JP2015105857A - 分光測定装置及び分光測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
光源としては、キセノンやハロゲン等が封入された各種タングステンランプ、キセノンランプ及びLED等が例示されるが、これら各種光源は、通常、環境温度や、点灯後の経過時間等に応じて、照明光の分光強度が変化する。
しかしながら、上述のように照明光の光量は、点灯後に大きく変動するため、光量変動が大きい時間帯に対して、その補正量のずれも大きくなることが考えられ、測定精度が低下するおそれがある。
また、データテーブルを生成するためには、各測定波長において、光源が点灯してからの経過時間ごとに、細かく分光強度を測定する必要があるという課題もある。さらに、この場合、測定に先立って実施されるリファレンス測定に係る時間が長くなってしまい、結果、測定に要する全所要時間が長くなるという課題もある。
これにより、例えば、測定時間帯の開始タイミング(又は開始タイミングより前)、又は終了タイミング(又は終了タイミングの後)で実施されたリファレンス処理によって取得されたリファレンスデータを参照する場合と比べて、許容変動範囲の光量範囲を広げることができる。すなわち、光源の光量は、点灯直後のピークを越えた後、徐々に減少し、安定した状態となる。このため、測定時間帯の開始タイミング、リファレンスタイミング、及び、終了タイミングでは、通常、順に光量が小さくなる。したがって、開始タイミングからリファレンスタイミングまでの間の時間(第1測定時間)は、リファレンスタイミングの光量に対して、光量が大きい方の許容変動範囲分だけ長くでき、リファレンスタイミングから終了タイミングまでの間の時間(第2測定時間)は、リファレンスタイミングの光量に対して、光量が小さい方の許容変動範囲分だけ長くできる。これにより、上述のように、一回の測定において、分光測定(対象により反射された光に含まれる分光成分に対する光量測定)の前又は後のいずれか一方のタイミングでリファレンス測定を実施する従来の測定と比べて、リファレンスタイミングの前後の期間で通常測定処理を実施できるため、通常測定処理に係る分光測定を実施できる回数が増大する。
このように、一回の測定で実施可能な分光測定回数を増えるので、光源の点灯及び消灯の回数が減少する。また、上記条件を満たす範囲でリファレンス処理までの時間を短く設定することで、光源点灯から開始タイミングまでの待機時間も短くできる。結果として、測定に要する全所要時間(少なくとも通常測定処理を含む測定所要時間と、待機時間とを含む)の短縮を図ることができる。また、通常測定処理時の光量は、リファレンスタイミングにおける光量に対して所定の許容変動範囲以内となるため、例えば光量変動量が大きい時間帯での測定は実施されず、簡素な処理で測定精度の向上を図れる。
また、上記従来の測定と比べて、光量測定処理の測定所要時間が同一であれば、上記待機時間を短くすることができる。したがって、光源が点灯されてから測定が終了するまでの時間も短縮することができる。また、光量測定処理に係る時間を短縮するために、光源を点灯し続ける必要がないので、光源への負荷を抑制できる。
また、上記従来の測定と比べて、光源が点灯されてから開始タイミングまでの待機時間が同一であれば、測定時間帯の長さを延長することができる。
これにより、第1測定時間、及び第2測定時間を、測定精度に影響が出ない範囲で最長に設定できる。したがって、一度の測定で実施可能な測定回数を増やすことができ、上述のように結果として全所要時間をより短くできる。
このような構成では、測定対象に応じて、適切な測定時間帯(開始タイミング、リファレンスタイミング、終了タイミング)を設定でき、設定されたタイミングに対して適切に光量測定を実施できる。
これにより、一回の測定において、光量測定の前後にリファレンス測定を実施する従来の測定と比べて、広い許容変動範囲で光量測定を実施することができる。このため、上記従来の測定と比べて、一回の測定で実施可能な光量測定部による通常測定処理の回数を増やすことができ、結果として、測定に係る全所要時間の短縮を図ることができる。また、通常測定処理の光量は、リファレンスタイミングにおける光量に対して所定の許容変動範囲以内となるため、例えば光量変動量が大きい時間帯での測定は実施されず、簡素な処理で測定精度の向上を図れる。
以下、本発明に係る一実施形態について、図面に基づいて説明する。
[分光測定装置の構成]
図1は、本発明に係る分光測定装置の概略構成を示すブロック図である。
分光測定装置1は、分光測定の対象である測定対象Xで反射した測定対象光における各波長の光強度を分析し、分光スペクトルを測定する装置である。なお、本実施形態では、測定対象Xで反射した測定対象光を測定する例を示すが、測定対象Xとして、例えば液晶パネル等の発光体を用いる場合、当該発光体から発光された光を測定対象光としてもよい。
そして、この分光測定装置1は、図1に示すように、光学モジュール10と、分光測定装置1を分光測定の対象に対して移動させる移動装置20と、光学モジュール10及び移動装置20を制御する制御部30と、を備えている。分光測定装置1は、移動装置20によって測定対象Xと相対的な位置を、例えば図1の矢印Mに示す方向に変更することで、測定対象Xに対して測定領域を移動させ、複数回の分光測定を実施する。なお、本実施形態における分光測定とは、対象により反射され、光学モジュール10に入射した光から、所定波長の光を順次分光させ、順次分光された光の光量を測定する処理を指す。
光学モジュール10は、光源4と、波長可変干渉フィルター5と、受光素子11と、検出信号処理部12と、電圧制御部13と、を備える。
この光学モジュール10は、測定対象Xを照明する光源4からの照明光が測定対象Xで反射され、この反射された測定対象光を、入射光学系(図示略)を通して、波長可変干渉フィルター5に導き、波長可変干渉フィルター5を透過した光を受光素子11に受光させる。そして、受光素子11から出力された検出信号は、検出信号処理部12を介して制御部30に出力される。
光源4は、照明光の光量が経時的に変動する光量変動特性を有する(図6参照)。この光量変動特性は、後に詳述するが、予め光源の光量を測定することによって取得することができる。光量変動特性は、光源の経時的な劣化等により変動することもある。
なお、光源4として、例えば、キセノンが封入されたタングステンランプを用いているが、これに限定されず、ハロゲン等が封入された各種タングステンランプ、キセノンランプ及びLED等の各種光源を用いることができる。また、図示しないが、光学モジュール10は、光源4からの照明光を集光するレンズや、光源4からの光をレンズに向かって反射させるリフレクター等を備えていてもよい。
図2は、波長可変干渉フィルターの概略構成を示す平面図である。図3は、図2のIII−III線を断面した際の波長可変干渉フィルターの断面図である。
波長可変干渉フィルター5は、波長可変型のファブリーペローエタロンである。この波長可変干渉フィルター5は、例えば矩形板状の光学部材であり、固定基板51と可動基板52とを備えている。これらの固定基板51及び可動基板52は、それぞれ例えば、ソーダガラス、結晶性ガラス、石英ガラス、鉛ガラス、カリウムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラスなどの各種ガラスや、水晶などにより形成されている。そして、これらの固定基板51及び可動基板52は、固定基板51の第一接合部513及び可動基板の第二接合部523が、例えばシロキサンを主成分とするプラズマ重合膜などにより構成された接合膜53(第一接合膜531及び第二接合膜532)により接合されることで、一体的に構成されている。
また、波長可変干渉フィルター5を固定基板51(可動基板52)の基板厚み方向から見た図2に示すような平面視(以降、フィルター平面視と称する)において、固定基板51及び可動基板52の平面中心点Oは、固定反射膜54及び可動反射膜55の中心点と一致し、かつ後述する可動部521の中心点と一致するものとする。
固定基板51には、エッチングにより電極配置溝511及び反射膜設置部512が形成されている。この固定基板51は、可動基板52に対して厚み寸法が大きく形成されており、固定電極561及び可動電極562間に電圧を印加した際の静電引力や、固定電極561の内部応力による固定基板51の撓みはない。
また、固定基板51の頂点C1には、切欠部514が形成されており、波長可変干渉フィルター5の固定基板51側に、後述する可動電極パッド564Pが露出する。
また、固定基板51には、電極配置溝511から、固定基板51の外周縁の頂点C1,頂点C2に向かって延出する電極引出溝511Bが設けられている。
そして、固定基板51には、固定電極561の外周縁から、頂点C2方向に延出する固定引出電極563が設けられている。この固定引出電極563の延出先端部(固定基板51の頂点C2に位置する部分)は、電圧制御部13に接続される固定電極パッド563Pを構成する。
なお、本実施形態では、電極設置面511Aに1つの固定電極561が設けられる構成を示すが、例えば、平面中心点Oを中心とした同心円となる2つの電極が設けられる構成(二重電極構成)などとしてもよい。
この反射膜設置部512には、図3に示すように、固定反射膜54が設置されている。この固定反射膜54としては、例えばAg等の金属膜や、Ag合金等の合金膜を用いることができる。また、例えば高屈折層をTiO2、低屈折層をSiO2とした誘電体多層膜を用いてもよい。さらに、誘電体多層膜上に金属膜(又は合金膜)を積層した反射膜や、金属膜(又は合金膜)上に誘電体多層膜を積層した反射膜、単層の屈折層(TiO2やSiO2等)と金属膜(又は合金膜)とを積層した反射膜などを用いてもよい。
可動基板52は、図2に示すフィルター平面視において、平面中心点Oを中心とした円形状の可動部521と、可動部521と同軸であり可動部521を保持する保持部522と、保持部522の外側に設けられた基板外周部525と、を備えている。
また、可動基板52には、図2に示すように、頂点C2に対応して、切欠部524が形成されており、波長可変干渉フィルター5を可動基板52側から見た際に、固定電極パッド563Pが露出する。
なお、固定基板51と同様に、可動部521の固定基板51とは反対側の面には、反射防止膜が形成されていてもよい。このような反射防止膜は、低屈折率膜及び高屈折率膜を交互に積層することで形成することができ、可動基板52の表面での可視光の反射率を低下させ、透過率を増大させることができる。
可動反射膜55は、可動部521の可動面521Aの中心部に、固定反射膜54とギャップG1を介して対向して設けられる。この可動反射膜55としては、上述した固定反射膜54と同一の構成の反射膜が用いられる。
なお、本実施形態では、上述したように、ギャップG2がギャップG1の寸法よりも大きい例を示すがこれに限定されない。例えば、測定対象光として赤外線や遠赤外線を用いる場合等、測定対象光の波長域によっては、ギャップG1の寸法が、ギャップG2の寸法よりも大きくなる構成としてもよい。
なお、本実施形態では、ダイアフラム状の保持部522を例示するが、これに限定されず、例えば、平面中心点Oを中心として、等角度間隔で配置された梁状の保持部が設けられる構成などとしてもよい。
次に、図1に戻り、光学モジュール10における光源4及び波長可変干渉フィルター5以外の構成について説明する。
受光素子11は、波長可変干渉フィルター5を透過した光を受光(検出)し、受光量に基づいた検出信号を検出信号処理部12に出力する。つまり、受光素子11は、光が露光されると、その露光量に応じた検出信号を出力する。
検出信号処理部12は、入力された検出信号(アナログ信号)を増幅したのち、デジタル信号に変換して制御部30に出力する。検出信号処理部12は、例えば、検出信号が電流値である場合、検出した電流値を電圧値に変換するI−V変換器や、検出信号を増幅するアンプや、アナログ信号をデジタル信号に変換するA/D変換器等により構成される。
電圧制御部13は、制御部30の制御に基づいて、波長可変干渉フィルター5の静電アクチュエーター56に対して駆動電圧を印加する。これにより、静電アクチュエーター56の固定電極561及び可動電極562間で静電引力が発生し、可動部521が固定基板51側に変位する。
移動装置20は、分光測定装置1の測定領域と測定対象Xとの位置を相対的に変更するものであり、本実施形態では分光測定装置1を移動させ、分光測定装置1による測定領域の位置が変更される。移動装置20は、例えば、分光測定装置1の位置をX方向、X方向に直交するY方向、及び、これら2つの方向に直交するZ方向の3方向に移動可能に、分光測定装置1を支持するアームと、モーター等の駆動力発生源からの駆動力をアームに伝達し、分光測定装置1を移動させる駆動機構とを備える。なお、移動装置20は、少なくとも測定対象Xに沿った方向に、測定対象Xと分光測定装置1とを相対的に移動可能な構成であればよい。
制御部30は、例えばCPUやメモリー等が組み合わされることで構成され、分光測定装置1の全体の動作を制御する。この制御部30は、図1に示すように、光源制御部31と、変動特性取得部32と、タイミング設定部33と、移動制御部34と、タイミング判定部35と、波長設定部36と、光量測定部37と、校正部38と、分光スペクトル取得部39と、記憶部40とを備える。
変動特性取得部32は、光源4の照明光の光量の測定結果に基づいて、光源4の点灯開始からの経過時間に対する光量の変動特性を示す変動特性データを取得し、記憶部40に記憶させる。
タイミング設定部33は、本発明の測定時間設定部として機能し、光源4の光量変動特性に基づいて、測定対象Xに対する分光測定(通常測定処理)を実施可能な測定時間帯(開始タイミング及び終了タイミング)、及び、測定対象Xの分光測定によって取得された測定結果を校正(キャリブレーション)するための基準対象(例えば、白色基準R(図5参照))に対する分光測定(リファレンス処理)を実施するリファレンスタイミングを設定する。
なお、タイミング設定部33による具体的なタイミング設定方法については後に詳述する。
タイミング判定部35は、タイミング設定部33によって設定された、通常測定処理の実施タイミングや、リファレンス処理の実施タイミングを参照し、これら実施タイミングか否かを判定する。
光量測定部37は、タイミング設定部33により設定された測定時間内で、受光素子11によって検出された検出信号を取得し、当該検出信号において、波長可変干渉フィルター5を透過した目的波長の光の光量を測定する。
校正部38は、リファレンス処理の結果(リファレンス測定結果)を用いて、通常測定処理により得られた測定対象に対する各波長の光の光量を校正する。
分光スペクトル取得部39は、光量測定部37によって測定された各波長の光量に基づいて、測定対象光の分光スペクトル特性を取得する。
次に、上述したような分光測定装置1による処理について、図面に基づいて以下に説明する。
図4は、分光測定装置1による処理の一例を示すフローチャートである。
分光測定装置1は、測定対象Xに対する分光測定に先立ち、光源4の光量の変動特性データを取得し、この変動特性に応じたタイミングで、測定対象Xに対する分光測定及びリファレンス測定を実施する。
具体的には、分光測定装置1は、例えば電源がオンされると、図4に示すように、光源制御部31が光源4を点灯させる(ステップS1)。
光源4が点灯された状態で、光源4からの照明光を受光素子11で受光し、波長設定部36で照明光の光量を取得し、変動特性取得部32で光源4の光量の変動特性データ(図6参照)を取得する(ステップS2)。
変動特性データが取得された後、光源制御部31は光源4を消灯させる(ステップS3)。
なお、変動特性データの取得処理は、上述のように分光測定装置1の電源がオンされたタイミングで実施される以外にも、所定期間(例えば、1日、1週間等)に1回の頻度で実施されてもよい。
なお、照明光を受光するための受光素子を別に設けてもよい。
開始指示を受けると(ステップS4;Yes)、タイミング設定部33は、光量測定処理に要する測定所要時間を取得する(ステップS5)。
測定所要時間の取得は、ユーザーによる入力操作によって設定されてもよいが、本実施形態では、一例として、分光測定の測定対象Xの大きさに基づいて、測定所要時間を取得する場合について説明する。
移動装置20は、分光測定装置1の測定領域が測定対象Xに対して図5に示す矢印Mの方向に移動するように、分光測定装置1を移動させる。
ここで、測定対象Xは、図5に示すように、n個の測定エリアA1〜Anに仮想的に分割されている。各測定エリアの面積は、分光測定装置1の測定領域の面積と同じである。すなわち、図5に示す例では、測定対象Xに対してn回の分光測定を実施する。
この際、本実施形態では、測定対象Xに対する分光測定(通常測定処理)の途中で、白色基準Rに対する分光測定(リファレンス処理)を実施する。つまり、測定対象Xの一部に対する通常測定処理を実施した後、測定領域を白色基準Rにおける測定エリアARに移動させ、リファレンス処理を実施し、その後、再度、測定領域を測定対象Xに移動させて測定対象Xの残部に対する通常測定処理を実施する。
上述のような手順で分光測定を実施した場合、光量測定処理に要する測定所要時間は、例えば、リファレンス処理を含むn+1回の分光測定と、測定領域の移動時間との総和である。すなわち、光量測定処理の測定所要時間TAllは、TS×(n+1)+TM1×(n−2)+TM2×2として概算できる。なお、上記式では、測定対象Xと白色基準Rとの間の移動の所要時間TM2は、測定対象Xの測定エリアA1〜Anのいずれと白色基準Rとの間を移動する場合でも同じ値として概算している。
測定対象Xの面積や形状は、ユーザーの入力操作(例えば、A4サイズ、A3サイズ等のサイズの入力や、縦横の寸法を入力する等の入力操作)によって取得されてもよく、測定対象Xの面積や形状を取得するセンサーを別途設け、当該センサーの検出結果に基づいて取得されてもよい。
図6は、光源4の変動特性(経過時間に対する照明光の光量変動)の一例を示すグラフであり、当該変動特性に対する測定時間帯及びリファレンスタイミングの関係を示している。また、図6では、点灯開始タイミングからの経過時間である時間TRをリファレンスタイミングとしている。なお、実際のリファレンス処理には上述のようにTSだけ時間を要するが、非常に短い時間(例えば数ms等)であるため、図6では、リファレンス処理に要する時間は図示を省略している。
リファレンス処理時、すなわちリファレンスタイミングTRの際の照明光の光量に対して、光量の変動量が所定範囲となる時間の範囲において通常測定処理を実施する。この所定範囲とは、校正部38が、リファレンス測定結果に基づいて、通常測定処理で測定された光量を高精度に校正可能な、光量の許容変動範囲であり、測定の目的等により適宜設定される。本実施形態では一例として、リファレンスタイミングTRの際の照明光の光量に対して±0.3%の変動範囲、すなわち、リファレンスタイミングTRでの光量値を中心とした0.6%の光量の変動幅の範囲である。すなわち、図6に示すように、測定時間帯の開始タイミングTStart〜リファレンスタイミングTR及びリファレンスタイミングTR〜終了タイミングTEndが、通常測定処理を実施可能な期間(第1測定時間及び第2測定時間)となる。
すなわち、本実施形態では、タイミング設定部33は、開始タイミングTStartでの光量値がリファレンスタイミングTRでの光量値よりも0.3%大きく、終了タイミングTEndでの光量値がリファレンスタイミングTRでの光量値よりも0.3%小さくなり、かつ、開始タイミングTStart〜終了タイミングTEndの長さが測定所要時間TAllとなるように、各タイミングTStart,TEnd,TRを設定する。光源4の変動特性は、通常、図6に示すように、点灯直後にピークとなり、その後、時間の経過とともに光量が減少し、一定値に近づく。したがって、上記にように、測定時間帯(開始タイミングTStart、終了タイミングTEnd、及びリファレンスタイミングTR)を設定することで、開始タイミングTStartを最も早くなるように、測定時間帯を設定することができる。
そして、校正部38は、リファレンス測定結果を用いて、分光測定結果として波長設定部36によって取得された、測定対象Xの各測定エリアA1〜Anにおける各波長の光量を校正する。
そして、分光スペクトル取得部39は、光量測定部37によって校正された測定対象Xの各測定エリアA1〜Anにおける各波長の光量に基づいて、測定対象Xの分光スペクトル特性を取得する。
図7は、図4に示す光量測定処理の一例を示すフローチャートである。
上述のように、図4に示すステップS6において、測定時間帯(開始タイミング、終了タイミング)、及び測定時間帯におけるリファレンスタイミングが設定されると、図8に示すように、移動制御部34は、測定対象Xにおける最初の測定エリアA1に分光測定装置1の測定領域が一致するように、分光測定装置1を移動させる(ステップS11)。
測定エリアA1に測定領域が設定された後、光源制御部31は、光源4を点灯させる(ステップS12)。なお、ステップS11の測定エリアA1への移動は、光源4が点灯された後に行ってもよく、同時に行ってもよい。
光源4が点灯された後、タイミング判定部35は、光源4が点灯されてからの経過時間が、図6に示す開始タイミングTstartに到達したか否かを判定する(ステップS13)。タイミング設定部33は、経過時間が開始タイミングTstartに到達するまで同判定を繰り返す。つまり、ステップS13において「No」と判定された場合は、経過時間が開始タイミングTstartに到達するまで待機する。
分光測定では、波長設定部36は、記憶部40に記憶されたV−λデータから、測定対象波長域の所定の測定波長に対する駆動電圧を読み出し、当該駆動電圧を静電アクチュエーター56に印加する旨の指令信号を電圧制御部13に出力する。これにより、静電アクチュエーター56に駆動電圧が印加され、ギャップG1が、測定波長に対応した寸法に設定される。ギャップG1が設定されると、波長可変干渉フィルター5から測定波長の光が透過され、受光素子11に入射する。光量測定部37は、現在の測定波長における、受光素子11の各画素における検出信号に基づいて、当該測定波長における光量を取得し、通常測定処理における分光測定結果を取得する。
ステップS15において、リファレンスタイミングTRではないと判定されると(ステップS15;No)、移動装置20は、次の測定エリア、すなわち、測定エリアA1に隣接する測定エリアA2に分光測定装置1の測定領域が一致するように、分光測定装置1を移動させる(ステップS16)。
測定領域が測定エリアA2に一致された後、当該測定エリアA2に対して、ステップS14と同様の通常測定処理を実施し、分光測定結果を取得する(ステップS17)。なお、リファレンス処理よりも前に行われる分光測定を第1の分光測定とも称する。
以降、リファレンスタイミングTRになるまで(ステップS15において「Yes」と判定されるまで)、ステップS15〜S17を繰り返し実施する。具体的には、図6に示すように、測定エリアA1〜Akに対する分光測定を実施する。
測定領域が測定エリアARに一致された後、当該測定エリアARに対するリファレンス処理を実施する(ステップS19)。リファレンス処理は、ステップS14の分光測定と同様の手順で実施される。リファレンス処理の測定結果であるリファレンス測定結果は記憶部40に記憶される。
測定領域が測定エリアAk+1に一致された後、ステップS14と同様に、当該測定エリアAk+1に対して通常測定処理を実施し、分光測定結果を取得する(ステップS21)。なお、リファレンス処理よりも後に行われる分光測定を第2の分光測定とも称する。
測定エリアAnまでの分光測定が終了したら(ステップS22;Yes)、光源制御部31は、光源4を消灯させる(ステップS23)。
分光測定装置1では、タイミング設定部33は、測定時間帯の開始タイミングTStartより後で、終了タイミングTEndより前となるようにリファレンスタイミングTRを設定する。この際、リファレンスタイミングTRの光源4からの照明光の光量に対して、通常測定処理を実施可能な測定時間内における照明光の光量が所定の許容変動範囲内となるように、測定時間帯におけるリファレンスタイミングTRを設定する。したがって、本実施形態では、開始タイミングTStartからリファレンスタイミングTRの間、及びリファレンスタイミングTRでリファレンス処理が終了した後から終了タイミングTEndまでの間で通常測定処理を実施することが可能となる。
これにより、例えば、測定時間帯の開始タイミングTStart(又は開始タイミングTStartより前)、又は終了タイミングTEnd(又は終了タイミングTEndの後)でリファレンス処理を行う場合と比べて、許容変動範囲の光量範囲を広げることができる。すなわち、光源の光量は、点灯直後のピークを越えた後、徐々に減少し、安定した状態となる。このため、測定時間帯の開始タイミングTStart、リファレンスタイミングTR、及び、終了タイミングTEndでは、通常、順に光量が小さくなる。したがって、開始タイミングTStartからリファレンスタイミングTRまでの間の第1測定時間は、リファレンスタイミングTRの光量に対して、光量が大きい方の許容変動範囲分だけ長くでき、リファレンスタイミングTRから終了タイミングTEndまでの間の第2測定時間は、リファレンスタイミングTRの光量に対して、光量が小さい方の許容変動範囲分だけ長くできる。これにより、上述のように、一回の測定において、分光測定の前又は後のいずれか一方のタイミングでリファレンス処理を実施する従来の測定と比べて、リファレンス処理の前後で通常測定処理を実施できるため、通常測定処理としての分光測定を実施できる回数が増大する。
このように、一回の測定で実施可能な分光測定回数を増えるので、光源の点灯及び消灯の回数が減少する。また、上記条件を満たす範囲でリファレンスタイミングTRまでの時間を短く設定することで、光源点灯から開始タイミングTStartまでの待機時間も短くできる。結果として、測定に係る全所要時間の短縮を図ることができる。また、通常測定処理の光量は、リファレンス処理時における光量に対して所定の許容変動範囲以内となるため、例えば光量変動量が大きい時間帯での測定は実施されず、簡素な処理で測定精度の向上を図れる。
また、上記従来の測定と比べて、測定所要時間TAllが同一であれば、光源が点灯されてから光量測定処理を開始するまで(測定時間帯の開始タイミングTStartまで)の待機時間を短くすることができる。したがって、光源が点灯されてから測定が終了するまでの全所要時間も短縮することができる。また、全所要時間を短縮するために、光源を点灯し続ける必要がないので、光源への負荷を抑制できる。
また、上記従来の測定と比べて、光源が点灯されてから開始タイミングTStartまでの時間が同一であれば、測定所要時間TAllを延長することができる。
これにより、第1測定時間、及び第2測定時間を、測定精度に影響が出ない範囲で最長に設定できる。したがって、一度の測定で実施可能な測定回数を増やすことができ、結果として、全所要時間をより短くできる。
このような構成では、測定対象に応じて、適切な測定時間帯(開始タイミングTStart、リファレンスタイミングTR、終了タイミングTEnd)を設定でき、設定されたタイミングに対して適切に光量測定を実施できる。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良を適宜組み合わせる等によって得られる構成は本発明に含まれるものである。
例えば、上記実施形態では、分光測定装置1を測定エリアA1に対して移動させた後、光源4を点灯させていたが、これに限定されず、光源4を点灯した後又は点灯させながら、分光測定装置1を測定エリアA1に対して移動させてもよい。
これにより、光源4が点灯されてから開始タイミングTStartまでの待機時間に分光測定装置1を移動させることで、さらなる全所要時間の短縮を図ることができる。また、仮に、移動が完了するまでに、開始タイミングTStartになった場合でも、移動完了直後に測定を開始すればよい。ここで、光源4は、点灯直後に光量のピークを向かえた後、基本的に点灯開始からの経過時間が長いほど、光量の変動が小さくなる。このため、仮に、予め設定されている、開始タイミングTStartよりも後に光量測定処理が開始されたとしても、光量の許容変動範囲で測定を実施することができる。
さらに、この場合、実際に許容される終了タイミングよりも前に光量測定処理が終了し、許容される光量変動量よりも小さい変動量の範囲で光量測定処理を実施できる。したがって、光源4の変動特性そのものが変化してしまったとしても、許容される光量変動量よりも小さい変動範囲で測定を実施でき、高精度の分光測定をより確実に実施できる。
例えば、光量測定処理開始後に、当該測定処理の開始タイミングと、測定所要時間と、光量変動特性とに基づいて、リファレンスタイミングや、終了タイミングを設定する。
また、例えば、光源4の点灯開始タイミングに対して、測定時間帯における開始タイミングが予め設定されている場合等でも、開始タイミングが経過した後に光量測定処理が開始された際に、実際の光量測定処理の開始タイミングの光量と、リファレンス処理時の光量との差が許容変動量の範囲となるようにリファレンスタイミングを再度設定してもよい。この場合、実際の開始タイミングに対して、第1の分光測定を実施可能な最大の期間を設定することができる。
受光素子11とは別に、光源4からの照明光の光量を測定する光源光量測定部を設け、光光量測定部により光源4からの光量を監視してもよい。この場合、光量測定処理開始の光量から所定の許容変動量だけ低下した際に、リファレンス処理を実施する。また、リファレンス実施処理から、さらに許容変動量だけ低下した際に測定を終了させ、光源4を再駆動させる。この場合でも、上記実施形態と同様、一回の測定に対して実施可能な分光測定の回数を増加させることができる。
上記実施形態では、開始タイミングに通常測定処理を開始した後、連続的に通常測定処理を実施し、リファレンス処理終了後、終了タイミングまで連続して通常測定処理を実施する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、リファレンスタイミングを挟む第1測定時間及び第2測定時間の任意のタイミングで間欠的に通常測定処理を行ってもよい。
例えば、測定に先立ち、リファレンス処理を予め実施する。そして、実際の測定の際には、上述と同様に測定時間帯及びリファレンスタイミングを設定する(図6のステップS6参照)。その後、図7に示すように、光源を点灯し(ステップS12)、測定開始タイミングにおいて(ステップS13;Yes)、通常測定処理を実施する(ステップS14、S21参照)。測定が終了した後、予め取得されたリファレンスデータのうち、光源の点灯タイミングに対してリファレンスタイミングで取得されたデータを用いて補正処理を実施する(図4のステップS8)。このような構成では、予め取得したリファレンスデータを用いて、通常測定処理における分光測定結果を補正するため、通常測定の途中でリファレンス測定を実施する必要がなく、測定時間をより一層短縮することができる。
また、変更手段として、上記画像表示装置及び移動装置を組み合わせてもよい。すなわち、画像表示装置の表示面が、複数の測定エリアに仮想的に分割されており、移動装置によって分光測定装置と画像表示装置との相対位置を変更して、分光測定装置の測定領域を変更させる構成としてもよい。
なお、上記実施形態では、対象変更手段としての移動装置20を備える構成を例示したが、本発明はこれに限定されず、対象変更手段を備えない構成としてもよい。
また、上記実施形態では、分光測定装置1として、測定結果に基づいて分光スペクトルを取得する構成を例示したが、本発明はこれに限定されず、分光画像を取得する分光カメラ等にも本発明を適用することができる。すなわち、各波長の各画素について検出信号を選択し、選択された各画素の検出信号に基づいて各波長の分光画像を取得するように構成してもよい。また、取得した分光画像に基づいて測色処理を行ってもよい。このような構成でも、各画素について適性露光の範囲の露光量に対応する検出信号が選択されるので、高精度の分光画像を取得でき、高精度の測色を実施できる。
例えば、固定電極561の代わりに、第一誘電コイルを配置し、可動電極562の代わりに第二誘電コイル又は永久磁石を配置した誘電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。
更に、静電アクチュエーター56の代わりに圧電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。この場合、例えば保持部522に下部電極層、圧電膜、及び上部電極層を積層配置させ、下部電極層及び上部電極層の間に印加する電圧を入力値として可変させることで、圧電膜を伸縮させて保持部522を撓ませることができる。
例えば、固定基板51及び可動基板52が接合されておらず、これらの基板間に圧電素子等の反射膜間ギャップを変更するギャップ変更部が設けられる構成などとしてもよい。
また、2つ基板により構成される構成に限られない。例えば、1つの基板上に犠牲層を介して2つの反射膜を積層し、犠牲層をエッチング等により除去してギャップを形成した波長可変干渉フィルターを用いてもよい。
また、分光素子として、例えばAOTF(Acousto Optic Tunable Filter)やLCTF(Liquid Crystal Tunable Filter)が用いられてもよい。ただし、装置の小型化の観点から上記各実施形態のようにファブリーペローフィルターを用いることが好ましい。
Claims (6)
- 点灯開始からの光量が点灯開始からの経過時間に応じた変動特性で変動する光を出射する光源と、
前記光源から出射され、対象により反射された光から所定波長の光を分光し、分光された光を受光する光学モジュールと、
前記光学モジュールで受光された光の光量を測定する光量測定部と、
前記変動特性に基づいて、前記光源の点灯開始タイミングに対する、前記光量測定部により前記光量を取得可能な測定時間帯を設定する測定時間設定部と、を備え、
前記光量測定部は、前記対象を測定対象とし、当該測定対象により反射された光の光量を取得する通常測定処理と、前記対象として反射率が既知である基準対象を用い、当該基準対象により反射された光の光量であるリファレンスデータを取得するリファレンス処理とを実施し、
前記時間設定部は、前記測定時間帯の開始タイミング、前記測定時間帯の終了タイミング、及び前記リファレンスデータを参照するリファレンスタイミングを、前記リファレンスタイミングが、前記開始タイミングより後、前記終了タイミングより前となり、かつ、前記測定時間帯内における前記光源からの光の変動量が、前記リファレンスタイミングにおける前記光源からの光の光量に対して、所定の許容変動範囲内となるように設定する
ことを特徴とする分光測定装置。 - 請求項1に記載の分光測定装置において、
前記時間設定部は、前記測定時間帯の開始タイミング及び前記リファレンスタイミングにおける前記光源の光の光量差の絶対値が、前記許容変動範囲の最大値となり、前記測定時間帯の終了タイミング及び前記リファレンスタイミングにおける前記光源の光の光量差の絶対値が、前記許容変動範囲の最大値となるように、前記開始タイミング、前記終了タイミング、及び前記リファレンスタイミングを設定する
ことを特徴とする分光測定装置。 - 請求項2に記載の分光測定装置において、
前記測定時間設定部は、前記測定時間帯の長さである測定所要時間を取得し、前記変動特性に対して、前記測定所要時間を当てはめて、前記測定時間帯の前記開始タイミング、前記終了タイミング、及び前記リファレンスタイミングを設定する
ことを特徴とする分光測定装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の分光測定装置において、
前記光学モジュールの測定領域に配置される前記対象を変更する対象変更手段を備え、
前記対象変更手段は、前記リファレンスタイミングにおいて、前記測定領域に配置される前記対象を、前記測定対象から前記基準対象に変更し、前記光量測定部によるリファレンス処理が終了すると前記測定領域に配置される前記対象を、前記基準対象から前記測定対象に変更する
ことを特徴とする分光測定装置。 - 請求項4に記載の分光測定装置において、
前記対象変更手段は、前記測定領域と前記対象との位置を相対的に移動させる移動手段であり、
前記測定時間設定部は、前記移動手段が前記測定領域と前記対象との位置を相対的に移動させる際の移動時間と、前記通常測定処理に係る時間と、前記リファレンス処理に係る時間との総和から前記測定時間帯の長さである測定所要時間を取得する
ことを特徴とする分光測定装置。 - 点灯開始からの光量が点灯開始からの経過時間に応じた変動特性で変動する光を出射する光源と、前記光源から出射され、対象により反射された光から所定波長の光を分光し、分光された光を受光する光学モジュールと、前記光学モジュールで受光された光の光量を取得する光量測定部と、前記変動特性に基づいて、前記光源の点灯開始タイミングに対する、前記光量測定部により前記光量を取得可能な測定時間帯を設定する測定時間設定部と、を備えた分光測定装置における分光測定方法であって、
前記光量測定部は、前記対象を測定対象とし、当該測定対象により反射された光の光量を取得する通常測定処理と、前記対象として反射率が既知である基準対象を用い、当該基準対象により反射された光の光量であるリファレンスデータを取得するリファレンス処理とを実施し、
前記光源の点灯開始タイミングに対する前記測定時間帯の開始タイミング、前記測定時間帯の終了タイミング、及び前記リファレンスデータを参照するリファレンスタイミングを、前記リファレンスタイミングが、前記開始タイミングより後、前記終了タイミングより前となり、かつ、前記測定時間帯内における前記光源からの光の変動量が、前記リファレンスタイミングにおける前記光源からの光の光量に対して、所定の許容変動範囲内となるように設定するステップと、
前記光源を点灯するステップと、
前記光源が点灯されてからの経過時間に応じて、前記通常測定処理を実施するステップと、
前記リファレンスタイミングにおける前記リファレンスデータに基づいて、前記通常測定処理で得られた光量測定結果を校正するステップと、を実行する
ことを特徴とする分光測定方法。
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