JP2015099844A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャックテーブル36の保持面のZ軸方向の高さ位置を検出する高さ位置検出手段56と、高さ位置検出手段と加工手段による加工部とのX軸方向およびY軸方向の間隔を格納する第1の記憶領域と、チャックテーブルの保持面における各XY座標値に対するZ座標値を格納する第2の記憶領域を備えたメモリを具備する制御手段とを具備し、制御手段は、X軸方向位置検出手段374およびY軸方向位置検出手段384からの検出信号に基づいてメモリの第2の記憶領域に格納されたXY座標値にメモリの第1の記憶領域に格納された高さ位置検出手段と加工部とのX軸方向およびY軸方向の間隔を加算して加工部と対応したXY座標値に対するZ座標値に変換し、変換したXY座標値に対するZ座標値に基づいてZ軸移動手段55を制御する。
【選択図】図1
Description
上記レーザー加工方法を用いたウエーハ分割技術においては、ウエーハの裏面からレーザー光線を照射してレーザー光線の集光点をウエーハの表面から所望の位置に位置付けたつもりでも、改質層の位置がウエーハの表面に近過ぎたり遠過ぎたりして不均一になり、ウエーハに外力を付与して分割する際に、割れ方が不均一になってデバイスの品質が安定しないという問題がある。
また、上記切削溝を形成するウエーハ分割技術においては、ウエーハの裏面から分割予定ラインに沿って切削する際に、切削ブレードをウエーハの表面から所望の位置(例えば15μm)に位置付けたつもりでも、切削溝の底がウエーハの表面に近過ぎたり遠過ぎたりして不均一になり、ウエーハに外力を付与して分割する際に、割れ方が不均一になってデバイスの品質が安定しないという問題がある。
該加工手段に隣接して配設され該チャックテーブルの保持面のZ軸方向の高さ位置を検出する高さ位置検出手段と、
該高さ位置検出手段と該加工手段による加工部とのX軸方向およびY軸方向の間隔を格納する第1の記憶領域と、該高さ位置検出手段によって検出された該チャックテーブルの保持面における各XY座標値に対するZ座標値を格納する第2の記憶領域を備えたメモリを具備する制御手段と、を具備し、
該制御手段は、X軸方向位置検出手段およびY軸方向位置検出手段からの検出信号に基づいて該メモリの第2の記憶領域に格納されたXY座標値に該メモリの第1の記憶領域に格納された高さ位置検出手段と該加工手段によるによる加工部とのX軸方向およびY軸方向の間隔を加算して該加工手段による加工部と対応したXY座標値に対するZ座標値に変換し、変換したXY座標値に対するZ座標値に基づいてZ軸移動手段を制御する、
ことを特徴とする加工装置。
従って、本発明をウエーハを切削する切削装置に適用すると、チャックテーブルの上面である保持面に僅かなウネリがあり、ウエーハの表面がウネリに倣って保持面に保持されても、ウエーハの裏面から切削する加工手段としての切削ブレードをウエーハの表面から所望の位置に位置付けることが可能となり、切削溝の底の位置が表面に近づき過ぎたり遠過ぎたりすることがない。このため、次工程であるウエーハ分割工程において、ウエーハに外力を付与して切削溝に沿って分割する際に、各切削溝に沿った分割が均一となりデバイスの品質が安定する。
また、本発明をレーザー加工装置に適用することにより、チャックテーブルの上面である保持面に僅かなウネリがあり、ウエーハの表面がウネリに倣って保持面に保持されても、ウエーハの裏面側からレーザー光線を照射する際にレーザー光線の集光点をウエーハの表面から所望の位置に位置付けて改質層を形成することが可能となり、改質層の位置が表面に近づき過ぎたり遠過ぎたりすることがない。従って、次工程であるウエーハ分割工程において、ウエーハに外力を付与して改質層に沿って分割する際に、各改質層に沿った分割が均一となりデバイスの品質が安定する。
図1に示された切削装置は、静止基台2と、該静止基台2に矢印Xで示すX軸方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブル機構3と、静止基台2にX軸方向と直交する矢印Yで示すY軸方向に移動可能に配設されたスピンドル支持機構4と、該スピンドル支持機構4にX軸方向およびY軸方向と直交する矢印Zで示すZ軸方向(後述するチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向)に移動可能に配設された加工手段である切削手段としてのスピンドルユニット5が配設されている。
上述した切削装置が組み立てられた際またはチャックテーブル36が交換された際に、チャックテーブル36を構成する吸着チャック361の上面である保持面のZ軸方向の高さ位置を検出する高さ位置検出工程を実施する。
高さ位置検出工程は、先ずX軸移動手段37および第1のY軸移動手段38を作動してチャックテーブル36を高さ位置検出手段8による検出領域に位置付ける。図3は、チャックテーブル36を構成する吸着チャック361が所定の位置に位置付けられた状態を示している。なお、チャックテーブル36を構成する吸着チャック361の外周のXY座標値は、吸着チャック361の設計値の値がランダムアクセスメモリ(RAM)93に格納されている。即ち、図示の実施形態においては、Y軸方向の検出位置が1mm間隔で設定されており、図3の状態における吸着チャック361の外周おける検出開始位置座標値(A1,A2,A3・・・An)と検出終了位置座標値(B1,B2,B3・・・Bn)は、上記ランダムアクセスメモリ(RAM)93に格納されている。
図4には、被加工物としての半導体ウエーハの斜視図が示されている。図4に示す半導体ウエーハ10は、例えば厚みが150μmのシリコンウエーハからなっており、表面10aには格子状に形成された複数の分割予定ライン101によって区画された複数の領域にIC、LSI等のデバイス102が形成されている。このように形成された半導体ウエーハ10は、図5に示すように環状のフレームFに装着されたポリオレフィン等の合成樹脂シートからなる例えば厚みが100μmの保護テープTに表面10a側を貼着する(ウエーハ貼着工程)。従って、保護テープTに貼着された半導体ウエーハ10は、裏面10bが上側となる。
3:チャックテーブル機構
32:第1の滑動ブロック
33:第2の滑動ブロック
36:チャックテーブル
37:X軸移動手段
374:X軸方向位置検出手段
38:第1のY軸移動手段
384:Y軸方向位置検出手段
4:スピンドル支持機構
43:第2のY軸移動手段
5:スピンドルユニット
51:ユニットホルダ
52:スピンドルハウジング
53:回転スピンドル
55:Z軸移動手段
56:Z軸方向位置検出手段
6:切削ブレード
7:撮像手段
8:高さ位置検出手段
9:制御手段
10:半導体ウエーハ
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面に保持された被加工物を加工する加工手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを相対的にX軸方向に移動するX軸移動手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを相対的にX軸方向と直交するY軸方向に移動するY軸移動手段と、該加工手段をX軸方向およびY軸方向と直交するZ軸方向に移動するZ軸移動手段と、該X軸移動手段による該チャックテーブル移動位置を検出するX軸方向位置検出手段と、該Y軸移動手段による該チャックテーブル移動位置を検出するY軸方向位置検出手段と、Z軸移動手段による該加工手段のZ軸方向位置を検出するZ軸方向位置検出手段と、を具備する加工装置であって、
該加工手段に隣接して配設され該チャックテーブルの保持面のZ軸方向の高さ位置を検出する高さ位置検出手段と、
該高さ位置検出手段と該加工手段による加工部とのX軸方向およびY軸方向の間隔を格納する第1の記憶領域と、該高さ位置検出手段によって検出された該チャックテーブルの保持面における各XY座標値に対するZ座標値を格納する第2の記憶領域を備えたメモリを具備する制御手段と、を具備し、
該制御手段は、X軸方向位置検出手段およびY軸方向位置検出手段からの検出信号に基づいて該メモリの第2の記憶領域に格納されたXY座標値に該メモリの第1の記憶領域に格納された高さ位置検出手段と該加工手段によるによる加工部とのX軸方向およびY軸方向の間隔を加算して該加工手段による加工部と対応したXY座標値に対するZ座標値に変換し、変換したXY座標値に対するZ座標値に基づいてZ軸移動手段を制御する、
ことを特徴とする加工装置。
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