,29bには四角環状のパッキン30
a,30bが装備されている。そして、パッキン30a
が鍔部29aを介して壁12に押圧された状態で、キャ
リア搬送容器24と鍔部29aにより開口部15a,1
5bの一般環境側の開口端が密閉されるようになってい
る。また、パッキン30bは扉28が閉じた状態で、扉
28の内面に押圧されて、鍔部29bと扉28によって
挟持され、出し入れ口24aを扉28が密閉可能になっ
ている。
【0022】図2及び図5に示すように、壁12の一般
環境13側には、各開口部15a,15bの左右両側
に、キャリア搬送容器24の鍔部29aと係合して鍔部
29aを壁12側へ付勢する付勢手段としての付勢装置
31が設けられている。付勢装置31は上下方向に延設
された回転軸32と、回転軸32の上部側及び下部側に
それぞれ固定されたフック33と、エアシリンダ34
(以下、単にシリンダ34と称す)とを備えている。回
転軸32は、その上端がシリンダ34のピストンロッド
に作動連結されて、シリンダ34の駆動により正逆回動
可能になっている。なお、図2ではシリンダ34の図示
を省略している。
環境13側には、各開口部15a,15bの左右両側
に、キャリア搬送容器24の鍔部29aと係合して鍔部
29aを壁12側へ付勢する付勢手段としての付勢装置
31が設けられている。付勢装置31は上下方向に延設
された回転軸32と、回転軸32の上部側及び下部側に
それぞれ固定されたフック33と、エアシリンダ34
(以下、単にシリンダ34と称す)とを備えている。回
転軸32は、その上端がシリンダ34のピストンロッド
に作動連結されて、シリンダ34の駆動により正逆回動
可能になっている。なお、図2ではシリンダ34の図示
を省略している。
【0023】フック33は、シリンダ34の駆動によ
り、壁12に対してほぼ直角となる待機位置と、載置部
25上に載置されたキャリア搬送容器24の鍔部29a
に係合して鍔部29aを壁12側に押圧付勢する作用位
置とに回転軸32を介して回動されるようになってい
る。シリンダ34は壁12に設けられたスイッチ35
a,35b(図5にのみ図示)の操作で正転駆動あるい
は逆転駆動可能に構成されている。ここで、シリンダ3
4の正転駆動とはフック33が鍔部29aを壁12側に
押圧付勢する方向へ回転軸32を回動させる駆動を意味
し、逆転駆動とはフック33が鍔部29aとの係合を解
除する方向へ回転軸32を回動させる駆動を意味する。
シリンダ34はスイッチ35aの押圧操作により、正転
駆動されてフック33を作用位置側へ回動させ、スイッ
チ35bの押圧操作により、逆転駆動されてフック33
を待機位置へ回動させる。
り、壁12に対してほぼ直角となる待機位置と、載置部
25上に載置されたキャリア搬送容器24の鍔部29a
に係合して鍔部29aを壁12側に押圧付勢する作用位
置とに回転軸32を介して回動されるようになってい
る。シリンダ34は壁12に設けられたスイッチ35
a,35b(図5にのみ図示)の操作で正転駆動あるい
は逆転駆動可能に構成されている。ここで、シリンダ3
4の正転駆動とはフック33が鍔部29aを壁12側に
押圧付勢する方向へ回転軸32を回動させる駆動を意味
し、逆転駆動とはフック33が鍔部29aとの係合を解
除する方向へ回転軸32を回動させる駆動を意味する。
シリンダ34はスイッチ35aの押圧操作により、正転
駆動されてフック33を作用位置側へ回動させ、スイッ
チ35bの押圧操作により、逆転駆動されてフック33
を待機位置へ回動させる。
【0024】噴射ノズル18は、該噴射ノズル18が配
置された開口部15a,15bのスライドドア16が閉
じられ、キャリア搬送容器24の鍔部29aが所定範囲
の押圧力で壁12に押圧された状態で作動可能に構成さ
れている。また、スライドドア16は、キャリア搬送容
器24が開口部15a,15bの一般環境13側開口端
を閉塞した後、噴射ノズル18のクリーンエアの噴射が
終了するまでは、開放不能に構成されている。
置された開口部15a,15bのスライドドア16が閉
じられ、キャリア搬送容器24の鍔部29aが所定範囲
の押圧力で壁12に押圧された状態で作動可能に構成さ
れている。また、スライドドア16は、キャリア搬送容
器24が開口部15a,15bの一般環境13側開口端
を閉塞した後、噴射ノズル18のクリーンエアの噴射が
終了するまでは、開放不能に構成されている。
【0025】壁12には、クリーンルーム11側の各開
口部15a,15bの上方にそれぞれランプ36a,3
6bが配設され、一般環境13側の各開口部15a,1
5bの上方にそれぞれランプ37a,37bが配設され
ている。一方のランプ36a,37aは赤色に、他方の
ランプ36b,37bは緑色に点灯する。ランプ36a
は、クリーンルーム11のスライドドア16の開放禁止
の状態、例えば、噴射ノズル18からのクリーンエア噴
射中や、付勢装置31のフック33が待機位置にある状
態で点灯されるように構成されている。ランプ37a
は、異常表示灯であり、何らかの異常時に点灯されるよ
うに構成されている。また、ランプ36bはスライドド
ア16を開放してよい状態のときに点灯され、ランプ3
7bは開口部15a,15bの一般環境側開口端を密閉
する位置に配置されたキャリア搬送容器24を移動させ
てよいときに点灯されるように構成されている。
口部15a,15bの上方にそれぞれランプ36a,3
6bが配設され、一般環境13側の各開口部15a,1
5bの上方にそれぞれランプ37a,37bが配設され
ている。一方のランプ36a,37aは赤色に、他方の
ランプ36b,37bは緑色に点灯する。ランプ36a
は、クリーンルーム11のスライドドア16の開放禁止
の状態、例えば、噴射ノズル18からのクリーンエア噴
射中や、付勢装置31のフック33が待機位置にある状
態で点灯されるように構成されている。ランプ37a
は、異常表示灯であり、何らかの異常時に点灯されるよ
うに構成されている。また、ランプ36bはスライドド
ア16を開放してよい状態のときに点灯され、ランプ3
7bは開口部15a,15bの一般環境側開口端を密閉
する位置に配置されたキャリア搬送容器24を移動させ
てよいときに点灯されるように構成されている。
【0026】次に前記のように構成されたキャリア搬入
搬出部を備えたクリーンルーム11内と一般環境13と
の間でのキャリア14の受け渡し方法について説明す
る。先ず、クリーンルーム11への搬入を例に説明す
る。
搬出部を備えたクリーンルーム11内と一般環境13と
の間でのキャリア14の受け渡し方法について説明す
る。先ず、クリーンルーム11への搬入を例に説明す
る。
【0027】キャリア14は、キャリア搬送容器24に
収容された状態で無人搬送車27の荷台27aに搭載さ
れ、無人搬送車27により一般環境13中を搬送され
る。搬送中はキャリア搬送容器24の扉28が密閉され
ているため、キャリア14は一般環境に晒されずに一般
環境中を搬送される。そして、図1に示すように、無人
搬送車27が昇降装置23と対応する位置で停止する
と、作業者W1は、荷台27a上のキャリア搬送容器2
4を、下降位置に配置された昇降装置23の載置部25
上に移動させる。このとき、キャリア搬送容器24は荷
台27a上のローラ27b及び載置部25上のローラ2
5a上を移動するため、荷台27a上から載置部25上
に簡単に移載される。
収容された状態で無人搬送車27の荷台27aに搭載さ
れ、無人搬送車27により一般環境13中を搬送され
る。搬送中はキャリア搬送容器24の扉28が密閉され
ているため、キャリア14は一般環境に晒されずに一般
環境中を搬送される。そして、図1に示すように、無人
搬送車27が昇降装置23と対応する位置で停止する
と、作業者W1は、荷台27a上のキャリア搬送容器2
4を、下降位置に配置された昇降装置23の載置部25
上に移動させる。このとき、キャリア搬送容器24は荷
台27a上のローラ27b及び載置部25上のローラ2
5a上を移動するため、荷台27a上から載置部25上
に簡単に移載される。
【0028】次に昇降装置23が駆動されて載置部25
が上昇位置へ移動され、キャリア搬送容器24は扉28
が開口部15aと対向する状態となる。この状態では、
キャリア搬送容器24は壁12から離れているため、キ
ャリア搬送容器24の鍔部29aはフック33と係合不
能な位置にある。次に作業者W1は、鍔部29aがフッ
ク33と係合可能な位置までキャリア搬送容器24を壁
12側へ移動させる。そして、その状態でスイッチ35
aが押圧操作される。
が上昇位置へ移動され、キャリア搬送容器24は扉28
が開口部15aと対向する状態となる。この状態では、
キャリア搬送容器24は壁12から離れているため、キ
ャリア搬送容器24の鍔部29aはフック33と係合不
能な位置にある。次に作業者W1は、鍔部29aがフッ
ク33と係合可能な位置までキャリア搬送容器24を壁
12側へ移動させる。そして、その状態でスイッチ35
aが押圧操作される。
【0029】スイッチ35aの操作により、シリンダ3
4が駆動されてフック33が待機位置から作用位置へ回
動される。そして、フック33の回動途中から鍔部29
aがフック33と係合し、フック33の回動終了時には
鍔部29aは所定の押圧力で壁12側へ付勢された状態
に保持され、パッキン30aが壁12と鍔部29aとの
間に挟持されて開口部15aの一般環境側開口端がキャ
リア搬送容器24により密閉される。
4が駆動されてフック33が待機位置から作用位置へ回
動される。そして、フック33の回動途中から鍔部29
aがフック33と係合し、フック33の回動終了時には
鍔部29aは所定の押圧力で壁12側へ付勢された状態
に保持され、パッキン30aが壁12と鍔部29aとの
間に挟持されて開口部15aの一般環境側開口端がキャ
リア搬送容器24により密閉される。
【0030】シリンダ34の正転駆動が完了すると、次
に噴射ノズル18が作動され、クリーンエアが開口部1
5aの一般環境側開口端に向かって所定時間噴射され
る。また、噴射ノズル18の作動と同時にファン装置2
2が駆動され、噴射ノズル18の作動停止後、ファン装
置22も駆動が停止される。噴射ノズル18から噴射さ
れるクリーンエアにより、開口部15a内に配置された
キャリア搬送容器24の表面から、一般環境下でその表
面に付着した塵埃等が洗浄される。洗浄後のエアはファ
ン装置22の作用により、窓21から一般環境13へ排
気される。噴射ノズル18の作動が終了すると、ランプ
36bが点灯される。
に噴射ノズル18が作動され、クリーンエアが開口部1
5aの一般環境側開口端に向かって所定時間噴射され
る。また、噴射ノズル18の作動と同時にファン装置2
2が駆動され、噴射ノズル18の作動停止後、ファン装
置22も駆動が停止される。噴射ノズル18から噴射さ
れるクリーンエアにより、開口部15a内に配置された
キャリア搬送容器24の表面から、一般環境下でその表
面に付着した塵埃等が洗浄される。洗浄後のエアはファ
ン装置22の作用により、窓21から一般環境13へ排
気される。噴射ノズル18の作動が終了すると、ランプ
36bが点灯される。
【0031】クリーンルーム11内の作業者W2はラン
プ36bが点灯すると、開口部15aからのキャリア1
4の受け入れ(搬入)が必要な状態であると認識し、ラ
ンプ37bが点灯すると、開口部15bからのキャリア
14の受け渡し(搬出)が必要な状態であると認識す
る。受け入れ作業(搬入作業)が必要な場合は、図3に
示すように、スライドドア16及び扉28を順次開いた
後、作業者W2は手動台車38(MGV)を開口部15
aの近くへ移動させる。そして、キャリア搬送容器24
内からキャリア14を引き出して、手動台車38の載置
部38a上に載置する。次に、扉28及びスライドドア
16を順次閉鎖した後、図示しない閉鎖確認スイッチを
操作する。その後、手動台車38によりキャリア14を
クリーンルーム11内の所定位置へ搬送する。
プ36bが点灯すると、開口部15aからのキャリア1
4の受け入れ(搬入)が必要な状態であると認識し、ラ
ンプ37bが点灯すると、開口部15bからのキャリア
14の受け渡し(搬出)が必要な状態であると認識す
る。受け入れ作業(搬入作業)が必要な場合は、図3に
示すように、スライドドア16及び扉28を順次開いた
後、作業者W2は手動台車38(MGV)を開口部15
aの近くへ移動させる。そして、キャリア搬送容器24
内からキャリア14を引き出して、手動台車38の載置
部38a上に載置する。次に、扉28及びスライドドア
16を順次閉鎖した後、図示しない閉鎖確認スイッチを
操作する。その後、手動台車38によりキャリア14を
クリーンルーム11内の所定位置へ搬送する。
【0032】クリーンルーム11側で前記閉鎖確認スイ
ッチが操作されると、開口部15aに対応するランプ3
7bが点灯する。一般環境13側の作業者W1は、ラン
プ37bの点灯を確認すると、その開口部15aと対応
するスイッチ35bを操作する。スイッチ35bの操作
により、シリンダ34が逆転駆動されてフック33が待
機位置へ回動され、キャリア搬送容器24が移動可能な
状態となる。作業者W1はキャリア搬送容器24をすぐ
に、他のクリーンルームから当該クリーンルーム11へ
のキャリア14の搬送に使用する場合は、キャリア搬送
容器24を載置部25の下降に支障を来さない位置まで
壁12から離れた位置へ移動させる。そして、昇降装置
23を駆動させて、載置部25を下降位置に移動させた
後、キャリア搬送容器24を載置部25上から荷台27
a上に移動させた後、無人搬送車27の発進スイッチを
操作する。無人搬送車27はキャリア搬送容器24を他
のクリーンルームへと搬送する。
ッチが操作されると、開口部15aに対応するランプ3
7bが点灯する。一般環境13側の作業者W1は、ラン
プ37bの点灯を確認すると、その開口部15aと対応
するスイッチ35bを操作する。スイッチ35bの操作
により、シリンダ34が逆転駆動されてフック33が待
機位置へ回動され、キャリア搬送容器24が移動可能な
状態となる。作業者W1はキャリア搬送容器24をすぐ
に、他のクリーンルームから当該クリーンルーム11へ
のキャリア14の搬送に使用する場合は、キャリア搬送
容器24を載置部25の下降に支障を来さない位置まで
壁12から離れた位置へ移動させる。そして、昇降装置
23を駆動させて、載置部25を下降位置に移動させた
後、キャリア搬送容器24を載置部25上から荷台27
a上に移動させた後、無人搬送車27の発進スイッチを
操作する。無人搬送車27はキャリア搬送容器24を他
のクリーンルームへと搬送する。
【0033】次にクリーンルーム11からのキャリア1
4の搬出について説明する。キャリア14がクリーンル
ーム11へ受け渡されたキャリア搬送容器24を利用し
て、クリーンルーム11からキャリア14を搬出する場
合は、開口部15aと対応する昇降装置23上から開口
部15bと対応する昇降装置23上へキャリア搬送容器
24を移動させる。この移動は、前記と同様にしてキャ
リア搬送容器24を無人搬送車27の荷台27a上に移
動させた後、無人搬送車27を開口部15bに対応する
昇降装置23と対向する位置に移動させる。そして、空
のキャリア搬送容器24を前記と同様にして、開口部1
5bの一般環境側開口端に近接した位置に配置した後、
スイッチ35aを操作する。これにより、前記と同様に
して、キャリア搬送容器24の鍔部29aがフック33
により壁12に押圧付勢されて開口端が密閉されるとと
もに、クリーンエアの噴射が行われる。そして、キャリ
ア搬送容器24は、クリーンルーム11側からスライド
ドア16及び扉28を開放可能な状態で待機する。
4の搬出について説明する。キャリア14がクリーンル
ーム11へ受け渡されたキャリア搬送容器24を利用し
て、クリーンルーム11からキャリア14を搬出する場
合は、開口部15aと対応する昇降装置23上から開口
部15bと対応する昇降装置23上へキャリア搬送容器
24を移動させる。この移動は、前記と同様にしてキャ
リア搬送容器24を無人搬送車27の荷台27a上に移
動させた後、無人搬送車27を開口部15bに対応する
昇降装置23と対向する位置に移動させる。そして、空
のキャリア搬送容器24を前記と同様にして、開口部1
5bの一般環境側開口端に近接した位置に配置した後、
スイッチ35aを操作する。これにより、前記と同様に
して、キャリア搬送容器24の鍔部29aがフック33
により壁12に押圧付勢されて開口端が密閉されるとと
もに、クリーンエアの噴射が行われる。そして、キャリ
ア搬送容器24は、クリーンルーム11側からスライド
ドア16及び扉28を開放可能な状態で待機する。
【0034】受け渡し作業(搬出作業)が必要な場合
は、前記と同様にスライドドア16及び扉28を順次開
いた後、作業者W2はキャリア14を載置部38a上に
載置した手動台車38を開口部15bの近くへ移動させ
る。そして、手動台車38の載置部38a上のキャリア
14を開口部15bからキャリア搬送容器24内へ押し
入れる。次に扉28及びスライドドア16を順次閉じた
後、図示しない閉鎖確認スイッチを操作する。クリーン
ルーム11側で前記閉鎖確認スイッチが操作されると、
開口部15bに対応するランプ37bが点灯する。一般
環境13側の作業者W1は、ランプ37bの点灯を確認
すると、前記と同様にして、キャリア搬送容器24を無
人搬送車27の荷台27a上に搭載した後、無人搬送車
27を発進させる。
は、前記と同様にスライドドア16及び扉28を順次開
いた後、作業者W2はキャリア14を載置部38a上に
載置した手動台車38を開口部15bの近くへ移動させ
る。そして、手動台車38の載置部38a上のキャリア
14を開口部15bからキャリア搬送容器24内へ押し
入れる。次に扉28及びスライドドア16を順次閉じた
後、図示しない閉鎖確認スイッチを操作する。クリーン
ルーム11側で前記閉鎖確認スイッチが操作されると、
開口部15bに対応するランプ37bが点灯する。一般
環境13側の作業者W1は、ランプ37bの点灯を確認
すると、前記と同様にして、キャリア搬送容器24を無
人搬送車27の荷台27a上に搭載した後、無人搬送車
27を発進させる。
【0035】この実施の形態では以下の効果を有する。
(1) 一般環境13とクリーンルーム11とを区画す
る壁12に、キャリア搬入搬出用の開口部15a,15
bを設け、該開口部15a,15bのクリーンルーム側
開口端を密閉可能、かつクリーンルーム11側から開閉
可能なスライドドア16を設けた。そして、開口部15
a,15bの一般環境側に向かってクリーンエアを噴射
する噴射ノズル18を設けた。従って、従来技術と異な
り、無人搬送車27及びキャリア搬送容器24全体をク
リーンエアで洗浄せずに、キャリア搬送容器24のキャ
リア14が移動する開口部15a,15bに面する部分
のみをクリーンエアで洗浄するだけで、キャリア14の
環境をクリーンに保ったまま、クリーンルーム11内と
クリーンルーム11外との間でキャリア14の受け渡し
を行うことができる。その結果、従来技術に比較して、
簡単な構成となり、コストを低下できる。
る壁12に、キャリア搬入搬出用の開口部15a,15
bを設け、該開口部15a,15bのクリーンルーム側
開口端を密閉可能、かつクリーンルーム11側から開閉
可能なスライドドア16を設けた。そして、開口部15
a,15bの一般環境側に向かってクリーンエアを噴射
する噴射ノズル18を設けた。従って、従来技術と異な
り、無人搬送車27及びキャリア搬送容器24全体をク
リーンエアで洗浄せずに、キャリア搬送容器24のキャ
リア14が移動する開口部15a,15bに面する部分
のみをクリーンエアで洗浄するだけで、キャリア14の
環境をクリーンに保ったまま、クリーンルーム11内と
クリーンルーム11外との間でキャリア14の受け渡し
を行うことができる。その結果、従来技術に比較して、
簡単な構成となり、コストを低下できる。
【0036】(2) キャリア搬送容器24は扉28が
設けられた一面がクリーンエアの噴射を受ける。従っ
て、クリーンエアの噴射を受ける面積が少なくなり、ク
リーンエアの消費量が少なくなるとともに、洗浄に必要
な噴射時間を短縮できる。その結果、ランニングコスト
(クリーンエア使用コスト)を低減できるとともに、受
け渡しに必要な時間を短縮できる。
設けられた一面がクリーンエアの噴射を受ける。従っ
て、クリーンエアの噴射を受ける面積が少なくなり、ク
リーンエアの消費量が少なくなるとともに、洗浄に必要
な噴射時間を短縮できる。その結果、ランニングコスト
(クリーンエア使用コスト)を低減できるとともに、受
け渡しに必要な時間を短縮できる。
【0037】(3) スライドドア16は、キャリア搬
送容器24が開口部15a,15bの一般環境側開口端
を閉塞した後、クリーンエアの噴射が終了するまでは開
放不能に構成されている。従って、キャリア搬送容器2
4のクリーンエアによる洗浄が終了する前に、スライド
ドア16を開くことによりクリーンルーム11内に塵埃
等が侵入するのを防止できる。
送容器24が開口部15a,15bの一般環境側開口端
を閉塞した後、クリーンエアの噴射が終了するまでは開
放不能に構成されている。従って、キャリア搬送容器2
4のクリーンエアによる洗浄が終了する前に、スライド
ドア16を開くことによりクリーンルーム11内に塵埃
等が侵入するのを防止できる。
【0038】(4) キャリア搬送容器24の扉28側
に鍔部29aが設けられるとともに、鍔部29aと壁1
2との間にパッキン30aが介在する状態でキャリア搬
送容器24が壁12側へ押圧付勢される。従って、開口
部15a,15bの一般環境側開口端を確実に密閉する
ことができる。
に鍔部29aが設けられるとともに、鍔部29aと壁1
2との間にパッキン30aが介在する状態でキャリア搬
送容器24が壁12側へ押圧付勢される。従って、開口
部15a,15bの一般環境側開口端を確実に密閉する
ことができる。
【0039】(5) キャリア搬送容器24は開口部1
5a,15bを閉鎖する際、付勢装置31により壁12
側へ押圧され、鍔部29aがパッキン30aを壁12に
押し付けた状態に保持される。従って、開口部15a,
15bの一般環境側開口端を確実に密閉することが容易
になる。
5a,15bを閉鎖する際、付勢装置31により壁12
側へ押圧され、鍔部29aがパッキン30aを壁12に
押し付けた状態に保持される。従って、開口部15a,
15bの一般環境側開口端を確実に密閉することが容易
になる。
【0040】(6) 付勢装置31は鍔部29aと係合
可能なフック33を有する回転軸32をシリンダ34で
回動させる構成のため、キャリア搬送容器24を容易に
所定の押圧力で壁12側へ付勢することができる。
可能なフック33を有する回転軸32をシリンダ34で
回動させる構成のため、キャリア搬送容器24を容易に
所定の押圧力で壁12側へ付勢することができる。
【0041】(7) スライドドア16の開放やキャリ
ア搬送容器24の移動が禁止された状態か、許容された
状態かを作業者W1,W2に報知するランプ36a,3
6b,37a,37bが設けられている。従って、作業
者W1,W2は作業が可能か否かを容易に判断できる。
ア搬送容器24の移動が禁止された状態か、許容された
状態かを作業者W1,W2に報知するランプ36a,3
6b,37a,37bが設けられている。従って、作業
者W1,W2は作業が可能か否かを容易に判断できる。
【0042】(8) 無人搬送車27によりキャリア搬
送容器24が一般環境13中を搬送されるため、作業者
W1が手動台車でキャリア搬送容器24を搬送する必要
がない。
送容器24が一般環境13中を搬送されるため、作業者
W1が手動台車でキャリア搬送容器24を搬送する必要
がない。
【0043】(9) 2個の開口部15a,15bが設
けられているため、作業者W1,W2は作業がやり易く
なる。 (10) 開口部15a,15bと対応する位置に昇降
装置23が設けられているため、作業者W1,W2がキ
ャリア搬送容器24を取り扱い易い高さで扱うのが容易
になる。
けられているため、作業者W1,W2は作業がやり易く
なる。 (10) 開口部15a,15bと対応する位置に昇降
装置23が設けられているため、作業者W1,W2がキ
ャリア搬送容器24を取り扱い易い高さで扱うのが容易
になる。
【0044】(第2の実施の形態)次に第2の実施の形
態を図7に従って説明する。この実施の形態では一般環
境13でキャリア搬送容器24を無人搬送車27に代え
て手動台車で搬送する点と、昇降装置23がない点が前
記実施の形態と大きく異なっている。なお、前記実施の
形態と同一部分は同一符号を付して詳しい説明を省略す
る。
態を図7に従って説明する。この実施の形態では一般環
境13でキャリア搬送容器24を無人搬送車27に代え
て手動台車で搬送する点と、昇降装置23がない点が前
記実施の形態と大きく異なっている。なお、前記実施の
形態と同一部分は同一符号を付して詳しい説明を省略す
る。
【0045】手動台車としてのハンドリフト39は、キ
ャリア搬送容器24を載置した状態で昇降可能なフォー
ク40を備えている。フォーク40はキャリア搬送容器
24を開口部15a,15bと対向する高さまで上昇可
能に構成されている。
ャリア搬送容器24を載置した状態で昇降可能なフォー
ク40を備えている。フォーク40はキャリア搬送容器
24を開口部15a,15bと対向する高さまで上昇可
能に構成されている。
【0046】そして、この実施の形態では、キャリア1
4は、キャリア搬送容器24に収容された状態でハンド
リフト39のフォーク40上に載置され、作業者W1に
よりハンドリフト39が押されて一般環境13中を搬送
される。例えば、クリーンルーム11にキャリア14を
搬入する際は、図6に示すように、ハンドリフト39の
フォーク40が上昇位置に配置されてキャリア搬送容器
24が開口部15aと対向する状態で、キャリア搬送容
器24の鍔部29aがフック33と係合可能な開口部1
5a近傍位置に配置される。また、キャリア14を搬出
する場合は開口部15b近傍位置に配置される。この場
合、ハンドリフト39を開口部15a,15bと対応す
る所定位置に案内するガイド部を設けるのが好ましい。
4は、キャリア搬送容器24に収容された状態でハンド
リフト39のフォーク40上に載置され、作業者W1に
よりハンドリフト39が押されて一般環境13中を搬送
される。例えば、クリーンルーム11にキャリア14を
搬入する際は、図6に示すように、ハンドリフト39の
フォーク40が上昇位置に配置されてキャリア搬送容器
24が開口部15aと対向する状態で、キャリア搬送容
器24の鍔部29aがフック33と係合可能な開口部1
5a近傍位置に配置される。また、キャリア14を搬出
する場合は開口部15b近傍位置に配置される。この場
合、ハンドリフト39を開口部15a,15bと対応す
る所定位置に案内するガイド部を設けるのが好ましい。
【0047】その状態で作業者W1は、スイッチ35a
を押圧操作する。スイッチ35aの操作により、前記実
施の形態と同様に、シリンダ34が駆動されてフック3
3が待機位置から作用位置へ回動され、パッキン30a
が壁12と鍔部29aとの間に挟持されて開口部15a
の一般環境側開口端がキャリア搬送容器24により密閉
される。そして、前記実施の形態と同様にクリーンエア
が噴射された後、スライドドア16及び扉28が開かれ
て、キャリア14がクリーンルーム11内に搬入され
る。
を押圧操作する。スイッチ35aの操作により、前記実
施の形態と同様に、シリンダ34が駆動されてフック3
3が待機位置から作用位置へ回動され、パッキン30a
が壁12と鍔部29aとの間に挟持されて開口部15a
の一般環境側開口端がキャリア搬送容器24により密閉
される。そして、前記実施の形態と同様にクリーンエア
が噴射された後、スライドドア16及び扉28が開かれ
て、キャリア14がクリーンルーム11内に搬入され
る。
【0048】この実施の形態では前記実施の形態の
(1)〜(7)及び(9)の効果を有する他に次の効果
を有する。 (11) 無人搬送車27に代えてハンドリフト39で
キャリア搬送容器24を搬送するため、開口部15a,
15bと対応する位置に昇降装置23を設置する必要が
ない。その結果、一般環境13の開口部15a,15b
と対応する位置の空間を有効に利用できる。また、無人
搬送車27で搬送する場合に比較して低コストになると
ともに、搬送経路の自由度が大きくなる。
(1)〜(7)及び(9)の効果を有する他に次の効果
を有する。 (11) 無人搬送車27に代えてハンドリフト39で
キャリア搬送容器24を搬送するため、開口部15a,
15bと対応する位置に昇降装置23を設置する必要が
ない。その結果、一般環境13の開口部15a,15b
と対応する位置の空間を有効に利用できる。また、無人
搬送車27で搬送する場合に比較して低コストになると
ともに、搬送経路の自由度が大きくなる。
【0049】実施の形態は前記に限定されるものではな
く、例えば、次のように具体化してもよい。 ○ 付勢装置31はシリンダ34で回転軸32を回動す
る構成に限らず、手動操作で回転軸32を回動してフッ
ク33を待機位置と作用位置とに移動させる構成として
もよい。
く、例えば、次のように具体化してもよい。 ○ 付勢装置31はシリンダ34で回転軸32を回動す
る構成に限らず、手動操作で回転軸32を回動してフッ
ク33を待機位置と作用位置とに移動させる構成として
もよい。
【0050】〇 鍔部29aと係合するフック33を回
動させて鍔部29aを壁12側に付勢する構成に限ら
ず、エアシリンダ等のアクチュエータでキャリア搬送容
器24を壁12側へ押圧付勢する構成としてもよい。
動させて鍔部29aを壁12側に付勢する構成に限ら
ず、エアシリンダ等のアクチュエータでキャリア搬送容
器24を壁12側へ押圧付勢する構成としてもよい。
【0051】○ スイッチ35aを操作することによ
り、シリンダ34が正転駆動された後、噴射ノズル18
が作動される構成に代えて、シリンダ34の駆動スイッ
チと、噴射ノズル18の作動スイッチとを別々に設けて
もよい。
り、シリンダ34が正転駆動された後、噴射ノズル18
が作動される構成に代えて、シリンダ34の駆動スイッ
チと、噴射ノズル18の作動スイッチとを別々に設けて
もよい。
【0052】〇 開口部15a,15bを搬入用と、搬
出用とに区別して、例えば、一方の開口部15aを搬入
用に、他方の開口部15bを搬出用として、キャリア1
4の搬入及び搬出を行うようにしてもよい。
出用とに区別して、例えば、一方の開口部15aを搬入
用に、他方の開口部15bを搬出用として、キャリア1
4の搬入及び搬出を行うようにしてもよい。
【0053】〇 開口部を1個にしたり、あるいは3個
以上設けてもよい。 〇 無人搬送車27を設けずに手動台車でキャリア搬送
容器24を搬送する場合、ハンドリフト39に代えて、
昇降不能な載置部を備えた手動台車を使用し、キャリア
搬送容器24を昇降装置23を使用して開口部15a,
15bと対向する上昇位置に配置させるようにしてもよ
い。
以上設けてもよい。 〇 無人搬送車27を設けずに手動台車でキャリア搬送
容器24を搬送する場合、ハンドリフト39に代えて、
昇降不能な載置部を備えた手動台車を使用し、キャリア
搬送容器24を昇降装置23を使用して開口部15a,
15bと対向する上昇位置に配置させるようにしてもよ
い。
【0054】〇 クリーンルーム11の異常表示灯とし
てのランプ36aと、スライドドア16を開放してよい
状態のときに点灯されるランプ36bとの両方を設けず
に、いずれか一方を設けてもよい。
てのランプ36aと、スライドドア16を開放してよい
状態のときに点灯されるランプ36bとの両方を設けず
に、いずれか一方を設けてもよい。
【0055】〇 一般環境側開口端を密閉する位置に配
置されたキャリア搬送容器24の移動を許容する状態の
ときに点灯されるランプ37bと、異常表示灯としての
ランプ37aとの両方を設けずに、いずれか一方を設け
てもよい。
置されたキャリア搬送容器24の移動を許容する状態の
ときに点灯されるランプ37bと、異常表示灯としての
ランプ37aとの両方を設けずに、いずれか一方を設け
てもよい。
【0056】〇 キャリア14はガラス基板以外の物体
の搬送に使用してもよい。前記実施の形態から把握され
る技術的思想(発明)について、以下に記載する。
の搬送に使用してもよい。前記実施の形態から把握され
る技術的思想(発明)について、以下に記載する。
【0057】(1) 請求項4に記載の発明において、
前記キャリア搬入搬出開口部の一般環境側の開口端は、
前記キャリアの出し入れ口を密閉可能な扉が設けられた
キャリア搬送容器の該扉が設けられた側で密閉可能に構
成され、前記一般環境側の開口端が前記キャリア搬送容
器で密閉された状態で前記噴射ノズルから気体が噴射可
能に構成されている。
前記キャリア搬入搬出開口部の一般環境側の開口端は、
前記キャリアの出し入れ口を密閉可能な扉が設けられた
キャリア搬送容器の該扉が設けられた側で密閉可能に構
成され、前記一般環境側の開口端が前記キャリア搬送容
器で密閉された状態で前記噴射ノズルから気体が噴射可
能に構成されている。
【0058】(2) 請求項4又は(1)に記載の発明
において、前記キャリア搬送容器には前記扉が設けられ
た側に、前記キャリア搬入搬出開口部の周縁部と対向可
能な鍔部が設けられ、前記キャリア搬入搬出開口部が設
けられた壁の一般環境側の開口端の周縁及び前記鍔部の
いずれか一方に環状のパッキンが設けられている。
において、前記キャリア搬送容器には前記扉が設けられ
た側に、前記キャリア搬入搬出開口部の周縁部と対向可
能な鍔部が設けられ、前記キャリア搬入搬出開口部が設
けられた壁の一般環境側の開口端の周縁及び前記鍔部の
いずれか一方に環状のパッキンが設けられている。
【0059】(3) (2)に記載の発明において、前
記壁には前記キャリア搬送容器の鍔部と係合して鍔部を
壁側へ付勢する付勢手段が設けられている。 (4) 請求項4又は(1)に記載の発明において、前
記キャリア搬入搬出開口部と対応する一般環境側には、
前記キャリア搬送容器を載置する載置部が、該キャリア
搬送容器をその扉が前記キャリア搬入搬出開口部と対向
する受け渡し位置と、それより下方の位置とに昇降可能
な昇降装置が設けられている。
記壁には前記キャリア搬送容器の鍔部と係合して鍔部を
壁側へ付勢する付勢手段が設けられている。 (4) 請求項4又は(1)に記載の発明において、前
記キャリア搬入搬出開口部と対応する一般環境側には、
前記キャリア搬送容器を載置する載置部が、該キャリア
搬送容器をその扉が前記キャリア搬入搬出開口部と対向
する受け渡し位置と、それより下方の位置とに昇降可能
な昇降装置が設けられている。
【0060】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項1〜請求項
3に記載の発明によれば、清浄度の低い一般環境を挟ん
で設けられた複数のクリーンルーム間で、搬送対象物を
収容して搬送車等で搬送されるキャリアを、簡単な構成
でキャリアの環境をクリーンに保ったまま、クリーンル
ーム内とクリーンルーム外との間で受け渡すことができ
る。請求項4に記載の発明によれば、請求項1〜請求項
3に記載の発明の方法を実施するのに適している。
3に記載の発明によれば、清浄度の低い一般環境を挟ん
で設けられた複数のクリーンルーム間で、搬送対象物を
収容して搬送車等で搬送されるキャリアを、簡単な構成
でキャリアの環境をクリーンに保ったまま、クリーンル
ーム内とクリーンルーム外との間で受け渡すことができ
る。請求項4に記載の発明によれば、請求項1〜請求項
3に記載の発明の方法を実施するのに適している。
【図1】 第1の実施の形態のキャリア搬入搬出部の付
近の模式断面図。
近の模式断面図。
【図2】 同じく一般環境側の模式斜視図。
【図3】 同じくクリーンルーム側の模式斜視図。
【図4】 昇降装置の平面図。
【図5】 キャリア搬入搬出部の概略正面図。
【図6】 昇降装置及び付勢装置の概略側面図。
【図7】 第2の実施の形態のキャリア搬入搬出部の付
近の模式断面図。
近の模式断面図。
11…クリーンルーム、12…壁、13…一般環境、1
4…キャリア、15a,15b…開口部、16…開口部
用扉としてのスライドドア、18…噴射ノズル、24…
キャリア搬送容器、24a…出し入れ口、28…扉。
4…キャリア、15a,15b…開口部、16…開口部
用扉としてのスライドドア、18…噴射ノズル、24…
キャリア搬送容器、24a…出し入れ口、28…扉。
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考)
H01L 21/02 H01L 21/02 D
Claims (4)
- 【請求項1】 密閉可能な扉を備えたキャリア搬送容器
を使用して、被搬送物を収納するキャリアを、一般環境
中を経てクリーンルーム間で搬送する際の一般環境とク
リーンルームと間のキャリア受け渡し方法であって、 前記クリーンルームの壁に設けられたキャリア搬入搬出
用開口部のクリーンルーム側の開口端を密閉可能な開口
部用扉をクリーンルーム側から開閉可能に設け、前記キ
ャリア搬送容器の扉をクリーンルーム側から開閉可能な
状態で前記キャリア搬入搬出用開口部に対向させるとと
もに前記キャリア搬入搬出用開口部の一般環境側開口端
をキャリア搬送容器の一部で閉塞し、前記開口部用扉を
閉じた状態で、前記キャリア搬入搬出用開口部と対応す
るキャリア搬送容器の部分に気体を所定時間噴射した
後、前記開口部用扉及びキャリア搬送容器の扉をクリー
ンルーム側から開き、キャリア搬送容器内からキャリア
の取り出し、あるいはキャリア搬送容器内にキャリアを
収容するキャリア受け渡し方法。 - 【請求項2】 前記キャリア搬送容器は前記扉が設けら
れた一面が前記気体の噴射を受ける請求項1に記載のキ
ャリア受け渡し方法。 - 【請求項3】 前記開口部用扉は、前記キャリア搬送容
器が前記キャリア搬入搬出用開口部の一般環境側開口端
を閉塞した後、前記気体の噴射が終了するまでは開放不
能に構成されている請求項1又は請求項2に記載のキャ
リア受け渡し方法。 - 【請求項4】 被搬送物を収納可能なキャリアを一般環
境からクリーンルーム内へ出し入れ可能とするため、ク
リーンルームの壁に設けられたキャリア搬入搬出用開口
部と、 前記キャリア搬入搬出開口部のクリーンルーム側の開口
端を密閉可能、かつクリーンルーム側から開閉可能な扉
と、 前記キャリア搬入搬出開口部の一般環境側開口端に向か
って気体を噴射可能な噴射ノズルとを備えたクリーンル
ームのキャリア搬入搬出部。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001354575A JP2003158164A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | キャリア受け渡し方法及びクリーンルームのキャリア搬入搬出部 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001354575A JP2003158164A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | キャリア受け渡し方法及びクリーンルームのキャリア搬入搬出部 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003158164A true JP2003158164A (ja) | 2003-05-30 |
Family
ID=19166412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001354575A Pending JP2003158164A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | キャリア受け渡し方法及びクリーンルームのキャリア搬入搬出部 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003158164A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009145028A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Olympus Corp | クリーン生産装置 |
JP2018513772A (ja) * | 2015-02-09 | 2018-05-31 | ゲティンゲ ラ カレーヌ | 異なる2つの閉鎖位置を有する格納エンクロージャ |
JP2021068919A (ja) * | 2015-08-04 | 2021-04-30 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート |
-
2001
- 2001-11-20 JP JP2001354575A patent/JP2003158164A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009145028A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Olympus Corp | クリーン生産装置 |
JP2018513772A (ja) * | 2015-02-09 | 2018-05-31 | ゲティンゲ ラ カレーヌ | 異なる2つの閉鎖位置を有する格納エンクロージャ |
JP2021068919A (ja) * | 2015-08-04 | 2021-04-30 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート |
JP7193748B2 (ja) | 2015-08-04 | 2022-12-21 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040803 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20061121 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20070313 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |